JPH022675A - 固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH022675A JPH022675A JP63148768A JP14876888A JPH022675A JP H022675 A JPH022675 A JP H022675A JP 63148768 A JP63148768 A JP 63148768A JP 14876888 A JP14876888 A JP 14876888A JP H022675 A JPH022675 A JP H022675A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract 2
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- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 9
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体撮像素子に関し、特にカラー用固体撮像素
子の検出感度に関するものである。
子の検出感度に関するものである。
従来カラー用固体撮像素子については、ＩＥ３Ｔｒａｎ
ｓ、ＥＩｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ ｖｏｌ Ｅ
Ｄ−３２゜Ｎα８．Ｐ１４７５ （１９８５）にも示さ
れているように近年オンウェハーでカラーフィルターア
レーを配置する方法がとられている。これを図面を参照
に説明する。
ｓ、ＥＩｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ ｖｏｌ Ｅ
Ｄ−３２゜Ｎα８．Ｐ１４７５ （１９８５）にも示さ
れているように近年オンウェハーでカラーフィルターア
レーを配置する方法がとられている。これを図面を参照
に説明する。
第２図（ａ）は従来のカラー用固体撮像素子の１つであ
るＣＣＤ固体撮像素子のウェハー内のある１つのチップ
の平面図を示す。図中１は固体撮像素子チップ、２はフ
ォトダイオード、３は垂直ＣＣＤ、４は水平ＣＯＤ、５
は検出アンプ回路、６はポンディングパッド、７はカラ
ーフィルター用保護膜を表わす。第２図（ｂ）は第２図
（ａ）の検出アンプ５部を含む素子断面図を示す。この
図中１１はＰ型シリコン基板、７は第２図（ａ）で用い
たカラーフィルター用保護膜、１８は埋込みチャンネル
型ＣＣＤ用Ｎウェル層、１９は水平ＣＣＤの２相駆動用
逆戻りバリア層、１０は多結晶シリコンゲート転送電極
、φ□、とφ４２は水平２相駆動ＣＯＤ転送電極、ｖｏ
ｏはＣＯＤ出力（ＤＣ）ゲ−ト電極、φ、はりセットゲ
ート電極、ｖｉｔ＋はリセットドレイン、Ｖｔ＋ｎは電
源端子、Ｖｏυ丁は出力検出端子、１２はＮ型フローテ
ィング拡散層を示す。
るＣＣＤ固体撮像素子のウェハー内のある１つのチップ
の平面図を示す。図中１は固体撮像素子チップ、２はフ
ォトダイオード、３は垂直ＣＣＤ、４は水平ＣＯＤ、５
は検出アンプ回路、６はポンディングパッド、７はカラ
ーフィルター用保護膜を表わす。第２図（ｂ）は第２図
（ａ）の検出アンプ５部を含む素子断面図を示す。この
図中１１はＰ型シリコン基板、７は第２図（ａ）で用い
たカラーフィルター用保護膜、１８は埋込みチャンネル
型ＣＣＤ用Ｎウェル層、１９は水平ＣＣＤの２相駆動用
逆戻りバリア層、１０は多結晶シリコンゲート転送電極
、φ□、とφ４２は水平２相駆動ＣＯＤ転送電極、ｖｏ
ｏはＣＯＤ出力（ＤＣ）ゲ−ト電極、φ、はりセットゲ
ート電極、ｖｉｔ＋はリセットドレイン、Ｖｔ＋ｎは電
源端子、Ｖｏυ丁は出力検出端子、１２はＮ型フローテ
ィング拡散層を示す。
第２図（ａ）に示したカラーフィルター保護膜７はフォ
トダイオード２上に配置されるカラーフィルター膜のチ
ップ中央部に対する周辺部の染色性が相違することを防
ぐ為に有効フォトダイオード外にもダミーのカラーフィ
ルター膜を配置すること、及び固体撮像素子のチップ周
辺に配置されている配線アルミニウム電極からの光の反
射を防止するために可能な限りチップ周辺部にもカラー
フィルター膜を配置しチップ表面からの反射を防ぐよう
に考慮されている。つまり前述したＩＥ３Ｔｒａｎｓ。
トダイオード２上に配置されるカラーフィルター膜のチ
ップ中央部に対する周辺部の染色性が相違することを防
ぐ為に有効フォトダイオード外にもダミーのカラーフィ
ルター膜を配置すること、及び固体撮像素子のチップ周
辺に配置されている配線アルミニウム電極からの光の反
射を防止するために可能な限りチップ周辺部にもカラー
フィルター膜を配置しチップ表面からの反射を防ぐよう
に考慮されている。つまり前述したＩＥ３Ｔｒａｎｓ。
ｖｏｌ ＥＤ−３２，ＮＣＬ８ （１９８５）の１４７
６頁Ｆｉｇ２に示されているようにカラーフィルター保
護膜７はポンディングパッド部６等を除いて全面チップ
表面を覆うように配置されている。従って通常検出アン
プ回路部分５もこのカラーフィルター保護膜７で覆われ
ている。
６頁Ｆｉｇ２に示されているようにカラーフィルター保
護膜７はポンディングパッド部６等を除いて全面チップ
表面を覆うように配置されている。従って通常検出アン
プ回路部分５もこのカラーフィルター保護膜７で覆われ
ている。
上述した従来のカラー固体撮像素子は検出アンプ部もカ
ラーフィルター保護膜が覆われている。
ラーフィルター保護膜が覆われている。
通常、この検出アンプ５には第２図（ｂ）に示したよう
にフローティングアンプが使用されている。
にフローティングアンプが使用されている。
従ってこのアンプ５のフローティング拡散層１２の上部
