JPH0226003Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0226003Y2 JPH0226003Y2 JP1982118838U JP11883882U JPH0226003Y2 JP H0226003 Y2 JPH0226003 Y2 JP H0226003Y2 JP 1982118838 U JP1982118838 U JP 1982118838U JP 11883882 U JP11883882 U JP 11883882U JP H0226003 Y2 JPH0226003 Y2 JP H0226003Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rod
- cylinder
- stator
- signal
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案はシリンダのロツドの直線位置を検出
するための装置に関する。
するための装置に関する。
従来より、シリンダの位置検出装置は種々考え
られているが、移動位置を連続的に検出し得るも
のは数少なく、その中でも特にアブソリユートで
位置検出できるものはなかつた。この考案の目的
は、シリンダの位置検出を連続的にかつアブソリ
ユートで行ない得る装置を提供することにある。
この目的は、1次コイルと2次コイルを巻回して
成る複数の磁極を円周方向に所定間隔で配して成
るステータを含むステータアセンブリを、該ステ
ータの中心空間がシリンダのロツドとほぼ同心に
なるような配置で該ロツドを該中心空間にスライ
ド自在に貫通させた状態で、該シリンダの所定箇
所に固定し、他方、前記ロツドを磁性体として、
その周囲の少なくとも前記ステータ磁極との対向
面において軸方向に所定ピツチで並んだ複数の突
起を設け、かつ前記各ステータ磁極間では前記ロ
ツドの突起部分と磁極瑞部との対応関係にずれが
生じるようにし、前記各ステータ磁極の1次コイ
ルを互いに位相のずれた交流信号によつて個別に
励磁して前記2次コイル側に前記ロツドの直線位
置に応じて前記交流信号を位相シフトした出力信
号を得るようにしたシリンダ位置検出装置によつ
て達成される。ロツドの直線位置に応じて位相シ
フトされた信号の位相ずれ量を測定する(例えば
カウンタでカウントする)ことにより直線位置を
示すアブソリユートデータが得られる。
られているが、移動位置を連続的に検出し得るも
のは数少なく、その中でも特にアブソリユートで
位置検出できるものはなかつた。この考案の目的
は、シリンダの位置検出を連続的にかつアブソリ
ユートで行ない得る装置を提供することにある。
この目的は、1次コイルと2次コイルを巻回して
成る複数の磁極を円周方向に所定間隔で配して成
るステータを含むステータアセンブリを、該ステ
ータの中心空間がシリンダのロツドとほぼ同心に
なるような配置で該ロツドを該中心空間にスライ
ド自在に貫通させた状態で、該シリンダの所定箇
所に固定し、他方、前記ロツドを磁性体として、
その周囲の少なくとも前記ステータ磁極との対向
面において軸方向に所定ピツチで並んだ複数の突
起を設け、かつ前記各ステータ磁極間では前記ロ
ツドの突起部分と磁極瑞部との対応関係にずれが
生じるようにし、前記各ステータ磁極の1次コイ
ルを互いに位相のずれた交流信号によつて個別に
励磁して前記2次コイル側に前記ロツドの直線位
置に応じて前記交流信号を位相シフトした出力信
号を得るようにしたシリンダ位置検出装置によつ
て達成される。ロツドの直線位置に応じて位相シ
フトされた信号の位相ずれ量を測定する(例えば
カウンタでカウントする)ことにより直線位置を
示すアブソリユートデータが得られる。
以下添付図面を参照してこの考案の一実施例を
詳細に説明しよう。
詳細に説明しよう。
第1図及び第2図において、ステータアセンブ
リ1は、1次コイル2〜5と2次コイル6〜9を
巻回してなる4つの磁極A,B,C,Dを円周方
向に90度の間隔で配して成るステータ10を含
み、このステータ10をケーシング11に収納し
たものである。このステータアセンブリ1は、ス
テータ10の中心空間がシリンダ12のロツド1
3と同心になるような配置で該ロツド13を該中
心空間にスライド自在に貫通させた状態で、シリ
ンダ12の一端に固定されている。ロツド13
は、周囲に所定ピツチのら旋突条13aを設けた
磁性体の心棒を含み、その一端にはシリンダ12
