JPH02275084A - スクロール真空ポンプ - Google Patents
スクロール真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH02275084A JPH02275084A JP9374389A JP9374389A JPH02275084A JP H02275084 A JPH02275084 A JP H02275084A JP 9374389 A JP9374389 A JP 9374389A JP 9374389 A JP9374389 A JP 9374389A JP H02275084 A JPH02275084 A JP H02275084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scroll
- fixed scroll
- vacuum pump
- seal ring
- oscillating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Rotary Pumps (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固定スクロールおよび揺動スクロールヲ備え
たスクロール真空ポンプに関するものである。
たスクロール真空ポンプに関するものである。
従来、この種のスクロール真空ポンプは実開昭６２−１
７３５７７号公報に開示され、第４図に示すように構成
されている。これを同図に基づいて説明すると、同図に
おいて、符号１で示すものはポンプケーシング（図示せ
ず）内の軸受支え２に固定され外周部および中央部に各
々吸入ボート３と吐出ボート４を有する固定スクロール
、５はこの固定スクロール１に偏心して組み合わされて
密閉空間６を形成する揺動スクロール、７はこの揺動ス
クロール５に連結され前記軸受支え２に軸受８を介して
設けられた駆動軸、９はこの駆動軸７に固定されかつ前
記軸受支え２内に収納されたバランサである。また、ｌ
Ｏは前記揺動スクロール５の水平位置を規制して自転を
防止するピンクランク、１１〜１４は前記揺動スクロー
ル５の軸方向位置を規制するスラスト受けである。
７３５７７号公報に開示され、第４図に示すように構成
されている。これを同図に基づいて説明すると、同図に
おいて、符号１で示すものはポンプケーシング（図示せ
ず）内の軸受支え２に固定され外周部および中央部に各
々吸入ボート３と吐出ボート４を有する固定スクロール
、５はこの固定スクロール１に偏心して組み合わされて
密閉空間６を形成する揺動スクロール、７はこの揺動ス
クロール５に連結され前記軸受支え２に軸受８を介して
設けられた駆動軸、９はこの駆動軸７に固定されかつ前
記軸受支え２内に収納されたバランサである。また、ｌ
Ｏは前記揺動スクロール５の水平位置を規制して自転を
防止するピンクランク、１１〜１４は前記揺動スクロー
ル５の軸方向位置を規制するスラスト受けである。
このように構成されたスクロール真空ポンプにおいては
、駆動軸７の回転によって揺動スクロール５が固定スク
ロールｌに対して揺動運動を行う。
、駆動軸７の回転によって揺動スクロール５が固定スク
ロールｌに対して揺動運動を行う。
このとき、吸入ボート３から両スクロールｌ、５間に吸
入されたガスは、密閉空間６で圧縮されて吐出ボート４
から吐き出される。
入されたガスは、密閉空間６で圧縮されて吐出ボート４
から吐き出される。
ところで、この種のスクロール真空ポンプにおいては、
スラスト受け１１〜１４によって揺動スクロール５に作
用するスラスト力を支持すると共に、揺動スクロール５
の動作姿勢を安定化させる。これは、揺動スクロール５
の背面側が吸入圧（真空圧）に保たれているため、揺動
スクロール５が固定スクロール１から離間する方向に動
作するからである。また、軸受やビンクランク等は、真
空中に設置されることから、無潤滑軸受と無潤滑摺動部
材が用いられている。
スラスト受け１１〜１４によって揺動スクロール５に作
用するスラスト力を支持すると共に、揺動スクロール５
の動作姿勢を安定化させる。これは、揺動スクロール５
の背面側が吸入圧（真空圧）に保たれているため、揺動
スクロール５が固定スクロール１から離間する方向に動
作するからである。また、軸受やビンクランク等は、真
空中に設置されることから、無潤滑軸受と無潤滑摺動部
材が用いられている。
しかるに、従来のスクロール真空ポンプにおいては、ス
ラスト受け１１〜１４を固定スターロール１と揺動スク
ロール５問および揺動スクロール５と軸受支え２間に介
装する構造であるため、スラスト受け１１〜１４に対し
てスラスト荷重を支持する機能以外に揺動スクロール５
の不安定動作が解消する機能を保持しなければならなか
った。この結果、各部材間のクリアランスを厳密に設定
する必要が生じ、クリアランス管理を煩雑にするという
問題があった。また、流体吸入方式としては、密閉空間
６がスクロール外周部からスクロール内周部に向かって
移動する吸入方式を採用するものであるため、ドライス
クロール真空ポンプとして使用する場合に摺動部材を無
潤滑部材によって形成する必要が生じ、コストが嵩むと
いう問題もあった。
ラスト受け１１〜１４を固定スターロール１と揺動スク
