JPH02275781A - 熱間静水圧プレスによる拡散接合方法 - Google Patents
熱間静水圧プレスによる拡散接合方法Info
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- JPH02275781A JPH02275781A JP9595589A JP9595589A JPH02275781A JP H02275781 A JPH02275781 A JP H02275781A JP 9595589 A JP9595589 A JP 9595589A JP 9595589 A JP9595589 A JP 9595589A JP H02275781 A JPH02275781 A JP H02275781A
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Landscapes
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
り粟土旦■皿分立
本発明は熱間静水圧プレスによる拡散接合法の改良に関
する。
する。
従来二改盃
熱間静水圧プレスによる拡散接合法では、被接合物の接
合面間を真空とし、高温でかつ等方的に高圧をかけて、
被接合物を熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰと記載する）
するため、加圧ガスが接合面間に侵入するのを絶対的に
防ぐ必要がある。
合面間を真空とし、高温でかつ等方的に高圧をかけて、
被接合物を熱間静水圧プレス（以下ＨＩＰと記載する）
するため、加圧ガスが接合面間に侵入するのを絶対的に
防ぐ必要がある。
従来のＨＩＰによる拡散接合法では、加圧ガスが接合面
間に侵入するのを防ぐために、（１）被接合部を真空に
排気した密封容器に封じ込める方法（例えば特公昭５９
−４１９５４）、あるいは■被接合物の密着面の周囲に
ガラスを塗布して覆う方法（特開昭６ｌ−１０８４６６
）がとられている。
間に侵入するのを防ぐために、（１）被接合部を真空に
排気した密封容器に封じ込める方法（例えば特公昭５９
−４１９５４）、あるいは■被接合物の密着面の周囲に
ガラスを塗布して覆う方法（特開昭６ｌ−１０８４６６
）がとられている。
しかし前記（１）の方法では複雑な封入技術を必要とす
る欠点がある。また■の方法ではガラスの塗布手法が難
しく、また被接合部の密着面縁部が鏡面同士でなければ
ならず、加工が難しいなどの欠点がある。
る欠点がある。また■の方法ではガラスの塗布手法が難
しく、また被接合部の密着面縁部が鏡面同士でなければ
ならず、加工が難しいなどの欠点がある。
；−，，ｒ 、−、の −
本発明はかかる点に鑑みてなされたもので複雑な封入技
術やガラス塗布技術を必要とせず、また被接合部の密着
面縁部が鏡面同士でなくても接合が行えるＨＩＰによる
拡散接合方法を提供することを目的とする。
術やガラス塗布技術を必要とせず、また被接合部の密着
面縁部が鏡面同士でなくても接合が行えるＨＩＰによる
拡散接合方法を提供することを目的とする。
このため本発明は、一方の接合物の接合面縁部全周にガ
ラス薄膜を形成させた後、２つの接合物を重ね、この重
ねた接合物を真空炉内で加熱して接合面間を真空封入す
る工程を経た後、ＨＩＰにて拡散接合処理することによ
って上記の目的を達成しようとするものである。
ラス薄膜を形成させた後、２つの接合物を重ね、この重
ねた接合物を真空炉内で加熱して接合面間を真空封入す
る工程を経た後、ＨＩＰにて拡散接合処理することによ
って上記の目的を達成しようとするものである。
本発明において、ガラス薄膜を形成する接合物とガラス
薄膜との熱膨張係数差は一１０ＸＩＯ−’／℃以上が好
ましく、その反対にｌ０ＸＩＯ−７／℃より大きいと真
空封入後の冷却中に両者の接合部に割れが入り易く好ま
しくない。
薄膜との熱膨張係数差は一１０ＸＩＯ−’／℃以上が好
ましく、その反対にｌ０ＸＩＯ−７／℃より大きいと真
空封入後の冷却中に両者の接合部に割れが入り易く好ま
しくない。
１皿
本発明によれば、ＨＩＰによる被接合物の接合面間に加
工ガスの侵入を防ぐ方法として、先に一方の接合物の接
合面縁部全周にガラス膜を形成後２つの接合物を重ね、
この重ねた接合物を真空中でガラス溶着することによる
予備的な接合を行う点に特徴があり、複雑な封入技術や
ガラス塗布技術を必要としない。
工ガスの侵入を防ぐ方法として、先に一方の接合物の接
合面縁部全周にガラス膜を形成後２つの接合物を重ね、
この重ねた接合物を真空中でガラス溶着することによる
