JPH02275772A - 窒化アルミニウム基焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム基焼結体の製造方法Info
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- JPH02275772A JPH02275772A JP1096296A JP9629689A JPH02275772A JP H02275772 A JPH02275772 A JP H02275772A JP 1096296 A JP1096296 A JP 1096296A JP 9629689 A JP9629689 A JP 9629689A JP H02275772 A JPH02275772 A JP H02275772A
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Classifications
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/65—Reaction sintering of free metal- or free silicon-containing compositions
-
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- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/581—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on aluminium nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はアルミニウム超微粉の象、激な発熱を伴う窒化
反応を利用して窒化アルミニウム基焼結体を製造する方
法に関する。
反応を利用して窒化アルミニウム基焼結体を製造する方
法に関する。
〔従来の技術］
従来、窒化アルミニウム焼結体を製造するには。
常圧で焼結する場合には、窒化アルミニウム微粉（粒径
１μｍ以上）と焼結助剤との混合粉末を所望の形状に成
形したのち、この成形品を窒素、アルゴンなどの非酸化
性雰囲気中で１６００℃以上から１８５０℃程度の高温
に加熱して焼結する方法が採用されている。
１μｍ以上）と焼結助剤との混合粉末を所望の形状に成
形したのち、この成形品を窒素、アルゴンなどの非酸化
性雰囲気中で１６００℃以上から１８５０℃程度の高温
に加熱して焼結する方法が採用されている。
一方、窯協誌７３（２Ｎ９６５ Ｐ、３７によれば、３
〜５μｍのアルミニウム粉と窒化アルミニウム粉の混合
粉（ＡＩの配合量は最高で２０％の混合わ））を窒化反
応させて焼結する例が述べられているが、この場合には
１１００℃以上の焼結温度が必要であると指摘されてい
る。
〜５μｍのアルミニウム粉と窒化アルミニウム粉の混合
粉（ＡＩの配合量は最高で２０％の混合わ））を窒化反
応させて焼結する例が述べられているが、この場合には
１１００℃以上の焼結温度が必要であると指摘されてい
る。
窒化アルミニウム扮を焼結原料とする場合には粉末成形
品に外部から熱を加え１通常、 １８００’ｃ程度にま
で昇温させなければ十分な焼結体が得られない。これは
、窒化アルミニウムはン夜相をとらずに２４５０℃で昇
華分解する性質があり、従って、窒化アルミニウムは、
常圧においてはその焼結力は弔に粒子間の固体拡散によ
ることになり、この固体拡散反応にはきわめて長時間か
、或いは高温度を必要とすることになる。このため、従
来の窒化アルミニウム焼結体の製造には高温炉設備が必
需であり、その製造工程も煩雑なものであった。
品に外部から熱を加え１通常、 １８００’ｃ程度にま
で昇温させなければ十分な焼結体が得られない。これは
、窒化アルミニウムはン夜相をとらずに２４５０℃で昇
華分解する性質があり、従って、窒化アルミニウムは、
常圧においてはその焼結力は弔に粒子間の固体拡散によ
ることになり、この固体拡散反応にはきわめて長時間か
、或いは高温度を必要とすることになる。このため、従
来の窒化アルミニウム焼結体の製造には高温炉設備が必
需であり、その製造工程も煩雑なものであった。
また前述の窯協誌に記載の方法でも１０００℃以１−の
高温炉設備が必要である。
高温炉設備が必要である。
