JPH0697640B2 - 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 - Google Patents
高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法Info
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- JPH0697640B2 JPH0697640B2 JP63176540A JP17654088A JPH0697640B2 JP H0697640 B2 JPH0697640 B2 JP H0697640B2 JP 63176540 A JP63176540 A JP 63176540A JP 17654088 A JP17654088 A JP 17654088A JP H0697640 B2 JPH0697640 B2 JP H0697640B2
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- frequency
- energy
- accelerator
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/12—Arrangements for varying final energy of beam
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
- H05H7/02—Circuits or systems for supplying or feeding radio-frequency energy
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は高周波四重極加速器における加速エネルギの制
御方法に関し、特に、例えば半導体へのイオン注入等に
応用するのに適した制御方法に関する。
御方法に関し、特に、例えば半導体へのイオン注入等に
応用するのに適した制御方法に関する。
＜従来の技術＞ 高周波四重極加速器（Radio Frequency Quadrupole加速
器、以下、RFQ加速器と称する）は、大電流のイオンビ
ームを高透過率のもとに高エネルギに加速し得る能力を
持ち、近年、多くの分野での応用が研究されている。
器、以下、RFQ加速器と称する）は、大電流のイオンビ
ームを高透過率のもとに高エネルギに加速し得る能力を
持ち、近年、多くの分野での応用が研究されている。
第９図はRFQ加速器のうち、４ベーン型RFQ加速器の概念
構造を示す部分断面斜視図である。なお、このほか、RF
Q加速器には４ロッド型RFQ加速器等の変形例があるが、
本質的な技術上の特徴は４ベーン型と同一なので、以下
は４ベーン型RFQ加速器に例をとって説明を加える。
構造を示す部分断面斜視図である。なお、このほか、RF
Q加速器には４ロッド型RFQ加速器等の変形例があるが、
本質的な技術上の特徴は４ベーン型と同一なので、以下
は４ベーン型RFQ加速器に例をとって説明を加える。
両端がプレート91a,91bで閉止された円筒タンク90内に
４個の電極92a〜92dが（以下、ベーン92a〜92dと称す
る）が固着されており、これらで四重極空胴共振器を形
成している。
４個の電極92a〜92dが（以下、ベーン92a〜92dと称す
る）が固着されており、これらで四重極空胴共振器を形
成している。
ベーン92a〜92dには、それぞれの先端部にタンク90の軸
方向に沿う波形が形成されており、互いに対向するベー
ンはその波形の山と山，谷と谷とが向き合い、かつ、ベ
ーン92a,92cとベーン92b,92dの波形は180°の位相差を
持っている。また、各波形の周期は入口から出口に向か
って次第に長くなっている。
方向に沿う波形が形成されており、互いに対向するベー
ンはその波形の山と山，谷と谷とが向き合い、かつ、ベ
ーン92a,92cとベーン92b,92dの波形は180°の位相差を
持っている。また、各波形の周期は入口から出口に向か
って次第に長くなっている。
このような構造体に高周波を導入すると、相対向するベ
ーンは同相に、隣り合うベーンは逆相に電圧が印加され
て共振することになるが、上述した波形の存在によって
ベーン92a〜92dで囲まれた空間にタンク90の軸心に沿う
加速電界が生成され、ここに入射した荷電粒子ビームは
収束されつつ所定の加速エネルギのもとに加速される。
ーンは同相に、隣り合うベーンは逆相に電圧が印加され
て共振することになるが、上述した波形の存在によって
ベーン92a〜92dで囲まれた空間にタンク90の軸心に沿う
加速電界が生成され、ここに入射した荷電粒子ビームは
収束されつつ所定の加速エネルギのもとに加速される。
＜発明が解決しようとする課題＞ ところで、RFQ加速器は高周波共振器を利用して荷電粒
子を加速する、いわゆる高周波加速器であるから、共振
