JPH02268228A - 圧力センサおよび圧力センサを用いた気体流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 本発明は、フルイブイック流量計やカルマン渦流量計な
どに用いて最適な、高分子圧電膜を使用した圧力センサ
、およびその圧力センサを用いた気体流量計に関する。

［従来の技術］ 流体、とくに気体の流量を精度よく検出できる流量計と
して、フルイブイック流量計やカルマン渦流量計が知ら
れている（たとえば特開昭５７−１１０９１８号公報、
特開昭５８−１６９０３０号公報、特開昭６０−１８７
８１４号公報）。フルイブイック流量計は、特開昭６０
−１８７８１４号公報にも示されているように、流量計
素子部においで、噴出ノズルから噴出された流体の主流
を一対の隔壁に交互に沿わば、その流動変化の際に生じ
る圧力変動を圧力センサで検出し、流体の流量を該流量
に応じた圧力変動の周波数で検出するようにしたもので
ある。カルマン渦流量計は、特開昭５７−１１０９１８
号公報や特開昭５８−１６９０３０号公報にも示されて
いるように、流量計素子部内に設けられた渦発生体によ
り流通流体中にカルマン渦を断続的に発生させ、カルマ
ン渦が通過する際に生じる圧力変動を圧力センサで検出
し、流体の流量を該流量に応じたカルマン渦発生数で検
出するようにしたものである。

このような流量計に用いられる圧力センサとしては、高
感度、つまり微弱な圧力変化および広い周波数にお【ブ
る圧力変化まで検出できる程望ましく、かつ、構造が簡
単で安価にしかも容易に製作できることが望ましい。

従来この種の流量計に用いられる圧力センサの代表的な
ものとして、上述の特開昭５７−１１０９１８号公報に
開示され、さらには「日経エレクトロニクス、　１９８
５年発行」に詳述されている、シリコンダイヤフラムを
用いた圧力センサ、および特開昭５８−１６９０３０号
公報に開示されているような高分子圧電膜を用いた圧力
センサが知られている。

［発明が解決しようとする課題１ しかしながら、シリコンダイヤフラムを用いた圧力セン
４）゛には以下のような問題がある。

すなわち、シリコンチップ自身は圧電材料ではないので
それ自身には圧力検出機能かなく、圧ノＪ変化をその歪
による抵抗変化として検出する方式であるため、ブリッ
ジ回路等の抵抗変化検出回路が必要となる。また、シリ
コンチップは剛体に近く、それを薄くするためのエツチ
ング加工にも限度があるため、微弱な圧力変化を検出す
るのは困難である。したがって、感度を良くするには限
度があり、かつ構造上圧力の変化に対し追従できる周波
数域は狭い。

また、製造上シリコンダイヤフラムの厚さの制御が難し
く、圧力センサとしての感度のばらつきが大きいという
問題もある。ざらに、温度によって大きく変化する抵抗
の変化を検出する方式であるため温度補償が不可欠であ
り、通常この温度補償回路も集積して製作するので、製
造に複雑な技術を要する。また、製造に大型の設備を要
する。

ざらに上述の如き製造の難しさ、検出、補償回路の必要
性のため、シリコンダイヤフラム式圧力センサは通常相
当高価なものとなり、とくに高感度のものは著しく高価
なものとなっている。

この点高分子圧電膜を用いた圧力センサにおいては、高
分子圧電膜自身が圧電材料であるから白身から発生する
電位差を直接電圧信号として出力することが可能であり
、感度向上が可能である。

また、高分子圧電膜はシリコンチップに比べ容易に変形
できる高い柔軟性を有し、かつ製造上薄膜も容易に製作
できるとともにその厚さも精度よく制御できることから
も、高い感度と広い圧力変化周波数域への追従が可能で
ある。

ところが、特開昭５８−”ｌ　６９０３０号公報に示さ
れているような高分子圧電膜を用いた圧力センサには、
以下のような問題がある。

つまり、高分子圧電膜を流体の流路の中に直接入れる圧
力検出方式であるため、高分子圧電膜が流体によって傷
付けられやすく、長期間の使用に耐え難い。そのため高
分子圧電膜の特徴を生かして高感度の圧力センサとする
ことが難しい。