本発明者らは、上記問題を解決すべく種々研究を重ねて
きた。その結果、平均粒径０．５μｍ以下のアルミニウ
ム超微粉を他の粉末原料（例えば、アルミニウム以外の
金属微粉や各種セラミックス微粉）に配合して窒素雰囲
気下で加熱すると、アルミニウム超微わ）の混合率が２
０重量％以上、好ましくは２５重量％以上であれば、ア
ルミニウム超微粉の窒化過程において加熱温度（炉内温
度）が５００〜９００’Ｃ，より具体的には５５０〜７
００℃の温度範囲で発光を伴う著しい発熱が起こり、加
熱温度が１０００゛Ｃ以下であっても十分に焼結するこ
と、またアルミニウム超微粉と他の粉末原料との混合割
合および圧粉成形体の見掛密度を変化させることによっ
て窒化過程の発熱量を調整できることなどを知見した。
きた。その結果、平均粒径０．５μｍ以下のアルミニウ
ム超微粉を他の粉末原料（例えば、アルミニウム以外の
金属微粉や各種セラミックス微粉）に配合して窒素雰囲
気下で加熱すると、アルミニウム超微わ）の混合率が２
０重量％以上、好ましくは２５重量％以上であれば、ア
ルミニウム超微粉の窒化過程において加熱温度（炉内温
度）が５００〜９００’Ｃ，より具体的には５５０〜７
００℃の温度範囲で発光を伴う著しい発熱が起こり、加
熱温度が１０００゛Ｃ以下であっても十分に焼結するこ
と、またアルミニウム超微粉と他の粉末原料との混合割
合および圧粉成形体の見掛密度を変化させることによっ
て窒化過程の発熱量を調整できることなどを知見した。
本発明はこの知見事実をもとにしてなされたものであり
、その要旨とするところは、窒化アルミニウムが基体の
焼結体を製造するにさいし、平均粒径が０．５μｍ以下
のアルミニウム超微粉を２０重（ル％以上、好ましくは
２５重量％の配合量で他の粉末原料と混合し、この混合
粉を圧縮成形し、この圧縮成形品を加熱炉に装入し、こ
の加熱炉において窒素雰囲気下で咳成形品を加熱し、炉
内温度＋０００゛Ｃ以下のもとで発光を伴うアルミニウ
ムＭ ６’＆粉の窒化発熱反応を完了させることを特徴
とする。
、その要旨とするところは、窒化アルミニウムが基体の
焼結体を製造するにさいし、平均粒径が０．５μｍ以下
のアルミニウム超微粉を２０重（ル％以上、好ましくは
２５重量％の配合量で他の粉末原料と混合し、この混合
粉を圧縮成形し、この圧縮成形品を加熱炉に装入し、こ
の加熱炉において窒素雰囲気下で咳成形品を加熱し、炉
内温度＋０００゛Ｃ以下のもとで発光を伴うアルミニウ
ムＭ ６’＆粉の窒化発熱反応を完了させることを特徴
とする。
〔発明の詳細な
説明はアルミニウム超微粉の急、激な窒化反応熱を利用
してアルミニウム基焼結体を製造するのであり、従来の
ように窒化アルミニウムの粉体に焼結助剤を配合した圧
粉成形品に外部から焼結反応に必要な熱を（１Ｊ与する
のではなく、窒化反応による内部発生熱によって完全な
焼結を行う点に特ｉ’＆がある。このためには、平均粒
径が０．５μｍ以下というサブミクロンオーダのアルミ
ニウム超微粉を使用することが必要であり且つこのアル
ミニウム超微粉の配合上汁は２０重項九以にを必要とす
る。
してアルミニウム基焼結体を製造するのであり、従来の
ように窒化アルミニウムの粉体に焼結助剤を配合した圧
粉成形品に外部から焼結反応に必要な熱を（１Ｊ与する
のではなく、窒化反応による内部発生熱によって完全な
焼結を行う点に特ｉ’＆がある。このためには、平均粒
径が０．５μｍ以下というサブミクロンオーダのアルミ
ニウム超微粉を使用することが必要であり且つこのアル
ミニウム超微粉の配合上汁は２０重項九以にを必要とす
る。
使用するアルミニウム超微粉は粒径が０．５μｍ以下で
あればその製造法は問わない。しかし、現在販売されて
いるアルミニウム微粉は粒径が１μｍ以上のものである
。本発明者の一人が先に発明した方法（特許第１１．４
６１７０号、および特開昭５９−５７９０４号公報に記
載の方法）によれば、かようなアルミニウム超微粉は簡
単に製造することができる。
あればその製造法は問わない。しかし、現在販売されて
いるアルミニウム微粉は粒径が１μｍ以上のものである
。本発明者の一人が先に発明した方法（特許第１１．４
６１７０号、および特開昭５９−５７９０４号公報に記
載の方法）によれば、かようなアルミニウム超微粉は簡
単に製造することができる。
アルミニウム超微粉の窒化反応によって生成した窒化ア
ルミニウムは焼結体の一部となる。したかってアルミニ
