JPH0227103A - タービン羽根の振動を検知する方法および装置 - Google Patents

タービン羽根の振動を検知する方法および装置

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JPH0227103A
JPH0227103A JP1140930A JP14093089A JPH0227103A JP H0227103 A JPH0227103 A JP H0227103A JP 1140930 A JP1140930 A JP 1140930A JP 14093089 A JP14093089 A JP 14093089A JP H0227103 A JPH0227103 A JP H0227103A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は蒸気タービンにおける動作パラメーターのモニ
タ一方法および装置、特に回転中のタービン羽根の振動
をモニターする方法および装置に係わる。
タービン羽根はその構造か複雑であるため、羽根の固有
周波数に対応する周波数で振動し易い。
それぞれの固有周波数は振動のタイプ、例えは、タービ
ン回転軸に沿った振動、タービン回転軸と直交する方向
の振動などに応した特定のモードに関係がある。羽根が
その正常位置の周りて過度に振動するのを防止するため
には、最低モードの周波数がタービン動作周波数の調波
間におさまるように羽根を構成することが設計上の常識
である。
しかし、これらのモードに相当する周波数で損傷の原因
となる非同期的な、即ち、非整数調波振動が起こること
がある。典型的には、低い蒸気流量及び高い背圧がター
ビン羽根を不規則に振動させるパフニッティングの結果
として、またはタービンロータねしり応力の結果として
蒸気タービン中に非同期振動が発生する可能性がある。
非同期振動の結果、蒸気タービンが物理的損傷を受るお
それかある。振動振幅があるレベルを超えると、羽根に
有害な応力が発生する。この状態を検知し、改善しなけ
れば、終局的には羽根が折れ、極めてコストのかかる機
能停止の事態を余儀なくされるおそれがある。従って、
このような損傷を防止するためには非同期振動を検知す
る方法か必要である。
タービン羽根の振動を検知する公知の方法として、ター
ビン羽根にひずみ計を取り付ける方法がある。センサー
情報はタービン回転シャフトの種々の場所に取り付けた
小型発信機からタービン外側の分析装置へ送信される。
この公知方法には３つの重大な欠点がある。第１に、ひ
ずみ計はタービン羽根を通過する蒸気による侵食のため
耐用寿命が極めて短い。第２に、列を構成するすべての
羽根をモニターしたけれは個々の羽根にひずみ計を連携
させる必要がある。これはコストの著しい増大を意味す
る。しかも、タービン内部に収容できる送信機、従フて
、センサーの数は極めて限られた数である。第３に、ひ
ずみ計に絶えず確実に給電し、回転するロータディスク
から固設電子装置へ確実に信号を送ることの複雑さから
深刻な困難を惹起する。
これらの問題点を回避するため、常設の非接触近接セン
サーを利用するタービン羽根振動検知装置が開発されて
おり、その１例としてのＬｕｏｎｇｏの米国特許第４，
５７３，３５８号に開示されている装置では、羽根列の
周りに順次間隔を保って設けた複数のセンサーがオペレ
ーターによって選択された羽根の振動を検知する。この
公知装置の場合、−度にモニターできるのは１枚の羽根
だけである。残念ながら、この装置が必要とする複数の
センサーを蒸気タービン内に設置には種々の物理的困難
を伴なう。しかもこの装置はシャフトのねじり振動と個
々の羽根の非同期振動を弁別しない。
非接触式の近接センサーを利用する装置はＥｌｌｉｓの
米国特許第４，５９３，５６６号にも開示されており、
この公知装置はタービン羽根が通過すると信号を出力す
る２個のセンサーを利用する。この装置の欠点はアナロ
グ処理回路が適応性に乏しく、個々の羽根の振動を検知
しようとすれば３個のセンサーが必要であること、及び
ねじり振動と個々の羽根の振動とを弁別できないことに
ある。
従って、取り付は易く、すべての羽根を同時にモニター
し、ねじり振動を個々の羽根の非同期振動から弁別し、
ディジタル信号処理回路を利用し、比較的低いコストで
非同期タービン羽根の振動を測定する耐用寿命の長いモ
ニター・システムが切望される。本発明はこのような非
同期タービン羽根モニター・システムに対する需要を満
