JPH0228030Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案はダイシングソーのスピンナーテーブ
ル機構、特に、駆動モータの駆動力を断つた後、
パルスモータの駆動力によつてスピンナーテーブ
ルを回転させる、ダイシングソーのスピンナーテ
ーブル機構に関する。

〔従来の技術〕

ダイシングソーによるウエーハカツトは、周知
のように、以下の工程から、構成されている。

まず、前工程として、ウエーハは、粘着テープ
によつて、フレームの中央に取付けられ、複数の
フレームがカセツトに収納される。そしてカセツ
トはダイシングソーの所定位置に配設される。

ダイシングソーにおいて、まず、ウエーハ付の
フレームはカセツトから取出されてローデイング
される。そして、ウエーハが、光学手段によつ
て、ミクロンオーダーでアライメントされた後、
フレームは、カツトポジシヨンに移される。そし
て、ウエーハは、ストリートに沿つて、ダイヤモ
ンド切断砥石によつて、カツトされチツプ化され
る。しかし、粘着テープがカツトされないため、
チツプ化されてもウエーハはカツト前の形状を維
持する。次に、フレームはスピンナーテーブルに
載置され、DCモータのような駆動モータを起動
してスピンナーテーブルを低速回転するととも
に、高圧水流を噴射してウエーハを洗浄する。そ
の後、DCモータを高速回転に切換えるとともに、
加圧空気を噴射してウエーハを乾燥させる。最後
に、フレームをカセツトに収納してアンローデイ
ングさせることにより、ダイシングソーにおける
全工程が終了する。ダイシングソーによつてカツ
トされチツプ化されたウエーハは、カセツトに収
納された状態でダイシングソーから離れ、連続す
る次工程、つまり次の組立工程に送られる。

ダイシングソーにおける上記のローデイング、
アライメント、カツテイング、洗浄乾燥、アンロ
ーデイングの諸工程は、最新のダイシングソーに
おいて、連続的かつ自動的になされている。ここ
で、アライメントおよびカツテイングはミクロン
オーダーでなされており、それらの工程に悪影響
を与えないように、他工程での振動の発生を極力
押えることが必要とされる。しかし、諸工程は連
続的になされ、特に、最も振動を発生し易い洗浄
乾燥工程がアライメント工程およびカツテイング
工程に隣接してなされている。従つて、スピンナ
ーテーブルの回転停止時に振動を発生させない配
慮が従来からなされている。他方、洗浄乾燥後
に、フレームをカセツト内に自動的に収納するた
めに、スピンナーテーブルの停止位置を正確に制
御する必要がある。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、公知のダイシングソーのスピン
ナーテーブル機構では、振動の発生を押えるとと
もにスピンナーテーブルの停止位置を正確に制御
することは難しい。

たとえば、公知のダイシングソーのスピンナー
テーブル機構として、スピンナーテーブルの下面
に板ばねを取付け、板ばねをストツパに当接させ
てスピンナーテーブルを停止させる構成が知られ
ている。ここで、DCモータをオフとした後、DC
モータの余力を利用してストツパは、板ばねの通
路内に、上昇される。このような構成では、慣性
力で回転しているスピンナーテーブルは、板ばね
に当接されて、徐々に停止する。しかし、振動を
全く生じることなく、スピンナーテーブルを所定
位置に停止させることは難しい。ここで、戻り防
止用ばねを隣接して設ければ、スピンナーテーブ
ルの戻りを防止でき、ばね定数の大きな板ばねを
利用すれば、行過ぎを防止できる。しかし、ばね
定数の大きな板ばねを使用すれば、スピンナーテ
ーブルを急激に停止させることとなり、スピンナ
ーテーブルに振動を発生させ易い。また、板ばね
を利用した上記の構成では、板ばねがストツパに
当接する前後に、スピンナーテーブルが停止する
こともままある。

この考案は、振動を生じることなく、スピンナ
ーテーブルを所定位置に正確に停止させる、ダイ
シングソーのスピンナーテーブル機構の提供を目
的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この目的を達成するため、この考案によれば、
駆動モータに加えてパルスモータが配設され、駆
動モータの駆動力が断たれてスピンナーテーブル
が停止した後、パルスモータによつてスピンナー
テーブルを回転させている。そして、被検出材が
スピンナーテーブルと一体的に回転可能に設けら
れている。また、センサーが、駆動シヤフトへの
駆動モータの駆動力を断たれた後、被検出材が所
定位置に至つたのを検出して、駆動シヤフトへの
パルスモータの駆動力を断つ信号を発生してい
る。

〔作用〕

このような構成では、パルス毎のパルスモータ
の回転角つまりはスピンナーテーブルの回転角を
十分小さくできる。そのため、駆動モータからの
駆動力が断たれて、スピンナーテーブルがどのよ
うな位置で停止しても、パルスモータの駆動力に
よつて所定位置迄スピンナーテーブルを小刻みか
つ迅速に回転できる。従つて、スピンナーテーブ
ルの正確な位置決めが可能となる。また、パルス
毎のスピンナーテーブルの回転角が小さいため、
スピンナーテーブルは急激に停止しない。従つ
て、スピンナーテーブルに振動が発生しない。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながらこの考案の実施例に
ついて詳細に説明する。

