JPH02278644A - 電子顕微鏡像記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子顕微鏡像記録再生装置に関し、特に詳細に
は透過電子線像と、試料の性状等を示す電子線走査デー
タとを併せて表示可能とした電子顕微鏡像記録再生装置
に関するものである。

（従来の技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を１する電子顕微鏡
が公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡にお
いては、試料を透過した電子線により対物レンスの後焦
平面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再
び干渉して試料の拡大像か形成されるようになっている
。したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば
試料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後焦９１
′−而を投影すれば拡大された試料の回折パターンか観
察される。なお対物レンズと投影レンスとの間に中間レ
ンスを配置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節
により、上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターン
か随意に得られる。周知の通り、上述のようにして形成
される拡大像あるいは回折パターン（以下、−括して透
過電子線像と称する）は、極めて高い分解能を有するも
のとなっている。

一方、電子線を試料上において収束させた上で２次元的
に走査させる電子線走査系と、この電子線走査によって
得られる試料に関する走査データを電気信号として得る
走査データ検出系とを備えた、いわゆるＳＥＭ、ＳＴＥ
Ｍ等の走査型電子顕微鏡も公知となっている。上記の走
査データとは、例えば電子線走査により試料から発せら
れるＸ線や２次電子のエネルギー、さらには試料におけ
る電子線吸収度等であり、それらの値は試料の性状に応
じて変化するので、この走査データを解析することによ
り試料の分析か可能となる。上述のＸ線や２次電子のエ
ネルギーを検出する場合、走査データ検出系としては、
試料近傍に配置されるＸ線検出器や、電子線検出器が用
いられる。他力、」二連の電子線吸収度を検出する場合
には、試料を透過した電子線のエネルギーを検出する電
子エネルギースペクトロメータ等が用いられる。

（発明か解決しようとする課題） 以上述べた通り、電子線走査による走査データは試料分
析の上で非常に有効なものであるが、その半面、試料の
全体的な像を高分解能で示すものではないから、該デー
タによって例えば試料中に金属原子等の存在を確認でき
ても、その周囲部分を詳しく観察するようなことは不可
能である。

方送過電子線１象は、試料を詳細に観察するのには適し
ているが、上記のような試料分析には不適である。

本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、試料の詳細な観察も可能で、また走査データによる試
料分析も可能な電子顕微鏡像を再生することかできる電
子顕微鏡像記録再生装置を提１共することを目「自とす
るものである。

（課題を解決するための手段及び作用）本発明の電子顕
微鏡像記録再生装置は、特開昭６１−５１７３８号、同
６１．−９３５３９号等に示される蓄積性蛍光体ンート
等の２次元センサを用いる電子顕微鏡像記録再生方法を
適用して透過電子線像を記録、再生することにより、透
過電子線像中に前記走査データを容易に表示できるよう
にしたものであり、具体的には、 先に説明したような電子線走査系および走査データ検出
系とに加えて、 電子顕微鏡の結像面に配置され、試料を透過した電子線
のエネルギーを蓄積する２次元センサと、この２次元セ
ンサに光照射あるいは加熱を行なって該センサに蓄積さ
れている電子線エネルギーを光として放出させる励起手
段、および上記２次元センサからの光を光電的に検出し
て画像信号を得る光検出器からなる透過像読取系と、」
１記走査データ検出系が出力する走査データ信号と、上
記透過１ｇ！読取系が出力する画像信号とを、試料上に
おける位置の対応を取った上で合成する信号合成手段と
、 この信号合成手段が出力する画像信号を受けて、該信号
が担う電子顕微鏡像を再生する画像再生手段とを備えた
ことを特徴とするものである。

