JPH02271216A - 磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気式エンコーダInfo
- Publication number
- JPH02271216A JPH02271216A JP1094135A JP9413589A JPH02271216A JP H02271216 A JPH02271216 A JP H02271216A JP 1094135 A JP1094135 A JP 1094135A JP 9413589 A JP9413589 A JP 9413589A JP H02271216 A JPH02271216 A JP H02271216A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic field
- thin film
- magnetic pole
- film pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 249
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000003491 array Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 12
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 12
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 11
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 8
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
- G01D5/2497—Absolute encoders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁界により電気抵抗が変化する所謂磁気抵抗
効果を有する素子を利用して磁界の変化を電気信号に変
換し、位置検出等を行なう磁気式エンコーダに関するも
のであり、特に信号検出精度を向上させるようにした磁
気式エンコーダの改良に関するものである。
効果を有する素子を利用して磁界の変化を電気信号に変
換し、位置検出等を行なう磁気式エンコーダに関するも
のであり、特に信号検出精度を向上させるようにした磁
気式エンコーダの改良に関するものである。
ＮＧ工作機械、ロボット、ＯＡ機器、ＶＴＲ等広い技術
分野において、高精度の位置センサあるいは回転センサ
が必要とされており、これら産業分野で使用される各種
のサーボモータ、ロータリーエンコーダ等に適用されて
いる。またＯＡ、ＦＡ技術の進展に伴い、これらセンサ
にも高速化７高信頼性化の要請が高まってきている。こ
のような状況下において、例えば回転センサとしては従
来から光学式のものが多く使用されているが、ホトセル
やＬＥＤ等の半導体素子を構成要素としているため、塵
埃に弱く、また温度変化に対する安定性が不充分である
ことが指摘されている。また、光学式センサは、構成部
品が多く、構造が複雑であるという欠点もある。
分野において、高精度の位置センサあるいは回転センサ
が必要とされており、これら産業分野で使用される各種
のサーボモータ、ロータリーエンコーダ等に適用されて
いる。またＯＡ、ＦＡ技術の進展に伴い、これらセンサ
にも高速化７高信頼性化の要請が高まってきている。こ
のような状況下において、例えば回転センサとしては従
来から光学式のものが多く使用されているが、ホトセル
やＬＥＤ等の半導体素子を構成要素としているため、塵
埃に弱く、また温度変化に対する安定性が不充分である
ことが指摘されている。また、光学式センサは、構成部
品が多く、構造が複雑であるという欠点もある。
このため、近年、磁気抵抗効果を利用した磁気式のもの
が開発され、検出精度が高く温度変化に対しても安定で
あり、かつ塵埃にも比較的強いため、次第に各方面に適
用されつつある。
が開発され、検出精度が高く温度変化に対しても安定で
あり、かつ塵埃にも比較的強いため、次第に各方面に適
用されつつある。
第５図は、従来の磁気式回転センサの一例を模式的に示
す斜視図である。同図において５１は回転ドラムであり
、回転軸５２の回りに例えば矢印方向に回転するように
構成されている。回転ドラム５１の外周部には磁気記録
媒体層が設けられており、ドラム円周表面にＮＳ磁極が
交互に出現するように着磁が施されている。この磁気記
録媒体層は、例えばＴ鉄等の磁性塗膜でもいいし、スト
ロンチウムフェライト等のブラフグでも良い。また、着
磁磁極数は検出精度に対応させて、少なくとも１個以上
の着磁磁極数が適宜選定される。従って、着磁磁極数が
数百〜数千と多い場合には、磁極幅が極めて狭小な微小
磁石を形成することになる。次に、５３は磁気センサで
あり、ガラス基板上に形成された磁気抵抗効果を有する
強磁性体薄膜パターンからなる複数個の感磁パターンを
組み合わせた磁気抵抗効果素子部が表面に設けられてお
り、前記回転ドラム５１の磁極面と対向させ、かつ前記
微小磁石の磁界が作用する範囲内に所定の間隙を介して
配置されている。以上の構成により、回転ドラム５１が
回転すると、対向配置された磁気抵抗効果素子部には磁
気ドラムの回転に伴いドラム表面のもれ磁界が周期的に
加わり、それにともなって磁気抵抗効果素子部の各感磁
パターンが、印加される表面もれ磁界強度をパターンの
抵抗値変化に電磁変換し、電気信号を発するから、回転
速度あるいは位置の検出等を行ない得るのである。
す斜視図である。同図において５１は回転ドラムであり
、回転軸５２の回りに例えば矢印方向に回転するように
構成されている。回転ドラム５１の外周部には磁気記録
媒体層が設けられており、ドラム円周表面にＮＳ磁極が
交互に出現するように着磁が施されている。この磁気記
録媒体層は、例えばＴ鉄等の磁性塗膜でもいいし、スト
ロンチウムフェライト等のブラフグでも良い。また、着
磁磁極数は検出精度に対応させて、少なくとも１個以上
の着磁磁極数が適宜選定される。従って、着磁磁極数が
数百〜数千と多い場合には、磁極幅が極めて狭小な微小
磁石を形成することになる。次に、５３は磁気センサで
あり、ガラス基板上に形成された磁気抵抗効果を有する
強磁性体薄膜パターンからなる複数個の感磁パターンを
組み合わせた磁気抵抗効果素子部が表面に設けられてお
り、前記回転ドラム５１の磁極面と対向させ、かつ前記
微小磁石の磁界が作用する範囲内に所定の間隙を介して
配置されている。以上の構成により、回転ドラム５１が
回転すると、対向配置された磁気抵抗効果素子部には磁
気ドラムの回転に伴いドラム表面のもれ磁界が周期的に
加わり、それにともなって磁気抵抗効果素子部の各感磁
パターンが、印加される表面もれ磁界強度をパターンの
抵抗値変化に電磁変換し、電気信号を発するから、回転
速度あるいは位置の検出等を行ない得るのである。