また、高分子圧電膜を薄い金属板に貼合せて圧力検出部
が溝成されているので、圧力検出部の柔軟性が高分子圧
電膜のみの場合よりも低下してしまい、微弱圧力変化に
対する感度が低く抑えられてしまうとともに、極低周波
数や高周波数の圧力変化に追従するのが困難であるとい
う問題がある。

本発明の目的は、微弱な圧力変化まで検出できるととも
に広い周波数域の圧力変化まで検出できる高感度な、か
つ構造が簡単で製造容易な、実用に適した圧力センサを
提供することにある。

また本発明の別の目的は、上記高感度圧力セン９を用い
た高精度の気体流量計を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的に沿う本発明の圧ノＪセンサは、平面状に張設
された高分子圧電膜と： 核晶分子圧電膜の両面にそれぞれ設けられた電極層と： 該両組極層を介して前記高分子圧電膜の周縁部を両側か
ら保持し、高分子圧電膜の両側にそれぞれ、流体の圧力
が導入される圧力室を形成する圧力室形成体と： 前記両圧力室へと個別に流体の圧力を導入する２個の入
口ノズルと： 前記高分子圧電膜の変形により生じる高分子圧電膜両面
間の電位差が前記両組極層を介して伝達され、該電位差
を増幅して出力する増幅器と；を備え、かつ、各前記入
口ノズルから、対応する各前記圧力室に至る導圧経路は
、曲折しているものから成る。

この圧力センサの測定対象流体は、気体と液体の両方が
可能である。

この圧力センサは、フルイブイック流量計やカルマン渦
流柵計からなる気体流量計に用いて最適な圧力センサで
あり、圧力センサの上記２個の入口ノズルが、２本の導
圧用チューブ等を介して、流通される流体の流量に応じ
た圧力変動を発生ｌる流量計素子部に接続される。接続
においては、２つの導圧経路、つまり導圧用デユープの
入口端から各圧力室、高分子圧電膜の各面に至るまでの
経路の容積が等しくなるようにすることが好ましい。

上記圧力センサにおける高分子圧電膜は、たとえばポリ
フッ化ビニリデンと３フツ化エチレンの共重合体から構
成される。膜厚は、感度、強度、取扱いの容易性の点か
ら１０〜１００ＬｔＴｒＬの範囲から選ぶのが好ましい
。膜厚は周知の製膜技術により、容易にかつ高精度に制
御可能である。

高分子圧電膜の両面に設けられる電極層は、アルミニウ
ム、銅、金、ニッケル、パラジウム等の材質から構成さ
れ、蒸着、スパッタリング、メツキ等のメタライジング
手法により高分子圧電膜の面に形成される。

各入口ノズルから、対応する各圧力室に至る導圧経路は
、導入されてくる流体が直接的に高分子圧電膜面に当た
らないよう、曲折構造になっている。

高分子圧電膜両面間の電位差の増幅器への伝達について
は、両組極層を直接リード線等を介して増幅器に接続す
るようにしてもよいが、両組極層に接続される圧力室形
成体又はその表面を導電体で構成し、そこからリード線
等を介して増幅器に接続する方が、構造的に簡単である
。

［作　ｆｌ’ｌ］ 上記のような圧力センサにおいては、流体の圧力が、２
個の入口ノズルを介して両圧力室に個別に導入され、高
分子圧電膜両側の差圧により高分子圧電膜が変形され、
変形による自発分極によって電荷が膜表面に生じて高分
子圧電膜両面間に電位差が生じ、該電位差が両組極層を
介して増幅器に伝達され、増幅器で増幅された電圧信号
が出力される。

