JPH0227325A - 光波長変換装置 - Google Patents
光波長変換装置Info
- Publication number
- JPH0227325A JPH0227325A JP63177813A JP17781388A JPH0227325A JP H0227325 A JPH0227325 A JP H0227325A JP 63177813 A JP63177813 A JP 63177813A JP 17781388 A JP17781388 A JP 17781388A JP H0227325 A JPH0227325 A JP H0227325A
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- Japan
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- light
- lens
- optical
- wavelength conversion
- conical
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体レーザー光を用いて光メモリー装置やレ
ーザープリンタ等に利用される光波長変換装置に関する
ものである。
ーザープリンタ等に利用される光波長変換装置に関する
ものである。
従来の技術
従来より、非線形光学効果を応用した第二高調波発生（
以下ＳＨＧと略す）により、レーザー光の波長を％に変
換することは（例えば特開昭６１−７２２２２号公報等
）知られている。
以下ＳＨＧと略す）により、レーザー光の波長を％に変
換することは（例えば特開昭６１−７２２２２号公報等
）知られている。
第７図、第８図、第９図は従来の光波長変換装置を示す
もので、１は非線型光学結晶基板、２は非線型光学結晶
基板１に設けられた光導波路、３は光入射部である。４
は光波長変換素子（以下ＳＨＧ素子と記す）で非線型光
学結晶基板１および光導波路２より構成される。また５
は半導体レーザー、ｅはコリメートレンズ、７はフォー
カスレンズであり、半導体レーザー６の光をコリメート
レンズ６、フォーカスレンズ７によシ集光した光８を光
入射部３に導入すると、光導波路２における非線形光学
効果によシ波長変換された第二高調波（以下ＳＨ光と略
す）９が得られる。なお１８は光導波路２を通過した一
次光である。
もので、１は非線型光学結晶基板、２は非線型光学結晶
基板１に設けられた光導波路、３は光入射部である。４
は光波長変換素子（以下ＳＨＧ素子と記す）で非線型光
学結晶基板１および光導波路２より構成される。また５
は半導体レーザー、ｅはコリメートレンズ、７はフォー
カスレンズであり、半導体レーザー６の光をコリメート
レンズ６、フォーカスレンズ７によシ集光した光８を光
入射部３に導入すると、光導波路２における非線形光学
効果によシ波長変換された第二高調波（以下ＳＨ光と略
す）９が得られる。なお１８は光導波路２を通過した一
次光である。
ここでＳＨＨＯ２、いわゆるチェレンコフ放射光と呼ば
れ、第９図に示すような三日月形状の拡散光１ｏとなる
。このＳＨＨＯ２、第９図に示すように導波路２とｙ方
向に角Ａをなして出射し、また！方向に角Ｂの拡がりを
有している。なお、三日月光の厚さ方向には、はぼ平行
光となっている。
れ、第９図に示すような三日月形状の拡散光１ｏとなる
。このＳＨＨＯ２、第９図に示すように導波路２とｙ方
向に角Ａをなして出射し、また！方向に角Ｂの拡がりを
有している。なお、三日月光の厚さ方向には、はぼ平行
光となっている。
しかしながら、このような拡散光１０のままのＳＨＨＯ
２は使いにくいため、従来は第１ｏ図に示す光束整形手
段全付加することにより、平行光を得ていた。
２は使いにくいため、従来は第１ｏ図に示す光束整形手
段全付加することにより、平行光を得ていた。
第１０図で、１２．１４はシリンドリカル凸レンズ、１
３はシリンドリカル凹レンズである。
３はシリンドリカル凹レンズである。
以下その動作について説明する。まず囚示しないＳＨＧ
素子から出たＳＨＨＯ２、シリンドリカル凸レンズ１２
で第９図に示す。第１０図Ｘ方向の拡がりをコリメート
し、光束１５となる。次にシリンドリカル凹レンズ１３
により、三日月光の厚さ方向を拡大してＹ方向の拡散光