たすものである。
（要約） 本発明はその一実施例においてタービン羽根列に沿った
円周上に設けた最大限２個のセンサーから成る非同期タ
ービン羽根の振動モニター・システムに係わる。このシ
ステムはセンサーへのタービン羽根の実到達時間に基づ
くデータを作成する手段、センサーへのタービン羽根の
予期到達時間に基づくデータを作成する手段、及びター
ビン羽根たわみデータを得るために実到達時間データを
予期到達時間データと比較する手段をも含む。各分数調
波における振動レベルを求めるため羽根たわみデータに
対して調波分析を行なう。
本発明は一般的な形として１列に構成されたシュラウド
なしタービン羽根の振動を検知する装置であって、ター
ビン羽根列に沿った円周上に配置した最大限２個のセン
サー手段と；前記センサ手段に応答し、前記センサー手
段への羽根の実到達時間に基づくデータを作成する手段
と：前記センサー手段への羽根の予期到達時間に基づく
データを作成する手段と；タービン羽根たわみデータを
得るため前記実到達時間データを前記予期到達時間デー
タと比較する手段と；前記羽根たわみデータから各分数
調波における振動の大きさを抽出する分析手段から成る
ことを特徴とする検知装置を提案する。
本発明の一実施例ては、実羽根たわみデータを基準羽根
たわみデータと比較して偏差データを作成し、これを調
波分析することによってノイズの影響を軽減する。
本発明の他の実施例では、羽根たわみデータからねじり
振動情報を抽出する手段を設ける。
実到達時間データ作成手段はクロックと、羽根の通過に
伴なって発生する入力信号に応答して現クロック・タイ
ムをラッチする複数のラッチを含むことかできる。別設
の基準センサーかタービン・ロータの位置に応答して信
号を出力し、この信号か別設のラッチに入力されると、
この別設ラッチがロータ位置を表わす基準信号を形成す
る。
予期到達時間データ作成手段は３通りの態様のいずれか
１って実現することかできる。予期到達時間はタービン
羽根列の回転時間を測定し、この時間をタービン羽根列
におけるセンサー数で割り算し、列における羽根の位置
に従って割り算の結果を指示することによって求めるこ
とかできる。
他の実施例ではタービン・ロータにタイミング・マーク
を設けるか、または実到達時間を捕捉してこれを平均す
る。
本発明はシュラウドなしタービン羽根の振動を検知する
方法であって、羽根通過に対応する入力信号を発生させ
；前記入力信号から実到達時間データを作成し：予期到
達時間データを作成し：タービン羽根たわみデータを得
るため前記実到達時間データを前記予期到達時間データ
と比較し；羽根たわみデータ及びねじり振動データから
各分数調波における振動のきざ大を抽出する段階から成
ることを特徴とするシュラウドなしタービン羽根の振動
検知方法をも提案する。
本発明の非同期タービン羽根振動モニター・システムは
シュラウドなしタービン羽根を採用するいかなる蒸気タ
ービンにも利用できる。高圧、中間圧及び低圧羽根列か
ら成る典型的な蒸気タービン羽根、低圧タービンにおけ
る最終列はシュラウドなしである。タービン羽根振動の
レベルをモニターすることの重要性にかんがみ、上記シ
ステムが必要とされる。過度の振動は蒸気タービン構成
成分の破壊につながりかねない。非同期ターヒン振動モ
ニター・システムはタービン・エンジニアにタービン羽
根応力に関する貴重なデータを提供すると共に、オペレ
ーターに対しては臨界振動レベルを警告する。本発明の
上記利点及びその他の長所は好ましい実施例に関する以
下の説明から明らかになるであろう。
本発明が正確に理解され、容易に実施されるように、添
付の図面に沿って好ましい実施例を以下に説明する。
第１図は非同期タービン羽根の振動をモニターするため
に本発明の方法及び装置を利用できるシュラウドなしタ
ービン羽根列１０を示す。各図において同様の成分には
同様の参照番号を付しである。タービン羽根１２はロー
タ・ディスク１４によフてロータ１６に連結されている
。第１図には数枚のタービン羽根１４だけを示しである
が、羽根１２の各列１０が１００枚以上の羽根１２を含
み、タービン・ロータ１６に数列１０の羽根１２が装着
されることはいうまでもない。
本発明の非同期タービン羽根振動モニター・システム３
０をも第１図に示した。システム３０はタービン羽根１
２の振動をモニターする手段である２個のタービン羽根
センサー１８を含む。センサー１８としては可変リアク
タンス型センサーを採用するか、または例えばマイクロ