ロール５問および揺動スクロール５と軸受支え２間に介
装する構造であるため、スラスト受け１１〜１４に対し
てスラスト荷重を支持する機能以外に揺動スクロール５
の不安定動作が解消する機能を保持しなければならなか
った。この結果、各部材間のクリアランスを厳密に設定
する必要が生じ、クリアランス管理を煩雑にするという
問題があった。また、流体吸入方式としては、密閉空間
６がスクロール外周部からスクロール内周部に向かって
移動する吸入方式を採用するものであるため、ドライス
クロール真空ポンプとして使用する場合に摺動部材を無
潤滑部材によって形成する必要が生じ、コストが嵩むと
いう問題もあった。
そこで、揺動スクロール５の合板背面側を吐出圧（大気
圧）に設定することにより、揺動スクロール５を固定ス
クロール１側に押し付けて動作中における揺動スクロー
ル５の姿勢を安定化させると共に、摺動部分に潤滑部材
を使用することが考えられるが、この場合固定スクロー
ル１と揺動スクロール５間に真空シールが必要になり、
構造が複雑化してコスト高になるという不都合があった
。
圧）に設定することにより、揺動スクロール５を固定ス
クロール１側に押し付けて動作中における揺動スクロー
ル５の姿勢を安定化させると共に、摺動部分に潤滑部材
を使用することが考えられるが、この場合固定スクロー
ル１と揺動スクロール５間に真空シールが必要になり、
構造が複雑化してコスト高になるという不都合があった
。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、クリ
アランス管理の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができるスクロール真空ポンプを提供するものである。
アランス管理の簡素化およびコストの低廉化を図ること
ができるスクロール真空ポンプを提供するものである。
本発明に係るスクロール真空ポンプは、ケーシング内に
設けられ内周部から外周部に向かって移動する密閉空間
を形成する２つのスクロールを備え、これら両スクロー
ルを、中央部および外周部に吸気口と排気口を有する固
定スクロールと、この固定スクロールに偏心して組み合
う揺動スクロールとによって構成し、これら両スクロー
ル間に周縁に沿って延在するシールリングを介装したも
のである。
設けられ内周部から外周部に向かって移動する密閉空間
を形成する２つのスクロールを備え、これら両スクロー
ルを、中央部および外周部に吸気口と排気口を有する固
定スクロールと、この固定スクロールに偏心して組み合
う揺動スクロールとによって構成し、これら両スクロー
ル間に周縁に沿って延在するシールリングを介装したも
のである。
本発明においては、スクロール内周部から流体を吸い込
んでスクロール外周部から吐き出すことができる。
んでスクロール外周部から吐き出すことができる。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明に係るスクロール真空ポンプを示す断面
図、第２図（ａ）および（ｂｌは同じく本発明における
スクロール真空ポンプの固定スクロールと揺動スクロー
ルを示す平面図である。同図において、符号２１で示す
ものは台板２２と渦巻体２３を有する固定スクロールで
、ポンプケーシング（図示せず）内に軸受支え２４を介
して固定されており、中央部および外周部には各々吸気
ボート２４と排気ボート２５が設けられている。２６は
台板２７と渦巻体２８を有する揺動スクロールで、前記
固定スクロール２１に偏心して組み合わされ、かつ前記
軸受支え２４上にスラスト受け２９を介して設けられて
おり、周縁には円周方向に沿って延在するシールリング
３０を装着する環状溝３１が形成されている。そして、
この揺動スクロール２６は、前記固定スクロール２１と
共にスクロール内周部からスクロール外周部に向かって
移動する密閉空間３２を形成するように構成されている
。３３は軸線方向に延在する給油通路３４および外径方
向に突出するバランスウェイト３５を有する駆動軸で、
前記ポンプケーシング（図示せず）内に回転自在に設け
られ、かつ前記軸受支え２４に主軸受３６を介して挿通
されており、先端面には前記揺動スクロール２６の突起
２６ａが揺動軸受３７を介して嵌合する凹部３２ａが設
けられている。
図、第２図（ａ）および（ｂｌは同じく本発明における
スクロール真空ポンプの固定スクロールと揺動スクロー
ルを示す平面図である。同図において、符号２１で示す
ものは台板２２と渦巻体２３を有する固定スクロールで
、ポンプケーシング（図示せず）内に軸受支え２４を介
して固定されており、中央部および外周部には各々吸気
ボート２４と排気ボート２５が設けられている。２６は
台板２７と渦巻体２８を有する揺動スクロールで、前記
固定スクロール２１に偏心して組み合わされ、かつ前記
軸受支え２４上にスラスト受け２９を介して設けられて
おり、周縁には円周方向に沿って延在するシールリング
３０を装着する環状溝３１が形成されている。そして、
この揺動スクロール２６は、前記固定スクロール２１と
共にスクロール内周部からスクロール外周部に向かって
移動する密閉空間３２を形成するように構成されている
。３３は軸線方向に延在する給油通路３４および外径方
向に突出するバランスウェイト３５を有する駆動軸で、