ウム超微粉に窒化アルミニウム微粉を配合して純窒化ア
ルミニウム焼結体を製造することができる。またアルミ
ニウム超微粉に窒化アルミニウム以外の金属やセラミッ
クス微粉例えば金属窒化物微粉、金属酸化物微粉または
金属炭化物微粉の何れか１種または２種以上を配合して
窒化アルミニウムを基体とする複合焼結体を製造するこ
ともできる。この他種微粉の種類や川によって、アルミ
ニウム超微粉の配合量は適切に調整されるが、少なくと
も２０重項九以上、好ましくは２５重量％を必要とする
。
ルミニウムは焼結体の一部となる。したかってアルミニ
ウム超微粉に窒化アルミニウム微粉を配合して純窒化ア
ルミニウム焼結体を製造することができる。またアルミ
ニウム超微粉に窒化アルミニウム以外の金属やセラミッ
クス微粉例えば金属窒化物微粉、金属酸化物微粉または
金属炭化物微粉の何れか１種または２種以上を配合して
窒化アルミニウムを基体とする複合焼結体を製造するこ
ともできる。この他種微粉の種類や川によって、アルミ
ニウム超微粉の配合量は適切に調整されるが、少なくと
も２０重項九以上、好ましくは２５重量％を必要とする
。
アルミニウム超微粉と他の粉末原ｔ４とは均一・に／昆
合することが好ましく、そして、その〆昆合本分を所望
の形状に圧縮成形する。この圧縮の程度も配合する他種
配合粉の種類や量に応して適切に調整することによって
、アルミニウム超微粉の窒化反応を律速させることがで
きる。圧縮成形品の焼結は、窒素雰囲気下に維持された
加熱炉内で実施するが、この加熱炉の炉内温度は従来法
のように高温である必要はなく、アルミニウムの融点近
傍で窒化反応を急激に行わせることができればよい。
合することが好ましく、そして、その〆昆合本分を所望
の形状に圧縮成形する。この圧縮の程度も配合する他種
配合粉の種類や量に応して適切に調整することによって
、アルミニウム超微粉の窒化反応を律速させることがで
きる。圧縮成形品の焼結は、窒素雰囲気下に維持された
加熱炉内で実施するが、この加熱炉の炉内温度は従来法
のように高温である必要はなく、アルミニウムの融点近
傍で窒化反応を急激に行わせることができればよい。
粒径が０．５μｍ以下のアルミニウム超微粉を使用し且
つ他の粉末原料をこのアルミニウム超微粉に均一に配合
し圧縮成形することによって、アルミニウム融点近傍で
アルミニウムの窒化反応を急激に起こさせることができ
、この点に本発明の一つの特徴がある。窒化反応の程度
は発光によって確認することができる。この発熱発光の
ピークを与える温度は、使用したアルミニウム超微粉の
製造条件や表面状態などによって変動し、また発光現象
の強弱は昇温速度、成形体の圧粉密度などの影響を受け
るが１発光が伴う高温を得えれば十分な焼結を行うこと
ができる。
つ他の粉末原料をこのアルミニウム超微粉に均一に配合
し圧縮成形することによって、アルミニウム融点近傍で
アルミニウムの窒化反応を急激に起こさせることができ
、この点に本発明の一つの特徴がある。窒化反応の程度
は発光によって確認することができる。この発熱発光の
ピークを与える温度は、使用したアルミニウム超微粉の
製造条件や表面状態などによって変動し、また発光現象
の強弱は昇温速度、成形体の圧粉密度などの影響を受け
るが１発光が伴う高温を得えれば十分な焼結を行うこと
ができる。
〔実施例１〕
平均粒径が０．１〜０．２μｍのアルミニウム超微粉７
０重量％と平均粒径が０．１〜Ｑ、２７ｚｍの窒化アル
ミニウム超＠粉３０重四％とを均一に混合し、１００ｋ
ｇ／ｃｍ”の圧力で圧縮して成形体とした。この成形体
を第１図に示した加熱炉に装入し、窒素雰囲気中で、昇
温速度５〜１５℃／分で昇温した。第１図においで１は
加熱炉、２は反応管、３は成形体を示す。昇温の段階で
炉内温度が約５８０℃に達したときに成形体の発熱が始
まり、炉内温度が約６００〜７００℃間で顕著な発光と
発熱のピークが生じた。
０重量％と平均粒径が０．１〜Ｑ、２７ｚｍの窒化アル
ミニウム超＠粉３０重四％とを均一に混合し、１００ｋ
ｇ／ｃｍ”の圧力で圧縮して成形体とした。この成形体
を第１図に示した加熱炉に装入し、窒素雰囲気中で、昇
温速度５〜１５℃／分で昇温した。第１図においで１は
加熱炉、２は反応管、３は成形体を示す。昇温の段階で
炉内温度が約５８０℃に達したときに成形体の発熱が始
まり、炉内温度が約６００〜７００℃間で顕著な発光と
発熱のピークが生じた。
さらに昇温しでも、もはや発光現象は観察されなかった
