JPH0227549U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227549U JPH0227549U JP10620888U JP10620888U JPH0227549U JP H0227549 U JPH0227549 U JP H0227549U JP 10620888 U JP10620888 U JP 10620888U JP 10620888 U JP10620888 U JP 10620888U JP H0227549 U JPH0227549 U JP H0227549U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean space
- particle
- particle counter
- fan
- exhaust hood
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の高清浄度維持排気
フードを有する微粒子カウンターの側面図である
。 １……微粒子カウンター、２……排気フード、
３……フアン、４……ＨＥＰＡフイルタ、５……
台車。
フードを有する微粒子カウンターの側面図である
。 １……微粒子カウンター、２……排気フード、
３……フアン、４……ＨＥＰＡフイルタ、５……
台車。
Claims (1)
- 清浄空間の微粒子数を測定する微粒子カウンタ
ーにおいて、その吸引エアの排気を、周囲の清浄
空間の気流、並びに清浄度を乱すことなく排出す
る機能を有するダクト、フアン、フイルタからな
る微粒子排気フードを具備したことを特徴とする
微粒子カウンター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620888U JPH0227549U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620888U JPH0227549U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227549U true JPH0227549U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31339513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10620888U Pending JPH0227549U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227549U (ja) |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP10620888U patent/JPH0227549U/ja active Pending