第１図に示すように、この考案の一実施例に係
るダイシングソーのスピンナーテーブル機構１０
は、従来と同様に、スピンナーテーブル１２と、
スピンナーテーブルの駆動源である駆動モータ、
たとえばDCモータ１４とを具備している。なお、
駆動モータとして交流モータを使用してもよい。
そして、スピンナーテーブル１２は駆動シヤフト
１６の上端に固定され、DCモータ１４の駆動力
によつて駆動シヤフトを駆動することにより、ス
ピンナーテーブルは駆動シヤフトと一体的に回転
する。スピンナーテーブル機構１０に隣接して位
置するカツト機構（図示しない）で切断されたウ
エーハ１７（第３図参照）は、フレーム１８とと
もにスピンナーテーブル上に順次載置されて洗浄
乾燥される。一般に、ウエーハ１７は、粘着テー
プによつて、フレーム１８の中央に取付けられ
る。しかし、フレームなしでもウエーハを切断で
き、フレームは必ずしも必要でない。

この考案のスピンナーテーブル機構１０は、パ
ルスモータ２０と、被検出材であるスリツトデイ
スク２２と、センサーであるホトインターラプタ
ー２４，２５とを更に具備している。パルスモー
タ２０は、電磁クラツチ２６のようなクラツチを
介して、駆動シヤフト１６に駆動力を伝達可能に
配設されている。このように、パルスモータ２０
がクラツチ２６を介在させてシヤフト１６を回転
可能とした構成では、DCモータ１４の回転時、
クラツチが切られることにより、パルスモータ２
０は、DCモータの回転中も静止状態に保たれ、
パルスモータの破壊が防止される。DCモータ１
４をオフにしてDCモータの出力がゼロとなると、
クラツチが接続されるとともに、たとえば、制御
装置内のパルス発生回路からパルスが供給され
て、パルスモータ２０が起動されて、シヤフト１
６を低速で回転させる。パルスモータ２０へのパ
ルスの供給および供給の停止は、中央処理装置
（CPU）のような制御装置で制御される。同じ制
御装置によつて、DCモータ１４の起動、停止、
クラツチの接続等の動作も制御するとよい。被検
出材は、実施例では、駆動シヤフト１６に固定さ
れて一体的に回転するスリツトデイスク２２の形
態をとつている。そして、第２図からよくわかる
ように、延出部２８がスリツトデイスク２２の側
面に形成されている。被検出材は、スピンナーテ
ーブル１２の回転位置を相対的に示すものであれ
ば足り、図示のような延出部付スリツトデイスク
以外の形態のものでもよく、また、スピンナーテ
ーブルに直接取付けてもよい。更に、延出部の代
りに、切欠き等を利用してもよい。他方、被検出
材との関連から、実施例ではホトインターラプタ
ーがセンサーとして採用され、後述する理由か
ら、交互に作動する一対のホトインターラプター
２４，２５が180゜離反して配設されている。

センサーは、駆動モータをオフとした後、被検
出材が所定位置に至つたのを検出して、駆動シヤ
フトへのパルスモータの駆動力を断つ信号、たと
えばパルス発生回路からパルスモータへのパルス
の供給を停止させる信号、を発生する機能を持て
ば足りる。そして、ホトインターラプター以外の
センサーを利用できるのはいうまでもない。セン
サーの信号は制御装置に送られ、パルス発生回路
からパルスモータ２０へのパルスの供給が直ちに
断たれて、パルスモータは停止される。

なお、ダイシングソーによるウエーハのカツト
は、IC製造の連続作業における一工程であり、
次工程との関連から、カツト前のウエーハの収納
された供給カセツトに対して、カツト後のウエー
ハの収納される収納カセツトは、現状では、対向
して配置されている。そのため、スピンナーテー
ブルは、洗浄乾燥前に対して洗浄乾燥後、180゜回
転した位置で停止することが要求されている。つ
まり、第３図の矢視方向に進行するフレーム１８
は、第３図Ａに示す洗浄乾燥前の位置に対して、
洗浄乾燥後は、第３図Ｂに示すように、180゜回転
している。