シリコンダイヤフラム式圧力センサに比べ、高分子圧電
膜自身から信号が発生するので、増幅器のみで目標とす
る出力信号が取り出せる。また、特開昭５８−１６９０
３０＠公報の開示の構造に比べ、高分子圧電膜は圧力検
出流体の流通部に直接は曝されないので、膜支持のため
の金属板等が不要であるとともに、高分子圧電膜のもつ
柔軟性を実質的にそのまま生かして、高感度化できると
ともに広い周波数域の圧力変動に追従させることができ
る。

また、−枚の高分子圧電膜の両面に流体圧を導くので、
同一の測定対象流体に対して２個の入口ノズルをそれぞ
れ異なる測定位置へと接続することより、流体全体の圧
力変動については両圧力室に同時に導きつつ一方の経路
からはその測定位置に対応する局部的な圧力変動を導く
ことができる。

流体全体の圧力変動は高分子圧電膜の両面に同時に伝達
されるので、高い周波数の変動成分によって高分子圧電
膜が変形することは抑えられる。そして、差圧に対応し
た電位差および差圧発生回数に対応した周波数の信号が
出力される。したがって、この圧力センサをフルイブイ
ック流量計や力ルマン渦流口計の流量計素子部に接続す
ることにより、ノイズとなり得る流体全体の高い周波数
の変動成分を自動的に消去しつつ、流体振動による圧力
変動成分あるいはカルマン渦による圧力変動成分のみを
高精度で検出できるようになり、複雑な補償回路等をも
たない簡単な構造でありながら、感度の極めて高い流量
計が実現される。

［実施例］ 以下に、本発明の望ましい実施例を図面を参照して説明
する。

第１図は、本発明の一実施例に係る圧力センサ、第２図
は高分子圧電膜の構成を示しており、第３図はこの圧力
センサをフルイブイック流量計に使用した場合、第６図
はカルマン渦流量計に使用した場合の例をそれぞれ示し
ている。

第１図において、１は本発明に係る圧力センサ全体を示
しており、該圧力センサ１は、第２図にも拡大して示す
ような、高分子圧電膜２を有している。高分子圧電膜２
は、平面状にかつ変形可能に張設されている。高分子圧
電膜２の材質は、本実施例ではポリフッ化ビニリデンと
３フツ化エチレンの共重合体を使用したが他の高分子圧
電材料を用いてもよい。高分子圧電膜２の厚さは、感度
、強度、取扱い易さの点から、気体圧力センサとしては
１０〜１００μｍが適当で、本実施例では１５μｍとし
た。ただし本発明に係る圧力センサは、勿論液体用のも
のも含み、測定対象液体に応じて高分子圧電膜の厚さ、
後述の電極部等の構造を適宜選択すればよい。また、図
示は省略するが、測定対象流体、圧力変動の大きさによ
っては、薄い金属又はゴム製ダイヤフラムに高分子圧電
膜を張り付け、仝休を補強された高分子圧電膜として扱
うことも可能である。

高分子圧電膜２の両面には、それぞれ、蒸着、スパッタ
リング、メツキ等のメタライジングにより極薄電極層３
．４が形成されている。電極層３．４の材質は、前述の
如く、アルミニウム、銅、金、ニッケル、パラジウム等
から選択される。高分子圧電膜２の周縁部は、両側から
、電極層３．４を介して圧力室形成体としてのホルダ電
極５．６によって挾持されている。ホルダ電極５．６も
導電体、たとえば真ちゅうで構成され、電極５が電極層
３と、電極６が電極層４とそれぞれ導通されており、両
者間は高分子圧電膜２によって絶縁されている。ホルダ
電極５．６は、高分子圧電膜２の両側に、流体の圧力が
導入される圧力室７．８を形成しており、圧力室７．８
は、絞り９．１０部分以外は流体封入タイプに形成され
ている。　高分子圧電膜２を保持したホルダ電極５．６
は、フェノール樹脂からなるボデー１１に保持されてお
り、ボデー１１によりホルダ電極５．６の両側に、絞り
９を介して圧力室７と連通する前室１２、および絞り１
０を介して圧力室８と連通する前室１３が形成されてい
る。このボデー１１の材質は、絶縁体であれば任意の他
のエンジニアリングプラスヂックが使用できる。なお、
絞り９．１０は、直径０．１〜０．５ｍｍ程度が適当で
ある。