第５図に示した従来使用されている磁気式エンコーダは
、前述した様に磁気センサと繰り返し磁気信号発生手段
である磁気ドラムとを非接触で平行に所定の間隙Ｇを介
して対向配置して使用している。また、磁気センサの磁
気抵抗効果素子部は、複数個の感磁パターンを電気的に
組み合わせて構成されている。そして、上記構成の磁気
式エンコーダによれば、例えばロボット用あるいは数値
制御（ＮＧ）加工機用等の電動機の回転速度の検出およ
び／または移動部材の位置検出等を迅速かつ高精度で行
なうことができる。
、前述した様に磁気センサと繰り返し磁気信号発生手段
である磁気ドラムとを非接触で平行に所定の間隙Ｇを介
して対向配置して使用している。また、磁気センサの磁
気抵抗効果素子部は、複数個の感磁パターンを電気的に
組み合わせて構成されている。そして、上記構成の磁気
式エンコーダによれば、例えばロボット用あるいは数値
制御（ＮＧ）加工機用等の電動機の回転速度の検出およ
び／または移動部材の位置検出等を迅速かつ高精度で行
なうことができる。
しかしながら、近年、前記装置等に要求される機能およ
び精度は極めて多様かつ高精度となりつつあり、従って
検出機器にも小型、高性能かつ高精度のものが要求され
ている。例えば、高低両様の回転速度および／または位
置検出を同時にかつ高精度で行ない得る磁気エンコーダ
等が要求されているのである。このような要請に応える
ためには、異なるパルス数の電気信号または出力信号を
発生させる必要があるが、従来の磁気式エンコーダは、
前述したように、回転ドラムの外周面に１個の磁極列を
配設したものが殆どであるため、そのままでは前記要請
に応えることができない。また、複数組の磁気式エンコ
ーダを組合せることにより、前記要請に応えようとして
も、部品点数が多くなるのみならず装置全体の構造が複
雑となり、小型化の要請に反することになるという問題
点があった。
び精度は極めて多様かつ高精度となりつつあり、従って
検出機器にも小型、高性能かつ高精度のものが要求され
ている。例えば、高低両様の回転速度および／または位
置検出を同時にかつ高精度で行ない得る磁気エンコーダ
等が要求されているのである。このような要請に応える
ためには、異なるパルス数の電気信号または出力信号を
発生させる必要があるが、従来の磁気式エンコーダは、
前述したように、回転ドラムの外周面に１個の磁極列を
配設したものが殆どであるため、そのままでは前記要請
に応えることができない。また、複数組の磁気式エンコ
ーダを組合せることにより、前記要請に応えようとして
も、部品点数が多くなるのみならず装置全体の構造が複
雑となり、小型化の要請に反することになるという問題
点があった。
そこで、かかる問題点を解決するために本発明者らは、
第１０図に示すように、回転ドラム９１の外周面に基準
点信号を生起すべきＺ相の他に、それぞれ着磁ピッチの
異なる（換言すれば、磁極配置数の異なる）複数の磁極
列からなるインクリメント相Ｉ、、Ｉ、、Ｉ、を設ける
と共に、これらのインクリメント相Ｉ、、 Ｉよ＋
Ｉｓにそれぞれ対向する独立の磁気抵抗効果素子部９
４ａ、９４ｂ。
第１０図に示すように、回転ドラム９１の外周面に基準
点信号を生起すべきＺ相の他に、それぞれ着磁ピッチの
異なる（換言すれば、磁極配置数の異なる）複数の磁極
列からなるインクリメント相Ｉ、、Ｉ、、Ｉ、を設ける
と共に、これらのインクリメント相Ｉ、、 Ｉよ＋
Ｉｓにそれぞれ対向する独立の磁気抵抗効果素子部９
４ａ、９４ｂ。
９４ｃを設けた磁気センサ９３を設けた構成の磁気式エ
ンコーダを作製し検討した。このような構成とすれば、
異なるパルス数の出力信号を生起させることができ、従
って例えば低パルス数のものを高速回転用に高パルス数
のものを低速回転用に適用すれば、各々高精度の検出を
行ない得ると考えたのである。また、使い方によっては
、低パルス数の信号と高パルス数の信号とを同時に検出
し、これにより後の回路処理でさらに高精度の信号パル
スに合成できることも考えられる。
ンコーダを作製し検討した。このような構成とすれば、
異なるパルス数の出力信号を生起させることができ、従
って例えば低パルス数のものを高速回転用に高パルス数
のものを低速回転用に適用すれば、各々高精度の検出を
行ない得ると考えたのである。また、使い方によっては
、低パルス数の信号と高パルス数の信号とを同時に検出
し、これにより後の回路処理でさらに高精度の信号パル
スに合成できることも考えられる。
しかしながら、種々実験検討した結果、上記のように異
なる磁極数のインクリメント相ＩＩ！Ｉｌｌ■、を同一
の回転ドラム上に配置した場合には、次のような問題点
のあることがわかった。すなわち、第１１図（ａ）およ
び（ｂ）に模式的に示すよう゛に、磁極数が大になると
、換言すれば磁極間距離が短くなると、磁気記録媒体自
体の磁気特性が同一であっても、有効磁束Φの到達距離
が次第に短くなり、磁気抵抗素子に生起される出力信号
の値が異なって現われる。例えば、媒体表面から同一距
離Ｘにある磁気抵抗素子ａｌおよびす、より検出される
信号波形は、同図（Ｃ）および（ｄ）にそれぞれ示すよ
うなものになり、信号波形の大きさ及び波形の歪具合が
異なるため、実用に供することが困難であり、前記のよ
うな精密機器用の磁気式エンコーダは実現できないとい
う問題点のあることを知った。
なる磁極数のインクリメント相ＩＩ！Ｉｌｌ■、を同一
の回転ドラム上に配置した場合には、次のような問題点
のあることがわかった。すなわち、第１１図（ａ）およ
び（ｂ）に模式的に示すよう゛に、磁極数が大になると
、換言すれば磁極間距離が短くなると、磁気記録媒体自
体の磁気特性が同一であっても、有効磁束Φの到達距離
が次第に短くなり、磁気抵抗素子に生起される出力信号
の値が異なって現われる。例えば、媒体表面から同一距
離Ｘにある磁気抵抗素子ａｌおよびす、より検出される
信号波形は、同図（Ｃ）および（ｄ）にそれぞれ示すよ
うなものになり、信号波形の大きさ及び波形の歪具合が
異なるため、実用に供することが困難であり、前記のよ
うな精密機器用の磁気式エンコーダは実現できないとい
う問題点のあることを知った。
本発明は、上記従来技術および先行技術に存在する問題
点を解決し、小型かつ高精度であり、かつ複数の検出信
号を同等レベルの信号出力値及び波形形状で出力し得る
磁気式エンコーダを提供することを目的とするものであ
る。
点を解決し、小型かつ高精度であり、かつ複数の検出信
号を同等レベルの信号出力値及び波形形状で出力し得る
磁気式エンコーダを提供することを目的とするものであ
る。
上記の目的を達成するために本発明は、異なるピッチで
着磁された複数の磁極列を有する繰り返し磁気信号発生
手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁性体薄膜パターンを構
成要素とする磁気抵抗効果素子部が複数個設けられた磁
気センサとを有する磁気式エンコーダであって、前記強
磁性体薄膜パターンにパターン化による異方性磁界以下
の磁界が印加されるように、間隙を介して、前記磁気抵