上記構成のスピンナーテーブル機構１０は以下
のように作動する。

DCモータ１４がオフとなれば、DCモータから
駆動シヤフト１６に伝達される駆動力が断たれ、
スピンナーテーブル１２はランダムな位置に停止
する。DCモータ１４がオフとなつたことを、DC
モータ１４の電圧がゼロになることによつて電気
的に検知し、パルス発生回路からパルスが供給さ
れてパルスモータ２０が起動される。そして、パ
ルスモータ２０の駆動力が、電磁クラツチ２６を
介して、駆動シヤフト１６に伝達され、スピンナ
ーテーブル１２を小刻みに回転させる。スピンナ
ーテーブル１２とともにスリツトデイスク２２も
回転する。DCモータ１４の電圧がゼロとなると、
ホトインターラプター２４，２５も作動し、スリ
ツトデイスク２２が所定位置に至つたのを検出し
て、駆動シヤフト１６へのパルスモータ２０の駆
動力を断つ信号を発生する。つまり、スリツトデ
イスクの延出部２８がホトインターラプター内に
入つて光を遮断すると、ホトインターラプター
は、パルス発生回路からパルスモータ２０へのパ
ルスの供給を断つ信号を発生する。パルスの供給
が断たれることにより、パルスモータ２４が停止
し、スピンナーテーブル１２も停止する。スリツ
トデイスク２２は、その延出部２８がホトインタ
ーラプターに検出されたとき、スピンナーテーブ
ルが所定位置に位置するように設定されている。
そのため、スリツトデイスクの延出部２８がホト
インターラプターに検出されてパルスモータ２０
が停止すると、スピンナーテーブル１２は所定位
置に停止することとなる。

また、たとえば、第２図に示す位置にあるスピ
ンナーテーブル上にフレーム１８が載置され、右
のセンサーを作動させ、延出部２８はこのセンサ
ーに検出されてスピンナーテーブル１２が停止し
たと仮定する。次に送られたフレーム１８に対し
て、右のセンサーつまりホトインターラプター２
５をもし作動させれば、スピンナーテーブルは回
転前と同一位置で停止し、その状態では収納カセ
ツトにフレームを収納できない。しかし、上述し
たように、実施例では、一対のセンサーが180゜離
反して配設され、かつこれらのセンサーは交互に
作動するようになつている。そのため、次のフレ
ーム１８に対して別のセンサー、つまりホトイン
ターラプター２４が作動し、その結果、スピンナ
ーテーブルの位置が回転の前後で180゜ずれる。従
つて、順次送られるフレーム１８は、洗浄乾燥
後、収納フレームに対して所望の方向に常に位置
し、収納フレームに容易に収納できる。交互に作
動する一対のセンサーを180゜離反させた構成は、
供給フレームと収納フレームとの現状での相対関
係から実務上好ましいものにすぎない。そして、
センサーの数、配置等は、フレーム間の相対関係
の変動に対応して変えられる。

〔考案の効果〕 このような構成では、パルス毎のパルスモータ
の回転角、つまりはスピンナーテーブル１２の回
転角を小さく設定できるため、スピンナーテーブ
ルがどのような位置に停止していようと小刻みか
つ迅速にスピンナーテーブルを回転できる。その
ため、スピンナーテーブル１２の位置決めを正確
に行なえる。また、スピンナーテーブル１２の回
転が小刻みになされるため、スピンナーテーブル
は急激に停止せず、振動が生じない。従つて、隣
接するカツト機構に悪影響を与えることがない。

上述した実施例は、この考案を説明するための
ものであり、この考案を何等限定するものでな
く、この考案の技術範囲内で変形、改造等の施さ
れたものも全てこの考案に包含されることはいう
までのもない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るダイシン
グソーのスピンナーテーブル機構の概略正面図、
第２図は、第１図の線−に沿つた、ダイシン
グソーのスピンナーテーブル機構の平面図、第３
図は、洗浄乾燥の前後におけるフレームの位置関
係を示す説明図である。 １０：ダイシングソーのスピンナーテーブル機
構、１２：スピンナーテーブル、１４：DCモー
タ（駆動モータ）、１６：駆動シヤフト、１８：
フレーム、２０：パルスモータ、２２：スリツト
デイスク（被検出材）、２４，２５：ホトインタ
ーラプター（センサー）、２６：電磁クラツチ、
２８：スリツトデイスクの延出部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 切断されたウエーハが載置されるスピンナーテ
   ーブルと、 スピンナーテーブルの固定された駆動シヤフト
   に駆動力を与えてスピンナーテーブルを回転させ
   る駆動モータと、 クラツチを介して駆動モータの駆動シヤフトを
   駆動可能に配設され、駆動シヤフトへの駆動モー
   タの駆動力を断たれた後、クラツチを介して駆動
   シヤフトに駆動力を伝達してスピンナーテーブル
   を回転させるパルスモータと、 スピンナーテーブルと一体的に回転する被検出
   材と、 駆動シヤフトへの駆動モータの駆動力が断たれ
   た後、パルスモータの駆動により、被検出材が所
   定位置に至つたのを検出し、パルスモータへのパ
   ルスの供給を断つための信号を発生するセンサー
   と、 駆動モータの駆動力が断たれることにより、ク
   ラツチを接続し、パルスモータにパルスを供給し
   てパルスモータを起動するとともに、センサーか
   らの信号を受けてパルスの供給を断つてパルスモ
   ータを停止させる制御装置と、 を具備するダイシングソーのスピンナーテーブル
   機構。