JPH02275762A - 自己支持性セラミック複合体の製造方法 - Google Patents

自己支持性セラミック複合体の製造方法

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JPH02275762A
JPH02275762A JP2003709A JP370990A JPH02275762A JP H02275762 A JPH02275762 A JP H02275762A JP 2003709 A JP2003709 A JP 2003709A JP 370990 A JP370990 A JP 370990A JP H02275762 A JPH02275762 A JP H02275762A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、−船釣に、後処理法を用いることを含む2r
B2−2rC−2r複合体等の複合体の新規な製造方法
及び該方法により製造された新規な製品に関する。より
詳細には、本発明は、炭化ホウ化物及び必要に応じて一
種以上の不活性フィラーからなる床又は素材に溶融母材
金属を反応浸透させることにより製造した一種以上のホ
ウ素含有化合物(例えば、ホウ化物、又はホウ化物と炭
化物)を含む複合体を改質する方法に関する。
〔従来の技術と課題〕
近年、従来は金属が使われていた構造物用途にセラミッ
クスを用いることに関心が増大している。
この関心のちととなっているものは、耐食性、硬度、耐
摩耗性、弾性率、耐火性などのある種の特性においてセ
ラミックスの方が金属よりも優れていることにある。
しかしながら、このような用途にセラミックスを適用す
ることに対する主な制約として、所望のセラミックスの
構造物を製造することの現実性とコストの問題がある。
例えば、ホウ化物セラミック体の製造方法としてホット
プレス、反応焼結、反応性ホットプレスが知られている
。これらの方法でホウ化物セラミック体を製造すること
は限られた範囲で成功しているが、緻密なホウ化物含有
材料をより有効にかつ経済的に製造する方法がなお求め
られている。
さらに、セラミックスを構造物用途に用いることに対す
る第2の主な制約は、セラミックスが一般に靭性(即ち
、破損強さ又は破壊抵抗)を欠くことにある。このよう
な靭性の欠如のために、セラミックスはそれほどでない
引張応力を伴なう用途において突然に容易に激しく破損
する傾向を示す。この靭性の欠如は特にモノリスのホウ
化物セラミック体においてよく見られる。
上記の問題を解決するために試みられている方法の1つ
は、例えばサーメット又は金属マトリックス複7合体の
ように、セラミックスを金属と共に用いることである。
この公知の方法の目的は、セラミックスの最良の特性(
例えば、硬度及び/又は剛性)と金属の最良の特性(例
えば、延性)の両方を組合せて得ることである。ホウ化
物化合物の製造ではサーメットの分野においである程度
の一般的な成功がおさめられているが、なおまだホウ化
物含有材料をより有効かつ経済的に製造する方法に対し
て要求がある。
ホウ化物含有材料の製造に伴なう上記の問題の多くは米
国特許出願第73.533号(1987年7月15日出
願、発明者Danny R,White、 Micha
el K、Aghajanian及びT、Dennis
 C1aar、発明の名称“Process forP
reparing Self−3upporting 
Bodies and ProductsMade T
hereby”、対応日本特開平01−103945号
公報)明細書に記載されている。
米国特許出願第73.533号では下記の定義が用いら
れており、これらの定義は本明細書においても用いられ
る。
用語「母材金属(parent metal) Jは、
多結晶質酸化反応生成物、即ち、母材金属ホウ化物又は
その他の母材金属ホウ素化合物の前駆体(Precur
sor)である金属(例えば、ジルコニウム)を指称し
、純粋な金属、比較的純粋な金属、不純物及び/又は合
金成分を含む市販の金属、及び主成分として金属前駆体
を含む合金としての上記金属のいずれをも含むものであ
る。そして、特定の金属(例、ジルコニウム)が母材金
属として記載されている場合、その金属は本文中に特に
ことわらない限り、上記の定義を参照して読まれるべき
ものである。