前室１２．１３は、導入路１４．１５を介して２個の入
口ノズル１６．１７にそれぞれ個別に連通している。

入口ノズル１６．１７は、本実施例では同方向に向けて
開口されているが、開口方向は任意の方向でよい。ただ
し、導入路１４．１５の前室１２．１３への開口部は、
絞り９．１０とは対向されずに位置がずれている。すな
わち、導圧経路が曲折／ｌ！４造になっている。そして
本実施例では、入口ノズル１６から圧力室７に至る流体
圧力導入経路の容積と、入口ノズル１７から圧力室８に
至る流体圧力導入経路の容積とが等しくなるように、各
通路容積が設定されている。

ホルダ電極５．６には、それぞれ、ハンダ付は等により
リード線１８．１９が接続され、リード線１８．１９は
増幅器２０に接続されている。この増幅器２ｏには、高
分子圧電膜２の変形により生じる高分子圧電膜両面間の
電位差が電極層３．４、ホルダ電極５．６、リード線１
８．１９を介して伝達され、増幅器２０で電位差が増幅
されて電圧信号として出力端子２１から出力される。増
幅器２０は樹脂２２に埋設され、樹脂２２とボデ−１１
全体はシールドケース２３に収納されている。シールド
ケース２３は、本実施例では真ちゅう板を加工して作製
したが、樹脂製ケ−ス表面にメタライジング加工するか
、導電性樹脂を使用して成型加工してもよい。

上記のように構成された圧力センサ１の作用を、該圧カ
センザ１をフルイブイック気体流量計に用いた場合の構
成および作用とともに以下に説明する。

第３図は、圧力セン４ノ１をフルイブイック流量計に適
用した場合の構成を示しており、図中３０がフルイブイ
ック流量計における流量計素子部を示している。流量計
素子部３０を、矢印の方向に測定対象気体が流通される
。３１は流路縮小部で、その先端の噴出ノズル３２から
流速の増大された噴流が噴出される。噴流の主流は、流
路拡大部３３を構成する一対の隔壁３４．３５のいずれ
か一方の壁面に沿って流れるが、該壁面流は方向転換さ
れて制御ノズル３６（又は３７）から上記噴出ノズル３
２からの噴流に直交するように指向され、噴出ノズル３
２からの噴流がもう一方の隔壁に沿って流れるよう力が
作用する。これがくり返されるため気体は隔壁３４．３
５に対し交互に沿うように流れ、この流動変化に対応し
て流量計素子部３０内に圧力変動が生じる。

上記流動変化の周波数は気体流量に比例しているので、
圧力変動の周波数を検出することにより流量を測定でき
る。なお、図における３８は、噴流をいずれか一方の隔
壁に効率よくふり向けるためのターゲットである。

上記のような流量計素子部３０内に、内圧取出口３９．
４０が設けられ、内圧取出口３９．４０が導圧用チュー
ブ４１．４２を介して圧力センサ１の入口ノズル１６．
１７にそれぞれ接続される。図中４３は、前）ホの圧力
センサ１における、高分子圧電膜２を含む圧力検出部を
略して示したものである。