ウェーブまたは光学式方法などのような実用的な羽根通
過感知方法を利用したものを採用すれはよい。センサー
１８は互いに角度θ、例えば１３５°の間隔に配設すれ
はよい。蒸気タービン内部の苛酷な条件に耐え得るセン
サーの１列は米国特許第４．６４４，２７０号に開示さ
れている。蒸気タービンにセンサー１８を取り付ける方
法は本願の出願人に譲渡され、その内容を本願明細書に
も引用した１９８８年３月２４日付米国特許出願第１７
２，６１４号”５ＥＮＳＯＲＰＲＯＢＥ　ＳＹＳＴＥＭ
”　に開示されている。
同じく第１図に示すように、基準センサー２０をも設け
る。センサー２０はロータ１６に設けた標識２２と協働
してロータ１６が１回転するごとに信号を出力する。こ
のような基準信号の形成はタービンの分野で広く知られ
ている。
タービン羽根センサー１８からの入力信号３２は羽根振
動プロセッサ３４に入力される。基準センサー２０から
の信号３６も羽根振動プロセッサー３４に入力される。
羽根振動プロセッサー３４の出力は信号コンディショニ
ング及び非整数調波分析を行なう信号アナライザー３８
に入力される第１図の羽根振動プロセッサー３４の細部
を第２図に示した。タービン羽根センサー１８からの信
号３２はそれぞれ通過検知器４０に入力される。通過検
知器４０は羽根が通過するとこれに応答してパルスを出
力する。羽根の通過に応答してパルスを出力するのに好
適な回路は公知である。例えは、本願明細書にもその内
容を引用した米国特許第４，５９３，５８６号を参照さ
れたい。基準センサー２０からの信号３６は第３通過検
知器４０に入力される。通過検知器４０からの信号４２
は（タービン羽根センサー信号３２の場合には）タービ
ン羽根１２の通過を、（基準センサー信号３６の場合に
は）基準標識２２の検知を示し、いずれもラッチ４４に
入力される。２４ＭＨｚクロックまたは他の適当な周波
数のクロックか各ラッチ４４のクロック入力端子４８に
入力されるクロック信号４３を形成する。通過検知器４
０のそれぞれから発生する信号４２に応答して、特定の
信号４２によって駆動されるラッチ４４がクロック入力
４８に入力される現クロック・タイムを記憶する。即ち
、各ラッチ４４の出力に現れる信号４５は羽根１２がセ
ンサー１８を通過した時点またはロータ１６上の標識２
２がセンサー２０を通過した時点を表わす。デジタル・
マルチプレクサ−５０が各ラッチ４４からの信号４５を
多重化し、マイクロプロセッサー５４にデジタル多重化
信号５２を供給する。マイクロプロセッサ−５４は制御
ライン５６を介してマルチプレクサ−５０を通過するデ
ータの流れを制御し、ラッチ４４のリセットを可能にす
る。
典型的なタービン羽根１２のたわみを経時的に示したグ
ラフが第３図である。たわみを経時的に描くと、問題の
タービン羽根１２の振動の振幅及び周波数に等しい振幅
及び周波数の正弦波形が得られる。正弦波６２はタービ
ン羽根１２の実際のたわみを表わす。“′＋°°記号で
示す点においてのみデータが得られるような速度で正弦
波６２をサンプリングすると一定振幅を有する信号６４
が感知される。同様に゛Ｘ′記号で示す速度で正弦波６
２をサンプリングすると、振幅はタービン羽根１２の実
たわみ信号６２の振幅に等しいが周波数は実たわみ信号
６２の周波数の１／３に等しい信号６６が得られる。信
号６６はタービン羽根１２のたわみの周波数以下の周波
数でデータをサンプリングすることに起因するたわみ情
報の損失を示し、信号６４はタービン羽根１２のたわみ
の周波数の２倍以下の周波数でデータをサンプリングす
る場合に生ずる可能性かあるあいまいさを示す。後者の
現象はエイリアシングと呼ばれる。グラフから明らかな
ように、周波数が類似している振動間の分解能はデータ
・サンプリング速度に応じて異なる。
基本的なサンプリング理論によれば、ｎ個のデータがサ
ンプリングされる場合に検知できる変化はｎ　／　２で
ある。従って、２４個のタービン羽根センサー１８はタ
ービン羽根列１０の回転周波数である基本周波数の１２
番目までの調波の振動を検知する。同様に、本発明のよ
うに２個のタービン羽根センサー１８を使用する場合に
は基本周波数の最初の調波までの振動か検知される。２
４個タービン羽根センサー・システムては、タービン羽
根１２の振動の有意周波数はすべて１２番目の調波より
も小さいから上記制約は問題とならない。しかし、２個
タービン羽根センサー・システム３０では基本周波数以
上の振動周波数振動はすべて基本周波数以下の周波数振