前記ポンプケーシング（図示せず）内に回転自在に設け
られ、かつ前記軸受支え２４に主軸受３６を介して挿通
されており、先端面には前記揺動スクロール２６の突起
２６ａが揺動軸受３７を介して嵌合する凹部３２ａが設
けられている。
また、３８は前記揺動スクロール２６の自転を防止する
オルダム継手、３９は前記固定スクロール２１の台板２
２と前記揺動スクロール２６の渦巻体２８問および前記
固定スクロール２１の渦巻体２３と前記揺動スクロール
２６の合板２７間に介装された端面シール、４０は前記
軸受支え２４の下方に設けられた軸受支え、４１はこの
軸受支え４０上に前記駆動軸３３を支承する副スラスト
受け、４２は前記軸受支え２４に設けられた油戻し孔で
ある。なお、前記両スクロール２１゜２６の渦巻体２３
．２８は、通常（従来において使用されるスクロール真
空ポンプ）の渦巻体中央部の一周分程度を取り除くこと
により流量の減少を防止している。
オルダム継手、３９は前記固定スクロール２１の台板２
２と前記揺動スクロール２６の渦巻体２８問および前記
固定スクロール２１の渦巻体２３と前記揺動スクロール
２６の合板２７間に介装された端面シール、４０は前記
軸受支え２４の下方に設けられた軸受支え、４１はこの
軸受支え４０上に前記駆動軸３３を支承する副スラスト
受け、４２は前記軸受支え２４に設けられた油戻し孔で
ある。なお、前記両スクロール２１゜２６の渦巻体２３
．２８は、通常（従来において使用されるスクロール真
空ポンプ）の渦巻体中央部の一周分程度を取り除くこと
により流量の減少を防止している。
このように構成されたスクロール真空ポンプにおいては
、第４図（ａ）〜（ｄ）に示すように従来のスクロール
真空ポンプと逆向きに揺動動作し、スクロール内周部の
吸気ボート２４から流体を吸い込んでスクロール外周部
の排気ポート２５から吐き出すことができる。
、第４図（ａ）〜（ｄ）に示すように従来のスクロール
真空ポンプと逆向きに揺動動作し、スクロール内周部の
吸気ボート２４から流体を吸い込んでスクロール外周部
の排気ポート２５から吐き出すことができる。
したがって、本実施例においては、運転中に揺動スクロ
ール２６の合板背面側を吐出圧（大気圧）に保持するこ
とができるから、この圧力と吸入圧（真空）あるいは中
間圧を受ける渦巻体側の圧力間に生じる差圧によって揺
動スクロール２６を固定スクロール２１側に押し付け、
安定した姿勢で揺動動作させることができると共に、固
定スクロール２１と揺動スクロール２６間の油シール性
を高めることができる。
ール２６の合板背面側を吐出圧（大気圧）に保持するこ
とができるから、この圧力と吸入圧（真空）あるいは中
間圧を受ける渦巻体側の圧力間に生じる差圧によって揺
動スクロール２６を固定スクロール２１側に押し付け、
安定した姿勢で揺動動作させることができると共に、固
定スクロール２１と揺動スクロール２６間の油シール性
を高めることができる。
また、本実施例において使用するスラスト受け２９は、
運転初期において軸方向流体圧および揺動スクロール２
６の自重を支持すると共に、揺動スクロール２６を軸方
向に位置決めする機能を果たせばよいことから、揺動ス
クロール２６が固定スクロール２１に押し付けられる場
合あるいはスラスト受け２９の機能をオルダム継手３９
が兼ね備える場合に不要になる。
運転初期において軸方向流体圧および揺動スクロール２
６の自重を支持すると共に、揺動スクロール２６を軸方
向に位置決めする機能を果たせばよいことから、揺動ス
クロール２６が固定スクロール２１に押し付けられる場
合あるいはスラスト受け２９の機能をオルダム継手３９
が兼ね備える場合に不要になる。
さらに、本実施例においては、シールリング３゜内外（
シールリング付近）の圧力が等しい圧力であることから
、揺動スクロール台板の背面側を吐出圧に設定する場合
に従来必要とした真空シールが不要になり、シールリン
グ３０が油シールとしての機能を備えておればよい。
シールリング付近）の圧力が等しい圧力であることから
、揺動スクロール台板の背面側を吐出圧に設定する場合
に従来必要とした真空シールが不要になり、シールリン
グ３０が油シールとしての機能を備えておればよい。
なお、本実施例においては、揺動スクロール２６側にシ
ールリング３０を装着した例を示したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、固定スクロール２１側に装
着しても実施例と同様の効果を奏する。
ールリング３０を装着した例を示したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、固定スクロール２１側に装
着しても実施例と同様の効果を奏する。
以上説明したように本発明によれば、ポンプケーシング
内に設けられ内周部から外周部に向かって移動する密閉
空間を形成する２つのスクロールを備え、これら両スク
ロールを、中央部および外周部に各々吸気口と排気口を
有する固定スクロールと、この固定スクロールに偏心し
て組み合う揺動スクロールとによって構成し、これら両
スクロール間に周縁に沿って延在するシールリングを介
装したので、吸気口からから流体を吸い込んで排気口か
ら吐き出すことができる。したがって、運転中に揺動ス
クロールの合板背面側を吐出圧に保持して揺動スクロー
ルの不安定動作を解消させることができるから、従来必