内のピストン14が取付けられている。そして、
ロツド13の最外周には非磁性の円筒状のスリー
ブ13bが嵌着されており、該ロツド13の円滑
なスライドを可能ならしめている。
リ1は、1次コイル2〜5と2次コイル6〜9を
巻回してなる4つの磁極A,B,C,Dを円周方
向に90度の間隔で配して成るステータ10を含
み、このステータ10をケーシング11に収納し
たものである。このステータアセンブリ1は、ス
テータ10の中心空間がシリンダ12のロツド1
3と同心になるような配置で該ロツド13を該中
心空間にスライド自在に貫通させた状態で、シリ
ンダ12の一端に固定されている。ロツド13
は、周囲に所定ピツチのら旋突条13aを設けた
磁性体の心棒を含み、その一端にはシリンダ12
内のピストン14が取付けられている。そして、
ロツド13の最外周には非磁性の円筒状のスリー
ブ13bが嵌着されており、該ロツド13の円滑
なスライドを可能ならしめている。
ら旋突条13aの1ピツチの長さがPで示され
ており、該突条13aの幅は溝部13cの幅とほ
ぼ等しくなつている。ステータ10の各極A〜D
の端部の軸方向の長さは、ら旋突条13aの幅と
ほぼ等しい。この構成によつて、ロツド13とス
テータ各極A〜Dとの間のギヤツプのリラクタン
スが、該ロツド13の直線位置に応じて変化し、
かつこの変化の位相が各極毎に90度づつずれるよ
うになつている。例えば、極Aのリラクタンス変
化をコサインとすると、極Bはサイン、極Cはマ
イナスコサイン、極Dはマイナスサイン、とな
り、直径方向で対向する2つの極AとCまたはB
とDのリラクタンスは、ロツド13の変位に応じ
て、突条13aの1ピツチを1サイクルとして、
差動的に変化する。
ており、該突条13aの幅は溝部13cの幅とほ
ぼ等しくなつている。ステータ10の各極A〜D
の端部の軸方向の長さは、ら旋突条13aの幅と
ほぼ等しい。この構成によつて、ロツド13とス
テータ各極A〜Dとの間のギヤツプのリラクタン
スが、該ロツド13の直線位置に応じて変化し、
かつこの変化の位相が各極毎に90度づつずれるよ
うになつている。例えば、極Aのリラクタンス変
化をコサインとすると、極Bはサイン、極Cはマ
イナスコサイン、極Dはマイナスサイン、とな
り、直径方向で対向する2つの極AとCまたはB
とDのリラクタンスは、ロツド13の変位に応じ
て、突条13aの1ピツチを1サイクルとして、
差動的に変化する。
ステータ10における1次コイル2〜5と2次
コイル6〜9の結線例が第3図に示されている。
極AとCの1次コイル2,4を正弦信号sinωtに
よつて互いに逆相で励磁し、極BとDの1次コイ
ル3,5を余弦信号cosωtによつて互いに逆相で
励磁する。また、極AとCの2次コイル6,8を
同相とし、極BとDの2次コイル7,9も同相と
して、これらの出力を加算して出力信号Yを得
る。すなわち、リラクタンスが差動変化する1対
の極A,Cともう1対の極BとDとを、両対のリ
ラクタンス変化の位相ずれ(つまり90度)に応じ
た電気的位相ずれを有する2種類の基準交流信号
(sinωt,cosωt)によつて個別に励磁している。
その結果、ロツド13の直線位置に応じた位相角
φだけ基準交流信号を位相シフトした出力信号Y
が得られる。その理由は各極A〜Dのリラクタン
ス変化が90度づつずれており、かつ一方の対A,
Cと他方の対B,Dの励磁信号の電気的位相が90
度ずれているためである。この点を略式で示すと
次の通りである。
コイル6〜9の結線例が第3図に示されている。
極AとCの1次コイル2,4を正弦信号sinωtに
よつて互いに逆相で励磁し、極BとDの1次コイ
ル3,5を余弦信号cosωtによつて互いに逆相で
励磁する。また、極AとCの2次コイル6,8を
同相とし、極BとDの2次コイル7,9も同相と
して、これらの出力を加算して出力信号Yを得
る。すなわち、リラクタンスが差動変化する1対
の極A,Cともう1対の極BとDとを、両対のリ
ラクタンス変化の位相ずれ(つまり90度)に応じ
た電気的位相ずれを有する2種類の基準交流信号
(sinωt,cosωt)によつて個別に励磁している。
その結果、ロツド13の直線位置に応じた位相角
φだけ基準交流信号を位相シフトした出力信号Y
が得られる。その理由は各極A〜Dのリラクタン
ス変化が90度づつずれており、かつ一方の対A,
Cと他方の対B,Dの励磁信号の電気的位相が90
度ずれているためである。この点を略式で示すと
