JPH02255506A - 酸化物超電導体の製造方法 - Google Patents
酸化物超電導体の製造方法Info
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- JPH02255506A JPH02255506A JP1080053A JP8005389A JPH02255506A JP H02255506 A JPH02255506 A JP H02255506A JP 1080053 A JP1080053 A JP 1080053A JP 8005389 A JP8005389 A JP 8005389A JP H02255506 A JPH02255506 A JP H02255506A
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- Japan
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- layer
- substrate
- oxide superconductor
- irradiated
- laser beams
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は酸化物超電導体の製造方法に係わり、特に有機
金属塩の塗布、熱分解によって酸化物超電導膜を形成す
る方法の改良に関する。
金属塩の塗布、熱分解によって酸化物超電導膜を形成す
る方法の改良に関する。
［従来の技術］
近年、酸化物超電導物質の開発が著しい速度で進められ
ており、Ｌａ系、Ｙ系、Ｂｉ系、ＴＩ系等の超電導物質
の利用が有力視されている。しかしながら、これらの物
質はその超電導特性に異方性、すなわち結晶方位による
特性の差が著しく、通常の合成法によって得られた原料
粉末を成型後、焼結しただけではランダムな結晶方位の
ものしか得られないため、実用的レベルに達する電気的
、磁気的特性が得られないという問題があった。
ており、Ｌａ系、Ｙ系、Ｂｉ系、ＴＩ系等の超電導物質
の利用が有力視されている。しかしながら、これらの物
質はその超電導特性に異方性、すなわち結晶方位による
特性の差が著しく、通常の合成法によって得られた原料
粉末を成型後、焼結しただけではランダムな結晶方位の
ものしか得られないため、実用的レベルに達する電気的
、磁気的特性が得られないという問題があった。
酸化物超電導体を製造する方法の一つとして、有機金属
塩を含む溶液を基板上に塗布した後、焼成することによ
って膜状の超電導体を得る方法が知られている。この方
法は塗布、仮焼結を複数回繰返した後、焼結することが
できるため、膜厚の制御が容易であり、かつその方法も
簡単であるという利点を有する。
塩を含む溶液を基板上に塗布した後、焼成することによ
って膜状の超電導体を得る方法が知られている。この方
法は塗布、仮焼結を複数回繰返した後、焼結することが
できるため、膜厚の制御が容易であり、かつその方法も
簡単であるという利点を有する。
［発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上記の方法においては、有機物を用いる
ため超電導体内部に不純物として炭素が残存し、超電導
物質は得られるものの、その臨界電流密度は低い値しか
得られないという問題がある。
ため超電導体内部に不純物として炭素が残存し、超電導
物質は得られるものの、その臨界電流密度は低い値しか
得られないという問題がある。
本発明は、上記の難点を解決するためになされたもので
、有機金属塩の塗布、熱分解により超電導体を製造する
場合に、結晶の配向性を向上させ、かつ不純物を効率的
に除去することにより臨界電流密度を向上させることの
できる方法を提供することをその目的とする。
、有機金属塩の塗布、熱分解により超電導体を製造する
場合に、結晶の配向性を向上させ、かつ不純物を効率的
に除去することにより臨界電流密度を向上させることの
できる方法を提供することをその目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するために本発明の酸化物超電導体の製
造方法は、基体上に酸化物超電導物質の構成元素を含む
有機金属塩を含む溶液を塗布した後、この塗布層に酸素
雰囲気下でレーザビームを照射し、結晶化させると同時
に炭素を揮散させるものである。
造方法は、基体上に酸化物超電導物質の構成元素を含む
有機金属塩を含む溶液を塗布した後、この塗布層に酸素
雰囲気下でレーザビームを照射し、結晶化させると同時
に炭素を揮散させるものである。
上記のレーザビームの照射と同時に紫外線を照射し、光
励起された高エネルギーのオゾンを発生させることによ
り、より効果的に不純物を除去することができる。
励起された高エネルギーのオゾンを発生させることによ
り、より効果的に不純物を除去することができる。
本発明における酸化物超電導物質としては特に限定され
ず、たとえばＬａ−Ｂａ−Ｃｕ−０系、Ｌａ−８ｒ−Ｃ
ａ−Ｃｕ−０系、Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−０系、Ｂ１−３ｒ−
Ｃａ−Ｃｕ−０系、Ｔ １−Ｄａ−Ｃａ−Ｃｕ−０系等
の酸化物を挙げることができる。また、上記の有機金属
塩としては、炭酸塩や、脂肪酸、樹脂酸、ナフテン酸等
のアルカリ塩以外の金属塩、すなわち金属石けんを用い
ることができる。また、本発明におけるレーザビームと
しては、Ａｒ、 ＷＡＧ 、 ＣＯ２等のＣＷ（連続）
レーザを使用することができる。
ず、たとえばＬａ−Ｂａ−Ｃｕ−０系、Ｌａ−８ｒ−Ｃ
ａ−Ｃｕ−０系、Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−０系、Ｂ１−３ｒ−
Ｃａ−Ｃｕ−０系、Ｔ １−Ｄａ−Ｃａ−Ｃｕ−０系等
の酸化物を挙げることができる。また、上記の有機金属
塩としては、炭酸塩や、脂肪酸、樹脂酸、ナフテン酸等
のアルカリ塩以外の金属塩、すなわち金属石けんを用い
ることができる。また、本発明におけるレーザビームと
しては、Ａｒ、 ＷＡＧ 、 ＣＯ２等のＣＷ（連続）
レーザを使用することができる。
例えば、ビーム系２０〜５０μｍφ程度のものを使用し
