JPH02267293A - インクジェットの製造方法 - Google Patents
インクジェットの製造方法Info
- Publication number
- JPH02267293A JPH02267293A JP8897489A JP8897489A JPH02267293A JP H02267293 A JPH02267293 A JP H02267293A JP 8897489 A JP8897489 A JP 8897489A JP 8897489 A JP8897489 A JP 8897489A JP H02267293 A JPH02267293 A JP H02267293A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- resist
- nozzle hole
- film
- inkjet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims description 9
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 235000005338 Allium tuberosum Nutrition 0.000 description 1
- 244000003377 Allium tuberosum Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N chromate(2-) Chemical compound [O-][Cr]([O-])(=O)=O ZCDOYSPFYFSLEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、複写機やコンピューター・ファックス等の外
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
［従来の技術］
従来の技術としては第２図（ａ）に示すように基板１１
上へフォトレジスト１２によりインク流路形状を形成し
、その上に、電鋳加工によって電着被膜をノズル孔１３
の径が所望の寸法に達するまで形成し、インクジェット
ノズル１４とする。
上へフォトレジスト１２によりインク流路形状を形成し
、その上に、電鋳加工によって電着被膜をノズル孔１３
の径が所望の寸法に達するまで形成し、インクジェット
ノズル１４とする。
次に、インクジェットノズル１４を基板１１及び、フォ
トレジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すような
インクジェットノズル１４を得る方法が知られていた。
トレジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すような
インクジェットノズル１４を得る方法が知られていた。
［発明が解決しようとする課題及び目的］しかし、かか
る従来のインクジェットノズルは、インクジェットノズ
ル１４の電着被膜をフォトレジスト１２の表面へ這わせ
る形で成長形成させるため、ノズル孔１３の径を正確に
規制することが難しく径の寸法のバラツキ原因となって
いた。ノズル孔１３の径のバラツキは吐出するインク１
５の粒径をバラつかせ印字品質低下の一因と成っている
。
る従来のインクジェットノズルは、インクジェットノズ
ル１４の電着被膜をフォトレジスト１２の表面へ這わせ
る形で成長形成させるため、ノズル孔１３の径を正確に
規制することが難しく径の寸法のバラツキ原因となって
いた。ノズル孔１３の径のバラツキは吐出するインク１
５の粒径をバラつかせ印字品質低下の一因と成っている
。
又、ノズル孔１３の側面１６の形状が電着被膜の成長面
を利用しているために、外側へ開いたアール形状となり
ノズル孔１３に直線部分かはとんどないか、・全く無い
形状となりインク１５の吐出方向１７を規制できず、完
全に直進しないで斜め方向にも吐出するという問題点を
有していた。
を利用しているために、外側へ開いたアール形状となり
ノズル孔１３に直線部分かはとんどないか、・全く無い
形状となりインク１５の吐出方向１７を規制できず、完
全に直進しないで斜め方向にも吐出するという問題点を
有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
めに、ノズル孔の径を精度よく形成し、又、インクが直
進方向のみに吐出するようにノズル孔の側面が直線形状
となるようなインクジェットノズルを提供することを目
的としている。
めに、ノズル孔の径を精度よく形成し、又、インクが直
進方向のみに吐出するようにノズル孔の側面が直線形状
となるようなインクジェットノズルを提供することを目
的としている。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のインクジェットの製
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットブリタ
ー等に使用される、インクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいて、ノズル孔
を形成する時に、異質な二種類のレジストを同一箇所に
順次パターニングし、前記レジストを利用して電鋳加工
により形成することを特徴とする。
造方法は、電鋳により形成され、インクジェットブリタ
ー等に使用される、インクジェットのインクを吐出させ
る部分であるインクジェットノズルにおいて、ノズル孔
を形成する時に、異質な二種類のレジストを同一箇所に
順次パターニングし、前記レジストを利用して電鋳加工
により形成することを特徴とする。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す図であり、第１図（ａ）において、表面をきれいに整
面洗浄されたＢｓ材からなる基板１に、厚み５０ミクロ
ンのドライフィルムから成るネガレジスト２をラミネー
トする０次に、第１図（ｂ）に示すように、ネガレジス
ト２を露光・現像により、ノズル孔のサイズにパターニ
ングを行なう、その後、第１図（ｃ）のように、ポジレ
ジスト３をスピンコーターあるいはローラーコーター等
により塗布コーティングを行なう０次いで、第１図（ｄ
