JPH02268208A - 面粗度の測定方法 - Google Patents
面粗度の測定方法Info
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- JPH02268208A JPH02268208A JP9094989A JP9094989A JPH02268208A JP H02268208 A JPH02268208 A JP H02268208A JP 9094989 A JP9094989 A JP 9094989A JP 9094989 A JP9094989 A JP 9094989A JP H02268208 A JPH02268208 A JP H02268208A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、転写剤による面粗度の測定方法に関するもの
であり、転写試料と標準試料との拡大観察を用いた比較
による面粗度の測定方法に関するものである。
であり、転写試料と標準試料との拡大観察を用いた比較
による面粗度の測定方法に関するものである。
［従来技術］
従来、面粗度の測定方法には次のような方法がある。
（１） 触針式の表面アラサ測定機による測定方法。
（２）光波干渉式の表面アラサ測定機による測定方法。
（３）透過型電子顕微鏡による測定で酸化被膜などのレ
プリカを用いて行う測定方法。
プリカを用いて行う測定方法。
［発明が解決しようとする課Ｍ］
しかしながら、それぞれ次のような問題点かある。
（１）触針式においては四部や複雑形状で触針が入らな
い箇所は測定不可能であった。
い箇所は測定不可能であった。
（２）光波干渉式においては、凹凸部の大きな物は測定
不可能で、又被測定物が複雑形状の時は、がなり手間が
かかった。
不可能で、又被測定物が複雑形状の時は、がなり手間が
かかった。
（３）透過型電子顕微鏡による測定では、酸化被膜剥離
時に充分手間がかかり、又測定範囲がかなり狭い。
時に充分手間がかかり、又測定範囲がかなり狭い。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたも
のであり、複雑形状の被測定物の表面の面粗度を簡易に
測定し得る測定方法を提供することを目的としている。
のであり、複雑形状の被測定物の表面の面粗度を簡易に
測定し得る測定方法を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するために本発明の面粗度測定方法は、
被測定物の表面に経時的に固形化する粘質材料から成る
転写試料を塗着する工程と、その固形化した転写試料を
被測定物から剥離する工程と、その剥離した転写試料と
予め用意される標準試料とを拡大観察により比較する工
程とから成る。
被測定物の表面に経時的に固形化する粘質材料から成る
転写試料を塗着する工程と、その固形化した転写試料を
被測定物から剥離する工程と、その剥離した転写試料と
予め用意される標準試料とを拡大観察により比較する工
程とから成る。
［実施例］
以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
最初に第１図を参照して、被測定物の形状を説明する。
被測定物は第１図に示されているような平歯車の歯車形
状を備えた金型１で歯車部２は放電加工によって型彫り
されている。
状を備えた金型１で歯車部２は放電加工によって型彫り
されている。
次に、第２図、第３図を用いて測定の実施例を示す。
前記金型１に彫られた前記歯形部２の表面粗さを測定す
るわけであるが、触針式では触針が入り切らず測定不可
能で、測定するためには、その金型の切断が必要になっ
て米る。そこで、経時的に固形化する粘質材料からなる
二液混合型のシリコンゴムを転写試料３として使用し、
前記金型１へ第２図で示されるように適量へらで塗着さ
せる。
るわけであるが、触針式では触針が入り切らず測定不可
能で、測定するためには、その金型の切断が必要になっ
て米る。そこで、経時的に固形化する粘質材料からなる
二液混合型のシリコンゴムを転写試料３として使用し、
前記金型１へ第２図で示されるように適量へらで塗着さ
せる。
数分後前記転写試料３を前記金型１から離型させ、走査
型電子顕微鏡試料４にするために第３図のように、１０
−輪周程度にカッターで切り取る。それを走査型電子顕
微鏡層試料ホルグー５に接着剤で取り付け、金蒸着を施
す、その後試料をセットし、測定したい箇所を観察し、
表面状態のわかりやすい所を写真撮影する。そこで、そ
の転写試料より得られた電顕写真８を予め用意された各
種面粗度の標準試料の電顕写真６．７と比較し、写真上
の円凸の大きさ上り面粗度を定量化する。
型電子顕微鏡試料４にするために第３図のように、１０
−輪周程度にカッターで切り取る。それを走査型電子顕
微鏡層試料ホルグー５に接着剤で取り付け、金蒸着を施
す、その後試料をセットし、測定したい箇所を観察し、
表面状態のわかりやすい所を写真撮影する。そこで、そ
の転写試料より得られた電顕写真８を予め用意された各
種面粗度の標準試料の電顕写真６．７と比較し、写真上
の円凸の大きさ上り面粗度を定量化する。
本発明は以上詳述した実施例に限定されるものではなく
、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加え
ることができる。
、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加え
ることができる。
例えば、放電加工により型彫りされた金型の型底と側面
により形成される陵の仕上げ状態の観察などにも用いる
ことが可能である。
により形成される陵の仕上げ状態の観察などにも用いる
