JPH0227699A - 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 - Google Patents
高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法Info
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- JPH0227699A JPH0227699A JP17654088A JP17654088A JPH0227699A JP H0227699 A JPH0227699 A JP H0227699A JP 17654088 A JP17654088 A JP 17654088A JP 17654088 A JP17654088 A JP 17654088A JP H0227699 A JPH0227699 A JP H0227699A
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- acceleration energy
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は高周波四重極加速器における加速エネルギの制
御方法に関し、特に、例えば半導体へのイオン注入等に
応用するのに適した制御方法に関する。
御方法に関し、特に、例えば半導体へのイオン注入等に
応用するのに適した制御方法に関する。
〈従来の技術〉
高周波四重掻加速器（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ
Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ加速器、以下、ＲＦＱ加速器と
称する）は、大電流のイオンビームを高透過率のもとに
高エネルギに加速し得る能力を持ち、近年、多（の分野
での応用が研究されている。
Ｑｕａｄｒｕｐｏｌｅ加速器、以下、ＲＦＱ加速器と
称する）は、大電流のイオンビームを高透過率のもとに
高エネルギに加速し得る能力を持ち、近年、多（の分野
での応用が研究されている。
第９図はＲＦＱ加速器の概念構造を示す部分断面斜視図
である。
である。
両端がプレート９１ａ、９１ｂで閉止された円筒タンク
９０内に４個の電極９２ａ〜９２ｄが（以下、ベーン９
２ａ〜９２ｄと称する）が固着されており、これらで四
重極空胴共振器を形成している。
９０内に４個の電極９２ａ〜９２ｄが（以下、ベーン９
２ａ〜９２ｄと称する）が固着されており、これらで四
重極空胴共振器を形成している。
ベーン９２ａ〜９２ｄには、それぞれその先端部にタン
ク９０の軸方向に沿う波形が形成されており、互いに対
向するベーンはその波形の山と山。
ク９０の軸方向に沿う波形が形成されており、互いに対
向するベーンはその波形の山と山。
谷と谷とが向き合い、かつ、ベーン９２ａ、９２ｃとベ
ーン９２ｂ、９２ｄの波形は１８０°の位相差を持って
いる。また、各波形の周期は入口から出口に向かって次
第に長くなっている。
ーン９２ｂ、９２ｄの波形は１８０°の位相差を持って
いる。また、各波形の周期は入口から出口に向かって次
第に長くなっている。
このような構造体に高周波を導入すると、相対向するベ
ーンは同相に、隣り合うベーンは逆相に電圧が印加され
て共振することになるが、上述した波形の存在によって
ベーン９２ａ〜９２ｄで囲まれた空間にタンク９０の軸
心に沿う加速電界が生成され、ここに入射した荷電粒子
ビームは収束されつつ所定の加速エネルギのもとに加速
される。
ーンは同相に、隣り合うベーンは逆相に電圧が印加され
て共振することになるが、上述した波形の存在によって
ベーン９２ａ〜９２ｄで囲まれた空間にタンク９０の軸
心に沿う加速電界が生成され、ここに入射した荷電粒子
ビームは収束されつつ所定の加速エネルギのもとに加速
される。
〈発明が解決しようとする課題〉
ところで、ＲＦＱ加速器は高周波共振器を利用して荷電
粒子を加速する、いわゆる高周波加速器であるから、共
振周波数を可変としない限り加速エネルギを可変とする
ことはできないとされている（Ｎｕｃｌｅａｒ Ｉｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ ｉｎ Ｒｈ
ｙｓｉｃｓＲｅｓｅａｒｃｈ Ｂ２１（１９８７）Ｐ−
Ｐ２１８−２２３． Ｈ，Ｆ、 Ｇｌａｖｉｓｈ。
粒子を加速する、いわゆる高周波加速器であるから、共
振周波数を可変としない限り加速エネルギを可変とする
ことはできないとされている（Ｎｕｃｌｅａｒ Ｉｎｓ
ｔｒｕｍｅｎｔｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ ｉｎ Ｒｈ
ｙｓｉｃｓＲｅｓｅａｒｃｈ Ｂ２１（１９８７）Ｐ−
Ｐ２１８−２２３． Ｈ，Ｆ、 Ｇｌａｖｉｓｈ。
