JPH02267730A - 磁気記録媒体の作成方法 - Google Patents
磁気記録媒体の作成方法Info
- Publication number
- JPH02267730A JPH02267730A JP8791889A JP8791889A JPH02267730A JP H02267730 A JPH02267730 A JP H02267730A JP 8791889 A JP8791889 A JP 8791889A JP 8791889 A JP8791889 A JP 8791889A JP H02267730 A JPH02267730 A JP H02267730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- mask
- magnetic
- recording medium
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【産業上の利用分野１
本発明は、磁気記録媒体の作成方法に係り、特に磁気ヘ
ッドをトラッキング制御しながら、ディジタル情報を磁
気的に記録再生するのに好適なトラッキング情報を有す
る磁気記録媒体の作成方法に関する。 【従来の技術】 ディジタル情報を記録する磁気記録媒体においては、デ
ィスク基盤例えばアルミ基盤に磁性筒をスパッタリング
し、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記
録媒体で１枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせてい
る。 ［発明が解決しようとする３厘］ 従来技術は次の点で配慮がなされていなかった。 すなわち、現状の磁気記録媒体の高密度化を図るために
は、記ａ１−ラック幅をもっと狭くしてサーポライドす
る必要があり、そのため磁気記録媒体及び磁気記録装置
の機構部の加工精度を高くする必要がある。しかいなが
ら、それによって磁気記録媒体の生産性は低下し、さら
に磁気記録装置の機構部に超精密さが要求され、安定性
、価格などの点で磁気記録装置として非常に大がかりに
なってしまう欠点がある。 本発明の第１の目的は、磁気的に検出可能で、かつ磁性
膜が居所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を容
易に作成し得る作成方法を提供することにある。 本発明の第２の目的は、磁気ヘッドの高精度なトラッキ
ング電子制御を可能にし、信頼性の高い高密度記録を可
能とする磁気的に検出可能なトラッキング用のピットを
有する磁気記録媒体を容易に作成し得る作成方法を提供
することにある。
ッドをトラッキング制御しながら、ディジタル情報を磁
気的に記録再生するのに好適なトラッキング情報を有す
る磁気記録媒体の作成方法に関する。 【従来の技術】 ディジタル情報を記録する磁気記録媒体においては、デ
ィスク基盤例えばアルミ基盤に磁性筒をスパッタリング
し、初期磁化させた後、サーボライターあるいは磁気記
録媒体で１枚ずつ磁気ヘッドでイニシアライズさせてい
る。 ［発明が解決しようとする３厘］ 従来技術は次の点で配慮がなされていなかった。 すなわち、現状の磁気記録媒体の高密度化を図るために
は、記ａ１−ラック幅をもっと狭くしてサーポライドす
る必要があり、そのため磁気記録媒体及び磁気記録装置
の機構部の加工精度を高くする必要がある。しかいなが
ら、それによって磁気記録媒体の生産性は低下し、さら
に磁気記録装置の機構部に超精密さが要求され、安定性
、価格などの点で磁気記録装置として非常に大がかりに
なってしまう欠点がある。 本発明の第１の目的は、磁気的に検出可能で、かつ磁性
膜が居所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を容
易に作成し得る作成方法を提供することにある。 本発明の第２の目的は、磁気ヘッドの高精度なトラッキ
ング電子制御を可能にし、信頼性の高い高密度記録を可
能とする磁気的に検出可能なトラッキング用のピットを
有する磁気記録媒体を容易に作成し得る作成方法を提供
することにある。
本発明の作成方法は、磁気的に検出可能で、かつ磁性膜
が局所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を作成
することを特徴とする特に、磁気記録媒体上に磁気的に
読み取り得るディスク半径方向に長いピットをそれぞれ
トラック中心線に対して左右に振り分けて形成したトラ
ッキング用マークをトラックに沿って周期的に多数に設
け。 そのピット部には磁性膜のない磁気記録媒体を作成する
ことを特徴とする。 本発明は、まず所望のパターン、例えば、トラック中心
線に対して左右に振り分けたディスク半径方向に長い一
対のピットからなるトラッキング用マークを）・ラック
に沿って周期的に多数設けたパターンを有するマスクを
準備し、磁気７Ｆ股上に設けたレジストを上記マスクを