周波数を可変としない限り加速エネルギを可変とするこ
とはできないとされている（Nuclear Instruments and
Method in Physics Research B21（1987）P-P218-223,
H.F.Glavish,“Radio-Frequency Linear Accelerators
for Ion Implanters"）。
子を加速する、いわゆる高周波加速器であるから、共振
周波数を可変としない限り加速エネルギを可変とするこ
とはできないとされている（Nuclear Instruments and
Method in Physics Research B21（1987）P-P218-223,
H.F.Glavish,“Radio-Frequency Linear Accelerators
for Ion Implanters"）。
すなわち、高周波加速器では、共振周波数粒子の入射ス
ピード（エネルギ）、電極の配設位置（ドリフトチュー
ブライナック等では配設ピッチ、RFQ加速器ではベーン
波形の周期）および印加する高周波電圧値は互いに密接
な関係を持つファクタであり、例えば高周波電圧値を変
化させても、他のファクタが一定である限り加速エネル
ギは変化せずに一定であり、むしろ、高周波電圧値を大
幅に低下させると荷電粒子をまったく加速できなくなる
とされている。その理由として、高周波電圧を低下させ
ると、加速電界中において荷電粒子のスピードが遅くな
り、共振周波数電極波形の周期等との関連において共振
条件を満足しなくなるためであると一般には説明されて
いる。
ピード（エネルギ）、電極の配設位置（ドリフトチュー
ブライナック等では配設ピッチ、RFQ加速器ではベーン
波形の周期）および印加する高周波電圧値は互いに密接
な関係を持つファクタであり、例えば高周波電圧値を変
化させても、他のファクタが一定である限り加速エネル
ギは変化せずに一定であり、むしろ、高周波電圧値を大
幅に低下させると荷電粒子をまったく加速できなくなる
とされている。その理由として、高周波電圧を低下させ
ると、加速電界中において荷電粒子のスピードが遅くな
り、共振周波数電極波形の周期等との関連において共振
条件を満足しなくなるためであると一般には説明されて
いる。
一方、半導体製造プロセスにおけるイオン注入装置等を
はじめとする多くの応用分野では、加速ネルギの可変性
は必須の要求性能である。そこで、この加速エネルギ可
変性を得るべく、RFQ加速器に複雑な外部共振器等を付
加し、共振周波数を可変にする対策が提案されている。
（例えば、特開昭60−115199号）。
はじめとする多くの応用分野では、加速ネルギの可変性
は必須の要求性能である。そこで、この加速エネルギ可
変性を得るべく、RFQ加速器に複雑な外部共振器等を付
加し、共振周波数を可変にする対策が提案されている。
（例えば、特開昭60−115199号）。
しかし、共振周波数を可変にすることで加速エネルギ可
変性を得る方式では、RFQ加速器に複雑な機構や装置を
追加する必要があるばかりでなく、高周波電力を供給す
るための高周波電源についても周波数を可変にする必要
がある等、高価格化およびメンテナンス等の点で多くの
問題がある。
変性を得る方式では、RFQ加速器に複雑な機構や装置を
追加する必要があるばかりでなく、高周波電力を供給す
るための高周波電源についても周波数を可変にする必要
がある等、高価格化およびメンテナンス等の点で多くの
問題がある。
本発明の目的は、RFQ加速器の共振周波数を変化させる
ことなく、容易にその加速エネルギを変化させることの
できる制御方法を提供することにある。
ことなく、容易にその加速エネルギを変化させることの
できる制御方法を提供することにある。
＜課題を解決するための手段＞ 本発明のRFQ加速器における加速エネルギの制御方法の
特徴とするところは、電極に印加すべき高周波電圧を、
荷電粒子のRFQ加速器への導入スピードとこの高周波電
圧の周波数、および電極に形成された波形の周期に基づ
く共振条件を満足する電圧値よりも、下方に所定量だけ
継続的にシフトすることによって荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることにある。
特徴とするところは、電極に印加すべき高周波電圧を、
荷電粒子のRFQ加速器への導入スピードとこの高周波電
圧の周波数、および電極に形成された波形の周期に基づ
く共振条件を満足する電圧値よりも、下方に所定量だけ
継続的にシフトすることによって荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることにある。
なお、本明細書でいう高周波電圧とは、印加する高周波
の電圧振幅値をいう。
の電圧振幅値をいう。
＜作用＞ 同一の荷電粒子を同一の入射条件のもとにRFQ加速器に
導入し、共振周波数を変化させずに高周波電圧（ベーン