て、１〜１０ｃｍ／ｓｅｃの走査速度で移動させる。
て、１〜１０ｃｍ／ｓｅｃの走査速度で移動させる。
この場合走査方向に配向した結晶を得るためにツインビ
ーム、トリプルビーム、スリットビーム等を用い、走査
方向に大きな温度勾配を形成することができる。
ーム、トリプルビーム、スリットビーム等を用い、走査
方向に大きな温度勾配を形成することができる。
［作用］
本発明においては、レーザビームの走査により非常に狭
い帯域で急速に溶融、凝固させることができるため、非
常に大きな温度勾配を達成することができるとともに、
不純物の炭素を短時間で揮発させることができる。さら
に、ビーム速度を制御することにより、高い配向性を有
する結晶が得られ、臨界電流密度を向上させることがで
きる。
い帯域で急速に溶融、凝固させることができるため、非
常に大きな温度勾配を達成することができるとともに、
不純物の炭素を短時間で揮発させることができる。さら
に、ビーム速度を制御することにより、高い配向性を有
する結晶が得られ、臨界電流密度を向上させることがで
きる。
［実施例］
ナフテン酸イツトリウム、ナフテン酸バリウムおよびナ
フテン酸銅の所定量をＹ：Ｂａ：Ｃｕ −１：２：３と
なるように秤量して、トルエンに溶解せしめて５νｔ％
の溶液を得た。この溶液をＭｇＯ基板上に塗布し、１０
０℃に加熱して溶媒を揮発させ、次いで５００℃に加熱
して仮焼結した。このような塗布→仮焼結の工程を２０
回繰返して基板上に厚さ５μｌの被膜を形成した。この
被膜に出力５ｗ、ビーム径５０μ■φ、ビーム焦点間距
離１００μｌの２本のＹＡＧレーザ（ツインビーム）を
酸素加圧下で１０ｃｍ／ｓｅｅで照射し、同時に紫外線
を照射して被膜を結晶化させた。このようにして得られ
た超電導被膜の臨界温度（Ｔｃ）は９０Ｋ、臨界電流密
度（Ｊ ｃ）は７７に、ＯＴでｔｏ３〜１０４＾／ｃ−
であった。
フテン酸銅の所定量をＹ：Ｂａ：Ｃｕ −１：２：３と
なるように秤量して、トルエンに溶解せしめて５νｔ％
の溶液を得た。この溶液をＭｇＯ基板上に塗布し、１０
０℃に加熱して溶媒を揮発させ、次いで５００℃に加熱
して仮焼結した。このような塗布→仮焼結の工程を２０
回繰返して基板上に厚さ５μｌの被膜を形成した。この
被膜に出力５ｗ、ビーム径５０μ■φ、ビーム焦点間距
離１００μｌの２本のＹＡＧレーザ（ツインビーム）を
酸素加圧下で１０ｃｍ／ｓｅｅで照射し、同時に紫外線
を照射して被膜を結晶化させた。このようにして得られ
た超電導被膜の臨界温度（Ｔｃ）は９０Ｋ、臨界電流密
度（Ｊ ｃ）は７７に、ＯＴでｔｏ３〜１０４＾／ｃ−
であった。
一方、上記の基板上に形成した被膜に９７０℃×ｌＯ分
間および８００℃Ｘ２０時間の熱処理を施した酸化物被
膜のＴｃおよびＪｃはそれぞれ９０Ｋ 、 １０２Ａ／
Ｇｌｌ ”以下であった。
間および８００℃Ｘ２０時間の熱処理を施した酸化物被
膜のＴｃおよびＪｃはそれぞれ９０Ｋ 、 １０２Ａ／
Ｇｌｌ ”以下であった。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、レーザビームの照射
により高い配向性の結晶体を得ることができるとともに
、酸化物超電導物質に残存し易い不純物を除去すること
ができる。これにより、超電導特性の優れた膜体を得る
ことができる。
により高い配向性の結晶体を得ることができるとともに
、酸化物超電導物質に残存し易い不純物を除去すること
ができる。これにより、超電導特性の優れた膜体を得る
ことができる。
Claims (2)
- （１）基体上に酸化物超電導物質の構成元素を含む有機
金属塩を含む溶液を塗布した後、この塗布層に酸素雰囲
気下でレーザビームを照射し、結晶化させると同時に炭
素を揮散させることを特徴とする酸化物超電導体の製造
方法。 - （２）レーザビームの照射と同時に紫外線を照射しオゾ
ン発生させることを特徴とする請求項１記載の酸化物超
電導体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080053A JPH02255506A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 酸化物超電導体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1080053A JPH02255506A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 酸化物超電導体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02255506A true JPH02255506A (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=13707497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1080053A Pending JPH02255506A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 酸化物超電導体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02255506A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009252641A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 超電導酸化物材料の製造方法 |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP1080053A patent/JPH02255506A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009252641A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 超電導酸化物材料の製造方法 |
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