流量計素子部３０の内部で流れが内圧取出口３９側に切
替ったとき、内圧取出口３９近傍の流体圧力は内圧取出
口４０近傍よりも高くなり、逆に流れが内圧取出口４０
側に切替ると、内圧取出口４０近傍の流体圧力の方が高
くなる。この内圧取出口３９．４０間の周期的な圧力変
動が、導圧用チューブ４１、入口ノズル１６、導入路１
４、前室１２、絞り９、圧力苗７の導圧経路と、導圧用
チューブ４２、入口ノズル１７、導入路１５、前室１３
、絞り１０、圧力室８の導圧経路とを通して、高分子圧
電膜２の両面側にそれぞれ導かれる。したがって、高分
子圧電膜２の両面側には、交互に大小関係が逆の差圧が
くり返し作用し、該差圧により高分子圧電膜２が圧力室
７側と圧力室８側とに交互に変形する。変形による自発
分極により高分子圧電膜２の表面には電荷が生じ、両面
間には交番状電位差が生じる。この電位差の変化の周期
は、上述の流量計素子部３０内における流動変化の周期
と同一であり、この電位差が電極層３．４、ホルダ電極
５．６、リード線１８．１９を介して増幅器２０に伝達
され、適切に増幅されて電圧信号として出力される。こ
の電圧信号を適当な信号処理回路（図示路）に送り、電
気パルス列に整調して単位時間当りのパルス発生数を計
測すれば、流量計素子部３０における気体流量に比例し
た信号が得られ、流量が測定される。また、前述の内圧
取出口３９．４０におる差圧は流量に対応し、高分子圧
電膜２両面に導入された圧力の差圧の大ぎざと高分子圧
電膜２の変形量とが比例し、高分子圧電膜２の変形量と
変形により高分子圧電膜２から発生する電圧の大きさと
は比例するので、出力信号を、その大きさが圧力に比例
したアナログ信号として取り出すことも可能である。

この圧力センサ１は、高分子圧電膜２を両側に圧力室７
．８を有する状態にて、実質的に容器状体の中に閉じ込
めた状態で保持し、流体の流れによる不必要な力が直接
的に高分子圧電膜２に作用しないようにしたので、高分
子圧電膜２を保護および補強板等なしで使用できるとと
もにその膜厚も１０〜１００μ雇と非常に薄くでき、高
分子圧電膜２の柔軟性の特徴を最大限に発揮させて、極
めて微弱な差圧によっても高分子圧電膜２の変形による
出力信号を得ることができる。したがって上記流量計に
適用した場合にも圧力変動に対する検出感度が極めて高
い。従来のピエゾ抵抗効果を利用するシリコン製ダイヤ
フラムで検出素子を構成する圧力センサでは、通常、高
感度タイプでも０．２ｓｎＨ２０程度の圧力変動までし
か検出できないが、本発明による圧力センサ１では、０
．００２　ｍ）−１２０程度の微小圧力変動の検出が可
能になる。また、高分子圧電膜２の両面にメタライジン
グによる極く薄い電極層３．４を形成するだけであるか
ら、実質的に高分子圧電膜２のみの場合と同等の圧電膜
柔軟性を維持でき、上記の如く微小圧力変動の検出とと
もに、０．１トｔｚ〜故ＭＨｚ程度の広い周波数域の斥
力変動に追従することが可能となる。

また、高分子圧電膜２は、その製造において、比較的容
易に高精度に厚さ制御できる。膜厚が高粘度に設定され
ることにより、高感度に加え、測定精度も向上される。

また、導入路１４．１５の前室１２．１３への開口部を
、絞り９．１０とは対向させずにずらして配置したので
、導入流体中にたとえ微粒異物が混入したとしても、そ
れが圧電膜面に付着、衝突したり、噴流が高分子圧電膜
２を直撃して圧電膜を損傷させたり感度低下を起こすこ
とが防止される。

また、高分子圧電膜２の両面に流体圧を導く構造である
ので、圧力センサ１を上記のような流量計に使用した場
合、内圧取出口３９．４０から導入される流体全体の高
い周波数の圧力変動成分は高分子圧電膜２の両面に同時
に等しく加わることになり、流体流量測定上ノイズとな
り１ｑる流体全体の高い周波数の圧力変動成分によって
は高分子圧電膜２は変形せず、この高い周波数のノイズ
成分を自動的に消去することが可能となる。

