JPH0227743A - ワイヤボンデイング装置用ワイヤクランパ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣ，）ランジスタ等の半導体装置にワイヤボ
ンディングを施すワイヤボンディング装置に使用され、
ワイヤを保持するために使用されるワイヤボンディング
装置用ワイヤクランパに関するものである。

〔従来の技術〕

従来のこの糧のワイヤボンディング装置用ワイヤクラン
パは第３図に示すように構成されている。

第３図は従来のワイヤボンディング装置におけるワイヤ
クランパを示す側面図で、同図において１はボンディン
グ用ワイヤ、２ａ、２ｂはこのワイヤ１を挾持するため
の受は側押さえ片と可動側押さえ片で、受は側押さえ片
２ａは受は板３の先端部に取付けられ、可動側押さえ片
２ｂは可動部材４の先端部に取付けられている。前記受
は板３は可撓性材によって形成されておシ、その基部は
支持台５に固定されている。また、可動部材４は支持ビ
ン６を介して前記支持台５に回動自在に取付けられ、−
回動端部は支持台５に装着された駆動装置Ｔの進退ロッ
ド７ａに連結されている。すなわち、この可動部材４は
駆動装置７を駆動させることによシ支持ビン６を中心と
して回動動作されることＫなシ、進退ロッド７ａを伸ば
すことによって前記可動側押さえ片２ｂがワイヤ１に圧
接され、このワイヤ１を前記受は側押さえ片２ａに押し
付けるようにしてワイヤ１が挾持されることに々る。々
お、この嵌受は板３はワイヤ１が変形されないように同
図中矢印Ａ方向に撓む。

８は前記受は板３の先端部をワイヤ側へ付勢するための
板ばねで、基部が前記支持台５に固定され先端部が前記
受は板３の受は側押さえ片２ａと対応する背面に当接さ
れている。すなわち、この板ばね８と前記受は板３によ
ってワイヤ１を挾持するための力が付与されることにな
る。９は受は板３が板ばね８によってワイヤ１側に押し
出されるのを防ぐための片端押さえストッパ板で、この
片端押さえストッパ板９は基部が前記支持台５に固定さ
れ、先端部９ａが受は板３の揺動端部におけるワイヤ１
側に当接するよう折夛曲げられている。１０は前記板ば
ね８の弾撥力を増減するためのクランプ力調整ボルトで
、片端押さえストッパ板９に螺合され、その先端は板ば
ね８の背面に当接されている。

このように構成されたワイヤクランパによってワイヤ１
を挾持するには、先ず駆動装置７によシ可動部材４を支
持ビン６を支点として矢印Ａ方向に回動させる。そして
、可動側押さえ片２ｂがワイヤ１を受は側押さえ片２１
に圧接させることによって受は板３および板ばねａが撓
み、これによシワイヤ１が挾持されることになる。次に
ワイヤ１を解放させるには、駆動装置７により可動部材
４を矢印Ｂ方向に回動させればよく、この際、受は板３
と板ばね８が復元され、受は側押さえ片２及と可動側押
さえ片２ｂのワイヤ１に対する圧接状態が解かれる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかるに、このように構成された従来のワイヤクランパ
においては、ワイヤ１を開放させた際に第４図に示すよ
うに、受は板３が片端押さえストッパ板９との接触部を
固定点として受は板３の略中央部がワイヤ１側に逆に撓
むよう危篤５図に示す振動モードでの振動が生じるため
、受は側押さえ片２ａと可動側押さえ片２ｂ　とが接触
し、ワイヤ１が傷つけられたシ、変形されたシし、また
、振動がワイヤＩＫ伝わることによってワイヤポンディ
ング部のループが不安定になる場合があるという問題も
あった。

本発明は上記した点に鑑みてなされたものであ夛、ワイ
ヤの挟持を開放した際におけるワイヤ押さえ部材の振動
が抑制されるワイヤクランパを得ることを目的とするも
のである。

〔課題を解決する丸めの手段〕

本発明に係るワイヤボンディング装置用ワイヤクランパ
は、第一のワイヤ押さえ部材のワイヤ押さえ部より基部
側の第二のワイヤ押さえ部材と対向する部位に対接して
第一のワイヤ押さえ部材の振動抑制用ストッパを設けた
ものである。