用言吾「母材金属ホウ化物(parent metal
 boride) 」及ヒ「母材金属ホウ素化合物(p
arent metal bor。
compound) Jは、炭化ホウ素と母材金属の反
応により生成するホウ素含有反応生成物を意味し、ホウ
素と母材金属との2元化合物と共に3元又はさらに高次
の化合物をも含む。
用語「母材金属炭化物(parent metal c
arbide) Jは、炭化ホウ素と母材金属の反応に
より生成する炭素含有反応生成物を意味する。
米国特許出願第73.533号の開示を簡単に要約する
と、炭化ホウ素の存在における母材金属の浸透反応方法
(infiltration and reactio
n process)〔即ち、反応浸透(reacti
on 1nfiltration) 〕を利用して自己
支持性(self−supporting)セラミック
体が製造される。とりわけ、炭化ホウ素の床又は素材(
mass)が溶融母材金属により浸透及び反応され、こ
の床は完全に炭化ホウ素のみからなることができ、それ
によって1種又は2種以上の母材金属のホウ素含有化合
物からなる自己支持体が得られる。このホウ素含有化合
物は母材金属ホウ化物、もしくは母材金属ホウ素化合物
、又はその両方を含み、典型的には母材金属炭化物もま
た含む。
また、浸透されるべき炭化ホウ素素材は1種又は2種以
上の不活性フィラーを炭化ホウ素と混合して含んでいて
もよいと開示されている。従って、不活性フィラーを用
いることによって母材金属の反応浸透による生成物をマ
トリックスとする複合体が得られる。このマトリックス
は少なくとも1種のホウ素含有化合物を含み、また同様
に母材金属炭化物を含んでもよく、そしてこのマトリッ
クス中に不活性フィラーが充填されている。さらに、上
記の態様(即ち、フィラー含有または不含有)の最終複
合体生成物は出発母材金属の少なくとも1種の金属成分
を残留金属として含むことができる旨が記載されている
広く、米国特許出願第73.533号に開示された方法
では、炭化ホウ素素材を特定の温度範囲内の実質的に不
活性な雰囲気中で溶融した金属又は合金の溶融体と隣接
又は接触させる。溶融金属は炭化ホウ素素材に浸透し、
炭化ホウ素と反応して少なくとも1種の反応生成物を生
成する。炭化ホウ素は母材金属により少なくとも部分的
に還元可能であることにより母材金属ホウ素含有化合物
(即ち、反応の温度条件下で母材金属のホウ化物及び/
又はホウ素化合物)を生成する。典型的には、母材金属
炭化物も生成し、場合によっては母材金属ホウ炭化物(
boro carbide)が生成する。反応生成物の
少なくとも1部分は溶融金属との接触が維持され、溶融
金属は吸引又は毛管作用により未反応炭化ホウ素に向っ
て吸引又は輸送される。この輸送された金属は新たに母
材金属のホウ化物、炭化物及び/又はホウ炭化物を生成
し、そして母材金属又は炭化ホウ素の一方が消費し尽さ
れるか又は反応温度が前記反応温度範囲外にされるまで
セラミック体の形成又は成長が続く。得られる組織は母
材金属ホウ化物、母材金属ホウ素化合物、母材金属炭化
物、金属(米国特許出願第73.533号に記載されて
いるように合金及び金属間化合物を含む)の1種又は2
種以上、又は空孔(ボイド)、又はこれらの組合せから
なる。また、これらのいくつかの相はセラミック体の全
体にわたって1次元的に又は2次元又は3次元的に連続
していてもよく、あるいは連続していなくてもよい。ホ
ウ素含有化合物相(即ち、ホウ化物相及びホウ素化合物
相)、炭素含有化合物相、及び金属相の最終体積分率及
び連続性の程度は炭化ホウ素体の初期密度、炭化ホウ素
と母材金属、母材金属の合金の相対量、炭化ホウ素のフ
ィラーによる希釈、温度、時間などの条件の1つ又は2
以上を変更して制御することが可能である。炭化、ホウ
素の母材金属ホウ化物、母材金属ホウ素化合物及び母材
金属炭化物への変換が少なくとも約50%であることが
好ましく、最も好ましくは少なくとも90%である。
米国特許出願第73.533号で用いられた典型的な環
境又は雰囲気は処理条件下で比較的不活性又は非反応性
のものであった。特に、例えば、アルゴンガス又は真空
が好適な処理雰囲気であると記載されている。さらにま
た、ジルコニウムを母材金属として用いた場合、得られ
る複合体は二ホン化ジルコニウム、炭化ジルコニウム及