束１６を得る。
素子から出たＳＨＨＯ２、シリンドリカル凸レンズ１２
で第９図に示す。第１０図Ｘ方向の拡がりをコリメート
し、光束１５となる。次にシリンドリカル凹レンズ１３
により、三日月光の厚さ方向を拡大してＹ方向の拡散光
束１６を得る。
次にシリンドリカル凸レンズ１４により、Ｙ方向の拡が
９をコリメートして、平行光１７を得る。
９をコリメートして、平行光１７を得る。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記のような構成では、ンリンドリカル
レンズ３枚を必要とすることやシリンドリカル凸レンズ
１２，１４で平行光金得ようとすると、それぞれの焦点
距離を調節する必要がある。
レンズ３枚を必要とすることやシリンドリカル凸レンズ
１２，１４で平行光金得ようとすると、それぞれの焦点
距離を調節する必要がある。
さらに上記構成は、本来、点光源の場合に有効で、チェ
レンコフ放射光のような導波路の長さが光源となってい
るような線状光源に対しては近似的にしか有効でないと
いう課題を有していた。
レンコフ放射光のような導波路の長さが光源となってい
るような線状光源に対しては近似的にしか有効でないと
いう課題を有していた。
本発明は上記課題に鑑み、導波路型ＳＨＧ素子により得
られるチェレンコフ放射光をより平行性の優れた平行光
にし、かつ従来よりもコンパクトで低価格な光束整形手
段を備えた光波長変換装置を提供するものである。
られるチェレンコフ放射光をより平行性の優れた平行光
にし、かつ従来よりもコンパクトで低価格な光束整形手
段を備えた光波長変換装置を提供するものである。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明の光波長変換装置は、
半導体レーザーと、半導体レーザーの光を集光し、ＳＨ
Ｇ素子に設けられた光導波路に入射する手段と、ＳＨＧ
素子の出射端において、０Ｍ記先光導波路同軸に設けら
れた円錐状レンズとからなる光束整形手段を備えたもの
である。
半導体レーザーと、半導体レーザーの光を集光し、ＳＨ
Ｇ素子に設けられた光導波路に入射する手段と、ＳＨＧ
素子の出射端において、０Ｍ記先光導波路同軸に設けら
れた円錐状レンズとからなる光束整形手段を備えたもの
である。
作 用
本発明は上記した構成によって、三日月状のチェレンコ
フ放射光をリング状の平行光として取り出すことができ
る。
フ放射光をリング状の平行光として取り出すことができ
る。
実施例
本発明の具体的実施例について説明する前に、その−船
釣な動作原理について詳細に説明する。
釣な動作原理について詳細に説明する。
第６図、第６図に於いて、９は三日月形のＳＨ光（チェ
レンコフコーン）、２１は円錐状レンズでちって、ＳＨ
ＨＯ２円錐状レンズ２１の回転対称軸は一致させである
。以上のように構成された光束整形手段について、その
動作を説明する。第５図に於いて、角ａはチェレンコフ
放射角であり、チェレンコフ放射のメカニズムにより決
まる定数である。角βは円錐状レンズ２１の底面に入射
するチェレンコフ放射光９の入射角、角γはこれに対応
する出射角、角δは円錐状レンズ２１の側面への入射角
、角εはこれに対応する出射角、角４は円錐状レンズ２
１の側面で屈折したチェレンコフ放射光と側面とのなす
角、そして角（は円錐状レンズ２１の頂角の半角である
。
レンコフコーン）、２１は円錐状レンズでちって、ＳＨ
ＨＯ２円錐状レンズ２１の回転対称軸は一致させである
。以上のように構成された光束整形手段について、その
動作を説明する。第５図に於いて、角ａはチェレンコフ
放射角であり、チェレンコフ放射のメカニズムにより決
まる定数である。角βは円錐状レンズ２１の底面に入射
するチェレンコフ放射光９の入射角、角γはこれに対応
する出射角、角δは円錐状レンズ２１の側面への入射角
、角εはこれに対応する出射角、角４は円錐状レンズ２
１の側面で屈折したチェレンコフ放射光と側面とのなす
角、そして角（は円錐状レンズ２１の頂角の半角である
。
ここで、チェレンコフ放射光の伝わる媒質を空気中でそ
の屈折率を１、円錐状Ｖンズ２１の屈折率をｎとすると
、第６図と簡単な幾何の定理と、屈折の法則とから、 α−β Ｓｌｎβ＝ｎｓｉｎ７ ｎ Ｓｉｎδ＝ＳｌｎＥ ε＋ζ＝− これらの式を円錐状レンズ２１から出たＳＨ光１１が、