Ｒａｄｉｏ−Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ Ｌｉｎｅａｒ Ａｃ
ｃｅｌｅｒａｔｏｒｓ ｆｏｒ Ｊｏｎｌａｐｌａｎｔ
ｅｒｓ”）。
ｃｅｌｅｒａｔｏｒｓ ｆｏｒ Ｊｏｎｌａｐｌａｎｔ
ｅｒｓ”）。
すなわち、高周波加速器では、粒子の入射スピード（エ
ネルギ）、電極の配設位置（ドリフトチエ−ブライナッ
ク等では配設ピッチ、ＲＦＱ加速器ではベーン波形の周
期）および印加する高周波電圧値は互いに密接な関係を
持つファクタであり、例えば高周波電圧値を変化させて
も、他のファクタが一定である限り加速エネルギは変化
せずに一定であり、むしろ、高周波電圧値を大幅に低下
させると荷電粒子をまったく加速できなくなるとされて
いる。その理由として、高周波電圧を低下させると、加
速電界中において荷電粒子のスピードが遅くなり、電極
波形の周期等との関連において共振条件を満足しなくな
るためであると一般には説明されている。
ネルギ）、電極の配設位置（ドリフトチエ−ブライナッ
ク等では配設ピッチ、ＲＦＱ加速器ではベーン波形の周
期）および印加する高周波電圧値は互いに密接な関係を
持つファクタであり、例えば高周波電圧値を変化させて
も、他のファクタが一定である限り加速エネルギは変化
せずに一定であり、むしろ、高周波電圧値を大幅に低下
させると荷電粒子をまったく加速できなくなるとされて
いる。その理由として、高周波電圧を低下させると、加
速電界中において荷電粒子のスピードが遅くなり、電極
波形の周期等との関連において共振条件を満足しなくな
るためであると一般には説明されている。
一方、半導体製造プロセスにおけるイオン注入装置等を
はじめとする多くの応用分野では、加速ネルギの可変性
は必須の要求性能である。そこで、この加速エネルギ可
変性を得るべく、ＲＦＱ加速器に複雑な外部共振器等を
付加し、共振周波数を可変にする対策が提案されている
。（例えば、特開昭６０−１１５１９９号）。
はじめとする多くの応用分野では、加速ネルギの可変性
は必須の要求性能である。そこで、この加速エネルギ可
変性を得るべく、ＲＦＱ加速器に複雑な外部共振器等を
付加し、共振周波数を可変にする対策が提案されている
。（例えば、特開昭６０−１１５１９９号）。
しかし、共振周波数を可変にすることで加速エネルギ可
変性を得る方式では、ＲＦＱ加速器に複雑な機構や装置
を追加する必要があるばかりでなく、高周波電力を供給
するための高周波電源についても周波数を可変にする必
要がある等、高価格化およびメインテナンス等の点で多
くの問題がある。
変性を得る方式では、ＲＦＱ加速器に複雑な機構や装置
を追加する必要があるばかりでなく、高周波電力を供給
するための高周波電源についても周波数を可変にする必
要がある等、高価格化およびメインテナンス等の点で多
くの問題がある。
本発明の目的は、ＲＦＱ加速器の共振周波数を変化させ
ることなく、容易にその加速エネルギを変化させること
のできる制御方法を提供することにある。
ることなく、容易にその加速エネルギを変化させること
のできる制御方法を提供することにある。
〈課題を解決するための手段〉
本発明のＲＦＱ加速器における加速エネルギの制御方法
の特徴とするところは、電極に印加すべき高周波電圧を
、荷電粒子のＲＦＱ加速器への導入スピードとこの高周
波電圧の周波数、および電極に形成された波形の周期に
基づく共振条件を満足する電圧値よりも、下方に所定量
シフトすることによって荷電粒子の加速エネルギを変化
させることにある。
の特徴とするところは、電極に印加すべき高周波電圧を
、荷電粒子のＲＦＱ加速器への導入スピードとこの高周
波電圧の周波数、および電極に形成された波形の周期に
基づく共振条件を満足する電圧値よりも、下方に所定量
シフトすることによって荷電粒子の加速エネルギを変化
させることにある。
なお、本明細書でいう高周波電圧とは、印加する高周波
の電圧振幅値をいう。
の電圧振幅値をいう。
く作用〉
同一の荷電粒子を同一の入射条件のもとにＲＦＱ加速器
に導入し、共振周波数を変化させずに高周波電圧（ベー
ン電圧）のみを変化させた実験結果の例を第３図〜第６
図に示す。ＲＦＱ加速器の共振条件を満足するベーン電
圧を与えた場合（第３図）に比し、ベーン電圧を下方に
シフトすることで加速エネルギを下方に変化させること
ができた（第４図〜第６図）。
に導入し、共振周波数を変化させずに高周波電圧（ベー
ン電圧）のみを変化させた実験結果の例を第３図〜第６
図に示す。ＲＦＱ加速器の共振条件を満足するベーン電
圧を与えた場合（第３図）に比し、ベーン電圧を下方に
シフトすることで加速エネルギを下方に変化させること
ができた（第４図〜第６図）。
ベーン電圧を下方にシフトすることで、実際に粒子がど
のような作用を受けてエネルギが変化するのかは現時点
において正確には明らかではない。