介して露光し、上記ピットに対応する上記レジストを除
去し、そのレジストをマスクとして上記ピットに対応す
る上記磁気薄膜を除去することにより、所望の部分に磁
気河膜がない磁気記録媒体を作成することを特徴とする
。上記所望のパターンを有するマスクは、該マスクに光
スポットを照射する光学系の送りピッチを光スポツト径
より小さくしてほぼ一様な光量を照射して形成されたパ
ターンを有する。
が局所的に除去された部分を有する磁気記録媒体を作成
することを特徴とする特に、磁気記録媒体上に磁気的に
読み取り得るディスク半径方向に長いピットをそれぞれ
トラック中心線に対して左右に振り分けて形成したトラ
ッキング用マークをトラックに沿って周期的に多数に設
け。 そのピット部には磁性膜のない磁気記録媒体を作成する
ことを特徴とする。 本発明は、まず所望のパターン、例えば、トラック中心
線に対して左右に振り分けたディスク半径方向に長い一
対のピットからなるトラッキング用マークを）・ラック
に沿って周期的に多数設けたパターンを有するマスクを
準備し、磁気７Ｆ股上に設けたレジストを上記マスクを
介して露光し、上記ピットに対応する上記レジストを除
去し、そのレジストをマスクとして上記ピットに対応す
る上記磁気薄膜を除去することにより、所望の部分に磁
気河膜がない磁気記録媒体を作成することを特徴とする
。上記所望のパターンを有するマスクは、該マスクに光
スポットを照射する光学系の送りピッチを光スポツト径
より小さくしてほぼ一様な光量を照射して形成されたパ
ターンを有する。
【作用１
本発明によれば、磁気記録媒体上に所望のパターン、例
えば、トラック中心線に対して左右に振り分けたディス
ク半径方向に長い一対のピットからなるトラッキング用
マークをトラックに沿って周期的に多数設けたパターン
を形成し、その所望部分のみの磁性薄膜を精度よく除去
するでき、磁気的に検出可能で、かつ磁性膜が局所的に
除去された部分を有する磁気記録媒体を容易に作成する
ことが可能である。また、上記所望のパターンを有する
マスクは複数回使用できるので、同じパターンを有する
磁気記録媒体を精度良く容易に作成できる。 【実施例１ 第１図は５本発明による磁気記録媒体の一実施例を示し
、この磁気記録媒体の記録トラックに設けられたトラッ
キング用マークを拡大して示す。 磁気記録媒体基盤１は、ガラス、樹脂、あるいはアルミ
からなる。この媒体基盤１上には磁気記録薄膜媒体５が
形成されている。記録媒体上にはその円周方向に沿って
同心円状あるいはスパイラル状にトラック２が設けられ
ており、トラック２の一周は多数のサーボ領域とデータ
領域とからなる。 これらサーボ領域とデータ領域は第２図（ｂ）に示され
るように交互に設けられている。各サーボ領域にはトラ
ッキング用マークが設けられ、トラック２の中心線に対
して左右に振り分けられたディスク半径方向に長い一対
の長方形ピット３．４が形成されている。これらピット
３．４には磁気記録薄膜５はない。磁気記録薄膜５の初
期磁化の方向６はディスク円周方向、すなわちデータの
記録方向に一様に向いている。 第２図は、第１図に示した本発明による磁気記録媒体か
ら磁気ヘッドでトラッキング信号を検出する動作を説明
するための図で、第１図の磁気記録媒体をその円周方向
、すなわちデータの記録方向に沿っての断面図を示す。 ピット３．４０部分は平坦で、その部分で磁気記録薄膜
５がない。こうすると、各ピットの両端壁にＮとＳの磁
極７．８が形成され、その結果各ピット３．４に磁界が
発生する。このようなピット３．４の部分を磁気ヘッド
１０で走査し、ピット３．４の部分を通過する際に磁気
ヘッド１０内に形成される磁束９をコイル１２で検出す
ることによって、第３図に示す様なトラッキング信号１
１を得ることが出来る。 第４図および第５図を用いて、第１図に示した磁気記録
媒体の作成方法を説明する。第４図は、本発明の一実施
例で用いるホトマスクの記録装置を示す。この記録装置
はクロムホトマスク１３上に紫外レーザ光で所望のピッ
トパターンを記録するものである。第４図において、ク
ロムホトマスク１３は回転軸受けに固定されて回転する
ようになっている。一方、レーザ光たとえばアルゴンレ
ーザ（Ｉ１１＝０．４５ミクロン）は、光変調器で強度
変調され、高ＮＡ（例えばＮＡ＝０．９３）のレンズで
集光すると、回転マスク上に直径０．４ミクロン程度の
円形スポットが形成される。今、第１図に示したピット
３．４は、その寸法がディスク半径方向に長く、例えば
５ミクロンとすると、０．４ミクロンの円形スポットで
は第１図に示した縦長のピット３．４は作れない。第４
図（ｂ）は縦長のピットを形成するための原理を示す。 第４図（ａ）において光学系は移動台に乗ってホトマス
ク１３のディスク半径方向に直線移動するが、その移動
速度はホトマスク１３が１回転する時間に光スポツト径
より小さい距離１例えばほぼ光スポットの半径に相当す
る量だけ動くようように制御するとよい。そうすると第
４図（ｂ）に示す様に、ホトマスク１３の所望の部分に