動であるかのごとくエイリアシングされる。第４図はこ
のエイリアシング現象の結果を示す。実線矢印は実際の
振動周波数を表わし、破線矢印はシステム３０によって
実測されるエイリアス周波数を表わす。２個タービン羽
根センサー・システム３０ては基本周波数のプラスとマ
イナスにおいてエイリアシングの反映点が現われる。こ
のような制約はタービン羽根センサー１８を追加してサ
ンプリング点を増やすことで軽減できる。にもかかわら
ず、本発明はセンサー１８を２個だけ使用するように構
成されている。
第１図の信号アナライザー３８を構成する主要部分であ
る第２図のマイクロプロセッサ−５４によって行なわれ
るステップのフローチャートを第５図に示した。ステッ
プ７０において多重化デジタル信号５２かマイクロプロ
セッサ−５４に入力される。多重化デジタル信号５２は
タービン羽根１２の到達時間及びロータ標識２２の到達
時間を含んている。ロータ標識２２の到達時間に基つき
、タービン羽根１２の到達時間を個々のタービン羽根１
２と相関させることかできる。到達時間ブタの質に応し
て２つの既知相関アルゴリズムのいずれか一方を利用す
れはよい。羽根１２の到達時間をその羽根１２と相関さ
せようとする最初の試みが羽根１２の予想位置と実際位
置との間にずれがあるため失敗に終ることもあり得るが
、本発明は羽根１２の到達時間を記憶することによって
この失敗を検知し、修正することかできるから、データ
が失われたり、その質を落としたりすることはない。
ステップ７２において、マイクロプロセッサ−５４は特
定のタービン羽根１２について経時的に推定されるたわ
みを計算する。タービン羽根１２の推定たわみは下記式
を利用して計算することができる。
χ　＝ｖ′　△ｔ ただし χ＝ツタ−ン羽根変位量（ミル） ■＝ツタ−ン羽根回転速度（ミル／マイクロセコンド） △ｔ＝タービン羽根到達時間偏差（マイクロセコンド） 量△ｔ（タービン羽根到達時間偏差）は通過検知器４０
によって検知され、これはデジタル多重化信号５２を介
してマイクロプロセッサ−５４に送信されるタービン羽
根センサー１８へのタービン羽根１２の実到達時間と、
タービン羽根センサー１８へのタービン羽根１２の予期
到達時間との差である。タービン羽根センサー１８への
タービン羽根１２の予期到達時間を求める方法は下記の
３通りである。
センサー１８を等間隔に配設した場合に利用できる各タ
ービン羽根１２の予期到達時間の第１の計算方法では、
タービン羽根列１０全体の回転時間をタービン羽根セン
サー１８の個数で割り、特定のタービン羽根１２の（ロ
ータ１６の基準標識２２に基づく）番号によってタービ
ン羽根センサー１８の到達時点間のタイム・インターバ
ルを指ボする。第２の方法では、ロータ１６に複数のタ
イミング・マークを設ける。第３の方法ては、すへての
タービン羽根１２の到達時間を表わす歴史的データを平
均する。第３の方法はすべてのタービン羽根１２に共通
な振動であるロータ１６のねしり振動を排除できるとい
う点で有利である。羽根振動プロセッサー３４は所定の
時間中に各センサー１８．２０から得られる到達時間デ
ータをすべて記憶できるから、上記３通りの方法のいず
れか１つまたは組み合わせを利用すればよい。　次いで
、ステップ７４においてマイクロプロセッサ−５４によ
り、ノイズ軽減プロセスが行なわれる。このノイズ軽減
はステップ７２において計算されたタービン羽根の推定
たわみデータを、タービン羽根１２か偏差データを発生
させるような振動を伴なっていないと想定する条件下で
測定されたタービン羽根１２のたわみデータを表わす基
準デ−タと比較する。このノイズ軽減方法では、振動状
態が基準データから変動すればシステム３０がこれを検
知するから、タービン羽根１２か極端な振動を伴なって
いる状態て測定された基準データでない限り、タービン
羽根１２の絶対無振動状態で測定されたものでなくても
、基準データを利用できる。第６図はノイズ軽減処理が
行なわれない場合のタービン羽根１２の経時的な推定た
わみを表わす信号８０、第７図は上記ノイズ軽減処理を
施された同じたわみを表わす信号８２をそれぞれ示す。
ステップ７６において、ロータ１６のねじり振動がノイ
ズ軽減済みデータ８２から排除される。
ねじる振動除去はすべてのタービン羽根１２に共通の振
動要素（ねじり振動の振幅及び周波数）を減算すること
によって達成される。従って、羽根１２の応力を推定す
るためにロータ１６の全体的な態様、形状を正確に知っ