び残留ジルコニウム金属からなっていたと記載されてい
る。また、アルミニウムを母材金属として用いた処理で
・は、Aβ3848C2,AfB+2C2及び/又はA
 12 B24C4などのホウ炭化アルミニウムとアル
ミニウムその他の母材金属の未反応非酸化成分の残留分
からなるものが得られたと記載されている。このような
処理条件下で用いるのに適当なその他の母材金属として
はケイ素、チタン、ハフニウム、ランタン、鉄、カルシ
ウム、バナジウム、ニオブ、マグネシウム及びべIJ 
IJウムが記載されている。
米国特許出願第137.044号(1987年12月2
3日に米国特許出願第73.533号の一部継続出願と
して出願、発明者Terry Dennis C1aa
r、 5teven MichaelMason、  
Kevin Peter Pochopien及びDa
nny RayWhite 、発明の名称“Proce
ss for PreparingSelf−3upp
orting Bodies and Procluc
ts Made7herby” 、対応欧州特許出願公
開εP−A2−322336)は、場合により、溶融母
材金属により浸透されるべき炭化ホウ素の床又は素材に
炭素供給材料(carbon doner mater
ial、即ち、炭素含有化合物)を添加することが望ま
しいことを開示する。具体的には、炭素供給材料は母材
金属と反応して母材金属−炭化物相を生成し、これが得
られる複合体の機械的特性を炭素供給材料を用いないで
生成した複合体の特性よりも優れたものとすることを可
能にすることが開示されている。このようにして、反応
体濃度及び処理条件を変更又は制御してセラミック化合
物、金属及び/又は空孔率をいろいろな体積パーセント
で含む複合体を得ることができることが開示されている
。例えば、炭化ホウ素素材に炭素供給材料(例えば、グ
ラファイト粉又はカーボンブラック)を添加して母材金
属−ホウ化物/母材金属−炭化物の比を調整できる。特
に、ジルコニウムを母材金属として用いた場合、2rB
/ Z r CO比を低下させることができる(即ち、
炭化ホウ素材料に炭素供給材料を添加することにより、
より多くのZrCを生成することができる)。
また、米国特許出願第137.044号は適当な数の貫
通孔を特定の寸法、形状及び位置に有するグラファイト
型を用いることを開示している。この貫通孔は、母材金
属の反応浸透の先端がプレフォームに浸透するとき、例
えば、プレフォーム又はフィラー中にトラップされてい
た気体が逃れることを可能にするベント手段として作用
する。
もう1つの関連する出願である米国特許出願第137、
382号(1987年12月23日出願、発明者Ter
ryC1aar及びGerhard Hans 5ch
iroky 、発明の名称”A Method of 
Modifying Ceramic Composl
te Bo−dies Ely a Carburiz
ation Process and Article
sl、1a(Ie Thereby” 、対応日本特開
平01−224255号公報)にさらなる改良方法が開
示されている。具体的には、米国特許出願第137.3
82号は米国特許出願第73.533号の方法に従って
作成したセラミック複合体を気体状与炭剤(gaseo
us carbuliz+ngspecies)に暴露
することによって改質できることを開示する。このよう
な気体状与炭剤は、例えば、複合体をグラファイト床中
に埋めて制御された雰囲気の炉中でグラファイト床の少
なくとも一部を水蒸気又は酸素と反応させて生成するこ
とができる。しかしながら、炉内雲囲気は典型的には主
としてアルゴンの如く非反応性ガスからなるべきである
。アルゴンガス中に存在する不純物が与炭剤を生成する
のに必要な酸素を供給するのか、それともアルゴンガス
はグラファイト床又は複合体中の成分のある種の気化に
よって発生する不純物を含むビーヒクルとして働くだけ
なのかは明らかでない。さらに、気体状与炭剤は複合体
の加熱中に制御雰囲気炉中に直接に導入することができ
る。
炉は、雰囲気制御炉中に気体状与炭剤が導入されたとき
、粗に充填されたグラファイト粉中に埋められた複合体
の表面の少なくとも一部分と与炭剤が接触することが可
能なように構成されるべきである。与炭剤中の炭素又は
グラファイト床中の炭素は連続炭化ジルコニウム相中に