予備的な接合を行う点に特徴があり、複雑な封入技術や
ガラス塗布技術を必要としない。
また、−膜内に拡散接合処理を行う場合には接合面、特
に接合面の縁部を鏡面加工しておく必要がある。
に接合面の縁部を鏡面加工しておく必要がある。
もし鏡面加工を行わなければ第３，４図に示すように接
合面の凹凸のため接合面縁部の密着性が悪い。このため
接合面縁部をガラスで覆う従来の方法の場合、ガラス塗
布中に接合面内部にまでガラスが入り込む欠点があるが
、本発明の場合、接合面の凹凸を覆うだけのガラス膜を
、予め接合面縁部の一定面積に成膜するため、接合部の
密着面縁部が鏡面同士でなくてもＨＩＰによる拡散接合
を行うことができる。
合面の凹凸のため接合面縁部の密着性が悪い。このため
接合面縁部をガラスで覆う従来の方法の場合、ガラス塗
布中に接合面内部にまでガラスが入り込む欠点があるが
、本発明の場合、接合面の凹凸を覆うだけのガラス膜を
、予め接合面縁部の一定面積に成膜するため、接合部の
密着面縁部が鏡面同士でなくてもＨＩＰによる拡散接合
を行うことができる。
灸血健
本発明の第１の実施例を第１図を参照して説明する。
ここで第１図は本発明の第１の実施例に係る多結晶フェ
ライト同士の接合方法の概要を示す概略構成図である。
ライト同士の接合方法の概要を示す概略構成図である。
直方体形状９例えば３０ ｍｍ Ｘ ２０ ｍ＋＊ Ｘ
５ ｍｍの多結晶Ｎｉ−Ｚｎｎフシイ１−３ａ表面の
縁部に、ガラス薄膜（３１幅）４を２μｍの厚さまでス
パッタリング付着・形成させ、その上にもう一方の直方
体形状（３０＋ｎｍＸ２０ｍｍｎｍＸ２Ｏの多結晶フェ
ライト３ｂを重ね合わせて、約１０−５ｔｏｒｒの真空
中で、温度９００°Ｃ９加圧１ｋｇ／ｆｆ１ａを作用サ
セテ３０分間処理した。炉冷後、ガラスにより接合面内
を密閉された接合体のＨＩＰ処理を行った。
５ ｍｍの多結晶Ｎｉ−Ｚｎｎフシイ１−３ａ表面の
縁部に、ガラス薄膜（３１幅）４を２μｍの厚さまでス
パッタリング付着・形成させ、その上にもう一方の直方
体形状（３０＋ｎｍＸ２０ｍｍｎｍＸ２Ｏの多結晶フェ
ライト３ｂを重ね合わせて、約１０−５ｔｏｒｒの真空
中で、温度９００°Ｃ９加圧１ｋｇ／ｆｆ１ａを作用サ
セテ３０分間処理した。炉冷後、ガラスにより接合面内
を密閉された接合体のＨＩＰ処理を行った。
ＨＩＰ処理は、１０００°Ｃ−１０００気圧のアルゴン
ガス雰囲気中で２時間保持することによって行い、その
結果Ｎｉ−Ｚｎフェライト同士の強靭な接合体を得た。
ガス雰囲気中で２時間保持することによって行い、その
結果Ｎｉ−Ｚｎフェライト同士の強靭な接合体を得た。
第２の実施例を第２図を参考にして説明する。
ここで第２図は本発明の第２実施例に係るチタン酸カル
シウム同士の接合方法の概要を示す概略構成図である。
シウム同士の接合方法の概要を示す概略構成図である。
直方体形状（例えば４０ｍｍＸ２０ｍｍＸ ４ｍｍ）の
チタン酸カルシウム板５ａ表面の縁部にガラス薄膜（３
關幅）６を２．５μｍの厚さまでスパッタ）ノング付着
・形成させ、その上にもう一方の直方体形状（４０ｍｍ
Ｘ ２０ ｍｍＸ ４ ｍｍ）のチタン酸カルシウム板
５ｂを重ね合わせて、約１０−５ｔｏｒｒの真空中で温
度１２５０°Ｃ１加圧１ｋｇ／−を作用させて３０分間
処理した。炉冷後、ガラスより接合面内を密閉された接
合体のＨＩＰ処理を行った。ＨＩＰ処理は１４００’Ｃ
−１５００気圧のアルゴンガス雰囲気中で２時間保持す
ることによって行い、その結果、チタン酸カルシウム同
士の強靭な接合体を得た。
チタン酸カルシウム板５ａ表面の縁部にガラス薄膜（３
關幅）６を２．５μｍの厚さまでスパッタ）ノング付着
・形成させ、その上にもう一方の直方体形状（４０ｍｍ
Ｘ ２０ ｍｍＸ ４ ｍｍ）のチタン酸カルシウム板
５ｂを重ね合わせて、約１０−５ｔｏｒｒの真空中で温
度１２５０°Ｃ１加圧１ｋｇ／−を作用させて３０分間
処理した。炉冷後、ガラスより接合面内を密閉された接
合体のＨＩＰ処理を行った。ＨＩＰ処理は１４００’Ｃ
−１５００気圧のアルゴンガス雰囲気中で２時間保持す
ることによって行い、その結果、チタン酸カルシウム同
士の強靭な接合体を得た。
光肌亘処求
本発明によると、従来のＨＩＰによる拡散接合における
密閉容器の使用や被接合物の外周溶接をする等の複雑な
技術を必要とせず容易にＨＩＰによる拡散接合が行える
。
密閉容器の使用や被接合物の外周溶接をする等の複雑な
技術を必要とせず容易にＨＩＰによる拡散接合が行える
。
第１図は本発明の第１実施例に係る多結晶フェライト同
士の接合方法の概要を示す概略構成図であり、第２図は