抗効果素子部と前記磁極列をそれぞれ対向配置したこと
を特徴とするものである。
着磁された複数の磁極列を有する繰り返し磁気信号発生
手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁性体薄膜パターンを構
成要素とする磁気抵抗効果素子部が複数個設けられた磁
気センサとを有する磁気式エンコーダであって、前記強
磁性体薄膜パターンにパターン化による異方性磁界以下
の磁界が印加されるように、間隙を介して、前記磁気抵
抗効果素子部と前記磁極列をそれぞれ対向配置したこと
を特徴とするものである。
すなわち、本発明は、表面に複数の磁極が磁気抵抗効果
素子部との相対移動方向に出現するように形成してなる
インクリメント相等の磁極列を設けた磁石体等の磁界発
生手段の磁界が作用する範囲内に、前記磁極列と対向し
かつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子部を前記磁石
体等と相対移動可能に配設した磁気式エンコーダであっ
て、出力信号波形の歪を生じないようなパターン化によ
る異方性磁界以下の外部印加磁界を磁気抵抗効果素子部
表面で形成するように、所定の間隙を介して磁気ドラム
を配置する、という技術的手段を採用したことを特徴と
するものである。
素子部との相対移動方向に出現するように形成してなる
インクリメント相等の磁極列を設けた磁石体等の磁界発
生手段の磁界が作用する範囲内に、前記磁極列と対向し
かつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子部を前記磁石
体等と相対移動可能に配設した磁気式エンコーダであっ
て、出力信号波形の歪を生じないようなパターン化によ
る異方性磁界以下の外部印加磁界を磁気抵抗効果素子部
表面で形成するように、所定の間隙を介して磁気ドラム
を配置する、という技術的手段を採用したことを特徴と
するものである。
第７図は、磁気抵抗効果素子による信号検出についての
説明図であり、第７図（ａ）に示すような磁気抵抗効果
を有する強磁性体薄膜からなる１本の感磁パターンにお
いて、パターン長手方向に対して直交する方向に外部よ
り磁界Ｈｍが印加された場合、パターン両端ＡＢ間の抵
抗値は、第７図（ｂ）で示すような抵抗値変化を示す。
説明図であり、第７図（ａ）に示すような磁気抵抗効果
を有する強磁性体薄膜からなる１本の感磁パターンにお
いて、パターン長手方向に対して直交する方向に外部よ
り磁界Ｈｍが印加された場合、パターン両端ＡＢ間の抵
抗値は、第７図（ｂ）で示すような抵抗値変化を示す。
ここでＩｌｋ’はパターン化による異方性磁界であり、
次式で示される。
次式で示される。
Ｈｋ’＝ＨＤ＋Ｈｋ’
Ｈｔ＋ ＝４ ｘＭｓ −
ここで、Ｈｋ’：磁性膜の異方性磁界
Ｈｏ：反磁界
４πＭｓ：磁性膜の飽和磁化
ｔ：磁性膜の膜厚
Ｗ：感磁パターンの幅
一方、第８図に示すように磁気ドラム表面から距離Ｘの
位置Ｘで磁気ドラム回転時に得られるもれ磁束による磁
界強度は、時間に対して正弦波状の周期的磁界となるが
、その振幅強度は距離Ｘに依存することが明らかである
。
位置Ｘで磁気ドラム回転時に得られるもれ磁束による磁
界強度は、時間に対して正弦波状の周期的磁界となるが
、その振幅強度は距離Ｘに依存することが明らかである
。
従って、第６図（ａ）に示したような構成の磁気抵抗効
果素子部の各感磁パターンではドラム回転による表面磁
界が周期的に印加されるから、第６図（ｂ）に示す等価
回路における各抵抗素子ＭＲ，。
果素子部の各感磁パターンではドラム回転による表面磁
界が周期的に印加されるから、第６図（ｂ）に示す等価
回路における各抵抗素子ＭＲ，。
ＭＲ，では、感磁パターンと磁極列との間の距離に応じ
て第９図に示したような抵抗値変化を示し、中点電位ｅ
、は、周期的な信号振幅を得ることになる。ここで、印
加磁界がＣのように大きいと信号波形が歪み信号精度も
悪くなるため、後の回路処理上も非常に使いづらくなる
。また、印加磁界がＡのように小さすぎると得られる信
号波形が小さいので後の回路処理上使いにくい。
て第９図に示したような抵抗値変化を示し、中点電位ｅ
、は、周期的な信号振幅を得ることになる。ここで、印
加磁界がＣのように大きいと信号波形が歪み信号精度も
悪くなるため、後の回路処理上も非常に使いづらくなる
。また、印加磁界がＡのように小さすぎると得られる信
号波形が小さいので後の回路処理上使いにくい。
したがって、印加磁界の最大値がパターン化による異方
性磁界とほぼ同等であるときが歪も少なく出力も大きく
なる。
性磁界とほぼ同等であるときが歪も少なく出力も大きく
なる。
本発明においては、表面に複数の磁極が磁気抵抗効果素
子との相対移動方向に出現するように形成してなる磁極
列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界が作用する
範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記磁極列と対
向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子を前記繰
り返し磁気信号発生手段と相対移動可能に配設した磁気
式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極列を複雑列
設けると共に、磁極数の大なる磁極列と対向する磁気セ
ンサの磁気抵抗効果素子部との間隙を、磁極数の小なる
磁極列と対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部との
間隙より小に形成し、それぞれの磁気抵抗効果素子の出
力信号の値及び信号波形形状を近似させるように構成す
る、という技術学的手段を採用することができる。
子との相対移動方向に出現するように形成してなる磁極
列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界が作用する
範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記磁極列と対
向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子を前記繰
り返し磁気信号発生手段と相対移動可能に配設した磁気
式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極列を複雑列
設けると共に、磁極数の大なる磁極列と対向する磁気セ
ンサの磁気抵抗効果素子部との間隙を、磁極数の小なる
磁極列と対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部との
間隙より小に形成し、それぞれの磁気抵抗効果素子の出
力信号の値及び信号波形形状を近似させるように構成す
る、という技術学的手段を採用することができる。
また本発明においては、表面に複数の磁極が磁気抵抗効
果素子との相対移動方向に出現するように形成してなる