ていなければならないシャフト端測定方法とは異なり、
本発明はタービン羽根１２のねしり振動を羽根自体にお
いて検知する。このねじり振動はステップ７２における
タヒン羽根の予期到達時間の第３の計算方法（歴史的デ
ータを平均）を利用することによって除去することかて
ぎる。
次いてステップ７８において、タービン羽根１２の推定
たわみデータに対してフーリエ分析またはその他の適当
な数学的方法を行なう。これによって得られた周波数ス
ペクトルは振幅と周波数の関係て表わすことができるか
、第４図に示したようなエイリアスされた周波数となる
。この調波分析の他の方法では直交する正弦及び余弦関
数と相関させる。直交する正弦及び余弦関数の周波数は
問題の振動の正確なエイリアス周波数を検知できるよう
に調整すればよい。これら関数サンプル間の位相角は２
個のセンサー１８を隔てる角度θによって求められる。
このような信号分析プロセス全体をタービン羽根列１０
中の任意の、またはすべてのタービン羽根１２に関して
繰り返せばよいさらに信号分析ステップを進めることに
より、特定周波数において最も明確に応答するタービン
羽根１２を発見し、特定周波数におけるすべてのタービ
ン羽根１２の応答を平均し、最も応答が明確な周波数を
検知し、種々のデータ要約を作成、プリントすることが
できる。エンジニアまたはタービン・オペレーターは個
々のタービン羽根１２における振動レベルを評価する際
にこの情報を利用することができる。
さらにまた、所与の周波数における振動振幅からタービ
ン羽根１２の任意の点における応力を推定することがで
きる。一般に、周波数が高ければ、タービン羽根１２の
任意の点における応力はタービン羽根１２のたわみは同
じでも周波数が低い場合よりも大きくなる。
以上に本発明をその実施例に関して説明したが、当業者
ならば他にも多くの変更を試みることができるであろう
。頭書した特許請求の範囲はこれらの変更をすべて包含
するものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の非同期振動モニター・システムとの関
連においてシュラウドなしタービン羽根を示している。 第２図は第１図の羽根振動プロセッサーの細部を示して
いる。 第３図は典型的タービン羽根たわみを経時的に描いたグ
ラフである。 第４図はタービン羽根振動の実測及びエイリアス振動周
波数のスペクトルを示している。 第５図は第１図の信号アナライザーを構成するアイクロ
プロセッサによって行なわれるステップを示すフローチ
ャートである。 第６図は本発明のノイズ軽減方法を施さない場合のター
ビン羽根の経時的変位を表わす信号を示している。 第７図は本発明のノイズ軽減方法を施したあとの第６図
に示したのと同じ変位を表わす信号を示す。 １０　　・・　羽根列 １２　　　　　羽根 ロータ ・ディスク ロータ タービン羽根センサー モニター・システム 出願人：　　ウェスチングハウス・エレクトリック・コ
ーポレーション代　理　人：加　藤　紘　一部（ばか１
名）ＦＩＧ、７

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）１列に構成されたシュラウドなしタービン羽根の
    振動を検知する装置であって、 タービン羽根列に沿った円周上に配置した最大限２個の
    センサー手段と； 前記センサー手段に応答し、前記センサー手段への羽根
    の実到達時間に基づくデータを作成する手段と； 前記センサー手段への羽根の予期到達時間に基づくデー
    タを作成する手段と； タービン羽根たわみデータを得るため前記実到達時間デ
    ータを前記予期到達時間データと比較する手段と； 前記羽根たわみデータから各分数調波における振動の大
    きさを抽出する分析手段から成ることを特徴とする検知
    装置。
  2. （２）基準羽根たわみデータを提供し、前記羽根たわみ
    データを前記基準データと比較することにより偏差デー
    タを作成する手段をも含み、前記分析手段が前記偏差デ
    ータに応答することを特徴とする請求項第（１）項に記
    載の装置。
  3. （３）前記センサー手段がそれぞれが羽根通過に応答し
    て入力信号を発する２個のセンサーを含み、実到達時間
    データを作成する手段がクロック手段及び前記入力信号
    に応答して現在時間を前記クロック手段にラッチする複
    数のラッチを含むことを特徴とする請求項第（１）項に
    記載の装置。