照射される光量の積分値は一様な矩形になる。いま光ス
ポツト径を０．４ミクロンとし、５ミクロンの縦長ピッ
トを形成するためには、光学系の移動量を０．２ミクロ
ン／回転とし、５１０．２＝２５、すなわちホトマスク
１３が２５５回転てる間所望のタイミングで光を照射す
ればよい。 第４図の装置によって第１図に示したピッ１へパターン
が記録されたマスク１３は現像され、本発明の一実施例
である第５図に示すプロセスで磁気記録媒体が作成され
る。第５図（ａ）では、アルミあるいはガラス等からな
るディスク基盤１上に強磁性膜５を形成し、その上にポ
ジレジスト１４を塗布し、ホトマスク１３を密着露光す
る。第５図（ｂ）では、ポジレジスト１４を露光後、ピ
ット部のレジストをＴＭ、像により溶解する。第５図（
ｃ）では９例えばイオンミリング法によりポジレジスト
１４をマスクとしてピット部の強磁性膜５をエツチング
してピット部の磁性膜５を除去する。その後、第５図（
ｄ）に示すようにプラズマアッシャや有機溶媒などでレ
ジストを除去する。 以上説明したように、第４図および第５図に示した磁気
記録媒体の作成方法によって、第１図に示したピット部
だけに磁性膜のない磁気記録媒体を作成することが出来
る。第４図および第５図に示した方法は、マスク１３に
ピット以外の任意のパターンを形成することも可能で、
例えば直線溝を作っておけば、磁気記録媒体上に磁気薄
膜のない直線溝を形成することも可能である。 【発明の効果】 本発明によれば、磁気ヘッドを高精度にトラッキングす
ることことが可能で、かつ磁気的に検出可能なトラッキ
ング用ピットを有する磁気記録媒体を大量に作成するこ
とが出来る。
えば、トラック中心線に対して左右に振り分けたディス
ク半径方向に長い一対のピットからなるトラッキング用
マークをトラックに沿って周期的に多数設けたパターン
を形成し、その所望部分のみの磁性薄膜を精度よく除去
するでき、磁気的に検出可能で、かつ磁性膜が局所的に
除去された部分を有する磁気記録媒体を容易に作成する
ことが可能である。また、上記所望のパターンを有する
マスクは複数回使用できるので、同じパターンを有する
磁気記録媒体を精度良く容易に作成できる。 【実施例１ 第１図は５本発明による磁気記録媒体の一実施例を示し
、この磁気記録媒体の記録トラックに設けられたトラッ
キング用マークを拡大して示す。 磁気記録媒体基盤１は、ガラス、樹脂、あるいはアルミ
からなる。この媒体基盤１上には磁気記録薄膜媒体５が
形成されている。記録媒体上にはその円周方向に沿って
同心円状あるいはスパイラル状にトラック２が設けられ
ており、トラック２の一周は多数のサーボ領域とデータ
領域とからなる。 これらサーボ領域とデータ領域は第２図（ｂ）に示され
るように交互に設けられている。各サーボ領域にはトラ
ッキング用マークが設けられ、トラック２の中心線に対
して左右に振り分けられたディスク半径方向に長い一対
の長方形ピット３．４が形成されている。これらピット
３．４には磁気記録薄膜５はない。磁気記録薄膜５の初
期磁化の方向６はディスク円周方向、すなわちデータの
記録方向に一様に向いている。 第２図は、第１図に示した本発明による磁気記録媒体か
ら磁気ヘッドでトラッキング信号を検出する動作を説明
するための図で、第１図の磁気記録媒体をその円周方向
、すなわちデータの記録方向に沿っての断面図を示す。 ピット３．４０部分は平坦で、その部分で磁気記録薄膜
５がない。こうすると、各ピットの両端壁にＮとＳの磁
極７．８が形成され、その結果各ピット３．４に磁界が
発生する。このようなピット３．４の部分を磁気ヘッド
１０で走査し、ピット３．４の部分を通過する際に磁気
ヘッド１０内に形成される磁束９をコイル１２で検出す
ることによって、第３図に示す様なトラッキング信号１
１を得ることが出来る。 第４図および第５図を用いて、第１図に示した磁気記録
媒体の作成方法を説明する。第４図は、本発明の一実施
例で用いるホトマスクの記録装置を示す。この記録装置
はクロムホトマスク１３上に紫外レーザ光で所望のピッ
トパターンを記録するものである。第４図において、ク
ロムホトマスク１３は回転軸受けに固定されて回転する
ようになっている。一方、レーザ光たとえばアルゴンレ
ーザ（Ｉ１１＝０．４５ミクロン）は、光変調器で強度
変調され、高ＮＡ（例えばＮＡ＝０．９３）のレンズで
集光すると、回転マスク上に直径０．４ミクロン程度の
円形スポットが形成される。今、第１図に示したピット
３．４は、その寸法がディスク半径方向に長く、例えば
５ミクロンとすると、０．４ミクロンの円形スポットで
は第１図に示した縦長のピット３．４は作れない。第４
図（ｂ）は縦長のピットを形成するための原理を示す。 第４図（ａ）において光学系は移動台に乗ってホトマス
ク１３のディスク半径方向に直線移動するが、その移動
速度はホトマスク１３が１回転する時間に光スポツト径
より小さい距離１例えばほぼ光スポットの半径に相当す
る量だけ動くようように制御するとよい。そうすると第
