JPH0227750U - - Google Patents
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- JPH0227750U JPH0227750U JP1988106714U JP10671488U JPH0227750U JP H0227750 U JPH0227750 U JP H0227750U JP 1988106714 U JP1988106714 U JP 1988106714U JP 10671488 U JP10671488 U JP 10671488U JP H0227750 U JPH0227750 U JP H0227750U
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- Japan
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- light receiving
- solid
- imaging device
- state imaging
- Prior art date
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
第1図は本考案の固体撮像装置の一例の要部断
面図、第2図a〜第2図cはその製造工程を説明
するためのそれぞれ工程平面図、第3図は本考案
の固体撮像装置の他の一例の要部断面図、第4図
a〜第4図cはその他の一例の製造工程を説明す
るためのそれぞれ工程平面図、第5図は本考案の
固体撮像装置のさらに他の一例の要部断面図であ
る。 1,33,54……第1層目のポリシリコン層
、2,38,59……読み出し部、3,37,5
8……チヤンネルストツパー領域、4,35,5
6……電荷転送部、7,32,53……受光部。
面図、第2図a〜第2図cはその製造工程を説明
するためのそれぞれ工程平面図、第3図は本考案
の固体撮像装置の他の一例の要部断面図、第4図
a〜第4図cはその他の一例の製造工程を説明す
るためのそれぞれ工程平面図、第5図は本考案の
固体撮像装置のさらに他の一例の要部断面図であ
る。 1,33,54……第1層目のポリシリコン層
、2,38,59……読み出し部、3,37,5
8……チヤンネルストツパー領域、4,35,5
6……電荷転送部、7,32,53……受光部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体基板上にマトリクス状に配列される受光
部と、垂直方向の各列の上記受光部の間に設けら
れ電荷を垂直方向に転送する電荷転送部と、その
電荷転送部と上記受光部の間の電荷を転送を制御
する読み出し部と、上記読み出し部以外で上記受
光部の周囲を囲むチヤンネルストツパー領域とを
有する固体撮像装置において、 少なくともチヤンネルストツパー領域上には第
1層目の電極層が設けられ、その第1層目の電極
層をマスクの一部として不純物の導入が行われた
電荷転送部を有する固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988106714U JPH0755005Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988106714U JPH0755005Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 固体撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227750U true JPH0227750U (ja) | 1990-02-22 |
| JPH0755005Y2 JPH0755005Y2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=31340473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988106714U Expired - Lifetime JPH0755005Y2 (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0755005Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58160580A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Hitachi Ltd | スクロ−ル流体装置 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP1988106714U patent/JPH0755005Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58160580A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Hitachi Ltd | スクロ−ル流体装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0755005Y2 (ja) | 1995-12-18 |