のような作用を受けてエネルギが変化するのかは現時点
において正確には明らかではない。
しかし、ＲＦＱ加速器以外の高周波加速器、例えばドリ
フトチューブライナ・ンク等との比較において下記の推
測が成り立つ。
フトチューブライナ・ンク等との比較において下記の推
測が成り立つ。
すなわち、ドリフトチューブライナックでは、加速高周
波電圧を設計値以下にした場合、ビームは共振条件を満
足できず、殆んど発散等によって失われてしまうことは
事実である。ここで、ドリフトチューブライナックとＲ
ＦＱ加速器との機能上の大きな差異は、そのビーム収束
力にある。前者ではビーム収束力はドリフトチューブ内
に設置された静電もしくは磁気Ｑレンズ等によって得ら
れ、ドリフトチューブ外では収束力は働かない。
波電圧を設計値以下にした場合、ビームは共振条件を満
足できず、殆んど発散等によって失われてしまうことは
事実である。ここで、ドリフトチューブライナックとＲ
ＦＱ加速器との機能上の大きな差異は、そのビーム収束
力にある。前者ではビーム収束力はドリフトチューブ内
に設置された静電もしくは磁気Ｑレンズ等によって得ら
れ、ドリフトチューブ外では収束力は働かない。
これに対し後者では、ベーンに誘起された高周波電圧が
粒子の収束と加速を同時に行うので、粒子ビームは空間
的に連続して常に強い収束力を受ける。
粒子の収束と加速を同時に行うので、粒子ビームは空間
的に連続して常に強い収束力を受ける。
従って、ＲＦＱ加速では、共振条件を満足できないビー
ムも、その強い収束力のために発散することなく最後ま
で加速されてしまう。しかし、共振条件を満足していな
いが故に、最終的な加速エネルギは設計値よりも低エネ
ルギ側にシフトし、前記した結果が得られるものと推定
される。
ムも、その強い収束力のために発散することなく最後ま
で加速されてしまう。しかし、共振条件を満足していな
いが故に、最終的な加速エネルギは設計値よりも低エネ
ルギ側にシフトし、前記した結果が得られるものと推定
される。
〈実施例〉
本発明の実施例を、以下、図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明を適用して粒子の加速エネルギを実測し
た実験装置のレイアウトを示すプロ・７り図であり、破
線で囲まれた部分がＲＦＱ加速装置である。
た実験装置のレイアウトを示すプロ・７り図であり、破
線で囲まれた部分がＲＦＱ加速装置である。
イオン源１で発生したイオンは、直流高圧電源２によっ
て所定の所期エネルギまで加速される。
て所定の所期エネルギまで加速される。
これによって生ずるイオンビームＢは、静電Ｑレンズ３
２分析マグネット４．更に静電Ｑレンズ５を通過して目
的イオンのみのビー１、となってＲＦＱ加速器６内に導
かれる。
２分析マグネット４．更に静電Ｑレンズ５を通過して目
的イオンのみのビー１、となってＲＦＱ加速器６内に導
かれる。
ＲＦＱ加速器６には、そのベーンに高周波電圧を印加す
るための高周波電源７と、実際に加速器６に印加された
電圧を検出する電圧検出器８．およびその検出信号と電
圧設定器１０からの設定信号を入力して高周波電源７の
出力電圧を制御する制御回路９が付設されている。
るための高周波電源７と、実際に加速器６に印加された
電圧を検出する電圧検出器８．およびその検出信号と電
圧設定器１０からの設定信号を入力して高周波電源７の
出力電圧を制御する制御回路９が付設されている。
高周波電源７は、例えば水晶発振器と電力増幅器によっ
て構成され、制御回路９は、例えば電圧検出器８からの
検出信号を電圧設定器１０からの設定信号にフィードバ
ックして、その差信号に基づいて上述の電力増幅器の増
幅度を変化させる回路構成を有している。これにより、
ＲＦＱ加速器６のベーンに印加される高周波電圧は、電
圧設定器１０によって設定された電圧値に制御される。
て構成され、制御回路９は、例えば電圧検出器８からの
検出信号を電圧設定器１０からの設定信号にフィードバ
ックして、その差信号に基づいて上述の電力増幅器の増
幅度を変化させる回路構成を有している。これにより、
ＲＦＱ加速器６のベーンに印加される高周波電圧は、電
圧設定器１０によって設定された電圧値に制御される。
さて、ＲＦＱ加速器６より加速されて出射したイオンの
エネルギスペクトルを測定すべく、ＲＦＱ加速器６の出
口にラザフォード・バックスキャツタリング・スペクト
ロスコピ（Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ Ｂａｃｋｓｃ−ａｔ
ｔｅｒｉｎｇ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、以下、ＲＢ
Ｓと称する）を配設した。ＲＢＳはターゲット１１とエ
ネルギ検出器１２とからなり、ＲＦＱ加速器６から出射
したイオンはターゲット１１によって散乱されてエネル
ギ検出器１２に入り、そこで加速エネルギに応じた電荷