４図（ｂ）に示す様に、ホトマスク１３の所望の部分に
照射される光量の積分値は一様な矩形になる。いま光ス
ポツト径を０．４ミクロンとし、５ミクロンの縦長ピッ
トを形成するためには、光学系の移動量を０．２ミクロ
ン／回転とし、５１０．２＝２５、すなわちホトマスク
１３が２５５回転てる間所望のタイミングで光を照射す
ればよい。 第４図の装置によって第１図に示したピッ１へパターン
が記録されたマスク１３は現像され、本発明の一実施例
である第５図に示すプロセスで磁気記録媒体が作成され
る。第５図（ａ）では、アルミあるいはガラス等からな
るディスク基盤１上に強磁性膜５を形成し、その上にポ
ジレジスト１４を塗布し、ホトマスク１３を密着露光す
る。第５図（ｂ）では、ポジレジスト１４を露光後、ピ
ット部のレジストをＴＭ、像により溶解する。第５図（
ｃ）では９例えばイオンミリング法によりポジレジスト
１４をマスクとしてピット部の強磁性膜５をエツチング
してピット部の磁性膜５を除去する。その後、第５図（
ｄ）に示すようにプラズマアッシャや有機溶媒などでレ
ジストを除去する。 以上説明したように、第４図および第５図に示した磁気
記録媒体の作成方法によって、第１図に示したピット部
だけに磁性膜のない磁気記録媒体を作成することが出来
る。第４図および第５図に示した方法は、マスク１３に
ピット以外の任意のパターンを形成することも可能で、
例えば直線溝を作っておけば、磁気記録媒体上に磁気薄
膜のない直線溝を形成することも可能である。 【発明の効果】 本発明によれば、磁気ヘッドを高精度にトラッキングす
ることことが可能で、かつ磁気的に検出可能なトラッキ
ング用ピットを有する磁気記録媒体を大量に作成するこ
とが出来る。
第１図は本発明による磁気記録媒体の一例を示す図、第
２図及び第３図は第１図の磁気記録媒体から磁気ヘッド
でトラッキング信号を検出する動作を説明するための図
、第４図及び第５図は本発明による磁気記録媒体作成方
法の一実施例を説明するための図である。 第１図 第４図 ディスク半径方向 レーザ 第５図 篤２Ｔ２
２図及び第３図は第１図の磁気記録媒体から磁気ヘッド
でトラッキング信号を検出する動作を説明するための図
、第４図及び第５図は本発明による磁気記録媒体作成方
法の一実施例を説明するための図である。 第１図 第４図 ディスク半径方向 レーザ 第５図 篤２Ｔ２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、所望のパターンを有するマスクを準備し、磁気薄膜
上に設けたレジストを上記マスクを介して露光し、上記
ピットに対応する上記レジストを除去し、そのレジスト
をマスクとして上記ピットに対応する上記磁気薄膜を除
去することにより、所望の部分に磁気薄膜がない磁気記
録媒体を作成することを特徴とする磁気記録媒体の作成
方法。 ２、上記所望のパターンは、上記マスクに光スポットを
照射する光学系の送りピッチを上記光スポットの径より
小さくしてほぼ一様な光量を照射して形成されたパター
ンであることを特徴とする請求項１記載の作成方法。 ３、上記所望のパターンは、トラック中心線に対して左
右に振り分けたディスク半径方向に長い一対のピットか
らなるトラッキング用マークをトラックに沿って周期的
に多数設けたパターンであることを特徴とする請求項１
または２に記載の作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8791889A JPH02267730A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | 磁気記録媒体の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8791889A JPH02267730A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | 磁気記録媒体の作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02267730A true JPH02267730A (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=13928303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8791889A Pending JPH02267730A (ja) | 1989-04-10 | 1989-04-10 | 磁気記録媒体の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02267730A (ja) |
-
1989
- 1989-04-10 JP JP8791889A patent/JPH02267730A/ja active Pending
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