）の如く、ネガレジスト２の周囲に露光゛・現像により
、インク流路形状のサイズにパターニングしてポジレジ
スト３を形成する。
１図は、本発明のインクジェットノズルの製造工程を示
す図であり、第１図（ａ）において、表面をきれいに整
面洗浄されたＢｓ材からなる基板１に、厚み５０ミクロ
ンのドライフィルムから成るネガレジスト２をラミネー
トする０次に、第１図（ｂ）に示すように、ネガレジス
ト２を露光・現像により、ノズル孔のサイズにパターニ
ングを行なう、その後、第１図（ｃ）のように、ポジレ
ジスト３をスピンコーターあるいはローラーコーター等
により塗布コーティングを行なう０次いで、第１図（ｄ
）の如く、ネガレジスト２の周囲に露光゛・現像により
、インク流路形状のサイズにパターニングしてポジレジ
スト３を形成する。
次に、第１図（ｅ）のように、ニッケルもしくは銅電鋳
により、インク流路形状の所望する厚み寸法の高さに電
着液ＩＩ！１４の形成を行なう、その後、ポジレジスト
３をポジレジスト剥離液か、アルカリ溶液等で除去して
第１図（ｆ）に示すような形状とする０次いで、第１図
（ｇ）のように、金属表面をクロメート処理して、不活
性被膜５の形成を行なう１次に、第１図（ｈ）に示すよ
うに、ニッケル電鋳によりインクジェットノズル６の形
成を行なう、その後、不活性液［１５の部分より離型す
ると、第１図（１）に示す形状を持ったインクジェット
ノズル６が得られる。
により、インク流路形状の所望する厚み寸法の高さに電
着液ＩＩ！１４の形成を行なう、その後、ポジレジスト
３をポジレジスト剥離液か、アルカリ溶液等で除去して
第１図（ｆ）に示すような形状とする０次いで、第１図
（ｇ）のように、金属表面をクロメート処理して、不活
性被膜５の形成を行なう１次に、第１図（ｈ）に示すよ
うに、ニッケル電鋳によりインクジェットノズル６の形
成を行なう、その後、不活性液［１５の部分より離型す
ると、第１図（１）に示す形状を持ったインクジェット
ノズル６が得られる。
以上の実施例において得られたインクジェットノズル６
は、ノズル孔７の口径がネガレジスト２により規制され
ているので、精度よくノズル孔７を形成することが可能
となる。又、ノズル孔７の側面８の形状がアールと成ら
ずに直線形状を有することができるので、インク９が吐
出した時の直進性が向上する。
は、ノズル孔７の口径がネガレジスト２により規制され
ているので、精度よくノズル孔７を形成することが可能
となる。又、ノズル孔７の側面８の形状がアールと成ら
ずに直線形状を有することができるので、インク９が吐
出した時の直進性が向上する。
なお、ノズル孔７の径を規制するネガレジスト２はネガ
タイプのドライフィルム以外でも、例えばポリイミド系
の感光性レジストでも良い、又、ポジレジスト３も、ネ
ガレジスト２を侵さずに除去できるものであれば、ソル
ダーレジスト等による、印刷法による形成でも同様なイ
ンクジェットノズルの製造が可能である。
タイプのドライフィルム以外でも、例えばポリイミド系
の感光性レジストでも良い、又、ポジレジスト３も、ネ
ガレジスト２を侵さずに除去できるものであれば、ソル
ダーレジスト等による、印刷法による形成でも同様なイ
ンクジェットノズルの製造が可能である。
［Ｕ明の効果］
本発明のインクジェットノズルの製造方法は、以上説明
したように、ノズル孔を規制するためのネガタイプ・の
レジストとインク流路形状を規制するためのポジタイプ
のレジストを同一箇所に順次形成して電鋳加工によりイ
ンクジェットノズルを形成することにより、ノズル孔の
径精度が均一になり、安定したインク粒径が得られるこ
とにより印字品質が大幅に向上する。
したように、ノズル孔を規制するためのネガタイプ・の
レジストとインク流路形状を規制するためのポジタイプ
のレジストを同一箇所に順次形成して電鋳加工によりイ
ンクジェットノズルを形成することにより、ノズル孔の
径精度が均一になり、安定したインク粒径が得られるこ
とにより印字品質が大幅に向上する。
又、ノズル孔の側面にストレートな部分が形成されるた
めに、インク粒の吐出された時の直進性が非常に安定す
るという効果がある。
めに、インク粒の吐出された時の直進性が非常に安定す
るという効果がある。
このように、プレス・ドリル・放電加工等の機械加工に
頼らず、フォトリソ・電鋳・エツチング等の化学的加工
による形成のため、−度に大量のマルチヘッドのマルチ
加工も容易である。
頼らず、フォトリソ・電鋳・エツチング等の化学的加工
による形成のため、−度に大量のマルチヘッドのマルチ
加工も容易である。
方法を示す縦断面図。
１・・・基板
・ネガレジス
ト
・ポジレジス
ト
電着被膜
不活性被膜
イ
ンクジェット
ノズルノ
ズル
ノズル孔の側面
インク
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人弁理士 鈴木喜三部（他１名）
菓１図（ｄ）
韮１図（ｅ）
驚１図（ｆ）
第１図（ａ）
第１図（ｂ）
第１図（ｃ）
第１図（ｇ）
閉１図（ｈ）
舅１図（ｉ）
Claims (1)
- 電鋳により形成され、インクジェットプリンター等に使
用される、インクジェットのインクを吐出させる部分で
あるインクジェットノズルにおいて、ノズル孔を形成す
る時に、異質な二種類のレジストを同一箇所に順次パタ
ーニングし、前記レジストを利用して電鋳加工により形
