JPH0369854U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0369854U JPH0369854U JP13124489U JP13124489U JPH0369854U JP H0369854 U JPH0369854 U JP H0369854U JP 13124489 U JP13124489 U JP 13124489U JP 13124489 U JP13124489 U JP 13124489U JP H0369854 U JPH0369854 U JP H0369854U
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- JP
- Japan
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- frame
- probe
- holds
- hereinafter referred
- respect
- Prior art date
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- Pending
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 8
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図ａは本考案の実施例の平面図、第１図ｂ
は本考案の実施例の断面図、第２図は本考案の探
針交換位置を示す側面図、第３図は本考案のフレ
ーム端面を示す側面図、第４図は本考案に係る他
の固定ネジを示す断面図、第５図ａは本考案のＳ
ＴＭ測定位置を示す説明図、第５図ｂは本考案の
探針交換位置を示す説明図、第６図は探針交換方
法を示す説明図、第７図は従来の装置構成を示す
説明図である。 １……フレーム、２……探針、３……微動素子
、４……匡体、６……ねじ、７……ねじ。
は本考案の実施例の断面図、第２図は本考案の探
針交換位置を示す側面図、第３図は本考案のフレ
ーム端面を示す側面図、第４図は本考案に係る他
の固定ネジを示す断面図、第５図ａは本考案のＳ
ＴＭ測定位置を示す説明図、第５図ｂは本考案の
探針交換位置を示す説明図、第６図は探針交換方
法を示す説明図、第７図は従来の装置構成を示す
説明図である。 １……フレーム、２……探針、３……微動素子
、４……匡体、６……ねじ、７……ねじ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 探針を保持し、かつ該探針を試料表 面に対して走査する微動素子と、該微動素子を
保持する第１のフレーム（以下フレームと称す）
と、該フレームを支持する第２のフレーム（以下
匡体と称す）とを持つＳＴＭ（走査型トンネル顕
微鏡）装置において、第１のフレームが第２のフ
レームに対して２つ以上の位置に位置決めされる
ことを特徴とするＳＴＭ装置の探針交換機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124489U JPH0369854U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124489U JPH0369854U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369854U true JPH0369854U (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=31678763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13124489U Pending JPH0369854U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0369854U (ja) |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13124489U patent/JPH0369854U/ja active Pending