にカラーフィルター保護膜７が配置されており、この膜
７には通常有機系の膜が使用される。
にカラーフィルター保護膜７が配置されており、この膜
７には通常有機系の膜が使用される。
従来はポリグリシジルメタクリル酸（ＰＧＭＡ）等が使
用されているが、この膜７の相対透電率は４．２と大き
な値を持ち、第２図（ｂ）に示したようにフローティン
グ拡散層１２が隣接する電極間との容量０１及びＣ２が
増大し、アンプ５の感度が低下する欠点が生じることに
なる。
用されているが、この膜７の相対透電率は４．２と大き
な値を持ち、第２図（ｂ）に示したようにフローティン
グ拡散層１２が隣接する電極間との容量０１及びＣ２が
増大し、アンプ５の感度が低下する欠点が生じることに
なる。
本発明の固体撮像素子は検出アンプ部のフローティング
拡散層上にカラーフィルターアレーを構成する部材が配
置されていない構造を有している。
拡散層上にカラーフィルターアレーを構成する部材が配
置されていない構造を有している。
すなわち、本発明によれば検出アンプ部のフローティン
グ拡散層上にカラーフィルターアレーを構成する部材が
配置されていないので、検出感度が低下することはない
。
グ拡散層上にカラーフィルターアレーを構成する部材が
配置されていないので、検出感度が低下することはない
。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）と第１図（ｂ）は本発明の一実施例のカラ
ー用固体撮像素子のチップ平面図及びこの図に於ける検
出アンプ部を含む素子断面図を示す。
ー用固体撮像素子のチップ平面図及びこの図に於ける検
出アンプ部を含む素子断面図を示す。
それぞれ図は従来例の第２図（ａ）と第２図（ｂ）に対
応したものであって図中の記号は従来例と同一である。
応したものであって図中の記号は従来例と同一である。
第１図の実施例ではカラーフィルター用保護膜７の窓部
２７を有しており、ポンディングパッド部６等の上でカ
ラーフィルター用保護膜７を除去する際に同時にマスク
材パターンを使用して開口除去する。このようにして第
１図（ｂ）に示すようにフローティング拡散層１２上に
配置されるカラーフィルター用保護膜７に開口部２７を
持たせることによりフローティング拡散層１１の容量の
増大を防止し、検出感度の低下を防ぐことができる。
２７を有しており、ポンディングパッド部６等の上でカ
ラーフィルター用保護膜７を除去する際に同時にマスク
材パターンを使用して開口除去する。このようにして第
１図（ｂ）に示すようにフローティング拡散層１２上に
配置されるカラーフィルター用保護膜７に開口部２７を
持たせることによりフローティング拡散層１１の容量の
増大を防止し、検出感度の低下を防ぐことができる。
以上説明したように、本発明は検出アンプ回路を構成す
るフローティング拡散層上のカラーフィルターアレーを
構成する部材を配置させないことによりアンプ感度の低
下を防止して高感度を有するカラー用固体撮像素子を提
供できる効果がある。
るフローティング拡散層上のカラーフィルターアレーを
構成する部材を配置させないことによりアンプ感度の低
下を防止して高感度を有するカラー用固体撮像素子を提
供できる効果がある。
第１図（ａ）および第１図（ｂ）は本発明の一実施例に
よるカラー用固体撮像素子の平面図および検出アンプ回
路部を含むカラー用固体撮像素子の断面図である。第２
図（ａ）および第２図（ｂ）は従来例によるカラー用固
体撮像素子の平面図および検出アンプ回路部を含むカラ
ー用固体撮像素子の断面図である。 １・・・・・・固体撮像素子チップ、２・・・・・・フ
ォトダイオード、３・・・・・・垂直ＣＣＤ、４・・・
・・・水平ＣＣＤ。 ５・・・・・・検出アンプ回路部、６・・・・・・ポン
ディングパッド、７・・・・・・カラーフィルター用保
護膜、１１・・・・・・Ｐ型シリコン基板、１８・・・
・・・埋込チャンネル型ＣＣＤ用Ｎウェル層、１９・・
・・・・水平ＣＣＤの２層駆動用逆戻りバリア層、１０
・・・・・・多結晶シリコンゲート転送電極、φＨ１ｒ
φ□２・・・・・・水平２相駆動ＣＣＤ転送パルス、
ｖｏｏ・・・・・・ＣＣＤ出力（ＤＣ）ゲート電極、φ
８・・・・・・リセットゲートパルス、ＶＲＤ・・・・
・・リセットドレイン、ｖＤＤ・・・・・・電源端子％
ｖｏゎ、・・・・・・出力検出端子、１２・・・・・
・Ｎ型フローティング拡散層、２７・・・・・・カラー
フィルター用保護膜の開口窓代理人 弁理士 内 原
晋 圓（α） 回Ｃ２
よるカラー用固体撮像素子の平面図および検出アンプ回
路部を含むカラー用固体撮像素子の断面図である。第２
図（ａ）および第２図（ｂ）は従来例によるカラー用固
体撮像素子の平面図および検出アンプ回路部を含むカラ
ー用固体撮像素子の断面図である。 １・・・・・・固体撮像素子チップ、２・・・・・・フ
ォトダイオード、３・・・・・・垂直ＣＣＤ、４・・・
・・・水平ＣＣＤ。 ５・・・・・・検出アンプ回路部、６・・・・・・ポン
ディングパッド、７・・・・・・カラーフィルター用保
護膜、１１・・・・・・Ｐ型シリコン基板、１８・・・
・・・埋込チャンネル型ＣＣＤ用Ｎウェル層、１９・・
・・・・水平ＣＣＤの２層駆動用逆戻りバリア層、１０
・・・・・・多結晶シリコンゲート転送電極、φＨ１ｒ
φ□２・・・・・・水平２相駆動ＣＣＤ転送パルス、
ｖｏｏ・・・・・・ＣＣＤ出力（ＤＣ）ゲート電極、φ
８・・・・・・リセットゲートパルス、ＶＲＤ・・・・
・・リセットドレイン、ｖＤＤ・・・・・・電源端子％
ｖｏゎ、・・・・・・出力検出端子、１２・・・・・
・Ｎ型フローティング拡散層、２７・・・・・・カラー
フィルター用保護膜の開口窓代理人 弁理士 内 原
晋 圓（α） 回Ｃ２
Claims (1)
