JPH0226048Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、ICパツケージ等の被試験体のリー
ク量を検出するのに用いられるリークテスト装置
に関するものである。

(ロ) 従来技術 この種のリークテスト装置としては、プローブ
ガス（リークガス）を封入した被試験体を収容す
る密閉可能なチヤンバと、始端をこのチヤンバに
接続させて設けられ該チヤンバ内を排気する排気
系路と、この排気系路の終端側に介設され該排気
系路を介して前記チヤンバ内のガスを吸引する真
空ポンプと、前記排気系路を通して排気されるプ
ローブガスを検知する分析計とを具備してなるも
のがある。このようなものにあつては、チヤンバ
の蓋を開いて被試験体を該チヤンバ内に収容し、
蓋を閉じて該チヤンバ内を密封し、真空ポンプを
駆動させて排気系路からガスを排気する。このと
き、もし被試験体からプローブガスが漏洩してい
ると、該プローブガスも排気系路から排気される
ため、それを分析計により検知して、被試験体に
欠損等が存する旨を知り得るようになつている。

ところで、このようなリークテスト装置におい
ては、次のような問題がある。すなわち、前記被
試験体から前記チヤンバ内において塵芥（セラミ
ツクの粉、メツキのはがれたもの等）が発生し、
かかる塵芥が該チヤンバのシール部等に付着し該
シール部よりガス漏れが発生する等という問題で
ある。このような問題を解消するために、従来、
シール部等をガーゼ等で拭くということが行なわ
れている。しかし、このようなものには、シール
部の窪んだ部分等の清掃を十分に行なうことが困
難であり塵芥の除去を不十分にしか行なえないと
いう不都合がある。また、従来、電気掃除器によ
り前記チヤンバ内を清掃することも行なわれてお
り、このようにすれば塵芥の除去は確実に行なう
ことができる。しかし、電気掃除器を格別に設置
しておくということは、それだけ構成要素が多く
なりコストも高くつくという不都合がある。

(ハ) 目的 本考案の考案者は、このような事情およびチヤ
ンバ清掃時には排気用真空ポンプを使用していな
いことに着目し、チヤンバの排気に使用されてい
る真空ポンプをチヤンバ内の清掃に利用できれば
清掃用にポンプを格別に設ける必要がなくなり、
構成要素を少なくしかつコストを安くすることが
できるのではないかと思い至り、本考案をなした
ものである。すなわち、本考案は、チヤンバ内の
塵芥の除去を十分に行なうことができ、しかも、
格別にポンプを設ける必要がなくそれだけ構成要
素を少なくできかつコストを安くすることができ
るリークテスト装置を提供することを目的とす
る。

(ニ) 構成 本考案は、かかる目的を達成するために、前記
従来のリークテスト装置において、いずれかの排
気系路から分枝し先端に前記チヤンバ内の塵芥を
吸込む吸込口を有する清掃用系路を設けるととも
に、前記いずれかの排気系路と清掃用系路とを択
一的に開成させる系路切換手段を設けたことを特
徴とする。

(ホ) 実施例 以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明
する。

プローブガスを封入した被試験体であるICパ
ツケージＡを密封するチヤンバ１を設け、このチ
ヤンバ１の上端部１ａに蓋２を開閉可能に蓋着さ
せている。そして、この蓋２とチヤンバ１とをシ
ール部３においてシールさせるようにしている。
また、このチヤンバ１の底部１ｂに初期排気系路
４および主排気系路５の始端を接続させている。
初期排気系路４は、始端を前記チヤンバ１内に開
口させた初期排気管路６と、この初期排気管路６
中に介挿したフイルタ７と電磁弁８とを有するも
のである。そして、この初期排気管路６の終端部
に排気用の油回転真空ポンプ９を介設している。
また、主排気系路５は、先端部を前記初期排気管
路６と共有する主排気管路１１と、この主排気管
路１１中に介挿した、前記初期排気系路４と共通
のフイルタ７と、電磁弁１２と、コールドトラツ
プ１３と、拡散ポンプ１４と、電磁弁１５とを有
するものである。そして、この主排気系路５の終
端部に油回転真空ポンプ１６を介設している。ま
た、前記コールドトラツプ１３にはプローブガス
を検出するためのガス検出手段たる質量分析計１
７を接続している。

このようなリークテスト装置において、清掃用
系路１８と系路切換手段１９とを設けている。清
掃用系路１８は、初期排気系路４の油回転真空ポ
ンプ９よりも前段側の部位から分枝させてなるも
ので、先端に吸込口２１を有し基端を前記初期排
気系路４に接続した清掃用管路２２と、この清掃
用管路２２中に介挿したフイルタ２３と電磁弁２
４とを有してなる。そして、前記清掃用管路２２
の先端部分は、その吸込口２１を前記チヤンバの
蓋２部分にまで自在に延出させ得るように可撓変
形可能な構造にしてある。また、系路切換手段１
９は、前記初期排気系路４の電磁弁８と、前記清
掃用系路１８の電磁弁２４と、これらの電磁弁
８，２４を択一的に開成させるスイツチング回路
２５とを具備してなるものである。