磁極列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界が作用
する範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記磁極列
と対向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子を前
記繰り返し磁気信号発生手段と相〉１移動可能に配設し
た磁気式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極列を
複数列設けると共に、各磁極配列に対向して設置するそ
れぞれの磁気抵抗効果素子において、構成する感磁パタ
ーンの幅寸法を種々変え、パターン化による異方性磁界
１１に’を変化させることにより、それぞれの磁気抵抗
効果素子の出力信号の値及び信号波形形状を近似させる
ように構成する、という技術的手段を採用してもよい。
果素子との相対移動方向に出現するように形成してなる
磁極列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界が作用
する範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記磁極列
と対向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素子を前
記繰り返し磁気信号発生手段と相〉１移動可能に配設し
た磁気式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極列を
複数列設けると共に、各磁極配列に対向して設置するそ
れぞれの磁気抵抗効果素子において、構成する感磁パタ
ーンの幅寸法を種々変え、パターン化による異方性磁界
１１に’を変化させることにより、それぞれの磁気抵抗
効果素子の出力信号の値及び信号波形形状を近似させる
ように構成する、という技術的手段を採用してもよい。
更にまた本発明においては、表面に複数個の磁極が磁気
抵抗効果素子との相対移動方向に出現するように形成し
てなる磁極列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界
が作用する範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記
磁極列と対向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素
子を前記繰り返し磁気信号発生手段と相対移動可能に配
設した磁気式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極
列を複数列設けると具に、磁気ドラムの各磁極配列部の
磁気記録媒体膜厚を種々変え、対向配置する磁気抵抗効
果素子表面で得られる磁界強度を均一にすることにより
、それぞれの磁気抵抗効果素子の出力信号の値および信
号波形形状を近似させるように構成する、という技術的
手段を採用しても良いのである。
抵抗効果素子との相対移動方向に出現するように形成し
てなる磁極列を設けた繰り返し磁気信号発生手段の磁界
が作用する範囲内に、繰り返し磁気信号発生手段の前記
磁極列と対向しかつ所定の間隙を介して磁気抵抗効果素
子を前記繰り返し磁気信号発生手段と相対移動可能に配
設した磁気式エンコーダにおいて、磁極数の異なる磁極
列を複数列設けると具に、磁気ドラムの各磁極配列部の
磁気記録媒体膜厚を種々変え、対向配置する磁気抵抗効
果素子表面で得られる磁界強度を均一にすることにより
、それぞれの磁気抵抗効果素子の出力信号の値および信
号波形形状を近似させるように構成する、という技術的
手段を採用しても良いのである。
また、本発明において、繰り返し磁界発生手段は回転ド
ラムに限られるものではなく、平板状のものなど磁気エ
ンコーダとして公知の形状のものであれば、容易に適用
できることは勿論である。
ラムに限られるものではなく、平板状のものなど磁気エ
ンコーダとして公知の形状のものであれば、容易に適用
できることは勿論である。
上記の構成により、本発明においては、磁気抵抗効果素
子において検出出力される信号波形が、歪の少ない擬似
正弦波で出力信号振幅値も最大となるような、後の回路
処理上非常に都合のよい出力信号波形を得る作用を期待
できる。すなわち前述のような構成をした磁気式エンコ
ーダにおいては、磁気ドラムの磁気記録媒体の種類及び
磁極極数の大小にかかわらず、磁気抵抗効果素子より得
られる検出出力信号は最適な信号波形となることである
。
子において検出出力される信号波形が、歪の少ない擬似
正弦波で出力信号振幅値も最大となるような、後の回路
処理上非常に都合のよい出力信号波形を得る作用を期待
できる。すなわち前述のような構成をした磁気式エンコ
ーダにおいては、磁気ドラムの磁気記録媒体の種類及び
磁極極数の大小にかかわらず、磁気抵抗効果素子より得
られる検出出力信号は最適な信号波形となることである
。
また本発明においては、複数の磁極列１例えばインクリ
メント相に設ける磁極数の多寡による磁束の到達距離の
長短、若しくは磁界強度の大小に起因する磁気抵抗効果
素子の出力信号の値及び信号波形形状を近似させ得る作
用を期待できる。すなわち磁極数の大なるインクリメン
ト相に対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部につい
ての間隙を大にする一方、磁極数の小なるインクリメン
ト相に対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部につい
ての間隙を小にすることにより、それぞれの磁気抵抗効
果素子を構成する感磁パターンに作用する磁界強度を路
間等のレベルに整合することができるのである。
メント相に設ける磁極数の多寡による磁束の到達距離の
長短、若しくは磁界強度の大小に起因する磁気抵抗効果
素子の出力信号の値及び信号波形形状を近似させ得る作
用を期待できる。すなわち磁極数の大なるインクリメン
ト相に対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部につい
ての間隙を大にする一方、磁極数の小なるインクリメン
ト相に対向する磁気センサの磁気抵抗効果素子部につい
ての間隙を小にすることにより、それぞれの磁気抵抗効
果素子を構成する感磁パターンに作用する磁界強度を路
間等のレベルに整合することができるのである。
また本発明においては、上記磁気センサのそれぞれの磁
気抵抗効果素子部とそれに対向配置する磁気ドラムのそ
れぞれの磁極配列との間隙距離を同一寸法に保持した状
態で、各磁気抵抗効果素子部の感磁パターンの幅寸法を
異なるように形成することにより、パターン化による異
方性磁界１１に゛を変化させ、磁気センサの各磁気抵抗
効果素子表面で得られる各磁極配列部からの異なった磁
界強度に対する磁気抵抗効果素子部の感磁パターン抵抗
変化率すなわち出力信号値及び信号波形形状を略同等レ