」１記の２次元センサとは、電子線露出を受けたときそ
のエネルギーの少な（とも一部を一時的に蓄積し、後に
外部から刺激を与えると蓄積しているエネルギーの少な
くとも一部を光、電気、音等の検出可能な形態で放出す
る能力を持つ祠料からなるものである。この２次元セン
サとして具体的には、例えば特開昭５５−１．２４２９
号、同５５１１６３４０号、同５５−１６３４７２号、
同５６−１−１３９５号、同５６〜１０４６４５号公報
等に示される蓄積性蛍光体シートが特に好適に用いられ
うる。すなわち、ある種の蛍光体に電子線等の放射線を
照射するとこの放射線のエネルギーの一部がその蛍光体
中に蓄積され、その後その蛍光体に可視光等の励起光を
照射すると、蓄積されたエネルギーに応じて蛍光体が蛍
光（輝尽発光）を示す。このような性質を示す蛍光体を
蓄積性蛍光体と言い、蓄積性蛍光体シートとは、上記蓄
積性蛍光体からなる層を有するシート状の記録体のこと
であり、一般に支持体とこの支持体上に積層された蓄積
性蛍光体層とからなる。蓄積性蛍光体層は蓄積性蛍光体
を適当な結合剤中に分散させて形成したものであるが、
この蓄積性蛍光体層が自己支持性である場合、それ自体
で蓄積性蛍光体シトとなりつる。なお、この蓄積性蛍光
体シートを形成するための輝尽性蛍光体の例は、前記特
開昭６１−９３５３９号に詳しく記載されている。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５’）
−４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載さ
れている熱蛍光体シートを用いることもできる。この熱
蛍光体シートは主として熱の作用によって蓄積している
放射線エネルギーを熱蛍光として放出する蛍光体（熱蛍
光体）からなるシー！・状の記録体である。

」１記の２次元センサに透過電子線像を蓄積記録して、
その後励起光照射等により記録情報を読み取れば、透過
電子線像を担持する電気信号が直接的に得られる。した
がって、この画像信号と走査データとの合成が容易にな
され得る。

（実　施　例） 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。

第１図は本発明の第１実施例による電子顕微鏡像記録再
生装置を示すものである。電子顕微鏡１の鏡体部１ａは
、−様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、電子線
２を試料面に絞り込む磁気レンス、静電レンズ等からな
るコンデンサーレンズＬ１、Ｌ２と、走査用コイル４と
、試料台５と、上記コンデンサーレンズＬ１、Ｌ２と同
様の対物レンスＬ３、中間レンズＬ４および投影レンズ
Ｌ５とを有している。また試料台５の側上方には、走査
データ検＋Ｊ＋系としてのＸ線検出器５ｏが取り（−Ｊ
けられている。

透過電子線像の記録時、試料台５上に載置された試料８
を透過した電子線２は対物レンズＬ３および中間レンズ
Ｌ４により屈折され、該試料８の拡大透過像８ａを形成
する。この拡大透過像８ａは投影レンズ７により、結像
面９に結像投影される（図中の８ｂ）。この投影像８ｂ
は、鏡体部１ａの下側に配された透過像記録読取装置１
０によって記録され、また読み取られる。この透過像記
録読取装置１０は、鏡体部ｌａ内の前記結像面９に固定
された蓄積性蛍光体からなる２次元センサ（以下、蓄積
性蛍光体シート１１という）と、励起光源１２および光
走査系１３からなる励起手段と、前記鏡体部１ａの周壁
に設けられた透光窓１４を介して蓄積性蛍光体シート１
１に対向するように配されたフォトマルチプライヤ−（
光電子増倍管）１５と、消去光源１６とを有している。

上記蓄積性蛍光体シート１１は前述したような蓄積性蛍
光体が透明支持体上に層成されてなるものである。また
励起光源１２は一例としてＨｅ−Ｎｅレーザ、半導体レ
ーザ等からなり、光走査系１３は第１および第２の光偏
向器１３ａ、１３ｂと、固定ミラーＬ３ｃとからなる。

第１および第２の光偏向器１３ａ、Ｉ、３ｂとしてはそ
れぞれ、ガルバノメータミラー、ポリゴンミラー、ホロ
グラムスキャナ、ＡＯＤ等の公知の光偏向器が使用され
うる。励起光源１２から射出された励起光ビーム１２ａ
は第１の光偏向器１３ａにより偏向されるとともに、第
２の光偏向器１３ｂにより」１記偏向の方向と直角な方
向（図の矢印Ａ方向）に偏向され、例えば鉛ガラス等か
嵌め込まれた透光窓２１を透過して鏡体部］ａ内に入射
し、固定ミラー１３ｃにおいて反射して前記蓄積性蛍光
体シート１１上に入射する。このようにして蓄積性蛍光
体シート１１は励起光ビーム１２ａにより２次元的に走
査される。なお図示はしないが、励起光源１２から発ぜ
られた励起光ビーム１２ａは、蓄積性蛍光体シー１−１
．１が発する輝尽発光光（後に詳述する）の波長領域を
カットするフィルターを通過させ、ビームエキスパンダ
ーによりビム径を調整した後、光偏向器１３ａ、１３ｂ
で偏向させ、次いでｆθレンズを通過させて均一なビー
ム径とした上で蓄積性蛍光体シート１１に入射させるの
が好ましい。