溶解し、それからこの相がその溶解した炭素を空孔拡散
(vacan−cy diffusion) により、
所望であれば実質的に複合体の全体に輸送する。さらに
、米国特許出願第137、382号は時間、与炭剤に対
する複合体の暴露、及び/又は与炭プロセスが起きる温
度を制御することにより、複合体の表面に与炭化帯域又
は層が形成される。このような処理により、高金属含分
及び高破壊靭性を有する複合体のコアの周囲に高硬度耐
摩耗性表面を提供することができる。
こうして、例えば約5〜30体積%の残留母材金属相を
有する複合体が作成された場合、このような複合体をポ
スト炭化処理によって改質して複合体中に残留する母材
金属を約0〜2体積%、典型的には約172〜2体積%
にすることができる。
本出願人が所有する上記の各出願の開示は本発明にも参
照し含められるべきである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、上記の状況に鑑みて、従来技術の欠陥を克服
するためになされたものである。
本発明によれば、成形複合体の性質を変更する方法が提
供される。より詳細には、以下で説明するように、成形
複合体を、成形複合体中の残留金属及び/又はセラミッ
ク相の少なくとも一つと反応する少なくとも一種の金属
を含有する第二材料と接触させることにより、該成形複
合体を改質できる〔例えば、第二材料は反応性金属(例
えば、反応性金属粉末)を主成分とするものであっても
よいし、第二材料の一部分のみが反応性金属からなって
いてもよい(例えば、少なくとも一種の反応性成分を含
有する化合物)〕。即ち、成形物体を、第二金属を含有
する床又は粉末材料と接触させることができる。このよ
うな接触により、成形複合体中の残留母材金属及び/又
は成形体中の相の少なくとも一つが、第二材料(即ち、
床又は粉末材料)に含有される第二金属と反応すること
により、複合体の性質を変更できる。例えば、アルミニ
ウム又は珪素金属は、第二金属として機能することがで
き、それらは粉末状で提供できる。このような粉末を、
例えば、不活性雲囲気の存在下で成形セラミック複合体
と接触状態とすると、第二金属と成形セラミック複合体
との反応(例えば、アルミニウム金属又は珪素金属と成
形体中のセラミック相の少なくとも一つとの反応及び/
又は成形体中の残留母材金属との反応)が生じる。
転化量又は反応量は、いずれの所望の程度にも制御でき
る。例えば、反応は、セラミック複合体の表面部に限定
することもできるし、セラミック複合体の表面を超えて
延ばすこともできる。
さらに、第二金属源は、プロセス温度及びプロセス条件
下で、成形体中の少なくとも一つの成分と反応させるた
めの第二金属を少なくとも少量提供するいずれの金属源
又は金属供給材料であってもよい。
上記で説明した各処理は、−船釣に、本明細書で記載す
る米国特許出願に開示されている方法により複合体を形
成した後に行われる。
より具体的に説明すると、例えば、米国特許出願第73
.533号に準じて複合体を製造したあと、この複合体
を、例えば、粉末材料(例えば、アルミナ、アルミナと
珪素との混合物、アルミナとシリカとの混合物等)に埋
め込むことができる。この粉末は、形成された複合体の
少なくとも片方の表面と好ましくは物理的に接触させる
必要があり、そして形成された複合体と粉末材料の両方
を、例えば、黒鉛又はアルミナルツボに入れる。アセン
ブリー全体を、不活性又は実質的に非反応性雰囲気(例
えば、アルゴン)中で、粉末材料(即ち、第二金属)と
形成複合体との反応を可能にする温度まで加熱する。こ
の反応は、複合体の表面に限定可能であり、又、所定量
だけ複合体中に延ばしてもよい。
このような後処理法により改質された複合体は、耐酸化
性が向上するので有利である(即ち、少なくとも前記し
た後処理法により改質した部分は、複合体の未処理部分
よりも耐酸化性がある)。
本出願では、主に2rB2−ZrC−2r複合体(以下
、しばしばrZBcJ複合体と称する)に言及する。
しかしながら、ZBC複合体に特に重点が置かれるけれ
ども、同様の製造工程が、チタン複合体及びハフニウム
複合体にも適用できる。
第1図は本発明により処理される黒鉛粉末床2に埋め込
み且つ耐火容器1内に入れたZBC複合体3の断面の概
略立面図であり、そして第2図は実施例2により形成し
