JPH02270983A - インクジェットの製造方法 - Google Patents
インクジェットの製造方法Info
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- JPH02270983A JPH02270983A JP9030789A JP9030789A JPH02270983A JP H02270983 A JPH02270983 A JP H02270983A JP 9030789 A JP9030789 A JP 9030789A JP 9030789 A JP9030789 A JP 9030789A JP H02270983 A JPH02270983 A JP H02270983A
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- inkjet
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- Pending
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、複写機やコンピューター・ファックス等の外
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
部出力装置に利用される、インクジェットの製造方法に
関する。
従来の技術としては第２図（ａ）に示すように基板１１
上へフォトレジスト１２によりインク流路形状を形成し
、その上に、電鋳加工によって電着被膜をノズル孔１３
の径が所望の寸法に達するまで形成し、インクジェット
ノズル１４とする。
上へフォトレジスト１２によりインク流路形状を形成し
、その上に、電鋳加工によって電着被膜をノズル孔１３
の径が所望の寸法に達するまで形成し、インクジェット
ノズル１４とする。
次に、インクジェットノズル１４を基板１１及び、フォ
トレジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すような
インクジェットノズル１４を得ぢ方法が知られていた。
トレジスト１２から剥離して第２図（ｂ）に示すような
インクジェットノズル１４を得ぢ方法が知られていた。
しかし、かかる従来のインクジェットは、インクジェッ
トノズル１４の電着被膜をフォトレジスト１２の表面へ
這わせる形で成長形成させるため、ノズル孔１３の径を
正確に規制することが難しく径の寸法のバラツキ原因と
なっていた。ノズル孔１３の径のバラツキは吐出するイ
ンク１５の粒径をバラつかせ印字品質低下の一因と成っ
ている。
トノズル１４の電着被膜をフォトレジスト１２の表面へ
這わせる形で成長形成させるため、ノズル孔１３の径を
正確に規制することが難しく径の寸法のバラツキ原因と
なっていた。ノズル孔１３の径のバラツキは吐出するイ
ンク１５の粒径をバラつかせ印字品質低下の一因と成っ
ている。
又、ノズル孔１３の側面１６の形状が電着被膜の成長面
を利用しているために、外側へ開いたアール形状となり
ノズル孔１３に直線部分がほとんどないか、全く無い形
状となりインク１５の吐出方向１−７を規制できず、完
全に直進しないで斜め方向にも吐出するという問題点を
有していた。
を利用しているために、外側へ開いたアール形状となり
ノズル孔１３に直線部分がほとんどないか、全く無い形
状となりインク１５の吐出方向１−７を規制できず、完
全に直進しないで斜め方向にも吐出するという問題点を
有していた。
そこで、本発明は従来のこのような問題点を解決するた
めに、ノズル孔の径を精度よく形成し、又、インクが直
進方向のみに吐出するようにノズル孔の側面が直線形状
となるようなインクジェットノズルを提供することを目
的としている。
めに、ノズル孔の径を精度よく形成し、又、インクが直
進方向のみに吐出するようにノズル孔の側面が直線形状
となるようなインクジェットノズルを提供することを目
的としている。
上記課題を解決するために、本発明のインクジェットの
製造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリ
ンター等に使用されるインクジェットのインクを吐出さ
せる部分であるインクジェットノズルにおいて、ノズル
孔を形成する時に、レジストを二段に積み重ね、上側の
レジストをオーバーハングさせ、導電化被膜を形成する
時の遮蔽板となるようにしたことを特徴とする。
製造方法は、電鋳により形成され、インクジェットプリ
ンター等に使用されるインクジェットのインクを吐出さ
せる部分であるインクジェットノズルにおいて、ノズル
孔を形成する時に、レジストを二段に積み重ね、上側の