次にこの装置の作動を説明する。

チヤンバ１の蓋２を開いてICパツケージＡを
該チヤンバ１内に収容し、該蓋２を閉じて該IC
パツケージＡを該チヤンバ１内に密封する。次
に、初期排気系路４の電磁弁８を開成させるとと
もに油回転真空ポンプ９を駆動させ、チヤンバ１
内の気体を該ポンプ９により吸引して該初期排気
系路４の初期排気管路６から排気する。そして、
前記チヤンバ１内がある程度の真空状態になる
と、電磁弁８を閉成させるとともに油回転真空ポ
ンプ９を停止させる一方、主排気系路５の電磁弁
１２および電磁弁１５を開成させるとともに拡散
ポンプ１４と油回転真空ポンプ１６を駆動させ
る。この操作によつて、チヤンバ１内の気体は前
記拡散ポンプ１４と油回転真空ポンプ１６とによ
つて吸引され主排気管路１１から排気されて、よ
り高真空になる。このとき、ICパツケージＡ内
に封入したHe等のプローブガスが該ICパツケー
ジＡから漏洩していれば、かかるプローブガスも
前記主排気系路５の主排気管路１１から排気され
る。そして、こうして排気されるプローブガスを
コールドトラツプ１３に設けた質量分析計１７が
検知するものである。

このようにしてリークテストを終えると、電磁
弁１２および１５を閉成させるとともに拡散ポン
プ１４および油回転真空ポンプ１６を停止させ
る。そして、蓋２を開いてチヤンバ１内からIC
パツケージＡを取出す。その後、該チヤンバ１の
シール部３や底部１ｂ等を清掃用系路１８により
清掃する。すなわち、系路切換手段１９のスイツ
チング回路２５の切換え作動により初期排気系路
４の電磁弁８を閉成させるとともに清掃用系路１
８の電磁弁２４を開成させ、吸込口２１を前記シ
ール部３や底部１ｂに近接させて油回転真空ポン
プ９を駆動させる。かかる操作によつて、該油回
転真空ポンプ９が前記シール部３や底部１ｃにあ
る塵芥を吸引し前記吸込口２１から清掃用管路２
２内に吸込んで該シール部３や底部１ｂを清掃す
る。こうして吸込まれた塵芥は、フイルタ２３に
付着し、油回転真空ポンプ９には気体のみが流入
する。

このようにしてチヤンバ１の清掃を終えると、
吸込口２１をチヤンバ１から離間させ、被試験体
である他のICパツケージＡを該チヤンバ１内に
収容し、蓋２を閉じて該チヤンバ１内を密封す
る。続いて、系路切換手段１９により、前記電磁
弁２４を閉成させるとともに電磁弁８を開成させ
る。かかる操作によつて、チヤンバ１内の気体が
初期排気系路４により排気される。以下、前述し
たのと同じ手順でICパツケージＡのリークテス
トが行なわれる。

このようにしてリークテストを行なうものであ
るが、この実施例によれば、チヤンバ１の底部１
ｂやシール部３の清掃を初期排気系路４から分枝
させた清掃用系路１８により行なうようにしてい
るので、排気に使用する油回転真空ポンプをその
まま利用して清掃を行なうことができ、従来の電
気掃除器により清掃を行なうものに比べて格別の
ポンプを設ける必要がなく、構成要素を少なくで
きコストも安くてすむ。しかも、チヤンバ１清掃
時には初期排気系路４を使用せず、初期排気時に
は清掃用系路１８を使用しないので、両系路を同
時に使用することによる吸引力の低下といつた不
都合は生じない。したがつて、従来の油回転真空
ポンプ１台で排気、清掃の両機能を果たすことが
でき、より大容量のポンプを設ける必要がない。

なお、本考案は前記実施例に限られないのは勿
論であり、清掃用系路を分枝させる排気系路は初
期排気系路に限られず、主排気系路であつてもよ
い。また、多くの排気系路を有するリークテスト
装置にあつては、いずれの排気系路から清掃用系
路を分枝させてもよい。

また、被試験体はICパツケージに限られない。

また、系路切換手段は、清掃用系路と排気系路
とを択一的に開成させることができるものであれ
ばよい。

その他、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で種々
変形が可能である。

(ヘ) 効果 本考案は、以上のような構成であるから、チヤ
ンバ内の塵芥の除去を十分に行なうことができ、
しかも、格別にポンプを設ける必要がなくそれだ
け構成要素を少なくできかつコストを安くするこ
とができるリークテスト装置を提供できるもので
ある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示す系路説明図であ
る。 １……チヤンバ、４……初期排気系路、５……
主排気系路、１８……清掃用系路、１９……系路
切換手段、Ａ……被試験体（ICパツケージ）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被試験体を収容する密閉可能なチヤンバと、こ
   のチヤンバ内を排気する排気系路と、排気系路に
   接続され前記被試験体からリークするプローブガ
   スを検出するガス検出手段とを備え、前記被試験
   体のリーク試験を行なうように構成したリークテ
   スト装置において、排気系路から分岐し先端に前
   記チヤンバ内の塵芥を吸込むための吸込口を有し
   た清掃用系路を設けるとともに、前記排気系路と
   清掃用系路とを択一的に開成させる系路切換手段
   を設けたことを特徴とするリークテスト装置。