次の通りである。
すなわち、ロツド13の直線位置に対応する位
相をφとすると、直線位置に応じたリラクタンス
変化の関数は、極Aがcosφ、極Bがsinφ、極C
が−cosφ、極Dが−sinφなる略式で示すことが
できる。AとCを正弦信号sinωtによつて互いに
逆相で動作させ、かつBとDを余弦信号cosωtに
よつて互いに逆相で動作させ、その結果生じた2
次コイル出力を加算的に合成するので、出力信号
Yは次のような略式で実質的に表現することがで
きる。
相をφとすると、直線位置に応じたリラクタンス
変化の関数は、極Aがcosφ、極Bがsinφ、極C
が−cosφ、極Dが−sinφなる略式で示すことが
できる。AとCを正弦信号sinωtによつて互いに
逆相で動作させ、かつBとDを余弦信号cosωtに
よつて互いに逆相で動作させ、その結果生じた2
次コイル出力を加算的に合成するので、出力信号
Yは次のような略式で実質的に表現することがで
きる。
Y=sinωtcosφ−(−sinωtcosφ)
+cosωtsinφ−(−cosωtsinφ)
=2sinωtcosφ+2cosωtsinφ
=2sin(ωt+φ)
上記式で便宜的に「2」と示された係数を諸種
の条件に応じて定まる定数Kで置換えると、 Y=Ksin(ωt+φ) と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φはロツド13の直線位置lに所定の比例係数
(または関数)に従つて比例しているので、出力
信号Yにおける基準信号sinωt(またはcosωt)か
らの位相ずれφを測定することにより直線位置l
を検出することができる。ただし、位相ずれ量φ
が全角2πのとき、直線位置lは前述の距離P(ら
旋突条13aの1ピツチ長)に相当する。すなわ
ち、信号Yにおける電気的位相ずれ量φによれ
ば、距離Pの範囲内でのアブソリユートな直線位
置が検出できるのである。距離Pを越えてアブソ
リユートな直線位置をも求めたい場合は、適宜任
意の手段(この検出精度は距離Pを1単位とする
粗いものでよい)を併設して距離P毎の絶対番地
を求め、この距離P毎の絶対番地と上述の位相ず
れφにもとずく直線位置検出値との組合せを用い
ればよい。電気的位相ずれφの測定によれば、距
離Pの範囲のアブソリユート直線位置をかなりの
高分解度で精度よく割出すことができる。
の条件に応じて定まる定数Kで置換えると、 Y=Ksin(ωt+φ) と表現できる。ここで、リラクタンス変化の位相
φはロツド13の直線位置lに所定の比例係数
(または関数)に従つて比例しているので、出力
信号Yにおける基準信号sinωt(またはcosωt)か
らの位相ずれφを測定することにより直線位置l
を検出することができる。ただし、位相ずれ量φ
が全角2πのとき、直線位置lは前述の距離P(ら
旋突条13aの1ピツチ長)に相当する。すなわ
ち、信号Yにおける電気的位相ずれ量φによれ
ば、距離Pの範囲内でのアブソリユートな直線位
置が検出できるのである。距離Pを越えてアブソ
リユートな直線位置をも求めたい場合は、適宜任
意の手段(この検出精度は距離Pを1単位とする
粗いものでよい)を併設して距離P毎の絶対番地
を求め、この距離P毎の絶対番地と上述の位相ず
れφにもとずく直線位置検出値との組合せを用い
ればよい。電気的位相ずれφの測定によれば、距
離Pの範囲のアブソリユート直線位置をかなりの
高分解度で精度よく割出すことができる。
出力信号Yと基準交流信号sinωt(または
cosωt)との位相ずれφを求めるための手段は適
宜に構成できる。例えば位相ずれφをデイジタル
量で求める場合は、基準交流信号sinωtと出力信
号Y=Ksin(ωt+φ)との所定位相角(例えば0
度)の時間差分をカウンタでカウントするように
すればよい。そのための回路が第4図に示されて
いる。また、この時間差分を積分回路を用いて求
めれば、アナログ量で位相ずれφを求めることも
できる。
cosωt)との位相ずれφを求めるための手段は適
宜に構成できる。例えば位相ずれφをデイジタル
量で求める場合は、基準交流信号sinωtと出力信
号Y=Ksin(ωt+φ)との所定位相角(例えば0
度)の時間差分をカウンタでカウントするように
すればよい。そのための回路が第4図に示されて
いる。また、この時間差分を積分回路を用いて求
めれば、アナログ量で位相ずれφを求めることも
できる。
第4図において、発振部32は基準の正弦信号