ベルに整合することができる。
気抵抗効果素子部とそれに対向配置する磁気ドラムのそ
れぞれの磁極配列との間隙距離を同一寸法に保持した状
態で、各磁気抵抗効果素子部の感磁パターンの幅寸法を
異なるように形成することにより、パターン化による異
方性磁界１１に゛を変化させ、磁気センサの各磁気抵抗
効果素子表面で得られる各磁極配列部からの異なった磁
界強度に対する磁気抵抗効果素子部の感磁パターン抵抗
変化率すなわち出力信号値及び信号波形形状を略同等レ
ベルに整合することができる。
第１２図は、それぞれの磁気抵抗効果素子部ａ。
ｂ、Ｃの表面磁界強度と、各磁気抵抗効果素子部の感磁
パターン幅をＷａ＞Ｗｂ＞Ｗｃとしたときの抵抗変化率
曲線との関係を示す図である。感磁パターン幅をＷａ＞
Ｗｂ＞Ｗｅとしたときのパターン化による異方性磁界は
、それぞれａＨｋ’＞ｂｌ］ｋ’ ）ｃＨｋ’となって
おり、各磁気抵抗効果素子表面での磁界強度Ｈａ 、
Ｈｂ 、 Ｈｃとほぼ一致するように各感磁パターン幅
を形成すると、磁気センサと磁気ドラムの間隙距離を同
一寸法に保持した状態で各パターン抵抗変化率が略同等
レベルとなることにより、各磁気抵抗効果素子より出力
される信号は、出力レベル、信号波形形状とも略同等レ
ベルのものが得られることが期待できるのである。
パターン幅をＷａ＞Ｗｂ＞Ｗｃとしたときの抵抗変化率
曲線との関係を示す図である。感磁パターン幅をＷａ＞
Ｗｂ＞Ｗｅとしたときのパターン化による異方性磁界は
、それぞれａＨｋ’＞ｂｌ］ｋ’ ）ｃＨｋ’となって
おり、各磁気抵抗効果素子表面での磁界強度Ｈａ 、
Ｈｂ 、 Ｈｃとほぼ一致するように各感磁パターン幅
を形成すると、磁気センサと磁気ドラムの間隙距離を同
一寸法に保持した状態で各パターン抵抗変化率が略同等
レベルとなることにより、各磁気抵抗効果素子より出力
される信号は、出力レベル、信号波形形状とも略同等レ
ベルのものが得られることが期待できるのである。
次に本発明においては、磁気信号発生手段の磁極極数の
異なる（換口すれば、着磁ピッチの異なる）複数の磁極
配列部における磁気記録媒体の膜厚を変えることにより
、対向配置する磁気抵抗効果素子部に印加される磁界強
度をほぼ同じになるように調整を行ない、磁極列と磁気
抵抗効果素子部の間隙距離を同一寸法に保持した状態で
それぞれの磁気抵抗効果素子の出力信号の値及び信号波
形形状を略同等レベルに整合することができる。
異なる（換口すれば、着磁ピッチの異なる）複数の磁極
配列部における磁気記録媒体の膜厚を変えることにより
、対向配置する磁気抵抗効果素子部に印加される磁界強
度をほぼ同じになるように調整を行ない、磁極列と磁気
抵抗効果素子部の間隙距離を同一寸法に保持した状態で
それぞれの磁気抵抗効果素子の出力信号の値及び信号波
形形状を略同等レベルに整合することができる。
第１３図は、磁気記録媒体としてＧｏ−γＦｅ。
０、磁性粉を用いた磁性塗膜を用いたときの磁気記録媒
体の膜厚と着磁ピッチ及び表面磁界強度を有限要素法を
用いてシミュレーションして得られた計算結果である。
体の膜厚と着磁ピッチ及び表面磁界強度を有限要素法を
用いてシミュレーションして得られた計算結果である。
この図から、表面磁界強度とスペーシング距離Ｘを固定
しても、それぞれの磁極配列部の着磁ピッチλにおける
最適膜厚を選択することにより同ようの効果を得ること
が可能であることがわかる。
しても、それぞれの磁極配列部の着磁ピッチλにおける
最適膜厚を選択することにより同ようの効果を得ること
が可能であることがわかる。
更にまた、本発明においては上記各方式を適宜組合せて
出力信号値および出力信号波形を整合することも出来る
。
出力信号値および出力信号波形を整合することも出来る
。
直径１３０［１１１１１，軸方向長さ２５Ｉｌ＋ｍに形
成した非磁性材から成る回転ドラムの外周面に磁気記録
媒体としてＣＯ−γＦｅ、Ｏ，からなる磁性粉を用いた
磁性塗料で磁性塗膜層を形成し、基準点検出用の１極着
磁、及び高速回転時検出用の２５６極着磁。
成した非磁性材から成る回転ドラムの外周面に磁気記録
媒体としてＣＯ−γＦｅ、Ｏ，からなる磁性粉を用いた
磁性塗料で磁性塗膜層を形成し、基準点検出用の１極着
磁、及び高速回転時検出用の２５６極着磁。
低速回転時検出用の２０００極着磁の３つの極極配タリ
を設け、第３図に示したような磁気ドラムを作製した。
を設け、第３図に示したような磁気ドラムを作製した。
本実施例においては、２５６極着磁部には段差を設けた
。また、本実施例で使用した磁気センサは第２図に示す
ように、３つの磁気抵抗素子部３１，３２．３３から構
成されている。各感磁パターン幅は、それぞれ２部：１
０μｔｏ、 Ｐ部；２０μｍ、 Ｖ部＝１０μｍとし
ている。これらを用いて、本発明の磁気式エンコーダを
構成した。
。また、本実施例で使用した磁気センサは第２図に示す
ように、３つの磁気抵抗素子部３１，３２．３３から構
成されている。各感磁パターン幅は、それぞれ２部：１
０μｔｏ、 Ｐ部；２０μｍ、 Ｖ部＝１０μｍとし
ている。これらを用いて、本発明の磁気式エンコーダを
構成した。
第１図は本実施例による磁気式エンコーダの構成を模式
的に示す要部側面図である。同一部分は前述した第１０
図および第１１図と同一の参照符号で示す。第１図にお
いて、１１は基準点検出用Ｚ相、１２および１３は各々
インクリメント相であるＰ信号相磁極列およびＶ信号相
磁極列であり、前記のように各々２０００パルス／回転
（Ｐ／Ｒ）及び２５６ Ｐ／Ｒに相当する。次に、３１
，３２゜３３はそれぞれ磁気抵抗効果素子部であり、そ
れぞれ前記Ｚ相磁極列１１．Ｐ信号相磁極列１２゜■信
号相磁極列１３に対向させて配設する。この場合におい
て、磁気抵抗効果素子部３２．３３はそれぞれ磁気ドラ
ムの着磁磁極列１２．１３と間隔ｇ−２ｇｓを介して対
向させる。本実施例においては、ｇ、−１３０μｍ、ｇ
、＝６６５μｍに設定した。従って、磁気抵抗素子部３
１〜３３を同一平面上に設ける場合には、回転ドラム１
上のＰ信号磁極側１２より、■信号磁極側１３の半径を
５３５μｍ小に形成する（直径において１０７０μｍ小
に形成する）。なお、Ｚ相着磁部１１はＰ信号磁極側１
２と同一直径に形成した。
的に示す要部側面図である。同一部分は前述した第１０
図および第１１図と同一の参照符号で示す。第１図にお
いて、１１は基準点検出用Ｚ相、１２および１３は各々
インクリメント相であるＰ信号相磁極列およびＶ信号相
磁極列であり、前記のように各々２０００パルス／回転
（Ｐ／Ｒ）及び２５６ Ｐ／Ｒに相当する。次に、３１
，３２゜３３はそれぞれ磁気抵抗効果素子部であり、そ
れぞれ前記Ｚ相磁極列１１．Ｐ信号相磁極列１２゜■信
号相磁極列１３に対向させて配設する。この場合におい
て、磁気抵抗効果素子部３２．３３はそれぞれ磁気ドラ
ムの着磁磁極列１２．１３と間隔ｇ−２ｇｓを介して対
向させる。本実施例においては、ｇ、−１３０μｍ、ｇ
、＝６６５μｍに設定した。従って、磁気抵抗素子部３
１〜３３を同一平面上に設ける場合には、回転ドラム１