〔作用〕

この発明においては、撮動抑制用ストッパが、第一のワ
イヤ押さえ部材が撮動し友際に第一のワイヤ押さえ部材
に当接し、ワイヤ押さえ部材の振動を抑制する。

〔実施例〕

以下にこの発明の一実施例を第１図及び第２図を用いて
詳細に説明する。

第１図は本発明のワイヤボンディング装置用ワイヤクラ
ンパを示す側面図、第２図は要部を示す斜視図で、これ
らの図において第３図で説明したものと同一もしくは同
等部材については同一符号を付し、ここにおいて詳細な
説明は省略する。これらの図において、１１は第一の押
さえ部材である受は板３の振動を抑制するための撮動抑
制用ストッパで、受は板３の揺動端部におけるワイヤ１
側に当接され受は板３が矢印Ｂ方向へ押し出されるのを
防ぐための先端部９ａを有する片端押さえストッパ板９
の略中央から延在して形成され、受は板３の長手方向略
中央部における可動部材４と対向する面に対接する振動
抑制用ストッパ片からなるものである。

このように構成された振動抑制用ストッパ１１を備えた
ワイヤクランパにおいては、ワイヤ１を挾持させた状態
から可動部材４を矢印Ｂ方向に回動させると、受は板３
は揺動端部が片端押さえストッパ９の先端部９ａに当接
することによシワイヤ１側に押し出されること危く所定
位置で停止される。この際、受は板３の長手方向略中央
部分は可動部材４側に逆に撓むよう振動されるが、振動
抑制用ストッパ片１１に当接することになるため振動は
抑制されることになる。

なお、本実施例では受は板３の長手力向略中央部を拘束
するよう振動抑制用ストッパ片１１を配設した例を示し
たが、本発明はこのような限定にとられれることなく、
受は板３の振動を効率よく抑える部位、例えば振幅が最
大と々る部位を拘束するよう配設してもよく、その数量
も任意である。

また、本実施例では振動抑制用ストッパ１１を片端押さ
えストッパ板９に一体的に形成したストッパ片としたも
のを示したが、支持台５に直接取付けてもよく、その形
状も任意である。

また、駆動装置７は、ばねとンレノイド、リニアモータ
、電歪素子等可動部材４を回動させる機能を備えてさえ
いれば、どのようなものを使用しても同等の効果が得ら
れる。

さらにまた、本実施例ではワイヤ保持力解放時の振動に
ついて説明したが、ワイヤクランパ全体に大きな加速度
が加えられた際に生じる振動についても上記実施例と同
様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、第一のワイヤ押さ
え部材におけるワイヤ押さえ部より基部側の第二のワイ
ヤ押さえ部材と対向する部位に対接して振動抑制用スト
ッパを設けたので、第一のワイヤ押さえ部材が振動抑制
用ストッパに当接することによって、第一のワイヤ押さ
え部材の振動が抑制されることになる。したがって、ワ
イヤが傷つけられたシ変形されたシせず、しかもボンデ
ィング部のループが一定形状に形成され品質の高い半導
体装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のワイヤボンディング装置用ワイヤクラ
ンパを示す側面図、第２図は要部を示す斜視図、第３図
は従来のワイヤボンディング装置におけるワイヤクラン
パを示す側面図、第４図は従来のワイヤクランパにおけ
る受は板の動作を説明するための側面図、第５図は従来
のワイヤクランパにおける受は板が約４００Ｈｚで振動
されている状態の振動モードを示す図である。 １・＠ｅ−ワイヤ、３・拳・拳受は板、４１１・・・可
動部材、８・・・・板ばね、１１・・・・振動抑制用ス
トッパ。 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワイヤ押え部がワイヤ方向に付勢された状態でワイヤに
   対して揺動自在に設けられ、かつ揺動端部に当接するス
   トッパによつてワイヤ側への揺動が規制された第一のワ
   イヤ押さえ部材と、前記ワイヤに対して接離自在に設け
   られ、ワイヤを前記第一のワイヤ押さえ部材のワイヤ押
   さえ部に圧接させて挾持する第二のワイヤ押さえ部材と
   を備えたワイヤボンディング装置用ワイヤクランパにお
   いて、前記第一のワイヤ押さえ部材のワイヤ押さえ部よ
   り基部側の第二の押さえ部材と対向する部位に対接する
   前記第一のワイヤ押さえ部材の振動抑制用ストッパを備
   えたことを特徴とするワイヤボンディング装置用ワイヤ
   クランパ。