円錐状レンズ２１の回転対称軸に平行になるという条件
、即ち γ＋δ＝ε ζ＝η という条件式の下で、αとηについて解くと、となる。
の屈折率を１、円錐状Ｖンズ２１の屈折率をｎとすると
、第６図と簡単な幾何の定理と、屈折の法則とから、 α−β Ｓｌｎβ＝ｎｓｉｎ７ ｎ Ｓｉｎδ＝ＳｌｎＥ ε＋ζ＝− これらの式を円錐状レンズ２１から出たＳＨ光１１が、
円錐状レンズ２１の回転対称軸に平行になるという条件
、即ち γ＋δ＝ε ζ＝η という条件式の下で、αとηについて解くと、となる。
従って、頂角２αのチェレンコフコーンが与えられた時
、（１）式の関係を満たすｎとηが存在すれば、第５図
に於いて、チェレンコフ放射光９はすべて、円錐状レン
ズ２１の回転対称軸に平行となり、結果、第６図中の図
形を回転対称軸の周りに回転させて得られる第６図の立
体構造に於いても、すべてのチェレンコフ放射光は回転
対称軸に平行、即ち平行光となる。ｎとηの例としては
、我々の実験の場合、ニオブ酸リチウム（Ｌ ｚ Ｎｂ
Ｏ５）基板表面に形成した導波路に波長８６０ ｎｍの
レーザ光を入射さセた場合、αとして、６３°の放射角
となる。この時、例えば硝材ＬａＫ１４（ｎ＝１，７１
６ａｔ波長＝４３０ｎｍ） を用いるとη−３３°が
得られる。さて、ここで得られた平行光はリング状の平
行光であるので、従来例のように、光束径を拡大・縮小
するには、球面凹凸レンズの対を共焦点位置にセットし
て、その光軸を第６図の円錐状レンズ２１の回転対称軸
に一致させれば良い。
、（１）式の関係を満たすｎとηが存在すれば、第５図
に於いて、チェレンコフ放射光９はすべて、円錐状レン
ズ２１の回転対称軸に平行となり、結果、第６図中の図
形を回転対称軸の周りに回転させて得られる第６図の立
体構造に於いても、すべてのチェレンコフ放射光は回転
対称軸に平行、即ち平行光となる。ｎとηの例としては
、我々の実験の場合、ニオブ酸リチウム（Ｌ ｚ Ｎｂ
Ｏ５）基板表面に形成した導波路に波長８６０ ｎｍの
レーザ光を入射さセた場合、αとして、６３°の放射角
となる。この時、例えば硝材ＬａＫ１４（ｎ＝１，７１
６ａｔ波長＝４３０ｎｍ） を用いるとη−３３°が
得られる。さて、ここで得られた平行光はリング状の平
行光であるので、従来例のように、光束径を拡大・縮小
するには、球面凹凸レンズの対を共焦点位置にセットし
て、その光軸を第６図の円錐状レンズ２１の回転対称軸
に一致させれば良い。
以上のように、チェレンコフコーンの頂角と硝材の屈折
率より決まる頂角をもつ円錐状レンズの回転対称軸をチ
ェレンコフコーンの回転対称軸に一致させて設けること
により、チェレンコフ放射光を平行光化することができ
る。
率より決まる頂角をもつ円錐状レンズの回転対称軸をチ
ェレンコフコーンの回転対称軸に一致させて設けること
により、チェレンコフ放射光を平行光化することができ
る。
以下本発明の一実施例における光波長変換装置について
図面を参照しながら説明する。
図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の第１の実施例を示すものである。同図
において、第７図と同一物には同一番号を付し説明を省
略する。
において、第７図と同一物には同一番号を付し説明を省
略する。
まず、円錐状レンズ４１をＳＨＧ素子４に設けられた光
導波路２と中心軸を合わせて設けることによって、ＳＨ
Ｇ素子４と同軸方向にＳＨ光３１が得られる。
導波路２と中心軸を合わせて設けることによって、ＳＨ
Ｇ素子４と同軸方向にＳＨ光３１が得られる。
ここで円錐状レンズ４１に円筒部４２を設けたのは、図
示しない筐体に半導体レーザー６やレンズ６．７と共に
円錐状レンズ４１を組み立てる際に光軸中心を一致させ
るアライメントが容易に行えるようにしたものである。
示しない筐体に半導体レーザー６やレンズ６．７と共に
円錐状レンズ４１を組み立てる際に光軸中心を一致させ
るアライメントが容易に行えるようにしたものである。
次に第２の実施例について第２図を参照して説明する。
第７図と同一物には同一番号を付し説明を省略する。４
３は円錐状中心軸を通る断面で切断し平面を構成した円
錐状レンズであり、４４はＳＨＧ素子４と共に、円錐状
レンズ４３を固着する基板であυ、ガラス、セラミック