電圧）のみを変化させた実験結果の例を第３図〜第６図
に示す。RFQ加速器の共振条件を満足するベーン電圧を
与えた場合（第３図）に比し、ベーン電圧を下方にシフ
トすることで加速エネルギを下方に変化させることがで
きた（第４図〜第６図）。
導入し、共振周波数を変化させずに高周波電圧（ベーン
電圧）のみを変化させた実験結果の例を第３図〜第６図
に示す。RFQ加速器の共振条件を満足するベーン電圧を
与えた場合（第３図）に比し、ベーン電圧を下方にシフ
トすることで加速エネルギを下方に変化させることがで
きた（第４図〜第６図）。
ベーン電圧を下方にシフトすることで、実際に粒子がど
のような作用を受けてエネルギが変化するのかは現時点
において正確には明らかではない。しかし、RFQ加速器
以外の高周波加速器、例えばドリフトチューブライナッ
ク等との比較において下記の推測が成り立つ。
のような作用を受けてエネルギが変化するのかは現時点
において正確には明らかではない。しかし、RFQ加速器
以外の高周波加速器、例えばドリフトチューブライナッ
ク等との比較において下記の推測が成り立つ。
すなわち、ドリフトチューブライナックでは、加速高周
波電圧を設計値以下にした場合、ビームは共振条件を満
足できず、殆んど発散等によって失われてしまうことは
事実である。ここで、ドリフトチューブライナックとRF
Q加速器との機能上の大きな差異は、そのビーム収束力
にある。前者ではビーム収束力はドリフトチューブ内に
設置された静電もしくは磁気Ｑレンズ等によって得ら
れ、ドリフトチューブ外では収束力は働かない。これに
対して後者では、ベーンに誘起された高周波電圧が粒子
の収束と加速を同時に行うので、粒子ビームは空間的に
連続して常に強い収束力を受ける。
波電圧を設計値以下にした場合、ビームは共振条件を満
足できず、殆んど発散等によって失われてしまうことは
事実である。ここで、ドリフトチューブライナックとRF
Q加速器との機能上の大きな差異は、そのビーム収束力
にある。前者ではビーム収束力はドリフトチューブ内に
設置された静電もしくは磁気Ｑレンズ等によって得ら
れ、ドリフトチューブ外では収束力は働かない。これに
対して後者では、ベーンに誘起された高周波電圧が粒子
の収束と加速を同時に行うので、粒子ビームは空間的に
連続して常に強い収束力を受ける。
従って、RFQ加速では、共振条件を満足できないビーム
も、その強い収束力のために発散することなく最後まで
加速されてしまう。しかし、共振条件を満足していない
が故に、最終的な加速エネルギは設計値よりも低エネル
ギ側にシフトし、前記した結果が得られるものと推定さ
れる。
も、その強い収束力のために発散することなく最後まで
加速されてしまう。しかし、共振条件を満足していない
が故に、最終的な加速エネルギは設計値よりも低エネル
ギ側にシフトし、前記した結果が得られるものと推定さ
れる。
＜実施例＞ 本発明の実施例を、以下、図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明を適用して粒子の加速エネルギを実測し
た実験装置のレイアウトを示すブロック図であり、破線
で囲まれた部分がRFQ加速装置である。
た実験装置のレイアウトを示すブロック図であり、破線
で囲まれた部分がRFQ加速装置である。
イオン源１で発生したイオンは、直流高圧電源２によっ
て所定の所期エネルギまで加速される。これによって生
ずるイオンビームＢは、静電Ｑレンズ3,分析マグネット
4,更に静電Ｑレンズ５を通過して目的イオンのみのビー
ムとなってRFQ加速器６内に導かれる。
て所定の所期エネルギまで加速される。これによって生
ずるイオンビームＢは、静電Ｑレンズ3,分析マグネット
4,更に静電Ｑレンズ５を通過して目的イオンのみのビー
ムとなってRFQ加速器６内に導かれる。
RFQ加速器６には、そのベーンに高周波電圧を印加する
ための高周波電源７と、実際に加速器６に印加された電
圧を検出する電圧検出器8,およびその検出信号と電圧設
定器10からの設定信号を入力して高周波電源７の出力電
圧を制御する制御回路９が付設されている。
ための高周波電源７と、実際に加速器６に印加された電
圧を検出する電圧検出器8,およびその検出信号と電圧設
定器10からの設定信号を入力して高周波電源７の出力電
圧を制御する制御回路９が付設されている。
高周波電源７は、例えば水晶発振器と電力増幅器によっ
て構成され、制御回路９は、例えば電圧検出器８からの
検出信号と電圧設定器10からの設定信号との差信号をフ
ィードバックして、上述の電力増幅器の増幅度を変化さ
せる回路構成を有している。これにより、RFQ加速器６
のベーンに印加される高周波電圧は、電圧設定器10によ
って設定された電圧値に制御される。
て構成され、制御回路９は、例えば電圧検出器８からの
検出信号と電圧設定器10からの設定信号との差信号をフ
ィードバックして、上述の電力増幅器の増幅度を変化さ