量を発生する。この電荷量を個々の粒子について求める
ことでエネルギスペクトルを測定することができる。な
お、ターゲット１１はカーボンに金を１００〜２００人
蒸着したものを使用し、エネルギ検出器１２は表面障壁
型粒子エネルギ検出器を用いた。
エネルギスペクトルを測定すべく、ＲＦＱ加速器６の出
口にラザフォード・バックスキャツタリング・スペクト
ロスコピ（Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ Ｂａｃｋｓｃ−ａｔ
ｔｅｒｉｎｇ ５ｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、以下、ＲＢ
Ｓと称する）を配設した。ＲＢＳはターゲット１１とエ
ネルギ検出器１２とからなり、ＲＦＱ加速器６から出射
したイオンはターゲット１１によって散乱されてエネル
ギ検出器１２に入り、そこで加速エネルギに応じた電荷
量を発生する。この電荷量を個々の粒子について求める
ことでエネルギスペクトルを測定することができる。な
お、ターゲット１１はカーボンに金を１００〜２００人
蒸着したものを使用し、エネルギ検出器１２は表面障壁
型粒子エネルギ検出器を用いた。
以上のセットアンプにより、ＲＦＱ加速器６のベーンに
印加する高周波電圧を変化させ、ＲＦＱ加速Ｈ６から出
射した粒子のエネルギスペクトルを測定した結果を第３
図〜第８図に示す。なお、これらの図において横軸はエ
ネルギ、縦軸は粒子の検出カウント数である。
印加する高周波電圧を変化させ、ＲＦＱ加速Ｈ６から出
射した粒子のエネルギスペクトルを測定した結果を第３
図〜第８図に示す。なお、これらの図において横軸はエ
ネルギ、縦軸は粒子の検出カウント数である。
第３図〜第６図は、１４Ｎ゛粒子についての実験結果で
ある。すなわち、この実験においては、イオン源１にお
いてＮ２ガスから１４Ｎ＋を発生し、これをＲＦＱ加速
器６の入射条件である８４ｋｅＶに加速して加速器６内
に導入した。ＲＦＱ加速器６の共振周波数は７０．３０
０ＭＨｚで一定とした。
ある。すなわち、この実験においては、イオン源１にお
いてＮ２ガスから１４Ｎ＋を発生し、これをＲＦＱ加速
器６の入射条件である８４ｋｅＶに加速して加速器６内
に導入した。ＲＦＱ加速器６の共振周波数は７０．３０
０ＭＨｚで一定とした。
この条件におけるＲＦＱ加速器６の設計電圧値、つまり
イオンの入射スピードと高周波の周波数およびＲＦＱ加
速器６のベーン波形によって定まる共振条件を満足する
高周波電圧は、約５４．８ ｋ Ｖである。
イオンの入射スピードと高周波の周波数およびＲＦＱ加
速器６のベーン波形によって定まる共振条件を満足する
高周波電圧は、約５４．８ ｋ Ｖである。
第３図はＲＦＱ加速器６の設計電圧値そのまま（１００
％）を印加した場合の測定結果で、設計通りのエネルギ
値に単独のピークが生じた。なお、ピーク以外のエネル
ギ値においてカウント数が存在するのは、主としてター
ゲット１１での散乱時において生ずる多重散乱されたエ
ネルギの低い粒子および測定ノイズ等である。
％）を印加した場合の測定結果で、設計通りのエネルギ
値に単独のピークが生じた。なお、ピーク以外のエネル
ギ値においてカウント数が存在するのは、主としてター
ゲット１１での散乱時において生ずる多重散乱されたエ
ネルギの低い粒子および測定ノイズ等である。
第４図、第５図および第６図は、それぞれ高周波電圧を
設計電圧値の８７％、８４％および７８％としたときの
測定結果である。これらの図より明らかなように、高周
波電圧の下方へのシフトにより、またそのシフト量に応
じて、第３図のピークよりも低いエネルギ領域において
１個または複数個のピークが生じた。このことは、明ら
かにイオンのエネルギがベーンに印加する電圧により変
化することを示している。
設計電圧値の８７％、８４％および７８％としたときの
測定結果である。これらの図より明らかなように、高周
波電圧の下方へのシフトにより、またそのシフト量に応
じて、第３図のピークよりも低いエネルギ領域において
１個または複数個のピークが生じた。このことは、明ら
かにイオンのエネルギがベーンに印加する電圧により変
化することを示している。
第７図および第８図は１１１３４粒子についての実験結
果である。この実験では、イオン源１においてＢＦ２ガ
スか、ら１１１３−を発生して、６６ｋｅＶに加速して
ＲＦＱ加速器６に導いた。ＲＦＱ加速器６の共振周波数
は７０．３４０ＭＨ２である。この条件でのＲＦＱ加速
器６の設計電圧は約４３ｋＶである。
果である。この実験では、イオン源１においてＢＦ２ガ
スか、ら１１１３−を発生して、６６ｋｅＶに加速して
ＲＦＱ加速器６に導いた。ＲＦＱ加速器６の共振周波数
は７０．３４０ＭＨ２である。この条件でのＲＦＱ加速
器６の設計電圧は約４３ｋＶである。
第７図はその設計電圧１００％を、また第８図はその８