sinωtと余弦信号cosωtを発生する回路、位相差
検出回路37は上記位相ずれφを測定するための
回路である。クロツク発振器33から発振された
クロツクパルスCPがカウンタ30でカウントさ
れる。カウンタ30は例えばモジユロMであり、
そのカウント値がレジスタ31に与えられる。カ
ウンタ30の4/M分周出力からは、クロツクパル スCPを4/M分周したパルスPcが取り出され、1/2 分周用のフリツプフロツプ34のC入力に与えら
れる。このフリツプフロツプ34のQ出力から出
たパルスPbがフリツプフロツプ35に加わり、
Q出力から出たパルスPaがフリツプフロツプ3
6に加わり、これら35及び36の出力がローパ
スフイルタ21,22及び増幅器23,24を経
由して、余弦信号cosωtと正弦信号sinωtが得ら
れる。カウンタ30におけるMカウントがこれら
基準信号cosωt,sinωtの2πラジアン分の位相角
に相当する。すなわち、カウンタ30の1カウン
ト値は2π/Mラジアンの位相角を示している。
sinωtと余弦信号cosωtを発生する回路、位相差
検出回路37は上記位相ずれφを測定するための
回路である。クロツク発振器33から発振された
クロツクパルスCPがカウンタ30でカウントさ
れる。カウンタ30は例えばモジユロMであり、
そのカウント値がレジスタ31に与えられる。カ
ウンタ30の4/M分周出力からは、クロツクパル スCPを4/M分周したパルスPcが取り出され、1/2 分周用のフリツプフロツプ34のC入力に与えら
れる。このフリツプフロツプ34のQ出力から出
たパルスPbがフリツプフロツプ35に加わり、
Q出力から出たパルスPaがフリツプフロツプ3
6に加わり、これら35及び36の出力がローパ
スフイルタ21,22及び増幅器23,24を経
由して、余弦信号cosωtと正弦信号sinωtが得ら
れる。カウンタ30におけるMカウントがこれら
基準信号cosωt,sinωtの2πラジアン分の位相角
に相当する。すなわち、カウンタ30の1カウン
ト値は2π/Mラジアンの位相角を示している。
コイルセンブリ1の出力信号Yは増幅器25を
介してコンパレータ26に加わり、該信号Yの
正・負極性に応じた方形波信号が該コンパレータ
26から出力される。このコンパレータ26の出
力信号の立上りに応答して立上り検出回路28か
らパルスTsが出力され、このパルスTsに応じて
カウンタ30のカウント値をレジスタ31にロー
ドする。その結果、位相ずれφに応じたデイジタ
ル値Dφがレジスタ31に取り込まれる。
介してコンパレータ26に加わり、該信号Yの
正・負極性に応じた方形波信号が該コンパレータ
26から出力される。このコンパレータ26の出
力信号の立上りに応答して立上り検出回路28か
らパルスTsが出力され、このパルスTsに応じて
カウンタ30のカウント値をレジスタ31にロー
ドする。その結果、位相ずれφに応じたデイジタ
ル値Dφがレジスタ31に取り込まれる。
ステータ10とロツド13のら旋突条13aの
形状はこの考案の要旨を逸脱しない範囲で任意に
設計変更することができる。例えばステータ10
の磁極の数は4に限らず、適宜選定できる。ま
た、ロツド13に設ける突起も完全に連続するら
旋に限らず、全体としてら旋形であつて、極A〜
Dに対応する箇所でのみ突起が生じているもので
あつてもよい。あるいは第5図に示すように軸方
向に所定ピツチで並んだ複数のリング状突起13
dとしてステータ側の各磁極A〜Dの端部に設け
た歯Tの軸方向位置をら旋状にずらしロツド突起
をら旋にしたのと同様の効果を得るように変更す
ることも可能である。また、ロツド13の溝部に
非磁性体を充填して外周表面を滑らかにしてもよ
い。
形状はこの考案の要旨を逸脱しない範囲で任意に
設計変更することができる。例えばステータ10
の磁極の数は4に限らず、適宜選定できる。ま
た、ロツド13に設ける突起も完全に連続するら
旋に限らず、全体としてら旋形であつて、極A〜
Dに対応する箇所でのみ突起が生じているもので
あつてもよい。あるいは第5図に示すように軸方
向に所定ピツチで並んだ複数のリング状突起13
dとしてステータ側の各磁極A〜Dの端部に設け
た歯Tの軸方向位置をら旋状にずらしロツド突起
をら旋にしたのと同様の効果を得るように変更す
ることも可能である。また、ロツド13の溝部に
非磁性体を充填して外周表面を滑らかにしてもよ
い。
以上説明したようにこの考案によれば、シリン
ダのロツドの直線位置をアブソリユートで、しか