  4. （４）タービン羽根がシャフトに装着されており、装置
    がシャフトの位置に応答して前記複数ラッチの１つに入
    力されて現在時間を前記クロック手段にラッチする信号
    を形成する基準センサー手段をも含み、予期到達時間デ
    ータを作成する前記手段が前記ラッチに応答することを
    特徴とする請求項第（３）項に記載の装置。
  5. （５）前記分析手段が前記羽根たわみデータに対してフ
    ーリエ分析を行なう手段を含むことを特徴とする請求項
    第（１）項に記載の装置。
  6. （６）前記羽根たわみデータからねじり振動データを抽
    出する手段をも含むことを特徴とする請求項第（１）項
    に記載の装置。
  7. （７）振動検知システムを有する蒸気タービンであって
    、 ロータと； 前記ロータに数列に装着した複数のシュラウドなしター
    ビン羽根と； タービン羽根列に沿った円周上に取り付けたセンサー手
    段と； 前記センサー手段に応答し、前記センサー手段への前記
    羽根の実到達時間に基づくデータを作成する手段と； 前記センサー手段への前記羽根の予期到達時間に基づく
    データを作成する手段と； タービン羽根たわみデータを得るため前記実到達時間デ
    ータを前記予期到達時間データと比較する手段と； 前記羽根たわみデータから各分数調波における振動の大
    きさを抽出する分析手段 から成る振動検知システムを有する蒸気タービン。
  8. （８）予期到達時間データを作成する前記手段が羽根列
    の回転時間を測定する手段と、羽根列の前記センサー手
    段の個数で前記時間を割り算する手段と、羽根列内の羽
    根の位置に応じた結果を指示する手段を含むことを特徴
    とする請求項第（７）項に記載の装置。
  9. （９）予期到達時間データを作成する前記手段が前記ロ
    ータ上に複数のタイミング・マークを設定する手段を含
    むことを特徴とする請求項第（７）項に記載の装置。
  10. （１０）予期到達時間データを作成する前記手段が前記
    実到達時間を平均する手段を含み、前記平均到達時間を
    予期到達時間として利用することを特徴とする請求項第
    （７）項に記載の装置。
  11. （１１）前記センサー手段が第１及び第２磁気センサー
    を含むことを特徴とする請求項第（７）項に記載のシス
    テム。
  12. （１２）前記羽根たわみデータに対するノイズの影響を
    軽減する手段をも含むことを特徴とする請求項第（７）
    項に記載のシステム。
  13. （１３）シュラウドなしタービン羽根の振動を検知する
    方法であって、 羽根通過に対応する入力信号を発生させ； 前記入力信号から実到達時間データを作成し；予期到達
    時間データを作成し； タービン羽根たわみデータを得るため前記実到達時間デ
    ータを予期到達時間データと比較し；羽根たわみデータ
    及びねじり振動データから各分数調波における振動の大
    きさを抽出する段階から成ることを特徴とするシュラウ
    ドなしタービン羽根の振動検知方法。
  14. （１４）前記タービン羽根たわみデータに対するノイズ
    の影響を軽減する段階をも含むことを特徴とする請求項
    第（１３）項に記載の方法。
  15. （１５）予期到達時間データを作成する前記段階がター
    ビン羽根の回転時間を測定し、この時間を各列の羽根通
    過入力信号発生源の個数で割り算し、各列内の羽根の位
    置に応じた結果を指示する段階を含むことを特徴とする
    請求項第（１３）項に記載の方法。
  16. （１６）予期到達時間データを作成する前記段階がター
    ビン羽根を装着されているロータ上の複数のタイミング
    ・マークを感知する段階を含むことを特徴とする請求項
    第（１３）項に記載の方法。
  17. （１７）予期到達時間データを作成する前記段階が前記
    実到達時間データを平均する段階を含むことを特徴とす
    る請求項第（１３）項に記載の方法。
  18. （１８）各分数調波における振動の大きさを抽出する前
    記段階が前記羽根たわみデータに対してフーリエ分析を
    行なう段階を含むことを特徴とする請求項第（１３）項
    に記載の方法。
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