。この発光発熱した成形体は加熱炉内温度が１０００℃
以下においても十分な焼結体となった。
。この発光発熱した成形体は加熱炉内温度が１０００℃
以下においても十分な焼結体となった。
第２図に本例の成形品温度と炉内温度の関係を調べた結
果を示した。また第３図は、成形品の代わりに、成形す
る前の混合粉状態で加熱炉に装入した以外は同一条件で
試験した場合の試料温度と炉内温度との関係を示した。
果を示した。また第３図は、成形品の代わりに、成形す
る前の混合粉状態で加熱炉に装入した以外は同一条件で
試験した場合の試料温度と炉内温度との関係を示した。
いずれの場合も炉内温度が約６６０〜６８０℃付近で急
激に発熱していることがわかる。
激に発熱していることがわかる。
第４図は本例で使用した混合超微粉の示差熱分析（［ｌ
ＴＡ曲線）および熱重量測定（ＴＧ曲線）の結果を示し
たものである。この図から炉温５３０’ｃおよび７９０
”Ｃにおいて顕著な発熱ピークと窒化によるセ、激な重
量増加があることが分かる。
ＴＡ曲線）および熱重量測定（ＴＧ曲線）の結果を示し
たものである。この図から炉温５３０’ｃおよび７９０
”Ｃにおいて顕著な発熱ピークと窒化によるセ、激な重
量増加があることが分かる。
第５図は 比較のために、平均粒径３μｍの市販のアル
ミニウム微粉と平均粒径１．８μｍ窒化アルミニウム微
粉とを、前記アルミニウム混合超微粉の場合と同一割合
で配合して混合粉とし、この混合粉を同一条件で加熱し
た時の示差熱および熱重量変化の測定結果を示したもの
である。この場合には アルミニウムの窒化に由来する
重量増加はアルミニウムの融点（６６０℃）近傍までは
見られず約８００℃から重量増加と発熱が始まり約１０
４０”Ｃに発熱ピークがあり、その後も１４００℃まで
継続して重量増加が起こっている。
ミニウム微粉と平均粒径１．８μｍ窒化アルミニウム微
粉とを、前記アルミニウム混合超微粉の場合と同一割合
で配合して混合粉とし、この混合粉を同一条件で加熱し
た時の示差熱および熱重量変化の測定結果を示したもの
である。この場合には アルミニウムの窒化に由来する
重量増加はアルミニウムの融点（６６０℃）近傍までは
見られず約８００℃から重量増加と発熱が始まり約１０
４０”Ｃに発熱ピークがあり、その後も１４００℃まで
継続して重量増加が起こっている。
このように、第２．３．４図は、炉温か約６００〜８０
０℃といった低温においても、アルミニウム混合超微粉
成形体自身の発熱による温度上昇（急激な窒化反応によ
る発熱発光により１０００〜１５００℃程度になる）が
生じ、窒化アルミニウム形成による重量増加が生ずるこ
とを示している。一方、アルミニウム超微粉の代わりに
粒径３μｍのアルミニウム微粉を使用した場合には、第
５図に見られるように アルミニウムの融点以下におい
ては顕著な発熱ピークがなくなり、逆に融解による吸熱
ピークが現れ、窒化反応による発熱ピークは、より高温
側に移行する。この場合、 １０００℃以下の炉温で焼
結した場合の焼結体の強度は極めて弱く手で触れると崩
れる程度であった。
０℃といった低温においても、アルミニウム混合超微粉
成形体自身の発熱による温度上昇（急激な窒化反応によ
る発熱発光により１０００〜１５００℃程度になる）が
生じ、窒化アルミニウム形成による重量増加が生ずるこ
とを示している。一方、アルミニウム超微粉の代わりに
粒径３μｍのアルミニウム微粉を使用した場合には、第
５図に見られるように アルミニウムの融点以下におい
ては顕著な発熱ピークがなくなり、逆に融解による吸熱
ピークが現れ、窒化反応による発熱ピークは、より高温
側に移行する。この場合、 １０００℃以下の炉温で焼
結した場合の焼結体の強度は極めて弱く手で触れると崩
れる程度であった。
〔実施例２〕
平均粒径０．２μｍのアルミニウム超微粉および窒化ア
ルミニウム超微粉の均一混合超微粉（７０重量％Ａ＋＋
３０重量％ＡＩＮ）を発熱原料粉とし、この原料粉に対
して、いろいろな種類のセラミックス粉（Ｔ ｉ Ｎ
、 Ｂ Ｎ 、 Ｗ Ｃ、Ａ ｌ ｚ Ｏ３、など）
を重量比１：ｌで配合し、これら各混合粉を１００ｋｇ
／ｃｍ”の圧力で成形した。得られた各圧粉体を実施例
１と同様の加熱炉に装入し、窒素雰囲気中で昇温速度１
５℃／分で加熱したところ、炉内温度約６００〜７００
”Ｃ間で顕著な発光と発熱のピークが生じ、アルミニウ
ム超微粉の窒化が急速に進行して窒化アルミニウム基焼