８％の電圧を印加したときの測定結果を示している。
８％の電圧を印加したときの測定結果を示している。
この実験においても、１００％の電圧印加によって設計
通りのエネルギ値に単独のピークを示したのに対し、電
圧を下方にシフトすることによってそのピークよりも低
いエネルギにおいて別のピークを示し、高周波電圧の下
方へのシフトによって粒子加速エネルギを変化させ得る
ことが実証された。
通りのエネルギ値に単独のピークを示したのに対し、電
圧を下方にシフトすることによってそのピークよりも低
いエネルギにおいて別のピークを示し、高周波電圧の下
方へのシフトによって粒子加速エネルギを変化させ得る
ことが実証された。
第２図は本発明を応用した装置の要部構成を示すブロッ
ク図で、第１図と同一のものには同一の番号を付して示
している。前記した実験例より明らかなように、ＲＦＱ
加速器６のベーンに印加する高周波電圧を下方にシフト
すると、複数のエネルギピークが生ずる場合がある。そ
こで、この応用例では、ＲＦＱ加速器６の出口に分析マ
グネット２０を配設し、所望のエネルギを持つイオンの
みを選択して目的方向に導くよう構成している。
ク図で、第１図と同一のものには同一の番号を付して示
している。前記した実験例より明らかなように、ＲＦＱ
加速器６のベーンに印加する高周波電圧を下方にシフト
すると、複数のエネルギピークが生ずる場合がある。そ
こで、この応用例では、ＲＦＱ加速器６の出口に分析マ
グネット２０を配設し、所望のエネルギを持つイオンの
みを選択して目的方向に導くよう構成している。
この構成は、例えば半導体へのイオン注入に本発明を利
用する場合等に極めて有効である。
用する場合等に極めて有効である。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、ベーンに印加す
る高周波電圧をシフトするだけで荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることができ、従来の共振周波数を変化さ
せる方式に比して極めて容易にエネルギの可変性を実現
できる。このことは、例えば半導体へのイオン注入等の
高エネルギ大電流でしかもエネルギ可変性が要求される
イオンビーム応用分野へのＲＦＱ加速器の適用の可能性
を大きく拡げ、この応用分野に革新的な進歩をもたらす
ものと期待される。
る高周波電圧をシフトするだけで荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることができ、従来の共振周波数を変化さ
せる方式に比して極めて容易にエネルギの可変性を実現
できる。このことは、例えば半導体へのイオン注入等の
高エネルギ大電流でしかもエネルギ可変性が要求される
イオンビーム応用分野へのＲＦＱ加速器の適用の可能性
を大きく拡げ、この応用分野に革新的な進歩をもたらす
ものと期待される。
第１図は本発明を適用して粒子の加速エネルギを実測し
た実験装置のレイアウトを示すブロック図、 第２図は本発明を応用した装置の要部構成を示すブロッ
ク図、 第３図乃至第８図は第１図に示した装置による実験結果
を示すグラフ、 第９図はＲＦＱ加速器の概念構造を示す部分断面斜視図
である。 １・・・・ ２・・・・ ３．５・・ ４・・・・ ６・・・・ ７・・・・ ８・・・・ ９・・・・ １０・・・
た実験装置のレイアウトを示すブロック図、 第２図は本発明を応用した装置の要部構成を示すブロッ
ク図、 第３図乃至第８図は第１図に示した装置による実験結果
を示すグラフ、 第９図はＲＦＱ加速器の概念構造を示す部分断面斜視図
である。 １・・・・ ２・・・・ ３．５・・ ４・・・・ ６・・・・ ７・・・・ ８・・・・ ９・・・・ １０・・・
Claims (1)
- 円筒タンク内にそのタンクの軸方向に沿う波形が先端部
に形成された４個の電極が配設されてなる空胴共振器に
所定周波数の高周波電圧を印加して共振させた状態で、
上記電極の先端で囲まれた空間内に所定スピードのもと
に荷電粒子を導くことによって、その荷電粒子を加速す
る装置において、上記印加すべき高周波電圧を、荷電粒
子の導入スピードとこの高周波電圧の周波数および上記
各電極の波形の周期に基づく共振条件を満足する電圧値
よりも、下方に所定量シフトすることによって荷電粒子
の加速エネルギを変化させることを特徴とする高周波四
重極加速器における加速エネルギの制御方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176540A JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
| EP89307126A EP0353888A1 (en) | 1988-07-15 | 1989-07-13 | Method and apparatus for controlling the acceleration energy of a radiofrequency multipole linear accelerator |