、金属など材質は任意で、表面が平河でおればよい。
３は円錐状中心軸を通る断面で切断し平面を構成した円
錐状レンズであり、４４はＳＨＧ素子４と共に、円錐状
レンズ４３を固着する基板であυ、ガラス、セラミック
、金属など材質は任意で、表面が平河でおればよい。
基板４４にＳＨＧ素子４の光導波路面を接着し、先導波
路２と円錐状レンズ４３の光軸を合致させる。第５図か
らも明らかなように円錐状レンズは中心軸を通る断面で
２分された一方で十分機能を果すことができ、ＳＨ光３
１を得ることができる。
路２と円錐状レンズ４３の光軸を合致させる。第５図か
らも明らかなように円錐状レンズは中心軸を通る断面で
２分された一方で十分機能を果すことができ、ＳＨ光３
１を得ることができる。
第２の実施例では、円錐状レンズ４３が光軸を通る断面
で切断されているために、ＳＨＧ素子４の光導波路２と
のアライメントが容易になるという効果がある。さらに
ＳＨＧ素子４と円錐状レンズ４３が一体的に固着される
ため、温度、振動等による光軸の狂いが少ないという効
果もある。
で切断されているために、ＳＨＧ素子４の光導波路２と
のアライメントが容易になるという効果がある。さらに
ＳＨＧ素子４と円錐状レンズ４３が一体的に固着される
ため、温度、振動等による光軸の狂いが少ないという効
果もある。
第３図は第３の実施例の構成図である。同図において第
７図と同一物には同一番号を付し説明を省略する。本実
施例においては、円錐状レンズ４５はＳＨＧ素子４の出
力端に光学的に透明な接着剤により固着してあり、平行
光４６が得られる。
７図と同一物には同一番号を付し説明を省略する。本実
施例においては、円錐状レンズ４５はＳＨＧ素子４の出
力端に光学的に透明な接着剤により固着してあり、平行
光４６が得られる。
これによって、光波長変換装置が、よシ小径化できると
いう効果が生まれる。さらに第２の実施例と同様、温度
、振動等による光軸の狂いが少なくなるという効果もあ
る。
いう効果が生まれる。さらに第２の実施例と同様、温度
、振動等による光軸の狂いが少なくなるという効果もあ
る。
第４図は第４の実施例を示した構成図である。
同図において第７図と同一物には同一の番号を付し説明
を省略する。本実施例においては、ＳＨＧ素子４の先端
４７を半円錐状に成形して、円錐状レンズを一体化した
ものであシ、平行光４日を得ることができる。この円錐
状は、作用の説明の項で述べたと同じ考え方により、詳
しい計算は省略するが、チェレンコフコーンの頂角を２
α、光束整形部４７の頂角を２θとすると、光学結晶の
屈折率をｎとして、 なる関係が成立する時、導波路２を回転対称軸として発
生するチェレンコフコーンは、平行光として外部に出て
くる。
を省略する。本実施例においては、ＳＨＧ素子４の先端
４７を半円錐状に成形して、円錐状レンズを一体化した
ものであシ、平行光４日を得ることができる。この円錐
状は、作用の説明の項で述べたと同じ考え方により、詳
しい計算は省略するが、チェレンコフコーンの頂角を２
α、光束整形部４７の頂角を２θとすると、光学結晶の
屈折率をｎとして、 なる関係が成立する時、導波路２を回転対称軸として発
生するチェレンコフコーンは、平行光として外部に出て
くる。
以上のように、光束整形部４７を光学結晶基板１から削
り出すことにより、回転対称軸の位置合わせ調整の必要
がなくなり、又、部品点数を減らし、さらに第２〜第３
の実施例と同様の温度、振動に対する効果を得ることが
出来る。
り出すことにより、回転対称軸の位置合わせ調整の必要
がなくなり、又、部品点数を減らし、さらに第２〜第３
の実施例と同様の温度、振動に対する効果を得ることが
出来る。
なお第１の実施例で、円錐状レンズ４１に円筒部４２を
設けたが、他の光軸合わせの手段を用いることによって
、円筒部分がなくとも構わない。
設けたが、他の光軸合わせの手段を用いることによって
、円筒部分がなくとも構わない。
又、円錐の頂角等、実際に光の通らない部分は切断され
た形であっても何ら支障ない。
た形であっても何ら支障ない。
また第２の実施例で、円錐状レンズ４３を中心軸を通る
平面で切断したが、必らずしも中心軸を通らなくとも、
中心軸を平行な平面であっても構わない。
平面で切断したが、必らずしも中心軸を通らなくとも、
中心軸を平行な平面であっても構わない。
