JPH01299416A - 流量変換装置 - Google Patents
流量変換装置Info
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- JPH01299416A JPH01299416A JP63129882A JP12988288A JPH01299416A JP H01299416 A JPH01299416 A JP H01299416A JP 63129882 A JP63129882 A JP 63129882A JP 12988288 A JP12988288 A JP 12988288A JP H01299416 A JPH01299416 A JP H01299416A
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- Japan
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- measured
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 210000005239 tubule Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/28—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by drag-force, e.g. vane type or impact flowmeter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は例えば空気等の気体の流量を測定することに
用いる流量変換装置に関する。
用いる流量変換装置に関する。
「従来の技術」
本出願人は「特願昭６１−６９５８号及び特願昭６２−
９１５４８号」によって片持梁形の受圧板を用いた流量
変換装置を提案した。特願昭６２−９１５４８号は片持
梁形の受圧板によって流体の流量を測定する構造に加え
て流体の流路にバイパス路を設け、このバイパス路に片
持梁形の弁を設けて可変オリスイス構造とし、流体の流
量に応じてバイパス路を流れる流体の量を制御させ、低
流量域から大流量域までの測定レンジを広くできる構造
とし、更に測定レンジの変更をバイパス路の直径を変更
するだけで行うことができる構造とした点を特徴とする
ものである。
９１５４８号」によって片持梁形の受圧板を用いた流量
変換装置を提案した。特願昭６２−９１５４８号は片持
梁形の受圧板によって流体の流量を測定する構造に加え
て流体の流路にバイパス路を設け、このバイパス路に片
持梁形の弁を設けて可変オリスイス構造とし、流体の流
量に応じてバイパス路を流れる流体の量を制御させ、低
流量域から大流量域までの測定レンジを広くできる構造
とし、更に測定レンジの変更をバイパス路の直径を変更
するだけで行うことができる構造とした点を特徴とする
ものである。
「発明が解決しようとする課題」
先に提案した流量変換器はバイパス路に片持梁形弁な設
けて可変オリフィス構造としたから、この弁が流体の流
れに応じて振動することがあり、この弁の振動が被測定
流体を振動させ、この振動が測定用の片持梁形受圧板に
伝わり安定な測定を行うことができない現象が発生する
欠点がある。
けて可変オリフィス構造としたから、この弁が流体の流
れに応じて振動することがあり、この弁の振動が被測定
流体を振動させ、この振動が測定用の片持梁形受圧板に
伝わり安定な測定を行うことができない現象が発生する
欠点がある。
この発明の目的はバイパス路における弁の振動を除去し
、どの流量域でも安定した測定を行うことができる流量
変換装置を提供するにある。
、どの流量域でも安定した測定を行うことができる流量
変換装置を提供するにある。
「課題を解決するための手段」
この発明では被測定流体が流れる流路に測定用孔とバイ
パス用孔を設けると共に、測定用孔の下流側にこの孔を
通過した流体が板面にほゞ直交する向に当たるように配
置した片持梁形受圧板を設ける。更に測定用孔の上流側
に測定用孔の開口面積より大きい開口面積を持つ被測定
流体導入孔を設け、この被測定流体導入孔とバイパス用
孔に流体の流れを層流化する細管を多数装着した構成と
したものである。
パス用孔を設けると共に、測定用孔の下流側にこの孔を
通過した流体が板面にほゞ直交する向に当たるように配
置した片持梁形受圧板を設ける。更に測定用孔の上流側
に測定用孔の開口面積より大きい開口面積を持つ被測定
流体導入孔を設け、この被測定流体導入孔とバイパス用
孔に流体の流れを層流化する細管を多数装着した構成と
したものである。
この発明の構成によれば測定用孔を流れる被測定流体の
流動圧を受けて片持梁形受圧板が反り返える。この反り
量は被測定流体の流量に比例する。
流動圧を受けて片持梁形受圧板が反り返える。この反り
量は被測定流体の流量に比例する。
片持梁形受圧板の反り量は検出コイルによって磁気的に
検出され、流量が測定される。
検出され、流量が測定される。
ここで特にバイパス路を通過する流体は多数の細管を通
じて流れる。多数の細管は流体に対し適度の絞りとして
作用し、従来バイパス路に設けていた片持梁形弁の代わ
りとして作用する。
じて流れる。多数の細管は流体に対し適度の絞りとして
作用し、従来バイパス路に設けていた片持梁形弁の代わ
りとして作用する。
更に流体が多数の細管を通じて流れるとき、流体の流れ
は層流化され、振動の発生が抑えられる。
は層流化され、振動の発生が抑えられる。
よって、この発明ではバイパス路と被測定流体導入孔の
双方に多数の細管を装着したからバイパス路及び測定用
孔の双方を流れる被測定流体は層流化される。よって、
片持梁形弁に振動が与えられることがない。
双方に多数の細管を装着したからバイパス路及び測定用
孔の双方を流れる被測定流体は層流化される。よって、
片持梁形弁に振動が与えられることがない。
このようにして、この発明によれば小流量から大流量に
至る広い範囲にわたって安定に測定を行うことができる
流量変換装置を得ることができる。
至る広い範囲にわたって安定に測定を行うことができる
流量変換装置を得ることができる。
「実施例ｊ
第１図乃至第４図にこの発明の一実施例を示す。
第１図において１は被測定流体の流入口、２は被測定流
体の流出口を示し、被測定流体（気体）は矢印Ｘ方向に
流れる。
体の流出口を示し、被測定流体（気体）は矢印Ｘ方向に
流れる。
３及び４は配管接続具、５は流量変換器本体、６は層流
プレートを示す。
プレートを示す。