上のＰ信号磁極側１２より、■信号磁極側１３の半径を
５３５μｍ小に形成する（直径において１０７０μｍ小
に形成する）。なお、Ｚ相着磁部１１はＰ信号磁極側１
２と同一直径に形成した。
上記の構成により、第４図に示すように磁気抵抗効果素
子部３１〜３３には路間等のレベルの出力電圧５０ｍＶ
、かつ路間等の信号波形形状を得ることができた。同図
から明かなように本発明によれば同等レベルの出力信号
値及び波形形状が得られる。
子部３１〜３３には路間等のレベルの出力電圧５０ｍＶ
、かつ路間等の信号波形形状を得ることができた。同図
から明かなように本発明によれば同等レベルの出力信号
値及び波形形状が得られる。
本発明は、以上記述のような構成および作用であるから
、磁気ドラムと磁気センサとからなる１組の磁気式エン
コーダから、同時に複数の出力信号を得ることができ、
装置全体を極めて小型かつコンパクトにすることができ
る。また構成部品の点数を減少させ得るため、製作が容
易である。更に異なるパルス数の出力信号を同時に得る
ことができるため、例えば高速用と低速用の両用途に同
時に適用できると共に、検出精度を大幅に向上させ得る
という効果も期待できるものである。
、磁気ドラムと磁気センサとからなる１組の磁気式エン
コーダから、同時に複数の出力信号を得ることができ、
装置全体を極めて小型かつコンパクトにすることができ
る。また構成部品の点数を減少させ得るため、製作が容
易である。更に異なるパルス数の出力信号を同時に得る
ことができるため、例えば高速用と低速用の両用途に同
時に適用できると共に、検出精度を大幅に向上させ得る
という効果も期待できるものである。
第１図は本発明の一実施例を示す要部側面図、第２図お
よび第３図は実施例において使用した磁気センサ及び磁
気ドラムをそれぞれ示す概略構成図、第４図は実施例で
得られた各信号の波形を示す図、第５図は従来の磁気式
エンコーダの例を模式的に示す拡大斜視図、第６図は第
５図に示す従来の磁気式エンコーダの検出部を模式的に
示す拡大斜視図、第７図は一本の感磁パターンの性質を
示す図、第８図は磁気ドラム回転時の表面磁界強度の説
明図、第９図は磁界強度変化時の抵抗値変化及び出力信
号変化を示す図、第１０図は多出力信号の磁気式エンコ
ーダの構成例を示す図、第１１図は着磁ピッチが異なる
場合の同一スペーシングにおける出力信号波形の模式図
、第１２図は各磁気抵抗効果素子部表面磁界強度と抵抗
値変化を同一になるように感磁部パターン幅を変化させ
る場合の説明図、第１３図は磁気記録媒体の膜厚と着磁
ピッチ及び表面磁界強度の関係を示す図である。 １：磁気ドラム、３：磁気センサ、１１；１２；１３：
磁極列、３１Ｈ３２；３３：磁気抵抗効果第１図 第２図 （ａ） 第３図 （ｒ） 、、 −５ｏｌ 第６図 第７図 第８図 ｘ、＞ｘ２＞ｘ３ ！ 第９図 第１０図 第１１図 第１３図 ｄ／λ〔媒体膜厚／ｌｉｔ磁ビ／チ〕
よび第３図は実施例において使用した磁気センサ及び磁
気ドラムをそれぞれ示す概略構成図、第４図は実施例で
得られた各信号の波形を示す図、第５図は従来の磁気式
エンコーダの例を模式的に示す拡大斜視図、第６図は第
５図に示す従来の磁気式エンコーダの検出部を模式的に
示す拡大斜視図、第７図は一本の感磁パターンの性質を
示す図、第８図は磁気ドラム回転時の表面磁界強度の説
明図、第９図は磁界強度変化時の抵抗値変化及び出力信
号変化を示す図、第１０図は多出力信号の磁気式エンコ
ーダの構成例を示す図、第１１図は着磁ピッチが異なる
場合の同一スペーシングにおける出力信号波形の模式図
、第１２図は各磁気抵抗効果素子部表面磁界強度と抵抗
値変化を同一になるように感磁部パターン幅を変化させ
る場合の説明図、第１３図は磁気記録媒体の膜厚と着磁
ピッチ及び表面磁界強度の関係を示す図である。 １：磁気ドラム、３：磁気センサ、１１；１２；１３：
磁極列、３１Ｈ３２；３３：磁気抵抗効果第１図 第２図 （ａ） 第３図 （ｒ） 、、 −５ｏｌ 第６図 第７図 第８図 ｘ、＞ｘ２＞ｘ３ ！ 第９図 第１０図 第１１図 第１３図 ｄ／λ〔媒体膜厚／ｌｉｔ磁ビ／チ〕
Claims (5)
- （１）異なるピッチで着磁された複数の磁極列を有する
繰り返し磁気信号発生手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁
性体薄膜パターンを構成要素とする磁気抵抗効果素子部
が複数個設けられた磁気センサとを有し、前記強磁性体
薄膜パターンのパターン化による異方性磁界に応じて該
異方性磁界以下の磁界が印加されるように、間隙を介し
て前記磁気抵抗効果素子部と前記磁極列をそれぞれ対向
配置したことを特徴とする磁気式エンコーダ。 - （２）異なるピッチで着磁された複数の磁極列を有する
繰り返し磁気信号発生手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁
性体薄膜パターンを構成要素とする磁気抵抗効果素子部
が複数個設けられた磁気センサとを有し、間隙を介して
前記磁気抵抗効果素子部と前記磁極列をそれぞれ対向配
置してなるものであって、複数の磁気抵抗効果素子部は
同一平面上に位置させるとともに対向する磁極列の位置
に段差を設けることにより相対する両者の間隙を変えて
、前記強磁性体薄膜パターンのパターン化による異方性
磁界に応じて該異方性磁界以下の磁界が印加されるよう
にしたことを特徴とする磁気式エンコーダ。 - （３）異なるピッチで着磁された複数の磁極列を有する
繰り返し磁気信号発生手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁
性体薄膜パターンを構成要素とする磁気抵抗効果素子部
が複数個設けられた磁気センサとを有し、前記複数の磁
気抵抗効果素子部と磁極列をそれぞれ同じ間隙を介して
対向配置してなるものであって、前記強磁性体薄膜パタ
ーンの幅寸法を異なるものとすることにより、強磁性体
薄膜パターンにパターン化による異方性磁界以下の磁界
が印加されるようにしたことを特徴とする磁気式エンコ
ーダ。 - （４）異なるピッチで着磁された複数の磁極列を有する
繰り返し磁気信号発生手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁
性体薄膜パターンを構成要素とする磁気抵抗効果素子部
が複数個設けられた磁気センサとを有し、前記複数の磁
気抵抗効果素子部と磁極列をそれぞれ同じ間隙を介して
対向配置してなるものであって、磁気記録媒体の膜厚を
異なるものとすることにより、強磁性体薄膜パターンに
パターン化による異方性磁界以下の磁界が印加されるよ
うにしたことを特徴とする磁気式エンコーダ。 - （５）異なるピッチで着磁された複数の磁極列を有する
繰り返し磁気信号発生手段と、磁気抵抗効果を持つ強磁
性体薄膜パターンを構成要素とする磁気抵抗効果素子部
が複数個設けられた磁気センサとを有し、前記磁気抵抗
効果素子部と前記磁極列を間隙を介してそれぞれ対向配
置したものであって、前記磁極列と磁気抵抗素子部間の
間隙または前記強磁性体薄膜パターンの幅若しくは前記