またすべての実施例では半導体レーザーの光を集光し、
光導波路に入射するためにコリメートレンズとフォーカ
スレンズを用いたが、必うスシモ２個でなくとも、従来
知られているように一個のレンズで集光と導波路への導
入を行わすことも可能である。又、以上の説明では平行
光を得ることを目的として説明したが、チェレンコフ放
射光が通過する回転対称面とチェレンコフ放射光のなす
角を変化させることによって、チェレンコフ放射光を収
束又は拡散させることも可能である。また第４の実施例
では、導波路２は光学結晶１の表面に形成されるとした
が、内部にあっても構°わない。
光導波路に入射するためにコリメートレンズとフォーカ
スレンズを用いたが、必うスシモ２個でなくとも、従来
知られているように一個のレンズで集光と導波路への導
入を行わすことも可能である。又、以上の説明では平行
光を得ることを目的として説明したが、チェレンコフ放
射光が通過する回転対称面とチェレンコフ放射光のなす
角を変化させることによって、チェレンコフ放射光を収
束又は拡散させることも可能である。また第４の実施例
では、導波路２は光学結晶１の表面に形成されるとした
が、内部にあっても構°わない。
その場合、光束整形部４７は半円錐状ではなく、円錐状
になる。
になる。
発明の効果
以上のように本発明は半導体レーザーと、半導体レーザ
ーの光を集光し、ＳＨＧ素子に設けられた光導波路に入
射する手段と、ＳＨＧ素子の出射端において、前記光導
波路を同軸に設けられた円錐状レンズを設けることによ
り、導波路型ＳＨＧ素子から出射される三日月状の拡散
光を、導波路と同軸でかつ平行光もしくは収束光や拡散
光に整形することができる。又、平行光を得るために従
来例では３ケのシリンドリカルレンズが必要であっれも
のが一個の円錐状レンズで済むために小形。
ーの光を集光し、ＳＨＧ素子に設けられた光導波路に入
射する手段と、ＳＨＧ素子の出射端において、前記光導
波路を同軸に設けられた円錐状レンズを設けることによ
り、導波路型ＳＨＧ素子から出射される三日月状の拡散
光を、導波路と同軸でかつ平行光もしくは収束光や拡散
光に整形することができる。又、平行光を得るために従
来例では３ケのシリンドリカルレンズが必要であっれも
のが一個の円錐状レンズで済むために小形。
低価格化が実現でき、さらに光軸調整も容易になるとい
う効果も有する。
う効果も有する。
Ｗ、１図は本発明の第１の実施例の光波長変換装置の構
成図、第２図は本発明の第２の実施例の構成図、第３図
は本究明の第３の実施例の構成図、第４図は本発明の第
４の実施例の構成図、第５図。 第６図は円錐状レンズの動作を説明する説明図、第７図
は従来例の光波長変換装置の構成図、第８図は導波路型
ＳＨＧ素子の断面図、第９図は導波路型ＳＨＧ素子がら
のＳＨ光の形状の説明図１第１０図は従来の平行光を得
るための構成図である。 １・・・・・・非線型光学結晶基板、２・・・・・・光
導波路、４・・・・・・ＳＨＧ素子、５・・・・・・半
導体レーザー、６・・・・・・コリメートレンズ、７・
・・・・・フォーカスレンズ、４１．４３，４５．４７
・・・・・・円錐状レンズ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 ２− 九専濱か ＋イーーー円９丁」欠し、ス 乙 第 ４ 図 手 第 図 第 因 第 図 第 図 第 図 連
成図、第２図は本発明の第２の実施例の構成図、第３図
は本究明の第３の実施例の構成図、第４図は本発明の第
４の実施例の構成図、第５図。 第６図は円錐状レンズの動作を説明する説明図、第７図
は従来例の光波長変換装置の構成図、第８図は導波路型
ＳＨＧ素子の断面図、第９図は導波路型ＳＨＧ素子がら
のＳＨ光の形状の説明図１第１０図は従来の平行光を得
るための構成図である。 １・・・・・・非線型光学結晶基板、２・・・・・・光
導波路、４・・・・・・ＳＨＧ素子、５・・・・・・半
導体レーザー、６・・・・・・コリメートレンズ、７・
・・・・・フォーカスレンズ、４１．４３，４５．４７
・・・・・・円錐状レンズ。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 ２− 九専濱か ＋イーーー円９丁」欠し、ス 乙 第 ４ 図 手 第 図 第 因 第 図 第 図 第 図 連
Claims (1)
