JPH02275314A - インダクトシン基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） この発明は、電磁誘導方式より変位を検出する変位セン
サに用いられるインダクトシン基板に関する。

（発明の概要） この発明は、位相の９０度異なる正弦波がそれぞれ通電
されるコイルパターンのパス数をそれぞれ２往復以上に
して、インダクトシン基板の感度を高め、小型化可能に
したものである。

（従来技術とその問題点） 周知のように電磁誘導方式により変位を検出する変位セ
ンサに用いられるインダクトシン基板は、検出対象に追
随するスライダ部と、センサ本体に固定されているスケ
ール部の双方に設けられる。

通常スケール部に用いられるインダクトシン基板は、第
３図のように、２つのコイルパターン３１．３２が形成
され、このコイルパターン３１゜３２に、互いに９０度
位相のずれたＡ相とＢ相の正弦波電流が通電され、発生
した磁界を他方のスライダ部が変位量に応じて位相のず
れた正弦波として検出するように構成されている。

ところで、スケール部のインダクトシン基板は互いに９
０度位相のずれた正弦波電流が通電されるとともに、図
にも示されるように、変位方向と直角に形成されるコイ
ルパターン３１．３２が交互に１往復ずつ形成されてい
る。

この往復部は、他方のスライダ部に等間隔で同様に形成
されたコイルパターンのピッチＰと同一に、つまり、線
間が１／２Ｐであるとともに、それぞれコイルパターン
ごとでは変位方向に同一位相で形成され、さらにコイル
パターン３１と３２では互いに位相が１／４Ｐずらされ
ている。そのため、両コイルパターン間には余白が生じ
てしまう。この余白には、コイルパターンが形成できな
いため、変位方向における無駄な領域になっている。図
では、基板面の全面に仮想的に等間隔でコイルパターン
を形成した場合に比較し、無駄な領域の比率が３３％に
もなり、インダクトシン基板自体がその分天型化されて
しまう問題がある。

（発明の目的） この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、その目的とするところは、無駄な領域の比率を小さ
くして、変位方向におけるコイルパターンの配置密度を
大きくしたインダクトシン基板を提供することにある。

（発明の構成と効果） この発明は、上記目的を達成するために、互いに９０度
位相のずれた正弦波電流が通電されるとともに互いに１
／４ピッチ位相のずれた２つのコイルパターンを、変位
検出方向上交互に形成配置したインダクトシン基板にお
いて、 交互に配置される上記コイルパターンのパス数をそれぞ
れ２往復以上にしたことを特徴とする。

この発明は上記のようにパス数をそれぞれ２往復以上に
したコイルパターンが交互に形成されるので、変位方向
におけるコイルパターンの配置密度が大きくなり、その
分、インダクトシン基板の感度が高まると同時に小型化
が可能になる。

その結果、このインダクトシン基板を用いて小型で高性
能な変位センサを実現することができる。

（実施例） 次にこの発明の実施例を図面に基いて説明する。

第１図は、第１実施例のインダクトシン基板を示すパタ
ーン図である。

図に示したスケール部に用いられるインダクトシン基板
１は、金属板上に絶縁層を介して銅箔により２つのコイ
ルパターン１１．１２が形成されている。このコイルパ
ターン１１．１２は、互いに９０度位相のずれたＡ相と
Ｂ相の正弦波電流が通電されるとともに、他方のスライ
ダ部（図示しない）°に等間隔で同様に形成されたコイ
ルパターンのピッチＰと同一に、つまり、線間が１／２
Ｐで、しかも、それぞれコイルパターンは変位方向に同
一位相で形成され、さらにコイルパターン１１と１２で
は互いの位相が１／４Ｐずれている。

ここでインダクトシン基板１に、変位方向と直角に形成
されるコイルパターン１１．１２は、交互に２往復（４
パス）ずつ形成されたことにより、変位方向における無
駄な領域が従来よりも狭められる。図では、基板全面に
仮想的に等間隔でコイルパターンを形成した場合に比較
し、パターンが形成できない領域の比率が２０％に低減
される。

第２図は、第２実施例のインダクトシン基板２を示すパ
ターン図である。

この場合は、第１実施例よりもパス数の多いコイルパタ
ーン２１．２２を形成したものであり、図に示すように
、交互に３往復（６パス）ずつ形成されたことにより、
基板全面に仮想的に等間隔でコイルパターンを形成した
場合に比較し、パターンが形成できない領域の比率が１
４％に低減される。

さらに、図示しない第３の実施例として、コイルパター
ンのパス数を４往復（８バス）ずつにすると、パターン
が形成できない領域の比率は１１％に低減される。

このように、交互に形成されるコイルパターンのパス数
を増していくと、パターンが形成できない領域の比率が
順次低減することができる。

その結果、無駄な領域の比率が低下した分、変位方向に
おけるコイルパターンの配置密度が大きくなり、スライ
ダ側コイルパターンでの出力が増し、Ｓ／Ｎ比が改善さ
れて、変位センサの検出精度を向上させることが可能に
なる。

また同様にインダクトシン基板自体の変位方向の寸法が
短縮されるため、インダクトシン基板を用いる変位セン
サを小型化することも可能になる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１の実施例のインダクトシン基板
を示すパターン図、第２図は同じく第２の実施例のイン
ダクトシン基板を示すパターン図、第３図は従来例を示
すパターン図である。 １．２・・・インダクトシン基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、互いに９０度位相のずれた正弦波電流が通電される
   とともに互いに１／４ピッチ位相のずれた２つのコイル
   パターンを、変位検出方向上交互に形成配置したインダ
   クトシン基板において、交互に配置される上記コイルパ
   ターンのパス数をそれぞれ２往復以上にしたことを特徴
   とするインダクトシン基板。