とくに入口ノズル１６．１７から圧力室７．８に至る両
導圧経路の容積を等しくしているので、導圧用チューブ
旧、４２を長さを整えることにより、内圧取出口３９．
４０から高分子圧電膜２両面への圧力伝達速度が等しく
なり、上記濾波効果が高く保たれる。この浦波効果につ
いて、第４図に示す如く、高分子圧電膜５０の両側にホ
ルダ電極５１．５２により圧力室５２．５４を形成した
テスト用圧力センサ５５を用い、圧空源５６から供給さ
れてくる空気を絞り弁５７で絞り、それによって発生す
る可聴周波数ノイズを小型タンク５８から導圧用チュー
ブ５９．６０、圧力センサ５５の両人ロノズル６１．６
２を介して高分子圧電膜５０両面に導き、増幅器６３を
介して出力端子６４から出力電圧を測定する装置を用い
て、導圧用チューブ５９．６０の内容積差を変えて可聴
周波数ノイズ低減効果を調べた。その結果、第５図に示
すように、導圧用チューブ５９．６０の容積差のある場
合と比較して、容積差を２０ｒｎｍ３以内に整えれば、
ノイズは殆んど消去できることが判った。したがって、
前述の如く、第３図に示した流量測定において、高分子
圧電膜２両面への両導圧経路の容積差を無くすることに
よって、流体全体に発生するノイズは略完全に消去され
る。これに加え、圧力セン４ノ１における前室１２．１
３および絞り９．１０は低域フィルタとして作用するの
で、測定対象流体に伝わってくる外部騒音や配管系の絞
り部分で発生するノイズは効率よく消され、流量耐出力
信号とノイズとの比（ＳＮ比）は極めて高くなる。

次に第６図に本発明による圧力センサをカルマン渦流量
計に使用した場合の例を示す。

第６図において、７０はカルマン渦流量計の流研計素子
部を示しており、７１は渦発生体を示している。図の矢
印の方向に流れてきた流体は、渦発生体１１に当たるこ
とにより、その後流に断続的にカルマン渦７２を発生さ
せる。このカルマン渦７２の通過部分に、一方の内圧取
出ロア３が設けられ、他方の内圧取出ロア４は流量計素
子部７０の内壁面部に設けられている。両内圧取出ロア
３．７４は、導圧用チューブ７５．７６を介して圧力セ
ンサ１の入口ノズル１６．１７に接続される。その伯の
構成は第３図および第１図に示した構成に準じる。

このようなカルマン渦流量計においては、流体の流量に
比例して単位時間当りのカルマン渦の発生数が変化し、
内圧取出ロア３部におけるカルマン渦通過数を計測する
ことにより流量が検出される。

カルマン渦通過の際の圧力変動が、内圧取出ロア３、導
几用チューブ７５、入口ノズル１６を介して高分子圧電
膜２の片面側に導入され、内圧取出ロア４、導圧用チュ
ーブ７６、入口ノズル１７を介して通過流体全体の圧力
および圧力変動が高分子圧電膜２の他面側に導入される
。したがって高分子圧電膜２の両面に圧力を導入して差
圧を検出することにより流体全体の圧力変動分（高い周
波数のノイズ分）が効果的に消去されつつ、柔軟な高分
子圧電膜２によってカルマン渦通過による圧力変動が精
度よく検出され、高感度、高精度の流量測定が可能にな
る。その仙の作用は前述のフルイブイック流量計の場合
に準じる。

以上の説明はフルイブイック流量計、カルマン渦流量計
について行ったが、他の流量計であっても圧力変動検出
を必須とするものであれば本発明による圧力センサの適
用が可能である。また、本発明による圧力センサは高分
子圧電膜の両面側の差圧を検出できるようになっている
が、たとえば一方の入口ノズルを大気開放しておき、他
方の入口ノズルに測定対象流体の圧力を導くようにすれ
ば、大気圧に対するゲージ圧を高感度で測定することが
できる。さらに一方の入口ノズルを予め較正された一定
圧の流体が封入された封入容器に接続しておき、他方の
入口ノズルに測定対象流体の圧力を導くようにすれば、
圧力の絶対値を高精度で検出できる圧力センサとして使
用することもできる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の圧力センサによるときは
、高分子圧電膜の両側に圧力室を形成し、２個の入口ノ
ズルから個別に流体圧力を高分子圧電膜の両側に導入し
て高分子圧電膜の有する柔軟性を維持させつつ両側の差
圧を検出できるようにしたので、微弱な圧力変動まで高
感度で検出できるとともに極低周波から超高周波までの
広い周波数域の圧力変動まで検出できる。また、信号処
理としては、高分子圧電膜自身から発生する電位差を増
幅器で増幅するだけで適切な電圧信号として出力できる
ので、応答速度が極めて速いとともに構造的にも極めて
簡単であり、製造が容易であるとともに安価な圧力セン
サを実現できる。しかも、導圧経路を曲折させているの
で、導入流体中にたとえ微粒異物が混入したとしても、
それが圧電膜面に付着、衝突したり、噴流が高分子圧電
膜を直撃して圧電膜を損傷させたり感度低下を起こすこ
とが防止される。