前記消去光源１６は蓄積性蛍光体シート１１の励起波長
領域に含まれる光を発生するものである。そして上記第
２の光偏向器１３ｂと固定ミラー１３ｃとの間において
励起光ビーム１２ａの光路中に入る位置と、該光路から
外れた位置とをとりうるミラー１７が配設されている。

消去光源１６か発する消去光Ｌｅａはレンズ１８によっ
て集光され、上記ミラー１７が励起光ビーム１２ａの光
路中に入る位置に設定されていれば、該ミラーＪ７およ
び固定ミラー１３ｃにおいて反射して、蓄積性蛍光体シ
ート１１を全面的に照射する。また投影レンズＬ５と蓄
積性蛍光体シート１１との間において鏡体部１−　ａに
は、電子線２を遮断しうるシャッター１９が設けられ、
蓄積性蛍光体シートＩＩとフォトマルチプライヤ−１５
との間には光シヤツター２２が設けられている。そして
前記透光窓１４には、蓄積性蛍光体シート１１が発する
輝尽発光光のみを透過させ、励起光ビーム１２ａを取り
除く光学フィルターを備えたガラス２０が嵌着されてい
る。また鏡体部１ａの内部は通常の電子顕微鏡における
のと同様に、蓄積性蛍光体シート１１が配置されている
部分も含めて、電子顕微鏡稼動中は真空ポンプ等の公知
の手段により真空状態に維持される。

フォトマルチプライヤ−１５の出力は、透過像読取用増
幅器３３に入力される。この増幅器３３にはＡ／Ｄ変換
器３４か接続され、該Ａ／Ｄ変換器３４の出力は信号処
理回路３６を通して画像解析部３７に送られるようにな
っている。

以下、上記構成の透過像記録読取装置１０による透過電
子線像の記録、読取りについて詳しく説明する。試料台
５に試料８を載置し、電子銃３、コンデンサーレンズＬ
１、Ｌ２、対物レンズＬ３、中間レンズＬ４および投影
レンズＬ５を駆動させ、そして前述のシャッター１９を
開くと（第１図図示の状態）、結像面９に固定された蓄
積性蛍光体シト１１に、試料８の拡大透過像８ｂを担持
する電子線２のエネルギーが蓄積される。この電子線露
光の際には、光シ４・ツタ−２２は閉じられているのか
好ましい。

次いで、上述のようにして記録された透過電子線像の読
取りを行なう。その際まず光シャッタ２２が開かれ、続
いて前述のように励起光源１２から射出され、２次元的
に偏向された励起光ビーム】２ａがシート１１上に入射
せしめられる。このように偏向された励起光ビーム１２
ａにより蓄積性蛍光体シート１１は２次元的に走査され
、該シート１１は上記電子線エネルギーのレベルに応じ
た強度の輝尽発光光を放出する。この輝尽発光光はシー
ト１１の裏側から、上記励起光ビーム１２ａを取り除く
光学フィルターを備えたガラス２０を介してフォトマル
チプライヤ−１５によって受光され、輝尽１発光光量が
光電的に読み取られる。

上記輝尽発光光の光量を担持するフォトマルチプライヤ
−１５の出力は増幅器３３に入力され、この増幅器３３
において適正な読取ゲインで増幅され、画像信号Ｓが得
られる。この画像信号ＳはＡ／Ｄ変換器３４において、
適正な収録スケールファクタでディジタル化される。デ
ィジタル化された画像信号Ｓｄは、信号処理回路３Ｇに
おいて例えば階調処理や周波数強調等の画像処理（信号
処理）を受けた後、画像解析部３７に送られる。