要とした各部材間のクリアランスを厳密に設定すること
が不要になり、クリアランス管理の簡素化を図ることが
できる。
内に設けられ内周部から外周部に向かって移動する密閉
空間を形成する２つのスクロールを備え、これら両スク
ロールを、中央部および外周部に各々吸気口と排気口を
有する固定スクロールと、この固定スクロールに偏心し
て組み合う揺動スクロールとによって構成し、これら両
スクロール間に周縁に沿って延在するシールリングを介
装したので、吸気口からから流体を吸い込んで排気口か
ら吐き出すことができる。したがって、運転中に揺動ス
クロールの合板背面側を吐出圧に保持して揺動スクロー
ルの不安定動作を解消させることができるから、従来必
要とした各部材間のクリアランスを厳密に設定すること
が不要になり、クリアランス管理の簡素化を図ることが
できる。
また、スクロール内周部からスクロール外周部に向かっ
て流体を移送できることは、シールリングとして油シー
ルを使用することができると共に、摺動部材として潤滑
部材を使用することができるから、コストの低廉化を図
ることもできる。
て流体を移送できることは、シールリングとして油シー
ルを使用することができると共に、摺動部材として潤滑
部材を使用することができるから、コストの低廉化を図
ることもできる。
第１図は本発明に係るスクロール真空ポンプを示す断面
図、第２図（ａ）および（ｂｌは同じく本発明における
スクロール真空ポンプの固定スクロールと揺動スクロー
ルを示す平面図、第３図（ａｌ〜（ｄ）はその動作原理
を説明するための図、第４図は従来のスクロール真空ポ
ンプを示す断面図である。 ２１・・・・固定スクロール、２４・・・・吸気ホード
、２５・・・・排気ポート、２６・・・・揺動スクロー
ル、３０・・・・シールリング、３２・・・・密閉空間
。 代 理 人 大 岩 増 雄第３図 （ｄ） （Ｃ） ２７０ ｄｅｇ １８０ ｄｅｇ （ｂ） １、事件の表示 平 待願＠１−９３７４Ｌｊｔ− ２、発明の名称 スフ田−ル真空ポンプ ３、補正をする者 代表者 ４、代 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書７頁１５行の「第４図」を「第３図」
と補正する。 （２） 同書８頁１２行〜１６行の「機能を・・・に
不要になる」を「機能を果たせばよく、定常運転に入っ
て揺動スクロール２６が常に固定スクロール２１に押し
付けられるようになれば、実質的には不要となる。すな
わち、スラスト受け２９の機能が必要とされる時間は限
られたものであるので、この機能をオルダム継手３９の
リング部が兼ね備えるようにする等してスラスト受け２
９を省略することも可能となる」と補正する。 以 上
図、第２図（ａ）および（ｂｌは同じく本発明における
スクロール真空ポンプの固定スクロールと揺動スクロー
ルを示す平面図、第３図（ａｌ〜（ｄ）はその動作原理
を説明するための図、第４図は従来のスクロール真空ポ
ンプを示す断面図である。 ２１・・・・固定スクロール、２４・・・・吸気ホード
、２５・・・・排気ポート、２６・・・・揺動スクロー
ル、３０・・・・シールリング、３２・・・・密閉空間
。 代 理 人 大 岩 増 雄第３図 （ｄ） （Ｃ） ２７０ ｄｅｇ １８０ ｄｅｇ （ｂ） １、事件の表示 平 待願＠１−９３７４Ｌｊｔ− ２、発明の名称 スフ田−ル真空ポンプ ３、補正をする者 代表者 ４、代 ５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 （１） 明細書７頁１５行の「第４図」を「第３図」
と補正する。 （２） 同書８頁１２行〜１６行の「機能を・・・に
不要になる」を「機能を果たせばよく、定常運転に入っ
て揺動スクロール２６が常に固定スクロール２１に押し
付けられるようになれば、実質的には不要となる。すな
わち、スラスト受け２９の機能が必要とされる時間は限
られたものであるので、この機能をオルダム継手３９の
リング部が兼ね備えるようにする等してスラスト受け２
９を省略することも可能となる」と補正する。 以 上
Claims (1)
- ポンプケーシング内に設けられ内周部から外周部に向
かって移動する密閉空間を形成する２つのスクロールを
備え、これら両スクロールを、中央部および外周部に各
々吸気口と排気口を有する固定スクロールと、この固定
スクロールに偏心して組み合う揺動スクロールとによっ
て構成し、これら両スクロール間に周縁に沿って延在す
るシールリングを介装したことを特徴とするスクロール