また本発明による圧力センサをフルイブイック流量計や
カルマン渦流量計に使用することにより、低流量域から
高流量域まで高感度な流量測定を行うことができ、かつ
ノイズ成分を実質的に消去して高精度な流量測定を行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る圧力センサの断面図、 第２図は第１図の圧力センサの高分子圧電膜の拡大部分
断面図、 第３図は第１図の圧力センサをフルイブイック流量計に
使用した場合の概略構成図、 第４図は本発明による圧力センサの濾波効果を試験する
ための装置の系統図、 第５図は第４図の装置による試験の結果を示す容積差と
ノイズの大ぎさとの関係図、 第６図は第１図の圧カレンサをカルマン渦流量計に使用
した場合の概略構成図、 である。 １．５５・・・・・・圧力センサ ２．５０・・・・・・高分子圧電膜 ３．４・・・・・・電極層 ５．６．５１．５２・・・圧力字形成体としてのホルダ
電極 ７．８．５３．５４・・・圧力室 ９．１０・・・・・・絞り １１・・・・・・・・・・・・ボデー １２．１３・・・・・・前室 １４．１５・・・・・・導入路 １６．１７．６１．６２・・・入口ノズル１８．１９・
・・・・・リード線 ２０、６３・・・・・・増幅器 ２１．６４・・・・・・出力端子 ２３・・・・・・・・・・・・シールドケース３０・・
・・・・・・・・・・フルイブイック流量計の流量Ｓ１
素子部 ３１・・・・・・・・・・・・流路縮小部３２・・・・
・・・・・・・・噴出ノズル３４．３５・・・・・・隔
壁 ３６．３７・・・・・・制御ノズル ３８・・・・・・・・・・・・ターゲット３９．４０１
７３．７４・・・内圧取出口４１．４２．５９．６０１
７５．７６ ・・・・・・・・・・・・導圧用チューブ４３・・・・
・・・・・・・・圧力検出部５６・・・・・・・・・・
・・圧空源 ５７・・・・・・・・・・・・絞り弁 ５８・・・・・・・・・・・・小型タンク７０・・・・
・・・・・・・・カルマン渦流量計の流量計 素子部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、平面状に張設された高分子圧電膜と； 該高分子圧電膜の両面にそれぞれ設けられた電極層と； 該両電極層を介して前記高分子圧電膜の周縁部を両側か
   ら保持し、高分子圧電膜の両側にそれぞれ、流体の圧力
   が導入される圧力室を形成する圧力室形成体と； 前記両圧力室へと個別に流体の圧力を導入する２個の入
   口ノズルと； 前記高分子圧電膜の変形により生じる高分子圧電膜両面
   間の電位差が前記両電極層を介して伝達され、該電位差
   を増幅して出力する増幅器と；を備え、かつ、各前記入
   口ノズルから、対応する各前記圧力室に至る導圧経路は
   、曲折していることを特徴とする圧力センサ。 ２、前記流体が気体である請求項１記載の圧力センサ。 ３、流通される気体の流量に応じた圧力変動を発生する
   流量計素子部に、請求項２記載の圧力センサの前記２個
   の入口ノズルを接続した気体流量計。