以上のようにして透過電子線像の読取りが終了した後、
光シヤツター２２が閉じられる。またミラ１７は励起光
ビーム１２ａの光路中に入る位置に立てられ、そして消
去光源１６が点灯される。それによりシート１１の表面
には、該消去光源Ｊ６が発する消去光ＩＧａが照射され
る。蓄積性蛍光体シート１１に前記のように励起光ビー
ムＬ２ａが照射されても、該シート１１に蓄積されてい
た電子線エネルギーかすべて放出される訳ではなく、残
像が残る場合がある。しかしこのように蓄積性蛍光体シ
ート１】に消去光１１３ａを照射すれば、上記残像が消
去され、蓄積性蛍光体シート１１が再使用可能となる。

またこの消去光照射により、シート１１の蛍光体中に不
純物として含まれている２２６Ｒａなとの放射性元素に
よるノイズ成分も放出される。上記消去光源１Ｇとして
は、例えば特開昭５６−］　］　３９２号に示されてい
るようなタングステンランプ、ハロゲンランプ、赤外線
ランプ、キセノンフラッシュランプあるいはレー−９”
光源等が任意に返択使用され得る。また読取り用の励起
光源１２を消去用に兼用してもよい。

次に走査データを得る点について説明する。以上述べた
透過電子線像の記録がなされる前、あるいはなされた後
、電子線２はコンデンサーレンズＬ２により試料８上で
収束するように絞られ（第１図中の破線表示状態）、ま
た走査用コイル４により、試料８上を２次元的に走査す
るように偏向される。この際走査用コイル４はドライバ
ー３８によって駆動され、該ドライバー３８は走査制御
回路３９から入力される走査制御信号Ｓｓによって作動
制御される。なおこの走査制御信号Ｓｓは、後述する走
査データ記録部４０にも入力される。

試料８に例えば金属原子が含まれる場合、上記のように
試料８か電子線２で走査されると、電子線２の照射を受
けた金属原子の部分からＸ線が放出される。このＸ線は
Ｘ線検出器５０によって検出され、該検出器５０が出力
するＸ線検出イ６号Ｔは走査データ記録部４０に入力さ
れる。走査データ記録部４０においてＸ線検出信号Ｔは
、走査制御信号ＳＳに基づいて電子線走査と同期を取っ
た上で積分する等により、画素分割された走査データ信
号りとされる。この走査データ信号りは、−走査ライン
について示せば、例えば第２図図示のようなものとなる
。すなわち該信号りは、上記Ｘ線のエネ］　６ ルギーが金属の種類に応じて固有の値をとることを反映
し、金属の種類に応じてレベルが変化するものなる。該
走査データ信Ｗ　ＤはＡ／Ｄ変換器４１に送られ、そこ
でディジタル化される。ディジタル化された走査データ
信号Ｄｄは、前述の画像解析部３７に送られる。

画像解析部３７は一例として上記走査データ信号Ｄｄを
しきい値処理し、複数設定された所定範囲内の値を取る
走査データ信号Ｄｄを、それぞれの範囲毎に固有の色信
号に変換する処理を行なう。

そして画像解析部３７は、このように変換された走査デ
ータ信号Ｄｄと前記画像信号Ｓｄとを、互いに試料８上
の位置の対応を取った上で合成する。

こうして得られた合成信号Ｅは、例えばカラーＣＲＴ等
の画像再生装置４２に入力され、画像再生に供せられる
。合成信号Ｅに基づいてこの画像再生装置４２において
再生される電子顕微鏡像は、例えば第３図に概略的に示
すように、画像信号Ｓｄによる試料の全体的な透過電子
線像の中に、ある固有の色による青色部Ｃ１と、それと
は異なる色による着色部Ｃ２と、さらに異なる色による
着色部Ｃ３とを有するものとなる。これらの着色部ｃ１
、Ｃ２およびＣ３は、上記走査データ信号Ｄｄによるも
のであり、該信号Ｄｄのレベルと色との対応を予め規定
しておくことにより、各着色部Ｃ１、Ｃ２およびＣ３は
それぞれ何の金属の存在を示す、ということか分かる。

また再生画像そのものは試料の全体的な透過電子線像で
あるから、上記着色部Ｃ１、Ｃ２およびＣ３の組織やそ
の周囲部分を高倍率、高分解能の下に観察することも勿
論可能である。