結体となった。
ルミニウム超微粉の均一混合超微粉（７０重量％Ａ＋＋
３０重量％ＡＩＮ）を発熱原料粉とし、この原料粉に対
して、いろいろな種類のセラミックス粉（Ｔ ｉ Ｎ
、 Ｂ Ｎ 、 Ｗ Ｃ、Ａ ｌ ｚ Ｏ３、など）
を重量比１：ｌで配合し、これら各混合粉を１００ｋｇ
／ｃｍ”の圧力で成形した。得られた各圧粉体を実施例
１と同様の加熱炉に装入し、窒素雰囲気中で昇温速度１
５℃／分で加熱したところ、炉内温度約６００〜７００
”Ｃ間で顕著な発光と発熱のピークが生じ、アルミニウ
ム超微粉の窒化が急速に進行して窒化アルミニウム基焼
結体となった。
第１表に９本例と同様に発熱粉末（Δ）と非発熱粉末（
Ｂ）を配合して、加熱炉の炉内温度８００゛Ｃで窒素雰
囲気中で３時間の焼結処理を行った場合の焼結体のビッ
カース硬度を示した。なお発光発熱のピークを与える温
度はアルミニウム系超微粉の製造条件、超微粉の表面状
態および非発熱微粉の種類、混合割合などによって変化
した。
Ｂ）を配合して、加熱炉の炉内温度８００゛Ｃで窒素雰
囲気中で３時間の焼結処理を行った場合の焼結体のビッ
カース硬度を示した。なお発光発熱のピークを与える温
度はアルミニウム系超微粉の製造条件、超微粉の表面状
態および非発熱微粉の種類、混合割合などによって変化
した。
以上のように本発明によれば２加熱層度が１０００℃以
下の低温でも窒化アルミニウム基焼結体が製造できる。
下の低温でも窒化アルミニウム基焼結体が製造できる。
そして、窒化アルミニウムと各種のセラミックスとの複
合焼結体も簡単に製造できる。
合焼結体も簡単に製造できる。
したがって、従来より簡便な加熱装置で窒化アルミニウ
ム基焼結体を得ることができ工業」二非常に有利である
。
ム基焼結体を得ることができ工業」二非常に有利である
。
第１図は本発明実施例に使用した加熱装置を示ず略斜視
図、第２図は実施例１における炉内温度と成形品試料温
度との関係図２第３図は同しく炉内温度と混合超微粉法
＄４ ｉｉμ度との関係図、第４図は同しく混合超微１
５）の示差熱測定（ＤＴＡ曲線）および重量変化７１１
１１定（７０曲線）の結果を示した図、第５図は、比較
のために、平均粒径３１１Ｉ１１の市販のアルミニウム
微粉と平均粒径１．８μｍ窒化アルミニウム微粉との混
合粉末の示差熱測定（ＤＴＡ曲線）および重量変化測定
（７０曲線）の結果を示した図である。 ・加熱炉 ・反応管 成形品。
図、第２図は実施例１における炉内温度と成形品試料温
度との関係図２第３図は同しく炉内温度と混合超微粉法
＄４ ｉｉμ度との関係図、第４図は同しく混合超微１
５）の示差熱測定（ＤＴＡ曲線）および重量変化７１１
１１定（７０曲線）の結果を示した図、第５図は、比較
のために、平均粒径３１１Ｉ１１の市販のアルミニウム
微粉と平均粒径１．８μｍ窒化アルミニウム微粉との混
合粉末の示差熱測定（ＤＴＡ曲線）および重量変化測定
（７０曲線）の結果を示した図である。 ・加熱炉 ・反応管 成形品。
Claims (4)
- （１） 窒化アルミニウムが基体の焼結体を製造するに
さいし，平均粒径が０．５μｍ以下のアルミニウム超微
粉を２０重量％以上の配合量で他の粉末原料と混合し，
この混合粉を圧縮成形し，この圧縮成形品を加熱炉に装
入し，この加熱炉において窒素雰囲気下で該成形品を加
熱し，炉内温度１０００℃以下のもとで発光を伴うアル
ミニウム超微粉の窒化発熱反応を行わせることを特徴と
する窒化アルミニウム基焼結体の製造法。 - （２） 発光発熱させるための炉内温度は，６００〜８
００℃の範囲である請求項１に記載の製造法。 - （３） 他の粉末原料は、窒化アルミニウム微粉である
請求項１または２に記載の製造法。 - （４） 他の粉末原料は，アルミニウム以外の金属微粉
，金属窒化物微粉，金属酸化物微粉または金属炭化物微
粉の何れか１種または２種以上である請求項１，２また
は３に記載の製造法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1096296A JP2732290B2 (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 窒化アルミニウム基焼結体の製造方法 |
| US07/773,646 US5167944A (en) | 1989-04-18 | 1990-04-09 | Method for the production of aluminum nitride-based sintered products |