流量変換器本体５は第２図に示すように中央に壁７を有
し、壁７の両側にバイパス路を構成する一対の三ケ月状
の透孔８Ａ、８Ｂが形成され、壁７を貫通して測定用透
孔９が形成される。
し、壁７の両側にバイパス路を構成する一対の三ケ月状
の透孔８Ａ、８Ｂが形成され、壁７を貫通して測定用透
孔９が形成される。
測定用透孔９はスリット状とされ、この透孔９の下流側
に片持梁形受圧板１１が設けられる。この片持梁形受圧
板１１は磁性体から成るバネ材によって形成され、その
偏位量は検出コイル１２によって検出される。なお、受
圧板１１の他方の遊端側には補償コイル１３が配置され
、零バランス補償が行えるようにしている。また１４は
受圧板１１を保護するストッパープレートを示す。
に片持梁形受圧板１１が設けられる。この片持梁形受圧
板１１は磁性体から成るバネ材によって形成され、その
偏位量は検出コイル１２によって検出される。なお、受
圧板１１の他方の遊端側には補償コイル１３が配置され
、零バランス補償が行えるようにしている。また１４は
受圧板１１を保護するストッパープレートを示す。
この発明の特徴とする構造は層流プレート６の部分と、
流量変換器本体５の測定用孔９の上流側の部分にある。
流量変換器本体５の測定用孔９の上流側の部分にある。
層流プレート６は第３図に示すように全体が平板状に形
成され、この平板状の層流プレート６にバイパス用孔８
Ａ、８Ｂに連通ずる六角形状の透孔１５Ａと１５Ｂを形
成する。また流量変換器本体５に設けた測定用透孔９の
下流側に孔１６を形成する。更に流量変換器本体５の測
定用孔９の上流側に測定用孔９の開口面積より大きい開
口面積を持つ被測定流体導入孔ｉｏを設ける。
成され、この平板状の層流プレート６にバイパス用孔８
Ａ、８Ｂに連通ずる六角形状の透孔１５Ａと１５Ｂを形
成する。また流量変換器本体５に設けた測定用透孔９の
下流側に孔１６を形成する。更に流量変換器本体５の測
定用孔９の上流側に測定用孔９の開口面積より大きい開
口面積を持つ被測定流体導入孔ｉｏを設ける。
バイパス路を構成する透孔１５Ａ、１５Ｂ及び被測定流
体導入孔】０には流体の流れを層流化するために多数の
細管１８を装着する。細管１８の内径は例えば０．５ｎ
程度とされる。この細管１８を流体が流れることによっ
て流体の流れは層流化される。
体導入孔】０には流体の流れを層流化するために多数の
細管１８を装着する。細管１８の内径は例えば０．５ｎ
程度とされる。この細管１８を流体が流れることによっ
て流体の流れは層流化される。
透孔１５Ａ、１５Ｂ及び被測定流体導入孔１０はそれぞ
れ六角形状とする。このように六角形状とすることによ
って直径の小さい細管を安定に収納させることができる
。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の外周は自然に
六角形状になる。このために孔１５Ａと１５Ｂ及び被測
定流体導入孔１０を六角形に選定したものである。
れ六角形状とする。このように六角形状とすることによ
って直径の小さい細管を安定に収納させることができる
。つまり多数の管を束ねると、束ねた管の外周は自然に
六角形状になる。このために孔１５Ａと１５Ｂ及び被測
定流体導入孔１０を六角形に選定したものである。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によればバイパス路及び
被測定流体導入孔１０に多数の細管１８を設け、バイパ
スする流体と測定用孔１０に流れ込む流体は全てこの細
管１８を通過する。流体が細管１８を流れることによっ
て流体の流れは層流化され渦等の発生が抑えられ、流体
が振動することはない。
被測定流体導入孔１０に多数の細管１８を設け、バイパ
スする流体と測定用孔１０に流れ込む流体は全てこの細
管１８を通過する。流体が細管１８を流れることによっ
て流体の流れは層流化され渦等の発生が抑えられ、流体
が振動することはない。
特に被測定流体導入孔１０に細管１８を装着したから、
測定用孔９に流入する流体はこの細管１８によって振動
を除去され、片持梁形受圧板１１が振動することを有効
に阻止することができる。
測定用孔９に流入する流体はこの細管１８によって振動
を除去され、片持梁形受圧板１１が振動することを有効
に阻止することができる。
よって、受圧板１１が振動することがなく安定に流量を
電気信号に変換することができる。
電気信号に変換することができる。
しかも細管１８による層流化動作は低流量域から大流量
域に至る広い範囲にわたって作用するから、広い範囲に
わたって流量測定が可能な流量変換器を提供することが
できる。
域に至る広い範囲にわたって作用するから、広い範囲に
わたって流量測定が可能な流量変換器を提供することが
できる。
第１図はこの発明の一実施例を説明するための断面図、
第２図はこの発明に用いた流量変換器本体の構造を説明
するための斜視図、第３図はこの発明に用いた層流プレ
ートの構造を説明するための斜視図、第４図は流量変換
器本体の要部の構造を説明するための拡大断面図である
。 ｌ：被測定流体の流入口、２：出口、５：流量変換器本
体、６：層流プレート、７：壁、８Ａ。 ８Ｂ：バイパス用孔、９：測定用孔、ｌＯ：被測定流体
導入孔、１１：片持梁形受圧板、１２：検出コイル、１
８：細管。
第２図はこの発明に用いた流量変換器本体の構造を説明
するための斜視図、第３図はこの発明に用いた層流プレ
ートの構造を説明するための斜視図、第４図は流量変換
器本体の要部の構造を説明するための拡大断面図である
。 ｌ：被測定流体の流入口、２：出口、５：流量変換器本
体、６：層流プレート、７：壁、８Ａ。 ８Ｂ：バイパス用孔、９：測定用孔、ｌＯ：被測定流体
導入孔、１１：片持梁形受圧板、１２：検出コイル、１
８：細管。
Claims (1)
- （１）Ａ、被測定流体が流れる流路に設けた測定用孔及
びバイパス用孔と、 Ｂ、上記測定用孔の下流側に設けられ、透孔を通過した
流体が板面にほゞ直交する向に当たるように配置した片
持梁形受圧板と、 Ｃ、この受圧板の変位量を測定する変位検出器と、 Ｄ、上記バイパス用孔に装着され、このバイパス用透孔
を通過する流体の流れを層流化する複数の細管と、 Ｅ、上記測定用孔の上流側に設けられ測定用孔の開口面
積より大きい開口面積を持つ被測定流体導入孔と、 Ｆ、この被測定流体導入孔に装着され被測定流体導入孔
から測定用孔に向う被測定流体の流れを層流化する複数
の細管と、 によって構成した流量変換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129882A JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