レジストをオーバーハングさせ、導電化被膜を形成する
時の遮蔽板となるようにしたことを特徴とする。
〔実 施 例〕
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は、本発鋳のインクジェットノズルの製造工程を示
す図であり、第１図（ａ）において、表面にニッケル被
膜をスパッタや蒸着あるいは無電解メツキ等で形成され
た、ガラスやプラスチックあるいは、ステンレス板やニ
ッケル板等の材質から成る基板１上に、厚み５０ミクロ
ンのドライフィルムから成るネガレジスト２をラミネー
トする。次に、第１図（ｂ）に示すように、ネガレジス
ト２を露光・現像により、内側がノズル孔のサイズで外
側がインク流路寸法にバターニングを行なう。その後、
第１図（ｃ）のように、ネガレジストの膜厚付近まで電
解メツキにより銅電着皮膜３を形成する。次いで、第１
図（ｄ）に示すように、ネガレジストを全面に塗布コー
ティングする。そのあと、第１図（ｅ）の如く、ノズル
孔の形成される部分のネガレジスト２上にバターニング
を行ない、前記ノズル孔の形成される部分のネガレジス
ト２より縁がとび出て傘の形状となるようにやや大きめ
にネガレジスト４を形成しオーバーハングさせる。次に
、数パーセント濃度の過硫酸アンモニウム溶液で、銅電
着被膜３のみをエツチング溶解して第１図Ｄ）の形状と
するが、基板１の表面はニッケル、又はニッケル合金や
ステンレス等のためめ、過硫酸アンモニウム溶液には侵
食されずにそのまま残る。その子、蒸着もしくはスパッ
タにより第１図（ｇ）のように、ニッケル、または銅の
被膜を形成して導電化被膜５とする。
１図は、本発鋳のインクジェットノズルの製造工程を示
す図であり、第１図（ａ）において、表面にニッケル被
膜をスパッタや蒸着あるいは無電解メツキ等で形成され
た、ガラスやプラスチックあるいは、ステンレス板やニ
ッケル板等の材質から成る基板１上に、厚み５０ミクロ
ンのドライフィルムから成るネガレジスト２をラミネー
トする。次に、第１図（ｂ）に示すように、ネガレジス
ト２を露光・現像により、内側がノズル孔のサイズで外
側がインク流路寸法にバターニングを行なう。その後、
第１図（ｃ）のように、ネガレジストの膜厚付近まで電
解メツキにより銅電着皮膜３を形成する。次いで、第１
図（ｄ）に示すように、ネガレジストを全面に塗布コー
ティングする。そのあと、第１図（ｅ）の如く、ノズル
孔の形成される部分のネガレジスト２上にバターニング
を行ない、前記ノズル孔の形成される部分のネガレジス
ト２より縁がとび出て傘の形状となるようにやや大きめ
にネガレジスト４を形成しオーバーハングさせる。次に
、数パーセント濃度の過硫酸アンモニウム溶液で、銅電
着被膜３のみをエツチング溶解して第１図Ｄ）の形状と
するが、基板１の表面はニッケル、又はニッケル合金や
ステンレス等のためめ、過硫酸アンモニウム溶液には侵
食されずにそのまま残る。その子、蒸着もしくはスパッ
タにより第１図（ｇ）のように、ニッケル、または銅の
被膜を形成して導電化被膜５とする。
この時ネガレジスト４の傘の部分が遮蔽板となり、ネガ
レジスト２の周囲とネガレジスト２の付近の基板１、上
へ導電化被膜５が付着形成されるのを防止する。次に、
第１図（ｈ）に示すように、クロム酸溶液にてクロメー
ト処理を行ない金属上に不活性被膜６を形成する。そし
て、第１図（ｉ）のように、ニッケルもしくは、ニッケ
ル合金被膜を電鋳によ切ス所望厚みに形成してインクジ
ェットノズル７とする。この時、ネガレジスト４上の導
電化被膜５はどの部分とも導通がとれていないので電着
被膜は成長しない。その後、インクジェットノズル７を
不活性被膜６より離型すると、第１図（ｊ）に示したよ
うな形状のインクジェットノズル７が得られる。
レジスト２の周囲とネガレジスト２の付近の基板１、上
へ導電化被膜５が付着形成されるのを防止する。次に、
第１図（ｈ）に示すように、クロム酸溶液にてクロメー
ト処理を行ない金属上に不活性被膜６を形成する。そし
て、第１図（ｉ）のように、ニッケルもしくは、ニッケ
ル合金被膜を電鋳によ切ス所望厚みに形成してインクジ
ェットノズル７とする。この時、ネガレジスト４上の導
電化被膜５はどの部分とも導通がとれていないので電着
被膜は成長しない。その後、インクジェットノズル７を
不活性被膜６より離型すると、第１図（ｊ）に示したよ
うな形状のインクジェットノズル７が得られる。
第１図（ｊ）において、７は、インクジェットノズル、
８は、ノズル孔であり、９は、ノズル孔の側面を示し、
１０は、ノズル孔８より吐出されたインクである。
８は、ノズル孔であり、９は、ノズル孔の側面を示し、