せる回路構成を有している。これにより、RFQ加速器６
のベーンに印加される高周波電圧は、電圧設定器10によ
って設定された電圧値に制御される。
さて、RFQ加速器６より加速された出射したイオンのエ
ネルギスペクトルを測定すべく、RFQ加速器６の出口に
ラザフォード・バックスキャッタリング・スペクトロス
コピ（Rutherford Backscattering Spectroscopy,以
下、RBSと称する）を配設した。RBSはターゲット11とエ
ネルギ検出器12とからなり、RFQ加速器６から出射した
イオンはターゲット11によって散乱されてエネルギ検出
器12に入り、そこで加速エネルギに応じた電荷量を発生
する。この電荷量を個々の粒子について求めることでエ
ネルギスペクトルを測定することができる。なお、ター
ゲット11はカーボンに金を100〜200Å蒸着したものを使
用し、エネルギ検出器12は表面障壁型粒子エネルギ検出
器を用いた。
ネルギスペクトルを測定すべく、RFQ加速器６の出口に
ラザフォード・バックスキャッタリング・スペクトロス
コピ（Rutherford Backscattering Spectroscopy,以
下、RBSと称する）を配設した。RBSはターゲット11とエ
ネルギ検出器12とからなり、RFQ加速器６から出射した
イオンはターゲット11によって散乱されてエネルギ検出
器12に入り、そこで加速エネルギに応じた電荷量を発生
する。この電荷量を個々の粒子について求めることでエ
ネルギスペクトルを測定することができる。なお、ター
ゲット11はカーボンに金を100〜200Å蒸着したものを使
用し、エネルギ検出器12は表面障壁型粒子エネルギ検出
器を用いた。
以上のセットアップにより、RFQ加速器６のベーンに印
加する高周波電圧を変化させ、RFQ加速器６から出射し
た粒子のエネルギスペクトルを測定した結果を第３図〜
第８図に示す。なお、これらの図において横軸はエネル
ギ、縦軸は粒子の検出カウント数である。
加する高周波電圧を変化させ、RFQ加速器６から出射し
た粒子のエネルギスペクトルを測定した結果を第３図〜
第８図に示す。なお、これらの図において横軸はエネル
ギ、縦軸は粒子の検出カウント数である。
第３図〜第６図は14N+粒子についての実験結果である。
すなわち、この実験においては、イオン源１においてN2
ガスから14N+を発生し、これをRFQ加速器６の入射条件
である84keVに加速して加速器６内に導入した。RFQ加速
器６の共振周波数は70.300MHzで一定とした。この条件
におけるRFQ加速器６の設計電圧値、つまりイオンの入
射スピードと高周波の周波数およびRFQ加速器６のベー
ン波形によって定まる共振条件を満足する高周波電圧
は、約54.8kVである。
すなわち、この実験においては、イオン源１においてN2
ガスから14N+を発生し、これをRFQ加速器６の入射条件
である84keVに加速して加速器６内に導入した。RFQ加速
器６の共振周波数は70.300MHzで一定とした。この条件
におけるRFQ加速器６の設計電圧値、つまりイオンの入
射スピードと高周波の周波数およびRFQ加速器６のベー
ン波形によって定まる共振条件を満足する高周波電圧
は、約54.8kVである。
第３図はRFQ加速器６の設計電圧値そのまま（100％）を
印加した場合の測定結果で、設計通りのエネルギ値に単
独のピークが生じた。なお、ピーク以外のエネルギ値に
おいてカウント数が存在するのは、主としてターゲット
11での散乱時において生ずる多重散乱されたエネルギの
低い粒子および測定ノイズ等である。
印加した場合の測定結果で、設計通りのエネルギ値に単
独のピークが生じた。なお、ピーク以外のエネルギ値に
おいてカウント数が存在するのは、主としてターゲット
11での散乱時において生ずる多重散乱されたエネルギの
低い粒子および測定ノイズ等である。
第４図，第５図および第６図は、それぞれ高周波電圧を
設計電圧値の87％,84％および78％としたときの測定結
果である。これらの図より明らかなように、高周波電圧
の下方へのシフトにより、またそのシフト量に応じて、
第３図のピークよりも低いエネルギ領域において１個ま
たは複数個のピークが生じた。このことは、明らかにイ
オンのエネルギがベーンに印加する電圧により変化する
ことを示している。
設計電圧値の87％,84％および78％としたときの測定結
果である。これらの図より明らかなように、高周波電圧
の下方へのシフトにより、またそのシフト量に応じて、
第３図のピークよりも低いエネルギ領域において１個ま
たは複数個のピークが生じた。このことは、明らかにイ
オンのエネルギがベーンに印加する電圧により変化する
ことを示している。
第７図および第８図は11B+粒子についての実験結果であ
る。この実験では、イオン源１においてBF3ガスから11B
+を発生して、66keVに加速してRFQ加速器６に導いた。R
FQ加速器６の共振周波数は70.340MHzである。この条件
