JPH02281675A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02281675A JPH02281675A JP1102681A JP10268189A JPH02281675A JP H02281675 A JPH02281675 A JP H02281675A JP 1102681 A JP1102681 A JP 1102681A JP 10268189 A JP10268189 A JP 10268189A JP H02281675 A JPH02281675 A JP H02281675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- discharge
- oscillation device
- discharge tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレー
ザ発振装置に関するものであり、特に最も安定なレーザ
ビームを得られるようにしたガスレーザ発振装置に関す
るものである。
ザ発振装置に関するものであり、特に最も安定なレーザ
ビームを得られるようにしたガスレーザ発振装置に関す
るものである。
従来の技術
従来のガスレーザ発振装置を第３図に示す。この第３図
に於て、１はガラスなどの誘電体よりなる放電管であり
、２．３は前記放電管１．の内部に設けられた金属電極
である。４は前記電極２，３に接続された高電圧電源で
あり、たとえば３ｏ ＫＶの電圧を画電極２．３間に印
加している。５は前記電極２．３間にはさまれた放電管
１内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡
であり、この全反射鏡６９部分反射鏡７は前記放電空間
５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。
に於て、１はガラスなどの誘電体よりなる放電管であり
、２．３は前記放電管１．の内部に設けられた金属電極
である。４は前記電極２，３に接続された高電圧電源で
あり、たとえば３ｏ ＫＶの電圧を画電極２．３間に印
加している。５は前記電極２．３間にはさまれた放電管
１内の放電空間である。６は全反射鏡、７は部分反射鏡
であり、この全反射鏡６９部分反射鏡７は前記放電空間
５の両端に固定配置され、光共振器を形成している。
８は前記部分反射鏡７より出力されるレーザビームであ
る。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、第
３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環している
。１ｏはガス配管であり、１１゜１２は前記放電空間６
にて放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの温
度を下げるだめの熱交換器、１３はレーザガスを循環さ
せるだめの送風機である。
る。矢印９はレーザガスの流れる方向を示しており、第
３図に示すような軸流型レーザ装置の中を循環している
。１ｏはガス配管であり、１１゜１２は前記放電空間６
にて放電及び送風機により温度上昇したレーザガスの温
度を下げるだめの熱交換器、１３はレーザガスを循環さ
せるだめの送風機である。
なお、送風機１３により放電区間６にて約１ｏＯｍ／Ｓ
ｅｃ程度のガス流を得る必要がある。
ｅｃ程度のガス流を得る必要がある。
以上が従来の軸流型レーザ装置の構成であり、次にその
動作について説明する。
動作について説明する。
まず一対の金属電極２．３に高電圧電源４がら高電圧を
印加し、放電空間５にグロー状の放電を発生させる。放
電空間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
印加し、放電空間５にグロー状の放電を発生させる。放
電空間５を通過するレーザガスは、この放電エネルギー
を得て励起され、その励起されたレーザガスは全反射鏡
６および部分反射鏡７により形成された光共振器で共振
状態となり、部分反射鏡７からレーザビーム８が出力さ
れる。このレーザビーム８がレーザ加工等の用途に用い
られる。
発明が解決しようとする課題
上記の構成では、送風機１３のガス脈動の影響によシ放
電区間６内の利得が変化し、レーザビームが不安定にな
る。
電区間６内の利得が変化し、レーザビームが不安定にな
る。
従って、安定したレーザビームを得ることが非常に困難
であった。
であった。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、ガス脈動をなくし安定したレーザビームが得られ
るガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
ので、ガス脈動をなくし安定したレーザビームが得られ
るガスレーザ発振装置を提供することを目的とする。
課題を解決するだめの手段
本発明は、上記課題を解決するために放電管内へのガス
流入管またはガス突出管の配管長に差を設けてなるもの
である。
流入管またはガス突出管の配管長に差を設けてなるもの
である。
作 用
上記構成によりガス脈動をなくすることができ、従って
得られた安定したレーザビームにより、切断性能の優れ
たレーザ加工が可能となる。
得られた安定したレーザビームにより、切断性能の優れ
たレーザ加工が可能となる。
実施例
第１図は、本発明の実施例であり、第３図と同一の構成
に対して同一番号を付しである。２本の放電管１．１の
ガス流入管１０ 、１０’の配管長の差を送風機１３の
ガス脈動音波の半波長倍にとっである。これにより右側
のレーザ管内のガス脈動音波と左側のそれとが半波長ず
れて互いに干渉し打ち消しあう。したがってお互いのレ
ーザ管内のガスが安定することによシレーザビームも安
定する。
に対して同一番号を付しである。２本の放電管１．１の
ガス流入管１０ 、１０’の配管長の差を送風機１３の
ガス脈動音波の半波長倍にとっである。これにより右側
のレーザ管内のガス脈動音波と左側のそれとが半波長ず
れて互いに干渉し打ち消しあう。したがってお互いのレ
ーザ管内のガスが安定することによシレーザビームも安
定する。
第２図は、従来例と本発明の実施例のレーザビームの安
定性の違いを示したものである。
定性の違いを示したものである。
発明の効果
以上のように、この発明によれば放電管内のガス脈動を
なくすることによ多安定したレーザビームを出すガスレ
ーザ発振装置を提供でき、切断性能を大幅に向上でき高
品質なレーザ加工に優れた効果を発揮する。
なくすることによ多安定したレーザビームを出すガスレ
ーザ発振装置を提供でき、切断性能を大幅に向上でき高
品質なレーザ加工に優れた効果を発揮する。
第１図は本発明の一実施例を示すガスレーザ発振装置の
レーザガス回路図、第２図は本発明実施例および従来例
におけるレーザ出力特性図、第３図は従来のガスレーザ
発振装置のレーザガス回路図である。 １・・・・・・放電管、２．３・・・・・・電極、４・
・・・・・高電圧電源、８・・・・・・レーザビーム、
１ｏ、１０′・・・・・・ガス流入管、１３・・・・・
・送風機。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 第２図 峙蘭
レーザガス回路図、第２図は本発明実施例および従来例
におけるレーザ出力特性図、第３図は従来のガスレーザ
発振装置のレーザガス回路図である。 １・・・・・・放電管、２．３・・・・・・電極、４・
・・・・・高電圧電源、８・・・・・・レーザビーム、
１ｏ、１０′・・・・・・ガス流入管、１３・・・・・
・送風機。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名第１
図 第２図 峙蘭
Claims (2)
- （１） 絶縁体よりなる放電管内を光軸方向に送風機に
よりレーザガスを流し、前記放電管内の両端に設けられ
た金属電極間に高電圧を印加し、前記放電管内に放電を
発生させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の
軸方向にレーザビームを発するガスレーザ発振装置にお
いて、前記放電管を複数個設け、それぞれの放電管のガ
ス流入管またはガス突出管を配管長の異なるガス配管系
で構成したことを特徴とするガスレーザ発振装置。 - （２） 放電管の配管長の差をレーザガスを伝達する送
風機脈動音波の半波長倍とした特許請求の範囲第１項記
載のガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102681A JPH02281675A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102681A JPH02281675A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281675A true JPH02281675A (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=14333979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1102681A Pending JPH02281675A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02281675A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104035A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Nec Corp | バウンダリスキャンテスト回路 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP1102681A patent/JPH02281675A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104035A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-04-21 | Nec Corp | バウンダリスキャンテスト回路 |
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