JPH0226237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0226237U JPH0226237U JP10329188U JP10329188U JPH0226237U JP H0226237 U JPH0226237 U JP H0226237U JP 10329188 U JP10329188 U JP 10329188U JP 10329188 U JP10329188 U JP 10329188U JP H0226237 U JPH0226237 U JP H0226237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- drive device
- plate
- movable plate
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の平面図、第２図はそ
の正面図（リニアエンコダ３４は省略してある）
、第３図はリニアモータの平面図、第４図はその
縦断面図、第５図はその側面図、第６図は別の実
施例の平面図、第７図は第６図―線断面正面
図、第８図は第６図―線断面側面図、第９図
は第６図―線断面側面図、第１０図は第６図
―線断面側面図である。 １……リニアモータ（Ｘ方向リニアモータ）、
１′……Ｙ方向リニアモータ、２……下ヨーク、
３……上ヨーク、４，４′……永久磁石、５……
中心線、６，６′……コイル、６１，６２……コ
イル部、７……コイル巻装材、８，８′……ヨー
ク、９，９′……Ｘ方向ガイド部、１０……下方
移動板、１１……スライダ、１２，１２′……連
結プレート、１３……ガイドレール、１４……上
方移動板、１５……ローラ挿入孔、１６……連結
バー、１７……ローラ取付板、１８……ローラ、
１９……ガイドレール、２０……Ｘ方向リニアモ
ータ、２１，２１′……永久磁石、２２，２２′
……ヨーク、２３，２３′……コイル、２４……
コイル巻装材、２５……連結プレート、２６……
ガイドブロツク、２７……Ｙ方向リニアモータ、
２８……コイル巻装材、２９……ヨーク、３０…
…コイル、３１，３２……連結用ビス穴、３３，
３４……リニアエンコダ。
の正面図（リニアエンコダ３４は省略してある）
、第３図はリニアモータの平面図、第４図はその
縦断面図、第５図はその側面図、第６図は別の実
施例の平面図、第７図は第６図―線断面正面
図、第８図は第６図―線断面側面図、第９図
は第６図―線断面側面図、第１０図は第６図
―線断面側面図である。 １……リニアモータ（Ｘ方向リニアモータ）、
１′……Ｙ方向リニアモータ、２……下ヨーク、
３……上ヨーク、４，４′……永久磁石、５……
中心線、６，６′……コイル、６１，６２……コ
イル部、７……コイル巻装材、８，８′……ヨー
ク、９，９′……Ｘ方向ガイド部、１０……下方
移動板、１１……スライダ、１２，１２′……連
結プレート、１３……ガイドレール、１４……上
方移動板、１５……ローラ挿入孔、１６……連結
バー、１７……ローラ取付板、１８……ローラ、
１９……ガイドレール、２０……Ｘ方向リニアモ
ータ、２１，２１′……永久磁石、２２，２２′
……ヨーク、２３，２３′……コイル、２４……
コイル巻装材、２５……連結プレート、２６……
ガイドブロツク、２７……Ｙ方向リニアモータ、
２８……コイル巻装材、２９……ヨーク、３０…
…コイル、３１，３２……連結用ビス穴、３３，
３４……リニアエンコダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) Ｘ方向駆動装置によりＸ方向移動する下方
移動板の上方にＹ方向駆動装置によりＹ方向移動
する上方移動板を支持して、該上方移動板をＸＹ
移動せしめるＸＹテーブルにおいて、前記Ｘ方向
駆動装置がリニアモータで、下方移動板の下方に
設けられていることを特徴とするＸＹテーブル。 (2) 前記Ｙ方向駆動装置もリニアモータで、前
記上方移動板の下方に前記下方移動板のリニアモ
ータに隣接して設けられている請求項１記載のＸ
Ｙテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10329188U JPH0226237U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10329188U JPH0226237U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0226237U true JPH0226237U (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=31333988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10329188U Pending JPH0226237U (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0226237U (ja) |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP10329188U patent/JPH0226237U/ja active Pending
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