でのRFQ加速器６の設計電圧は約43kVである。
る。この実験では、イオン源１においてBF3ガスから11B
+を発生して、66keVに加速してRFQ加速器６に導いた。R
FQ加速器６の共振周波数は70.340MHzである。この条件
でのRFQ加速器６の設計電圧は約43kVである。
第７図はその設計電圧100％を、また第８図はその88％
の電圧を印加したときの測定結果を示している。
の電圧を印加したときの測定結果を示している。
この実験においても、100％の電圧印加によって設計通
りのエネルギ値に単独のピークを示したのに対し、電圧
を下方にシフトすることによってそのピークよりも低い
エネルギにおいて別のピークを示し、高周波電圧の下方
へのシフトによって粒子加速エネルギを変化させ得るこ
とが実証された。
りのエネルギ値に単独のピークを示したのに対し、電圧
を下方にシフトすることによってそのピークよりも低い
エネルギにおいて別のピークを示し、高周波電圧の下方
へのシフトによって粒子加速エネルギを変化させ得るこ
とが実証された。
第２図は本発明を応用した素地の要部構成を示すブロッ
ク図で、第１図と同一のものには同一の番号を付して示
している。前記した実験例より明らかなように、RFQ加
速器６のベーンに印加する高周波電圧を下方にシフトす
ると、複数のエネルギピークが生ずる場合がある。そこ
で、この応用例では、RFQ加速器６の出口に分析マグネ
ット20を配設し、所望のエネルギを持つイオンのみを選
択して目的方向に導くよう構成している。この構成は、
例えば半導体へのイオン注入に本発明を利用する場合等
に極めて有効である。
ク図で、第１図と同一のものには同一の番号を付して示
している。前記した実験例より明らかなように、RFQ加
速器６のベーンに印加する高周波電圧を下方にシフトす
ると、複数のエネルギピークが生ずる場合がある。そこ
で、この応用例では、RFQ加速器６の出口に分析マグネ
ット20を配設し、所望のエネルギを持つイオンのみを選
択して目的方向に導くよう構成している。この構成は、
例えば半導体へのイオン注入に本発明を利用する場合等
に極めて有効である。
＜発明の効果＞ 以上説明したように、本発明によれば、ベーンに印加す
る高周波電圧をシフトするだけで荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることができ、従来の共振周波数を変化さ
せる方式に比して極めて容易にエネルギの可変性を実現
できる。このことは、例えば半導体へのイオン注入等の
高エネルギ大電流でしかもエネルギ可変性が要求される
イオンビーム応用分野へのRFQ加速器の適用の可能性を
大きく拡げ、この応用分野に革新的な進歩をもたらすも
のと期待される。ここで、本発明によると、複数のエネ
ルギピークが生じる場合があるが、このような場合に
は、必要に応じて加速器の出口に分析マグネット等を配
置して所要のエネルギを持つ粒子のみを抽出すればよ
く、RFQ加速器に複雑な外部共振器を付加することで粒
子加速エネルギを変化させる従来の方法ないしは装置に
比して、大幅に装置構成を簡略化することができる。
る高周波電圧をシフトするだけで荷電粒子の加速エネル
ギを変化させることができ、従来の共振周波数を変化さ
せる方式に比して極めて容易にエネルギの可変性を実現
できる。このことは、例えば半導体へのイオン注入等の
高エネルギ大電流でしかもエネルギ可変性が要求される
イオンビーム応用分野へのRFQ加速器の適用の可能性を
大きく拡げ、この応用分野に革新的な進歩をもたらすも
のと期待される。ここで、本発明によると、複数のエネ
ルギピークが生じる場合があるが、このような場合に
は、必要に応じて加速器の出口に分析マグネット等を配
置して所要のエネルギを持つ粒子のみを抽出すればよ
く、RFQ加速器に複雑な外部共振器を付加することで粒
子加速エネルギを変化させる従来の方法ないしは装置に
比して、大幅に装置構成を簡略化することができる。
第１図は本発明を適用して粒子の加速エネルギを実測し
た実験装置のレイアウトを示すブロック図、 第２図は本発明を応用した装置の要部構成を示すブロッ
ク図、 第３図乃至第８図は第１図に示した装置による実験結果
を示すグラフ、 第９図はRFQ加速器の概念構造を示す部分断面斜視図で
ある。 １……イオン源 ２……直流高圧電源 3,5……静電Ｑレンズ ４……分析マグネット ６……RFQ加速器 ７……高周波電源 ８……電圧検出器 ９……制御回路 10……電圧設定器
た実験装置のレイアウトを示すブロック図、 第２図は本発明を応用した装置の要部構成を示すブロッ
ク図、 第３図乃至第８図は第１図に示した装置による実験結果
を示すグラフ、 第９図はRFQ加速器の概念構造を示す部分断面斜視図で
ある。 １……イオン源 ２……直流高圧電源 3,5……静電Ｑレンズ ４……分析マグネット ６……RFQ加速器 ７……高周波電源 ８……電圧検出器 ９……制御回路 10……電圧設定器