た製品の断面の顕微鏡写真(400倍)である。
本発明は、セラミック複合体の性質、特に炭化ホウ素か
らなる素材へのジルコニウム、ハフニウム又はチタンの
反応浸透により製造されるセラミック複合体の性質が、
製造後処理により変更できるという知見に基づきなされ
たものである。このような製造後処理によりミクロ構造
を変更でき、従って、ZBC複合体の一部分又は実質的
に全ての部分の機械的性質を変更できる。
上記で説明した米国特許出願のいずれか、例えば、米国
特許出願第73.533号に準じて製造したZBC複合
体は、この複合体中の残留金属及び/又はセラミック相
の少なくとも一つと反応する少なくとも一種の第二金属
を含有する第二材料に暴露することにより改質できる。
このような反応は、ある状況下では拡散反応とみなすこ
とができる。
例えば、ZBC複合体を黒鉛床に埋め込み、黒鉛床の少
なくとも一部分を、ある方法で、この形成複合体の少な
くとも一部分と反応させることにより反応を引き起こす
ことができる。
好ましい実施態様では、形成複合体、例えば、米国特許
出願第73.533号に準じて製造したZBC体は、こ
の形成複合体中の残留金属及び/又はセラミック相の少
なくとも一つと反応する少なくとも一種の第二金属を含
有する材料と接触させることにより表面改質することが
できる。より詳細には、形成複合体を、第二金属を含有
する床又は粉末材料に少なくとも部分的に埋め込むこと
ができる。例えば、粉末状の珪素金属を準備し、そして
この粉末を、例えば、不活性雰囲気の存在下で、形成セ
ラミック複合体の少なくとも一部分と接触状態に配置す
る。このように配置したものを、高温の反応温度に暴露
して、粉末金属と形成セラミック複合体との間の反応を
生じさせる。即ち、ZBC複合体を実質的に不活性な雰
囲気の存在下で約1300℃で珪素床と接触させると、
ZrSi□及びZr5iO,を含む被膜が複合体の表面
に形成し始める。
特定の理論又は説明には縛られないが、珪素がZBC複
合体に拡散して、ZrC相及び2r相のいずれか又は両
方と反応するものと思われる。
珪素化被膜の形成と同様に、形成物体(例えば、ZBC
体)は、AI。03. A1203−3i及び/又は他
のアルミニウム含有床に埋め込むことによりアルミ化も
できる。
上記で説明した転化は、ZBC体の表面部近くを超えて
延ばすことができるが、本発明によりこのような表面被
膜を形成すると、この被膜は外部から施した被膜(例え
ば、プラズ溶射、CVD、 PVD等)よりも向上した
密着性を示す。
このような後処理法により改質された複合体のいずれの
部分も、上記した後処理法により改質しなかった部分よ
りも耐酸化性が優れているので有利である。特に、上記
したようにして珪素化したZBC体(即ち物体の少なく
とも一部分がZrSiO4に転化したもの)は、高温(
例えば、1100℃)での湿った空気中における耐酸化
性が向上することが見出された。
例えば、珪素又はアルミナに別の材料を含めることによ
りZBC体をさらに改質することが可能である。即ち、
珪素床の場合には、状況によっては、珪素床に少なくと
も多少のゲルマニウムを含めることが望ましいことがあ
る。このゲルマニウムはZBCの転化した部分をさらに
改質することにより、転化領域にさらに望ましい性質を
付与できる。
ZBC複合体を第二材料、例えば、珪素又はアルミニウ
ムに暴露する時間、及び/又は反応又は改質が生じる温
度を制御することにより、形成物体の少なくとも外表面
に形成される改質帯域を実質的に自由な方法で制御でき
る(即ち、組成、モルホロジー及び/又は厚さを所望の
方法で制御できる)。例えば、上記で説明した後処理法
1ごより、ZBCI合体のコアーを取り囲んでいる金属
含量がより高く且つ破壊靭性がより高い硬質で耐摩耗性
の表面を得ることができる。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を説明する。実施例では、複
合体、特にZBC複合体の後処理に関する種々の態様を
説明する。しかしながら、これらの実施例は本発明の範
囲を限定するものではない。
実施例1 本実施例では、米国特許出願第73.533号の実施例
1に記載されている方法と実質的に同様の方法でZBC
複合体を形成した。ZBC複合体は、直径約7.8 m
m、長さ約12.5[DIll、重量的3.7グラムで