なお画像解析部３７における画像信号Ｓｄと走査データ
信号Ｄｄとの合成の仕方は、上述のようなものに限らす
、その他例えば第２図図示の走査ブタ分布状態を、透過
電子線像の上側余白部分にグラフの形で表示させるよう
に両信号Ｓｄ、Ｄｄを合成する等してもよい。そのよう
な場合は、画像再生装置４２としてＣＲＴ等の表示手段
を用い、表示された透過電子線像の上で走査ラインを指
定可能とし、指定されたラインについての上記走査デー
タ分布状態を表示させればよい。

次に、第４図を参照して本発明の第２実施例について説
明する。なおこの第４図において、前記第１図中の要素
と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明
は、必要の無い限り省略する。この第２実施例において
は電子顕微鏡本体と別個に透過像読取装置５５が設けら
れ、透過電子線像が記録された蓄積性蛍光体シート１１
は、電子顕微鏡１から取り出されてこの読取装置５５に
装填され、読取処理を受ける。なお図示は省略しである
が、通常この蓄積性蛍光体シート１１は何枚かまとめて
遮光性のマガジンに収納され、このマガジン単位で電子
顕微鏡内にセットされ、またそこから取り出されて読取
処理にかけられる。電子顕微鏡内においてこのようなマ
ガジンを取り扱う機構については、例えば特開昭６．＞
２３７３５５号等に詳しい記載かなされており、本装置
においてもそのような機構か採用され１！Ｊる。また読
取装置５５としては、基本的に第１図図示の記録読取装
置ＪＯと同様の読取系からなるものが用いられればよい
が、それ以外に、励起光ビームの主走査は光偏向器によ
って行ない、副走査は蓄積性蛍光体シート１１を」１記
主走査の方向とほぼ直角な方向に移送させることによっ
て行なうタイプの読取装置か採用されてもよい。一方こ
の第２実施例の装置においては、走査データ検出系とし
て電子エネルギースペクトロメータ５６か設けられてい
る。

この第２実施例の装置においても、読取装置５５か出力
する透過電子線像を担う画像１５号Ｓｄは、画像解析部
３７に人力される。一方走査データを得る際には、蓄積
性蛍光体シー！・１１を図示の位置から取り除き、シャ
ッター２２を開いた」−で、電子線２によって試料８を
走査すると、試料８を透過した電子線２のエネルギーか
電子エネルギースペクトロメータ５６によって検出され
る。この電子エネルギースペクトロメータ５６が出力す
る電子線検出信号Ｑは、走査データ記録部４０に入力さ
れ、そこで走査制御信号Ｓｓに基づいて電子線走査と同
期を取った上で積分する竹により、画素分割された走査
データ信号Ｒとされる。この走査データ信号１　つ Ｒは、電子線２の吸収度が試料８の組織に応じて固有の
値をとることを反映し、電子線走査箇所の組織に応じて
レベルが変化するものなる。この走査データ信号ＲはＡ
／Ｄ変換器Ｈに送られ、そこでディジタル化される。デ
ィジタル化された走査データ信号Ｄｄは前述の画像解析
部３７に送られ、そこで前述の場合と同様に画像信号Ｓ
ｄと合成される。

なお電子エネルギースペクトロメータ５６に代えて電子
ビーム強度検出器を配し、電子線強度を検出して走査デ
ータ１ａ号を得るようにしてもよい。

また画像再生装置４２としては、前述のＣＲＴの他、第
５図に示すような光走査記録装置も好適に用いられる。

以下、この第５図の光走査記録装置により画像再生する
場合について簡単に説明する。

感光フィルム１００を第５図に矢印Ｙて示す副走査方向
に移動させるとともに、記録光としてのレーザビーム１
０１を光偏向器１０４により感光フィルム１００上にお
いて矢印Ｘ方向に主走査させ、該レザビーム１０１を信
号供給回路１０２からの画像信号に基ついてＡ１０変調
器１０３により変調することにより、感光フィルム＋０
０１に可視像を形成する。

上記変調用画像信号として、前述の画像解析部３７から
出力された信号を用いれば、蓄積性蛍光体シート１１に
蓄積記録された前記拡大透過像８ｂおよび走査データが
０（せて感光フィルム１００に再生される。