| US08/532,116 US5796219A (en) | 1988-07-15 | 1995-09-22 | Method and apparatus for controlling the acceleration energy of a radio-frequency multipole linear accelerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176540A JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227699A true JPH0227699A (ja) | 1990-01-30 |
| JPH0697640B2 JPH0697640B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=16015380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176540A Expired - Lifetime JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0353888A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0697640B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04184900A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-07-01 | Shimadzu Corp | 高周波四重極加速器における加速エネルギの制御方法 |
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Families Citing this family (3)
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|---|---|---|---|---|
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| DE19750904A1 (de) * | 1997-07-29 | 1999-02-18 | Accsys Technology Inc | Dualenergie-Ionenstrahlbeschleuniger |
| US20120086364A1 (en) * | 2010-10-06 | 2012-04-12 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Particle beam coupling system and method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS60115199A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-21 | 株式会社日立製作所 | 四重極粒子加速器 |
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1988
- 1988-07-15 JP JP63176540A patent/JPH0697640B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1989
- 1989-07-13 EP EP89307126A patent/EP0353888A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60115199A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-21 | 株式会社日立製作所 | 四重極粒子加速器 |
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| JPH04184900A (ja) * | 1990-11-16 | 1992-07-01 | Shimadzu Corp | 高周波四重極加速器における加速エネルギの制御方法 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0697640B2 (ja) | 1994-11-30 |
| EP0353888A1 (en) | 1990-02-07 |
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