真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9374389A JPH02275084A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクロール真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9374389A JPH02275084A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクロール真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275084A true JPH02275084A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14090899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9374389A Pending JPH02275084A (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | スクロール真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02275084A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5366358A (en) * | 1993-01-27 | 1994-11-22 | Grenci Charles A | Oil free scroll vacuum pump |
| EP0634576A1 (en) * | 1993-07-14 | 1995-01-18 | Atlas Copco Airpower N.V. | Transmission with revolving bearing and seal used hereby |
| WO1995021329A1 (en) * | 1994-02-01 | 1995-08-10 | Charles Grenci | Improved oil free scroll vacuum pump |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP9374389A patent/JPH02275084A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5366358A (en) * | 1993-01-27 | 1994-11-22 | Grenci Charles A | Oil free scroll vacuum pump |
| EP0634576A1 (en) * | 1993-07-14 | 1995-01-18 | Atlas Copco Airpower N.V. | Transmission with revolving bearing and seal used hereby |
| WO1995021329A1 (en) * | 1994-02-01 | 1995-08-10 | Charles Grenci | Improved oil free scroll vacuum pump |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5098265A (en) | Oil-free scroll fluid machine with projecting orbiting bearing boss | |
| JPH0424557B2 (ja) | ||
| JP6903826B2 (ja) | スクロール圧縮機における動的半径方向コンプライアンス | |
| JPS59120794A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPS59115488A (ja) | 密閉形スクロ−ル圧縮機の軸受装置 | |
| JPS6285189A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPH0151910B2 (ja) | ||
| JP2834888B2 (ja) | スクロールコンプレッサ | |
| JPS58214692A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPH03160178A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH02168016A (ja) | 軸受け装置及び軸受け装置を有するスクロールコンプレッサ | |
| JPH02275084A (ja) | スクロール真空ポンプ | |
| JPH08232863A (ja) | 軸貫通スクロール圧縮機 | |
| JPS631783A (ja) | スクロ−ル式流体機械 | |
| JPH01187388A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPH0225001B2 (ja) | ||
| JPH03233178A (ja) | スクロール圧縮機 | |
| JPS62139991A (ja) | スクロ−ル型圧縮機 | |
| JPH0231239B2 (ja) | Sukuroorugataryutaikikainokyuyukozo | |
| JPS62159782A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPS62159783A (ja) | スクロ−ル圧縮機 | |
| JPS6343423Y2 (ja) | ||
| JPS59103980A (ja) | スクロ−ル流体機械 | |
| JPH09112466A (ja) | スイング圧縮機 | |
| JP7263553B2 (ja) | スクロール圧縮機 |