Claims (1)
- 【請求項１】円筒タンク内にそのタンクの軸方向に沿う
波形が先端部に形成された４個の電極が配設されてなる
空胴共振器に所定周波数の高周波電圧を印加して共振さ
せた状態で、上記電極の先端で囲まれた空間内に所定ス
ピードのもとに荷電粒子を導くことによって、その荷電
粒子を加速する装置において、上記印加すべき高周波電
圧を、荷電粒子の導入スピードとこの高周波電圧の周波
数および上記各電極の波形の周期に基づく共振条件を満
足する電圧値よりも、下方に所定量だけ継続的にシフト
することによって荷電粒子の加速エネルギを変化させる
ことを特徴とする高周波四重極加速器における加速エネ
ルギ制御方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176540A JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
| EP89307126A EP0353888A1 (en) | 1988-07-15 | 1989-07-13 | Method and apparatus for controlling the acceleration energy of a radiofrequency multipole linear accelerator |
| US08/532,116 US5796219A (en) | 1988-07-15 | 1995-09-22 | Method and apparatus for controlling the acceleration energy of a radio-frequency multipole linear accelerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176540A JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227699A JPH0227699A (ja) | 1990-01-30 |
| JPH0697640B2 true JPH0697640B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=16015380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176540A Expired - Lifetime JPH0697640B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 高周波四重極加速器における加速エネルギ制御方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JPH0697640B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012048166A3 (en) * | 2010-10-06 | 2012-07-05 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Particle beam couplingsystem and method |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2617240B2 (ja) * | 1990-11-16 | 1997-06-04 | 株式会社島津製作所 | 高周波四重極加速器における加速エネルギの制御方法 |
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| DE19750904A1 (de) * | 1997-07-29 | 1999-02-18 | Accsys Technology Inc | Dualenergie-Ionenstrahlbeschleuniger |
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1989
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012048166A3 (en) * | 2010-10-06 | 2012-07-05 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Particle beam couplingsystem and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0227699A (ja) | 1990-01-30 |
| EP0353888A1 (en) | 1990-02-07 |
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