| US07/285,798 US4875932A (en) | 1988-05-26 | 1988-12-16 | Apparatus for measuring a flow rate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129882A JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01299416A true JPH01299416A (ja) | 1989-12-04 |
| JPH0512647B2 JPH0512647B2 (ja) | 1993-02-18 |
Family
ID=15020663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63129882A Granted JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4875932A (ja) |
| JP (1) | JPH01299416A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2637075B1 (fr) * | 1988-09-23 | 1995-03-10 | Gaz De France | Procede et dispositif destines a indiquer le debit d'un fluide compressible circulant dans un detendeur, et capteur de vibrations utilise a cet effet |
| US6444033B1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-09-03 | Delsys Pharmaceutical Corp. | Article comprising a diffuser with flow control features |
| US6447459B1 (en) * | 2000-04-07 | 2002-09-10 | Pds Healthcare Products, Inc. | Device and method for measuring lung performance |
| US20040025598A1 (en) * | 2000-09-21 | 2004-02-12 | Festo Ag & Co. | Integrated fluid sensing device |
| US6769299B2 (en) * | 2003-01-08 | 2004-08-03 | Fetso Corporation | Integral dual technology flow sensor |
| US6901794B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-06-07 | Festo Corporation | Multiple technology flow sensor |
| US20090071561A1 (en) * | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Dennis Dalrymple | Method and system for improving gas flow in a duct or pipe |
| DE102013215522A1 (de) * | 2013-08-07 | 2015-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Kanal strömenden fluiden Mediums |
Citations (5)
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| JPS5283254A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Tokyo Keiso Kk | Flowmeter |
| JPS5954926A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Esutetsuku:Kk | 層流素子の製造方法 |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1964775A (en) * | 1932-12-07 | 1934-07-03 | Hooker Electrochemical Co | Apparatus for proportional determination |
| FR2085184B1 (ja) * | 1970-01-08 | 1973-07-13 | Lafitte Rene | |
| US4571996A (en) * | 1984-08-10 | 1986-02-25 | Allied Corporation | Air flow sensor |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP63129882A patent/JPH01299416A/ja active Granted
- 1988-12-16 US US07/285,798 patent/US4875932A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49148075U (ja) * | 1973-04-20 | 1974-12-20 | ||
| JPS5283254A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Tokyo Keiso Kk | Flowmeter |
| JPS5954926A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Esutetsuku:Kk | 層流素子の製造方法 |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512647B2 (ja) | 1993-02-18 |
| US4875932A (en) | 1989-10-24 |
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