成することを特徴とするインクジェットの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8897489A JPH02267293A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | インクジェットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8897489A JPH02267293A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | インクジェットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02267293A true JPH02267293A (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=13957779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8897489A Pending JPH02267293A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | インクジェットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02267293A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1568803A2 (en) | 2004-02-26 | 2005-08-31 | Stork Veco B.V. | Electroforming method for producing objects with a high degree of accuracy |
| JP2006111954A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Process Lab Micron:Kk | 電鋳用母型及びその製造方法 |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP8897489A patent/JPH02267293A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1568803A2 (en) | 2004-02-26 | 2005-08-31 | Stork Veco B.V. | Electroforming method for producing objects with a high degree of accuracy |
| EP1568803A3 (en) * | 2004-02-26 | 2008-04-02 | Stork Veco B.V. | Electroforming method for producing objects with a high degree of accuracy |
| JP2006111954A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Process Lab Micron:Kk | 電鋳用母型及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4954225A (en) | Method for making nozzle plates | |
| DE69123224T2 (de) | Herstellungsverfahren für dreidimensionale Düsenplatten | |
| US4246076A (en) | Method for producing nozzles for ink jet printers | |
| US5443713A (en) | Thin-film structure method of fabrication | |
| DE69120222T2 (de) | Verfahren zur kontinuierlichen Elektroforming von Teilen wie zum Beispiel Tintenstrahldüsenplatten für Tintenstrahldrucker | |
| DE3150109A1 (de) | Tintenstrahlkopf | |
| ATE147014T1 (de) | Herstellungsverfahren eines tintenstrahldruckkopfes | |
| TW589253B (en) | Method for producing nozzle plate of ink-jet print head by photolithography | |
| DE69608720T2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahlkopfes | |
| JPH02267293A (ja) | インクジェットの製造方法 | |
| US7501228B2 (en) | Annular nozzle structure for high density inkjet printheads | |
| CN1136103C (zh) | 喷孔片的制造方法 | |
| JPH10296982A (ja) | インクジェットヘッド用ノズル板の製造方法及びインクジェットヘッド | |
| KR950016485A (ko) | 메탈 마스크 및 그 제조방법 | |
| DE60127073T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Druckkopfes | |
| RU2310566C2 (ru) | Способ изготовления компонента устройства осаждения капель (варианты) | |
| JPH11236694A (ja) | 微細部品用射出成形型の製造方法 | |
| TW565513B (en) | Re-usable mandrel for fabrication of ink-jet orifice plates | |
| JPH1016236A (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| JP2003311973A (ja) | 液体吐出装置、プリンタ及び液体吐出装置の製造方法 | |
| JP2637996B2 (ja) | インクジェット記録装置用ヘッドの製造方法 | |
| JPH02270983A (ja) | インクジェットの製造方法 | |
| JPH08118657A (ja) | レジストパターンの形成方法及びインクジェット用ノズルプレートの製造方法 | |
| JP2001329392A (ja) | 電鋳用型製造方法及びインクジェットヘッド製造方法 | |
| JPH08142333A (ja) | ノズルプレートの母型及びノズルプレートの製造方法 |