磁極列が着磁される磁気記録媒体の膜厚のうちのいずれ
か一つ以上を変えることにより、前記強磁性体薄膜パタ
ーンにパターン化による異方性磁界以下の磁界が印加さ
れるようにしたことを特徴とする磁気式エンコーダ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1094135A JPH02271216A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 磁気式エンコーダ |
| DE4090509A DE4090509C1 (ja) | 1989-04-13 | 1990-04-10 | |
| PCT/JP1990/000481 WO1990012290A1 (fr) | 1989-04-13 | 1990-04-10 | Encodeur magnetique |
| US07/613,727 US5172057A (en) | 1989-04-13 | 1990-04-10 | Magnetic encoder including plural magnetic pole lines having differing magnetic pitches and plural magnetic resistance effect elements |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1094135A JPH02271216A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 磁気式エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02271216A true JPH02271216A (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=14101957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1094135A Pending JPH02271216A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 磁気式エンコーダ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5172057A (ja) |
| JP (1) | JPH02271216A (ja) |
| DE (1) | DE4090509C1 (ja) |
| WO (1) | WO1990012290A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118053648A (zh) * | 2024-02-02 | 2024-05-17 | 浙江麦格智芯科技有限公司 | 一种图形化软磁薄膜磁码盘器件及制备方法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69312109T2 (de) * | 1992-02-13 | 1998-01-08 | Japan Servo | Absolutkodierer |
| DE4319322C2 (de) * | 1993-06-11 | 1998-04-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
| TW540073B (en) | 2001-10-19 | 2003-07-01 | Viewmove Technologies Inc | Electromagnetic mark device for a magnetism encoder |
| US7317313B2 (en) * | 2002-11-14 | 2008-01-08 | Measurement Specialties, Inc. | Magnetic encoder apparatus |
| JP4232808B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2009-03-04 | 日立金属株式会社 | 磁気エンコーダ装置 |
| US9733317B2 (en) * | 2014-03-10 | 2017-08-15 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Position detecting device |
| JP6197839B2 (ja) * | 2015-08-11 | 2017-09-20 | Tdk株式会社 | 回転検出装置 |
| FR3133081B1 (fr) * | 2022-02-25 | 2024-03-15 | Ntn Snr Roulements | Système de détermination d’un couple |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3063039A (en) * | 1957-04-01 | 1962-11-06 | Ex Cell O Corp | Magnetic data storage device |
| NL250453A (ja) * | 1960-04-12 | |||
| US3197750A (en) * | 1961-04-28 | 1965-07-27 | Ex Cell O Corp | Magnetic transducer head mounting means |
| JPS5927115B2 (ja) * | 1974-12-29 | 1984-07-03 | ソニー株式会社 | 情報検出装置 |
| JPS54118259A (en) * | 1978-03-06 | 1979-09-13 | Nec Corp | Angle detector |
| GB2052855B (en) * | 1979-03-30 | 1983-05-18 | Sony Corp | Magnetoresistive transducers |
| JPS5677927A (en) * | 1979-11-28 | 1981-06-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS5860215A (ja) * | 1981-10-06 | 1983-04-09 | Hitachi Ltd | 位置検出付エンコ−ダ |
| JPS58167914A (ja) * | 1982-03-29 | 1983-10-04 | Kangiyou Denki Kiki Kk | 磁気抵抗素子 |
| JPS5919810A (ja) * | 1982-07-26 | 1984-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転角検出装置 |