１０は、ノズル孔８より吐出されたインクである。
以上の実施例において得られたインクジェットノズル７
は、ノズル孔８の口径がネガレジスト２により規制され
ているので、精度よくノズル孔７を形成することが可能
となる。又、ノズル孔８の側面９の形状がアールと成ら
ずに直線形状を有することができるので、インク１０が
吐出した時の直進性が向上する。
は、ノズル孔８の口径がネガレジスト２により規制され
ているので、精度よくノズル孔７を形成することが可能
となる。又、ノズル孔８の側面９の形状がアールと成ら
ずに直線形状を有することができるので、インク１０が
吐出した時の直進性が向上する。
なお、ノズル孔８の径を規制するネガレジスト２はネガ
タイプのドライフィルム以外でも、例えばポリイミド径
の感光性樹脂でも良い。
タイプのドライフィルム以外でも、例えばポリイミド径
の感光性樹脂でも良い。
〔発明の効果〕
本発明のインクジェットノズルの製造方法は、以上説明
したように、ノズル孔の径精度が均一になり、安定した
インク粒径が得られることにより印字品質が大幅に向上
する。
したように、ノズル孔の径精度が均一になり、安定した
インク粒径が得られることにより印字品質が大幅に向上
する。
又、ノズル孔の側面ストレートな部分が形成されるため
に、インク粒の吐出された時の直進性が非常に安定する
という効果がある。
に、インク粒の吐出された時の直進性が非常に安定する
という効果がある。
このように、ブレス瞭ドリル・放電加工等の機械加工に
頼らず、フォトリソ・電鋳・エツチング等の化学的加工
による形成のため、−度に大量のマルチヘッドのマルチ
加工も容易である。
頼らず、フォトリソ・電鋳・エツチング等の化学的加工
による形成のため、−度に大量のマルチヘッドのマルチ
加工も容易である。
１・・・基板
２・壷・ネガレジスト
３・・・銅電着被膜
４・・・ネガレジスト
５・・・導電化被膜
６・・・不活性被膜
７・・・インクジットノズル
８争ψ・ノズル孔
９・・・ノズル孔の側面
１０・・・インク
以上
出願人 セイコーエプソン株式会社
代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第１図（ａ
） 第１図（ｂ） 第１図（０） 第１図（ｄ） 第１図＜ｅ＞ 第１図（ｆ） 第１図（ｇ） 第１図（ｈ） 藁１図（ｉ） ８、ノズル孔 第１図（ｊ）
） 第１図（ｂ） 第１図（０） 第１図（ｄ） 第１図＜ｅ＞ 第１図（ｆ） 第１図（ｇ） 第１図（ｈ） 藁１図（ｉ） ８、ノズル孔 第１図（ｊ）
Claims (1)
- 電鋳により形成され、インクジェットプリンター等に使
用されるインクジェットのインクを吐出させる部分であ
るインクジェットノズルにおいてノズル孔を形成する時
に、レジストを二段に積み重ね、上側のレジストをオー
バーハングさせ、導電化被膜を形成する時の遮蔽板とな
るようにしたことを特徴とするインクジェットの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030789A JPH02270983A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | インクジェットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9030789A JPH02270983A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | インクジェットの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02270983A true JPH02270983A (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=13994885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9030789A Pending JPH02270983A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | インクジェットの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02270983A (ja) |
-
1989
- 1989-04-10 JP JP9030789A patent/JPH02270983A/ja active Pending
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