さらに、前述のように走査データをカラー表示する場合
は、第６図に示すような熱現像感光材料を用いるカラー
画像再生装置６０が好適に用いられうる。以下、この画
像再生装置６０について説明する。画像再生装置６０の
筺体６２へ収容されるマガジン６４には、記録旧材とし
てロール状の熱現像感光材料６６か収容されている。こ
の感光旧材６６はその外周から引き出され、カッタ６８
で所定長さに９）断された後に、記録ドラムとしての回
転ドラム７０の外周に巻き付けられるようになっている
。この回転ドラム７０の外周に対応して画像記録用ヘッ
ドとしての露光ヘッド７２が配置されており、この露光
ヘッド７２には３色の光ビームを発する発光素子７３が
取りイ・ｊけられている。これらの発光素子７３の作動
（ＯＮ−ＯＦＦあるいは光出力）は、第１図に示した画
像解析部３７か出力する合成信号Ｅを受ける変調回路７
１により、この信号Ｅに基づいて制御される。それによ
り各発光素子７３が発する光ビムか変調される。そして
回転ドラム７０か矢印り方向に回転されるとともに、露
光ヘッド７２が該ドラム７０の表面に沿ってその長手方
向に移動されることにより、」二記憶ビームの主、［査
、副走査かなされ、熱現像感光＋］料６６には」−記憶
ビームが２次元的に照射される。これらの光ビームは」
二連の通り合成信号Ｅに基ついて変調されているので、
これらの光ビームの照射を受けた熱現像感光材料６６に
は、信号Ｅか担持する画像、すなわち前記拡大透過像８
ｂおよび走査データが写真潜１撃として記録される。

露先後の感光材料６６は回転ドラム７０の逆転により、
スクレーパ７４で回転ドラム７０から剥離され、水塗布
部７６で画像形成用溶媒としての水かｆＮｊ−１″ｊさ
れた後に、内部か加熱部とされた熱現像転写部子８へと
送られる。

方、トレイ８０に収容されている複数枚の受像材料８２
のうち最上部の１枚か、上記熱現像転写部７８へ送られ
る。

熱現像転写部７８ては互いに密着する搬送ローラ８４．
８６が入口部に設けられており、感光材料６６と受像材
料８２を密着させた後に出口部の搬送ローラ８８．９０
へと送り込むようになっている。中間部には搬送ローラ
９２．９４が設けられ、搬送ローラ８４．８６から送り
出されて密着している感光材料ＣＧと受像材料８２を搬
送ローラ８８．９０へ送り出ず。なお各搬送ローラは図
示しないモータにより駆動される。

各搬送ローラは、感光材料６６と受像材料８２の搬送経
路の反対側にそれぞれ配置されたヒータ９６（電熱体）
によって、所定温度に加熱されるようになっている。熱
現像感光材料６６かこれらの加熱された搬送ローラに接
することにより、該感光材料６６の写真潜像か熱現像さ
れ、現像された画像は該感光材料６６から遊離して、受
像材料８２に転写される。

熱現像転写部７８の後流には剥離手段９８か配置されて
おり、熱現像転写部７８から送り出された感光材料６６
を廃棄感光材料収容箱９６へ、受像材料８２を乾燥装置
９７へと分離して送り出すようになっている。上述のよ
うにして電子顕微鏡像が転与された受像旧材８２は、乾
燥装置９７で乾燥された後に筺体６２の頂部に形成され
た取出トレイ９８」二へ送り出される。以上説明のよう
にして、受像材料６２には拡大透過像８ｂおよび走査デ
ータが最終的に記録される。

なお上述した色画像を得るための熱現像感光材料として
は、例えば米国特許第３．５３１，２８６号、同第３．
７Ｇ１，２７０号、ベルギー特許第８０２，５１９号お
よびリサーチディスクロージャー誌１９７５年９月号３
１．３２頁、米国特許第４，０２１，２４０号、同第４
，４６３．０７９号、同第４．４７４，８８７号、同第
４，４７８，９２７号、同第４．５０７，３８０号、同
第４，５００，６２０号、同第４，４８３，９１４号、
特開昭５８−１４９０４［ｉ号、同５８−１４９０４７
号、同５９−１５２４４０号、同５９−１５４４４５号
、同５’１ｌ−１６５０５４号、同５９−１８０５４８
号、同５９−１　［１８４３９号、同５９−１７４８３
２号、同５９−１７４８３３号、同５９−１．７４８３
４号、同５９−１７４８３５号、米国特許第４，４９９
，１８０号、特開昭５９−１１ｆ３９４３号、欧州特許
第１２５，５２４号、米国特許第４，４９９．１７２号
、特開昭５９−１８０５３７号、同種−８１［４０号、
同５９−２１８４４３号、同［１Ｌ−２３８０５Ｇ号、
欧州特許公開第２１０，６６０号に記載されている感光
材料等が利用可能である。

