JPH02283080A - 圧電バイモルフの製造方法 - Google Patents
圧電バイモルフの製造方法Info
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- JPH02283080A JPH02283080A JP1330353A JP33035389A JPH02283080A JP H02283080 A JPH02283080 A JP H02283080A JP 1330353 A JP1330353 A JP 1330353A JP 33035389 A JP33035389 A JP 33035389A JP H02283080 A JPH02283080 A JP H02283080A
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- Japan
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- piezoelectric
- plates
- piezoelectric bimorph
- silver
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 16
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 5
- 244000062175 Fittonia argyroneura Species 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は圧電バイモルフの製造方法に関するものであ
る。
る。
〈従来の技術〉
従来の圧電バイモルフは第1図のようにセラミック板の
ような圧電板lの両面にそれぞれ銀電極2を設は分極処
理を施したものをエポキシ系樹脂のような接着剤3によ
り接着することにより製造していた。
ような圧電板lの両面にそれぞれ銀電極2を設は分極処
理を施したものをエポキシ系樹脂のような接着剤3によ
り接着することにより製造していた。
〈発明が解決しようとする課題〉
このような従来の製法による圧電バイモルフは接着剤3
が高温に対して耐えられないので、圧電ブザーのような
常温で使用する礪器の部品として用いる場合はよいが1
例えば自動車エンジンのノッキング発生のさいの振動を
検知するセンサーとして用いる場合、問題が生ずる。
が高温に対して耐えられないので、圧電ブザーのような
常温で使用する礪器の部品として用いる場合はよいが1
例えば自動車エンジンのノッキング発生のさいの振動を
検知するセンサーとして用いる場合、問題が生ずる。
この発明は上記のような高温発生部分においても支障な
く使用できる圧電バイモルフを製造する方法を提供する
ことを目的とする。
く使用できる圧電バイモルフを製造する方法を提供する
ことを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
すなわち、この発明は両面に銀電極を有する2枚の圧電
板を該銀電極を利用して一体に接着する圧電バイモルフ
の製造方法である。
板を該銀電極を利用して一体に接着する圧電バイモルフ
の製造方法である。
く作用〉
2枚の圧電板はそれぞれの銀電極を合せた後、焼付けに
より接着されるので、耐熱性の低い接着剤を全く用いな
い圧電バイモルフが得られる。
より接着されるので、耐熱性の低い接着剤を全く用いな
い圧電バイモルフが得られる。
〈実施例〉
以下この発明の実施例を第2図にもとづいて説明する。
第2図の11は、従来の圧電バイモルフと同様のセラミ
ック板などからなる圧電板である。
ック板などからなる圧電板である。
この間圧電板11の両面には銀電極12を設けるが、こ
の銀電極12を利用して間圧電板11を接着する。
の銀電極12を利用して間圧電板11を接着する。
すなわち、圧電板11に銀糸ペーストを塗布し、この塗
布したペーストを600℃〜850℃で焼付けるのであ
るが、この発明に係る圧電バイモルフは、間圧電板11
を銀糸ペーストを挾んだ状態で焼付けることにより間圧
電板11を接着するとともに両正電板11間と間圧電板
11の外側面に銀電極12を形成する。
布したペーストを600℃〜850℃で焼付けるのであ
るが、この発明に係る圧電バイモルフは、間圧電板11
を銀糸ペーストを挾んだ状態で焼付けることにより間圧
電板11を接着するとともに両正電板11間と間圧電板
11の外側面に銀電極12を形成する。
この銀電極12を形成するための銀糸ペーストの組成の
一例を示す銀の微粉末と、例えばホウケイ酸鉛、ホウケ
イ酸ビスマスのようなガラスフリットとビヒクルとを混
練したものである。
一例を示す銀の微粉末と、例えばホウケイ酸鉛、ホウケ
イ酸ビスマスのようなガラスフリットとビヒクルとを混
練したものである。
上記のような銀糸ペーストを両面に塗布した2枚の圧電
板11を重ね合わせて間圧電板11の銀ペースト塗布面
を直接密着させて600℃〜850℃の高温で焼付ける
ことにより2枚の圧電板11が銀電極12により一体に
接着されるのである。
板11を重ね合わせて間圧電板11の銀ペースト塗布面
を直接密着させて600℃〜850℃の高温で焼付ける
ことにより2枚の圧電板11が銀電極12により一体に
接着されるのである。
上記のように、2枚の圧電板11を焼付けたのち、分極
処理を施して圧電バイモルフが得られる。
処理を施して圧電バイモルフが得られる。
〈発明の効果〉
この発明の製法により得られた圧電バイモルフは上記の
ように接着剤を全く用いないので、セラミックなどの高
温に対する耐用性の高い圧電板の限界まで使用でき、ま
た耐久性の点でもセラミックなどの安定度が高いので温
度特性の優れた圧電バイモルフが得られる。
ように接着剤を全く用いないので、セラミックなどの高
温に対する耐用性の高い圧電板の限界まで使用でき、ま
た耐久性の点でもセラミックなどの安定度が高いので温
度特性の優れた圧電バイモルフが得られる。
従ってこの発明により製造された圧電バイモルフは例え
ば自動車のエンジンの所定の部分に直接接触させて、エ
ンジンがノッキングを起して異常に振動した場合、これ
を直ちに検知し、制御回路に信号を送る振動検知用セン
サーのような高温になる部分に用いることができる等の
効果を有する。
ば自動車のエンジンの所定の部分に直接接触させて、エ
ンジンがノッキングを起して異常に振動した場合、これ
を直ちに検知し、制御回路に信号を送る振動検知用セン
サーのような高温になる部分に用いることができる等の
効果を有する。
第1図は従来の圧電バイモルフの拡大縦断面図、第2図
はこの発明に係る圧電バイモルフの拡大縦断面図である
。
はこの発明に係る圧電バイモルフの拡大縦断面図である
。
Claims (1)
- 両面に銀電極を有する2枚の圧電板を重ね合わせ、該銀
電極を焼付けることにより一体に接着する圧電バイモル
フの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330353A JPH0646663B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330353A JPH0646663B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02283080A true JPH02283080A (ja) | 1990-11-20 |
| JPH0646663B2 JPH0646663B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=18231666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1330353A Expired - Lifetime JPH0646663B2 (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 圧電バイモルフの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646663B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US12048247B1 (en) * | 2020-01-09 | 2024-07-23 | Qortek, Inc. | Extreme environment capable multilaminar transductive biomorph device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5867084A (ja) * | 1981-10-19 | 1983-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | たわみ素子 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP1330353A patent/JPH0646663B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5867084A (ja) * | 1981-10-19 | 1983-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | たわみ素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646663B2 (ja) | 1994-06-15 |
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