も精度良く検出することができるという優れた効
果を奏する。
ダのロツドの直線位置をアブソリユートで、しか
も精度良く検出することができるという優れた効
果を奏する。
第1図はこの考案に係るシリンダ位置検出装置
の一実施例を示す軸方向断面図、第2図は第1図
の−線断面図、第3図は第1図の実施例にお
けるコイルの結線形式の一例を示す回路図、第4
図は位相ずれをデイジタル的に測定するための回
路の一例を示すブロツク図、第5図はこの考案の
他の実施例を示す軸方向断面図、である。 1……ステータアセンブリ、2〜5……1次コ
イル、6〜9……2次コイル、10……ステー
タ、11……ケーシング、12……シリンダ、1
3……ロツド、14……ピストン、13a……ら
旋突条、13b……非磁性スリーブ、13c……
溝部、13d……リング状突起、T……ステータ
磁極端部の歯。
の一実施例を示す軸方向断面図、第2図は第1図
の−線断面図、第3図は第1図の実施例にお
けるコイルの結線形式の一例を示す回路図、第4
図は位相ずれをデイジタル的に測定するための回
路の一例を示すブロツク図、第5図はこの考案の
他の実施例を示す軸方向断面図、である。 1……ステータアセンブリ、2〜5……1次コ
イル、6〜9……2次コイル、10……ステー
タ、11……ケーシング、12……シリンダ、1
3……ロツド、14……ピストン、13a……ら
旋突条、13b……非磁性スリーブ、13c……
溝部、13d……リング状突起、T……ステータ
磁極端部の歯。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 シリンダ内のピストンの一端に取り付けら
れ、軸方向に所定ピツチで並んだ複数の突起を
有する磁性体のロツドと、 このロツドに対してほぼ同心状となるように
前記シリンダの所定箇所に固定配置され、前記
ロツドを前記軸方向に貫通させるステータと 前記ロツドに対向するように前記ロツドの円
周方向に所定間隔を有し、前記ロツドの突起部
分に対して相対的な位置関係にずれが生じるよ
うに前記ステータに設けられた複数の磁極と、 前記磁極に別々に巻回され、180゜又は360゜以
外の所定の位相差を有する基準交流信号によつ
て個別に励磁される少なくとも2個の1次コイ
ルと、 前記1次コイルに対応して前記磁極に巻回さ
れ、前記ロツドの前記軸方向の変位に応じて生
じるリラクタンスの変化によつて位相シフトし
た出力信号を検出する2次コイルとを具備した
ことを特徴とするシリンダ位置検出装置。 2 前記ロツドは、前記突起として、その周囲に
所定ピツチのら旋突条を設けてなるものである
実用新案登録請求の範囲第1項記載のシリンダ
位置検出装置。 3 前記ロツドの周囲には非磁性体から成るスリ
ーブが嵌着されている実用新案登録請求の範囲
第1項または第2項記載のシリンダ位置検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11883882U JPS5923610U (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | シリンダ位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11883882U JPS5923610U (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | シリンダ位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923610U JPS5923610U (ja) | 1984-02-14 |
| JPH0226003Y2 true JPH0226003Y2 (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=30272982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11883882U Granted JPS5923610U (ja) | 1982-08-06 | 1982-08-06 | シリンダ位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923610U (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0665961B2 (ja) * | 1984-12-07 | 1994-08-24 | 株式会社エスジー | 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置 |
