JPH0225806U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0225806U JPH0225806U JP1988103702U JP10370288U JPH0225806U JP H0225806 U JPH0225806 U JP H0225806U JP 1988103702 U JP1988103702 U JP 1988103702U JP 10370288 U JP10370288 U JP 10370288U JP H0225806 U JPH0225806 U JP H0225806U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning mechanism
- aligning
- micro
- aligned
- measured
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 241000256247 Spodoptera exigua Species 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案上面図、第２図は本考案の側面
図、第３図はカツプリング部断面図、第４図は従
来の位置決め機構上面図、第５図は従来の位置決
め機構側面図、第６図は尺取り虫動作図、第７図
はガイド形状による先端部の振れを示した図であ
る。 １…駆動機構、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ
…圧電素子体、１ｆ…ロツド、２…ガイド、３…
ベース、４…カツプリング、５…台車、５ａ…ボ
ール、６…微動機構固定ブロツク、７…微動機構
、８…検出探針、９…試料台、１０…試料。
図、第３図はカツプリング部断面図、第４図は従
来の位置決め機構上面図、第５図は従来の位置決
め機構側面図、第６図は尺取り虫動作図、第７図
はガイド形状による先端部の振れを示した図であ
る。 １…駆動機構、１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ
…圧電素子体、１ｆ…ロツド、２…ガイド、３…
ベース、４…カツプリング、５…台車、５ａ…ボ
ール、６…微動機構固定ブロツク、７…微動機構
、８…検出探針、９…試料台、１０…試料。
Claims (1)
- 検出部と被測定物との位置合わせを行う微小位
置決め機構において、駆動源となる機構部分と位
置合わせする部分をフレキシブルなカツプリング
を介して連結したことを特徴とする微小位置決め
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988103702U JPH0225806U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988103702U JPH0225806U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225806U true JPH0225806U (ja) | 1990-02-20 |
Family
ID=31334768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988103702U Pending JPH0225806U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0225806U (ja) |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP1988103702U patent/JPH0225806U/ja active Pending