- 半導体レーザーと、その光を集光し波長変換素子に設け
られた光導波路に導入する手段と、波長変換素子の出射
端部において、前記光導波路と同軸に設けられた円錐状
レンズとからなる光波長変換装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63177813A JPH0227325A (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光波長変換装置 |
| US07/347,817 US5005938A (en) | 1988-05-06 | 1989-05-04 | Optical wavelength convertical apparatus |
| KR1019890006031A KR930011823B1 (ko) | 1988-05-06 | 1989-05-04 | 광파장 변환장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63177813A JPH0227325A (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光波長変換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227325A true JPH0227325A (ja) | 1990-01-30 |
Family
ID=16037537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63177813A Pending JPH0227325A (ja) | 1988-05-06 | 1988-07-15 | 光波長変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227325A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0281035A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Hitachi Ltd | 第２高調波発生装置 |
| US5520534A (en) * | 1992-12-25 | 1996-05-28 | Kawasaki Seitetsu Kabushiki Kaisha | Heating apparatus including plurality of regenerative burner units and operating method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287531A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光源装置 |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63177813A patent/JPH0227325A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01287531A (ja) * | 1988-05-14 | 1989-11-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光源装置 |
Cited By (2)
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| JPH0281035A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Hitachi Ltd | 第２高調波発生装置 |
| US5520534A (en) * | 1992-12-25 | 1996-05-28 | Kawasaki Seitetsu Kabushiki Kaisha | Heating apparatus including plurality of regenerative burner units and operating method |
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