ことが可能である。
［発明の効果］
以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、次のような効果が得られる。
、次のような効果が得られる。
（１）触針式では測定できない複雑形状の被測定物の面
粗度測定において、被測定物の切断を伴わず、凹部にも
充填が可能である転写試料を用いるため、極めて作業性
が良い。
粗度測定において、被測定物の切断を伴わず、凹部にも
充填が可能である転写試料を用いるため、極めて作業性
が良い。
（２）光波干渉式は非常に良い仕上面（〜０，８Ｓ）の
場合に限られているが、本方法によれば粗い仕上面でも
測定可能である。
場合に限られているが、本方法によれば粗い仕上面でも
測定可能である。
（３）透過型電子顕微鏡による測定では酸化被膜の剥離
時に手間がかかり、膜の破損という危険が伴なったが、
本方法は、剥離後は固形化されており通常破損の危険が
ないので扱いやすい。
時に手間がかかり、膜の破損という危険が伴なったが、
本方法は、剥離後は固形化されており通常破損の危険が
ないので扱いやすい。
以上より、本発明方法では、従来法の課題をすべて解決
する効果がある。
する効果がある。
第１図から第４図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第１図（ａＨｂ）は、平歯車の歯車形状を有
した金型の概略図であり、第２図（ａ）（ｂ）は、第１
図金型に転写試料を塗着した状態図であり、第３図は、
走査型電子顕微鏡用試料の装着状態の概略図であり、第
４図は、標準試料と、測定試料の電顕写真の概略図であ
る。 ３・・・転写試料、６・・・標準試料、７・・・標準試
料。 特許出願人 ブラザー工業株式会社 取締役社長 安井義博 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図 第 ４ 図
すもので、第１図（ａＨｂ）は、平歯車の歯車形状を有
した金型の概略図であり、第２図（ａ）（ｂ）は、第１
図金型に転写試料を塗着した状態図であり、第３図は、
走査型電子顕微鏡用試料の装着状態の概略図であり、第
４図は、標準試料と、測定試料の電顕写真の概略図であ
る。 ３・・・転写試料、６・・・標準試料、７・・・標準試
料。 特許出願人 ブラザー工業株式会社 取締役社長 安井義博 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定物の表面に経時的に固形化する粘質材料から
成る転写試料を塗着する工程と、その固形化した転写試
料を被測定物より剥離する工程と、その剥離した転写試
料と予め用意される各種面粗度の標準試料とを拡大観察
により比較する工程とから成ることを特徴とする被測定
物の面粗度の測定方法。 ２、前記粘質試料が二液混合型のシリコンゴムから成る
ことを特徴とする請求項１に記載の面粗度の測定方法。 ３、前記転写試料と前記標準試料との拡大観察が走査型
電子顕微鏡により実施されることを特徴とする請求項１
に記載の面粗度の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094989A JPH02268208A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 面粗度の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9094989A JPH02268208A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 面粗度の測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02268208A true JPH02268208A (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=14012724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9094989A Pending JPH02268208A (ja) | 1989-04-11 | 1989-04-11 | 面粗度の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02268208A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033291A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Mitsutoyo Corp | 粗さ標準片及びその製造方法 |
| JP2016148538A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | マツダ株式会社 | 検査方法 |
-
1989
- 1989-04-11 JP JP9094989A patent/JPH02268208A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033291A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Mitsutoyo Corp | 粗さ標準片及びその製造方法 |
| JP2016148538A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | マツダ株式会社 | 検査方法 |
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