| EP19900905672 EP0469149A4 (en) | 1989-04-18 | 1990-04-09 | Method of producing aluminum nitride sinter |
| PCT/JP1990/000475 WO1990012768A1 (fr) | 1989-04-18 | 1990-04-09 | Procede pour produire un agglomere de nitrure d'aluminium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1096296A JP2732290B2 (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 窒化アルミニウム基焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275772A true JPH02275772A (ja) | 1990-11-09 |
| JP2732290B2 JP2732290B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=14161085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1096296A Expired - Lifetime JP2732290B2 (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 窒化アルミニウム基焼結体の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5167944A (ja) |
| EP (1) | EP0469149A4 (ja) |
| JP (1) | JP2732290B2 (ja) |
| WO (1) | WO1990012768A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012231113A (ja) * | 2011-04-13 | 2012-11-22 | Denso Corp | 窒素とアルミニウムと他金属とを含む多元化合物の複合材料、その製造方法、絶縁フィルム、絶縁接着剤及び熱交換器 |
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| US5455322A (en) * | 1992-06-12 | 1995-10-03 | Lanxide Technology Company, Lp | Aluminum nitride from inorganic polymers |
| US5649278A (en) * | 1993-04-02 | 1997-07-15 | The Dow Chemical Company | Aluminum nitride, aluminum nitride containing solid solutions and aluminum nitride composites prepared by combustion synthesis |
| US5710382A (en) * | 1995-09-26 | 1998-01-20 | The Dow Chemical Company | Aluminum nitride, aluminum nitride containing solid solutions and aluminum nitride composites prepared by combustion synthesis and sintered bodies prepared therefrom |
| JP2967094B2 (ja) * | 1995-11-02 | 1999-10-25 | 工業技術院長 | 窒化アルミニウム焼結体、及び窒化アルミニウム粉末の製造方法 |
| FR2757847B1 (fr) * | 1996-12-27 | 1999-03-19 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Procede de fabrication d'une piece ceramique structurale frittee en nitrure d'aluminium |