| JPH0623931Y2 (ja) * | 1984-08-30 | 1994-06-22 | 株式会社ソキア | 磁気スケール用検出器 |
| JPS61102520A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-21 | Canon Inc | 磁気センサ−装置 |
| JPH0660824B2 (ja) * | 1985-08-14 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 絶対位置検出装置 |
| JPH0638047B2 (ja) * | 1985-10-09 | 1994-05-18 | 株式会社日立製作所 | 磁気的に位置を検出する装置 |
| JPS63115008A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気エンコ−ダ |
| JPS63206614A (ja) * | 1987-02-24 | 1988-08-25 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | アブソリユ−ト磁気エンコ−ダ |
| JPS63295917A (ja) * | 1987-05-28 | 1988-12-02 | Agency Of Ind Science & Technol | 磁気エンコ−ダ |
| US4866382A (en) * | 1987-11-04 | 1989-09-12 | Superior Electric Company | Magnetic rotary encoder system having a multi-element magnetoresistive sensor |
| US4954803A (en) * | 1988-03-18 | 1990-09-04 | Yamaha Corporation | Magnetic-resistor sensor and a magnetic encoder using such a sensor |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP1094135A patent/JPH02271216A/ja active Pending
-
1990
- 1990-04-10 DE DE4090509A patent/DE4090509C1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-10 WO PCT/JP1990/000481 patent/WO1990012290A1/ja not_active Ceased
- 1990-04-10 US US07/613,727 patent/US5172057A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118053648A (zh) * | 2024-02-02 | 2024-05-17 | 浙江麦格智芯科技有限公司 | 一种图形化软磁薄膜磁码盘器件及制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4090509C1 (ja) | 1993-02-04 |
| US5172057A (en) | 1992-12-15 |
| WO1990012290A1 (fr) | 1990-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5019776A (en) | Magnetic position detection apparatus having two magnetic recording medium tracks with magnetoresistors arranged in a bridge circuit so as to eliminate even order harmonic distortion | |
| US4904937A (en) | Apparatus for magnetically detecting positions with minimum length magnetic information units recorded on a plurality of magnetic tracks | |
| US4785241A (en) | Encoder unit using magnetoresistance effect element | |
| WO1999013296A1 (en) | Magnetic encoder | |
| GB2071333A (en) | Magnetic sensor device | |
| JPH0658766A (ja) | 絶対位置検出装置およびモ−タ制御装置 | |
| JP3037380B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JP3619156B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPH02271216A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| KR100658859B1 (ko) | 자기 검출 장치 | |
| JP2000193407A (ja) | 磁気式位置検出装置 | |
| JP4798472B2 (ja) | 磁気式エンコーダーおよびその製造方法 | |
| JP2005531008A (ja) | ２つの磁気トラックを有する角変位エンコーダ | |
| EP2865997B1 (en) | Magnetic medium for magnetic encoder, magnetic encoder and method for manufacturing magnetic medium | |
| JP2960570B2 (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JPS59147213A (ja) | 磁気回転センサ | |
| JP3064293B2 (ja) | 回転センサ | |
| JP2008298729A (ja) | 磁気式エンコーダ用磁気スケールおよびその製造方法 | |
| JPH09269205A (ja) | 磁気式回転センサ | |
| JPH01223309A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JPH10227805A (ja) | 回転センサ | |
| JPH01145520A (ja) | アブソリュート磁気エンコーダ | |
| JPH0416711A (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH0711429B2 (ja) | エンコ−ダ装置 | |
| JPH0441282B2 (ja) |