ある実質的に円筒状のものであった。このZBC円筒を
、ZrS+Lと約25重量%の珪素金属からなる床に埋
め込んだ(即ち、実質的に完全に取り囲んだ) o Z
rS+04はエクセロバックス(巳XCELOFAX)
の商品名で、そして珪素金属はエイイーイー−325(
AEE−325)の商品名で販売されている。2rSI
04と珪素金属との混合物により取り囲んだZBCI合
体を高純度At203 ボートに入れた。
アルミナボートを電気抵抗加熱炉内に配置した。
この炉を2回排気し、そしてアルゴンで裏込めした。続
く加熱工程中に、乾燥アルゴンを約500cc/分の流
量で炉を通した。この炉の温度を、1時間当たり200
℃の昇温速度で約1300℃の温度まで上昇させた。こ
の温度を約6時間維持した。炉を1時間当たり約200
℃の速度で室温まで冷却した。
アルミナボートを炉から取り出し、ZBC円筒を検査し
た。その結果、ZBC円筒がこの処理により改質された
ことが判明した。即ち、ZBC円筒は、その表面に珪素
含有被膜を有していた。
実施例1に準じて形成した改質層を有するZBC複合体
の断面の顕微鏡写真(400倍)を第2図に示す。第2
図の領域10は、改質表面、即ち、珪素化表面を示して
いる。未改質領域中のZrB2小板状物11と比較して
みると、改質層中のZrB2小板状物12は、珪素化処
理の影響を実質的に受けていないことが明白である。こ
の改質層は、ZrSi2相とZr5iO,相からなるだ
けでなく、ZrO2相が小さな部分を構成している。
実施例2 本実施例は、5iO7と珪素金属からなる床を用いた以
外は実施例2と実質的に同様の方法で行った。
具体的には、米国特許出願第73.533号の実施例1
に準じてZBCバーをまず形成した。このバーの寸法は
、長さ約1.7cmX幅約0.6 cm x厚さ約0.
3Cmであった。このZBCバーの重量は約1.62グ
ラムであった。ZBCバーをNo、50OSin□約2
4グラムと一300メツシュの珪素金属約8グラムから
なる床中に配置し、この床を高純度アルミナボート内に
配置した。ZBCバーを床材料により実質的に取り囲む
ようにした。
ZBCバーと床の入ったアルミナボートを炉内に配置後
、2回排気し、そしてアルゴンで裏込めした。この炉を
実施例1に準じて加熱した。炉を冷却し、そしてアルミ
ナボートを取り出した。
ZBCバーが改質されたことが判明した。即ち、表面が
耐酸化性珪素含有被膜からなっていた。
実施例3 本実施例の後処理操作は、床材料がAI、03と珪素金
属からなる以外は、実施例1に記載の操作と同様であっ
た。具体的には、米国特許出願第73、533号の実施
例1に記載の方法と実質的に同様の方法で形成したZB
Cバーを使用した。バーの寸法は、長さ約2゜1cm、
幅0.6 cm、厚さ約0.3 cmであった。ZBC
バーの重量は約2.1グラムであった。このZBCバー
は、高純度アルミナボート内で床により実質的に取り囲
むようにした。この床は、(A17)A1203約30
グラムと珪素金属約10グラムからなっていた。床とZ
BCバーを入れたアルミナボートを電気炉抵抗加熱炉内
に配置し、2回排気し、そしてアルゴンで裏込めした。
こ炉を実施例1に準じて加熱した。
アルミナボートを炉から取り出して検査した。
その結果、ZBCバーの表面が改質されたことが判明し
た。即ち、表面は、耐酸化性珪素とアルミニウムを含有
する被膜からなっていた。
実施例4 本実施例の後処理操作は、SiCと珪素金属からなる床
を用いた以外は、実施例1に記載の操作と同様であった
。具体的には、米国特許出願第73、533号の実施例
1に記載の方法と実質的に同様の方法で形成したZBC
バーを使用した。ZBCバーの寸法は、長さ約3 am
 X幅0.5 cm X厚さ約3Cmであった。ZBC
バーの重量は約3グラムであった。このZBCバーを床
の入っている高純度アルミナルツボ内に配置し、床でZ
BCバーを実質的に取り囲んだ。この床は、エクソロン
(Exolon)の商品名で販売されているSiC約2
4グラムと珪素金属約8グラムからなるものであった。
ZBCバーと床の入ったアルミナルツボを電気抵抗炉内
に配置した。この炉を2回排気し、そしてアルゴンで裏
込めした。炉を実施例1に準じて加熱した。
アルミナルツボを取り出して検査した。その結果、ZB
Cバーの表面が改質されたことが判明した。即ち、表面