- 半導体基板表面に光電変換部と、該光電変換部で光電変
換された電気信号を検出部に移送する転送部と、この信
号電荷を検出する検出部とを有し、前記光電変換部上に
カラーフィルタアレーが配置された固体撮像素子に於て
、前記検出部の少くとも１部にカラーフィルターアレー
を構成する部材が配置されていないことを特徴とする固
体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148768A JPH07114272B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148768A JPH07114272B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 固体撮像素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022675A true JPH022675A (ja) | 1990-01-08 |
| JPH07114272B2 JPH07114272B2 (ja) | 1995-12-06 |
Family
ID=15460223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63148768A Expired - Lifetime JPH07114272B2 (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | 固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07114272B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03194970A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Sharp Corp | Ｃｃｄ撮像素子 |
| JPH0521780A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Sharp Corp | 固体撮像素子 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5511036A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-25 | Sanyo Electric Co | Garbage disposal plant |
| JPS55120183A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid image pickup element board and method of fabricating the same |
| JPS6125224A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-04 | Nec Corp | 電力供給制御装置 |
| JPS62185490A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラ−画像用固体撮像素子 |
-
1988
- 1988-06-15 JP JP63148768A patent/JPH07114272B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5511036A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-25 | Sanyo Electric Co | Garbage disposal plant |
| JPS55120183A (en) * | 1979-03-09 | 1980-09-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Color solid image pickup element board and method of fabricating the same |
| JPS6125224A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-04 | Nec Corp | 電力供給制御装置 |
| JPS62185490A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-13 | Fuji Photo Film Co Ltd | カラ−画像用固体撮像素子 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03194970A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Sharp Corp | Ｃｃｄ撮像素子 |
| JPH0521780A (ja) * | 1991-07-15 | 1993-01-29 | Sharp Corp | 固体撮像素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07114272B2 (ja) | 1995-12-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071206 Year of fee payment: 12 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081206 Year of fee payment: 13 |