また画像解析部３７から出力された画像信号は、以上説
明のように直ちに画像再生装置に送って電子顕微鏡像再
生に供してもよいし、あるいは後に画像再生するために
、−旦磁気テープ、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶さ
せておいてもよい。

また本発明は、前述の回折パターンを蓄積性蛍光体シー
ト１１に記録する場合においても、同様に適用可能であ
る。

さらに、以上述べた蓄積性蛍光体シーＨ１に代えて熱蛍
光体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギ
ーを加熱によって放出させるには、例えばＣＯ２レーザ
などの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱蛍光
体シートを走査すればよく、そのためには例えば特公昭
５５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の電子顕微鏡像記録再生
装置においては、蓄積性蛍光体シート等の２次元センサ
に透過電子線像を蓄積記録し、その後励起光照射等によ
りこの記録情報を読み取って透過電子線像を担持する電
気信号を直接的に得、そしてこの画像信号と走査データ
信号とを試料上の位置の対応を取って合成した上で画像
再生手段に入力するように構成したので、上記透過電子
線像と走査データとが併せて表示された電子顕微鏡像を
簡単に得ることができる。したがって本装置によれば、
試料の走査データと拡大像とを正しい位置関係で観察可
能となり、電子顕微鏡を用いる試料分析技術の向上か実
現される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例装置を示す概略図、第２図
は本発明に係わる試料の走査データの一例を示すグラフ
、 第３図は本発明の装置によってＦｒｉ生される電子顕微
鏡像の一例を示す概略図 第４図は本発明の第２実施例装置を示す（既略図、第５
図は本発明に用いられる画像再生手段の別の例を示す概
略斜視図、 第６図は本発明に用いられる画像再生手段のさらに異な
る例を示す概略側面図である。 １・・・電子顕微鏡　　　　２・・電子線４・・・走査
用コイル　　　５・・・試料台８・・・試料　　　　　
　　９・・・電子顕微鏡の結像面１０・・・電子顕微鏡
像記録読取装置 １１・・・蓄積性蛍光体シート１２・・励起光源１２ａ
・・・励起光ビーム　　１３・・・光走査系１３ａ、＋
３ｂ・・・光偏向器 １５・・フォトマルチプライヤ− １６・・・消去光源　　　　　１［ｉａ・消去光３３・
・・増幅器　　　　　　３４．４１・・・Ａ／Ｄ変換器
３６・・・信号処理回路　　　３７・・・画像解析部３
８・・・ドライバー　　　　３９・・・走査制御回路４
０・・・走査データ記録部　４２．６０・・画像再生装
置５０・・・Ｘ線検出器　　　　５５・・・透過像読取
装置５６・・・電子エネルギースペクトロメータＬ１、
Ｌ２・・・コンデンザーレンズ Ｌ３・・・対物レンズ　　　Ｌ４・・・中間レンズＬ５
・・・投影レンズ Ｓｄ・・・透過電子線像を担う画像信号ＤｄＳＲｄ・・
・走査データ信号

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子顕微鏡の結像面に配置され、試料を透過した電子線
   のエネルギーを蓄積する２次元センサと、この２次元セ
   ンサに光照射あるいは加熱を行なって該センサに蓄積さ
   れている電子線エネルギーを光として放出させる励起手
   段、および前記２次元センサからの光を光電的に検出し
   て画像信号を得る光検出器からなる透過像読取系と、 電子線を前記試料上において収束させた上で２次元的に
   走査させる電子線走査系と、 この電子線走査によって得られる前記試料に関する走査
   データを、電気信号として得る走査データ検出系と、 この走査データ検出系が出力する走査データ信号と、前
   記透過像読取系が出力する画像信号とを、前記試料上に
   おける位置の対応を取った上で合成する信号合成手段と
   、 この信号合成手段が出力する画像信号を受けて、該信号
   が担う電子顕微鏡像を再生する画像再生手段とを備えた
   ことを特徴とする電子顕微鏡像記録再生装置。