JPS61125406U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61125406U JPS61125406U JP884985U JP884985U JPS61125406U JP S61125406 U JPS61125406 U JP S61125406U JP 884985 U JP884985 U JP 884985U JP 884985 U JP884985 U JP 884985U JP S61125406 U JPS61125406 U JP S61125406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spinner table
- driving force
- drive shaft
- cut
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るダイシン
グソーのスピンナーテーブル機構の概略正面図、
第２図は、第１図の線―に沿つた、ダイシン
グソーのスピンナーテーブル機構の平面図、第３
図は、洗浄乾燥の前後におけるフレームの位置関
係を示す説明図である。 １０：ダイシングソーのスピンナーテーブル機
構、１２：スピンナーテーブル、１４：ＤＣモー
タ（駆動モータ）、１６：駆動シヤフト、１８：
フレーム、２０：パルスモータ、２２：スリツト
デイスク（被検出材）、２４，２５：ホトインタ
ーラプター（センサー）、２６：電磁クラツチ、
２８：スリツトデイスクの延出部。
グソーのスピンナーテーブル機構の概略正面図、
第２図は、第１図の線―に沿つた、ダイシン
グソーのスピンナーテーブル機構の平面図、第３
図は、洗浄乾燥の前後におけるフレームの位置関
係を示す説明図である。 １０：ダイシングソーのスピンナーテーブル機
構、１２：スピンナーテーブル、１４：ＤＣモー
タ（駆動モータ）、１６：駆動シヤフト、１８：
フレーム、２０：パルスモータ、２２：スリツト
デイスク（被検出材）、２４，２５：ホトインタ
ーラプター（センサー）、２６：電磁クラツチ、
２８：スリツトデイスクの延出部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 切断されたウエーハが載置されるスピンナーテ
ーブルと、 スピンナーテーブルの固定された駆動シヤフト
に駆動力を与えてスピンナーテーブルを回転させ
る駆動モータと、 駆動シヤフトへの駆動モータの駆動力を断たれ
た後、駆動シヤフトに駆動力を伝達してスピンナ
ーテーブルを回転させるパルスモータと、 スピンナーテーブルと一体的に回転する被検出
材と、 駆動シヤフトへの駆動モータの駆動力を断たれ
た後、被検出材が所定位置に至つたのを検出して
、駆動シヤフトへのパルスモータの駆動力を断つ
信号を発生するセンサーと、 を具備するダイシングソーのスピンナーテーブル
機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP884985U JPH0228030Y2 (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP884985U JPH0228030Y2 (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125406U true JPS61125406U (ja) | 1986-08-07 |
| JPH0228030Y2 JPH0228030Y2 (ja) | 1990-07-27 |
Family
ID=30488513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP884985U Expired JPH0228030Y2 (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228030Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP884985U patent/JPH0228030Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0228030Y2 (ja) | 1990-07-27 |