| JP2554465B2 (ja) * | 1985-08-09 | 1996-11-13 | 株式会社 エスジー | アブソリユ−ト位置検出装置 |
| JPS6231512U (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-25 | ||
| JPS6231513U (ja) * | 1985-08-13 | 1987-02-25 | ||
| JPH0697161B2 (ja) * | 1985-08-23 | 1994-11-30 | 株式会社エスジ− | アブソリユ−ト直線位置検出装置 |
| JPH0665967B2 (ja) * | 1985-08-27 | 1994-08-24 | 株式会社エスジー | アブソリュート回転位置検出装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4897561A (ja) * | 1972-03-27 | 1973-12-12 | ||
| JPS5344999B2 (ja) * | 1973-06-11 | 1978-12-02 |
-
1982
- 1982-08-06 JP JP11883882U patent/JPS5923610U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5923610U (ja) | 1984-02-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4612503A (en) | Rotation speed detection device having a rotation angle detector of inductive type | |
| US4717874A (en) | Reluctance type linear position detection device | |
| JP2554465B2 (ja) | アブソリユ−ト位置検出装置 | |
| US4764767A (en) | Absolute rotational position detection device | |
| US4556886A (en) | Phase shift type linear position detection device | |
| US4572951A (en) | System for detecting an absolute position | |
| CA1286385C (en) | Variable reluctance position transducer | |
| US5444368A (en) | Differential reactance permanent magnet position transducer | |
| JPH0626884A (ja) | 位置検出装置 | |
| US3810136A (en) | Digital position sensor | |
| JPH0226003Y2 (ja) | ||
| US9513143B2 (en) | Combined radial position and speed sensor assembly | |
| JPS6258445B2 (ja) | ||
| JPH0226002Y2 (ja) | ||
| JPH0125286Y2 (ja) | ||
| JPH0665961B2 (ja) | 流体圧シリンダのピストンロッド位置検出装置 | |
| JPH037765Y2 (ja) | ||
| JPH0374326B2 (ja) | ||
| JPH0226004Y2 (ja) | ||
| JPH0249364Y2 (ja) | ||
| US3222660A (en) | Magnetic position encoder | |
| JP3030651B2 (ja) | 直線位置検出装置 | |
| JPH0345139Y2 (ja) | ||
| JPH0446362B2 (ja) | ||
| JPH067288Y2 (ja) | アブソリュート直線位置検出装置 |