| RU2264997C1 (ru) * | 2004-03-11 | 2005-11-27 | Томский политехнический университет | Шихта для получения оксинитрида алюминия |
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| JPS6042280A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-06 | 株式会社東芝 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
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| US3572992A (en) * | 1967-07-05 | 1971-03-30 | Tokyo Shibaura Electric Co | Preparation of moulded and sintered aluminum nitride |
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| DE2805292C2 (de) * | 1977-09-28 | 1982-03-11 | Toshiba Ceramics Co., Ltd., Tokyo | Verfahren zur Herstellung eines Sinterkörpers |
| JPS5895608A (ja) * | 1981-11-30 | 1983-06-07 | Toshiba Corp | セラミツクス粉末の製造方法 |
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| DE3588005T2 (de) * | 1984-05-18 | 1995-08-24 | Mitsue Koizumi | Verfahren zum Sintern von keramischen Körpern mit einer verteilten Metallverstärkung. |
| JPS6456375A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Sumitomo Electric Industries | Production of aluminum nitride sintered body |
| JPH01264914A (ja) * | 1988-04-14 | 1989-10-23 | Univ Osaka | 窒化アルミニウム粉末及び粉末組成物の製造方法 |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP1096296A patent/JP2732290B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-04-09 US US07/773,646 patent/US5167944A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-09 EP EP19900905672 patent/EP0469149A4/en not_active Withdrawn
- 1990-04-09 WO PCT/JP1990/000475 patent/WO1990012768A1/ja not_active Ceased
Patent Citations (2)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2732290B2 (ja) | 1998-03-25 |
| WO1990012768A1 (fr) | 1990-11-01 |
| EP0469149A4 (en) | 1993-02-17 |
| US5167944A (en) | 1992-12-01 |
| EP0469149A1 (en) | 1992-02-05 |
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