本発明の第２実施例に係るチタン酸カルシウム同士の接
合方法の概要を示す概略構成図である。 第３図は被接合物の接合界面を鏡面加工せずに密着させ
た時の接合断面の拡大図であり、第４図は一方の被接合
物の接合界面の縁部をガラス膜で覆った時の断面の拡大
図である。 ２・・・・・・ガラス薄膜、 ３ａ、３ｂ・・・・・・接合物（多結晶フェライト）、
４．６・・・・・・ガラススパッタ膜、５ａ１５ｂ・・
・・・・接合物（チタン酸カルシウム）。
士の接合方法の概要を示す概略構成図であり、第２図は
本発明の第２実施例に係るチタン酸カルシウム同士の接
合方法の概要を示す概略構成図である。 第３図は被接合物の接合界面を鏡面加工せずに密着させ
た時の接合断面の拡大図であり、第４図は一方の被接合
物の接合界面の縁部をガラス膜で覆った時の断面の拡大
図である。 ２・・・・・・ガラス薄膜、 ３ａ、３ｂ・・・・・・接合物（多結晶フェライト）、
４．６・・・・・・ガラススパッタ膜、５ａ１５ｂ・・
・・・・接合物（チタン酸カルシウム）。
Claims (3)
- （１）一方の接合物の接合面縁部全周にガラス膜を形成
させた後、２つの接合物を重ねる工程と、この重ねた接
合物を真空炉内で加熱して接合面間を真空封入する工程
と、この真空封入した接合物を高圧不活性ガス雰囲気中
において高温に加熱し、接合面を拡散接合する工程を含
む熱間静水圧プレスによる拡散接合方法。 - （２）ガラス薄膜を形成する接合物の熱膨張係数とガラ
ス薄膜の熱膨張係数との差が−１０×１０＾−＾７／℃
以上１０×１０＾−＾７／℃以下であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の熱間静水圧プレスによる
拡散接合方法。 - （３）ガラス薄膜が化学的又は物理的蒸着法により作成
されたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の熱
間静水圧プレスによる拡散接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9595589A JPH02275781A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 熱間静水圧プレスによる拡散接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9595589A JPH02275781A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 熱間静水圧プレスによる拡散接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275781A true JPH02275781A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14151671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9595589A Pending JPH02275781A (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 熱間静水圧プレスによる拡散接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02275781A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102500910A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-06-20 | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 | 一种用于热等静压焊接的无包套封焊方法 |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP9595589A patent/JPH02275781A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102500910A (zh) * | 2011-11-04 | 2012-06-20 | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 | 一种用于热等静压焊接的无包套封焊方法 |
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