は、耐酸化性珪素含有被膜からなっていた。
実施例5 本実施例の後処理操作は、珪素金属からなる床を用いた
以外は、実施例1に記載の操作と同様であった。米国特
許出願第73.533号の実施例1に記載の方法と実質
的に同様の方法で形成したZBCバーを使用した。即ち
、ZBCバーの寸法は、長さ約3 cm X幅Q、 6
cm X厚さ約3cmであった。ZBCバーの重量は約
3.2グラムであった。このZBCバーを床中に配置し
て、床でZBCを取り囲むようにした。ZBCバーと床
の両方とも高純度アルミナボート内に配置するようにし
た。この床は、珪素金属約32グラムからなっていた。
床はZBCバーを入れたアルミナボートを、電気抵抗加
熱炉内に配置した。この炉を2回排気し、そしてアルゴ
ンで裏込めした。炉を、実施例1と実質的に同様にして
加熱した。この炉を冷却し、そしてアルミナボートを取
り出して検査した。その結果、ZBCバーの表面が改質
されたことが判明した。
即ち、表面は、耐酸化性珪素含有被膜からなっていた。
〔発明の効果〕
上記したように、本発明によれば、炭化ホウ化物及び必
要に応じて一種以上の不活性フィラーからなる床又は素
材に溶融母材金属を反応浸透させることにより製造した
一種以上のホウ素含有化合物を含む複合体が改質される
。本発明では、複合体の改質は表面に限定することもで
きるし、表面部分を超えて延ばすことも可能である。こ
のようにして改質された複合体の改質部分は、改質しな
かった部分よりも耐酸化性が優れているので有利である
。さらに、複合体を第二材料、例えば、珪素又はアルミ
ニウムに暴露する時間、及び/又は反応又は改質が生じ
る温度を制御することにより、複合体の少なくとも外表
面に形成される改質帯域を実質的に自由な方法で制御で
きる(即ち、組成、モルホロジー及び/又は厚さを所望
の方法で制御できる)。例えば、本発明により、複合体
のコアーを取り囲んでいる金属含量がより高く且つ破壊
靭性がより高い硬質で耐摩耗性の表面を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明により処理される黒鉛粉末床に埋め込み
且つ耐火容器内に入れたZBC複合体の断面の概略立面
図であり、そして第2図は実施例1により形成したZB
C体の断面の結晶の構造を示す顕微鏡写真(400倍)
である。 1・・・耐火容器、     2・・・黒鉛粉末床、3
・・・ZBC複合体、  10・・・改質表面、11・
・・未改質領域中の2rB、小板状物、12・・・改質
層中のZrB2小板状物。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.自己支持体の製造方法であって、 母材金属を選択し; 前記母材金属を実質的に不活性な雰囲気中で、溶融母材
    金属が炭化ホウ素含む素材に浸透でき且つ溶融金属を前
    記炭化ホウ素と反応させて少なくとも一種のホウ素含有
    化合物を形成するのに十分な時間だけ加熱し; 少なくとも一種の母材金属ホウ素含有化合物を含む前記
    自己支持体を生成するに十分な時間だけ前記浸透反応を
    継続し;そして 前記自己支持体を第二金属源に暴露することにより、前
    記自己支持体の少なくとも一部分を前記金属と反応させ
    て自己支持体の少なくとも一部分において少なくとも一
    つの性質を変更することにより第一複合体を製造するこ
    とを含むことを特徴とする自己支持体の製造方法。
  2. 2.前記第二金属源が、アルミニウム含有材料及び珪素
    含有材料からなる群から選択された少なくとも一種の材
    料を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 3.前記自己支持体が、ZrB_2,ZrC及びZrを
    含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
  4. 4.前記第二金属に第三金属を含めることにより、前記
    自己支持体の前記少なくとも一部分を改質することをさ
    らに包含することを特徴とする請求項1に記載の方法。
  5. 5.請求項1に記載の方法により製造した製品。
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