JPH0646663B2 - 圧電バイモルフの製造方法 - Google Patents

圧電バイモルフの製造方法

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JPH0646663B2
JPH0646663B2 JP1330353A JP33035389A JPH0646663B2 JP H0646663 B2 JPH0646663 B2 JP H0646663B2 JP 1330353 A JP1330353 A JP 1330353A JP 33035389 A JP33035389 A JP 33035389A JP H0646663 B2 JPH0646663 B2 JP H0646663B2
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bimorph
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恵三 田淵
正浩 佐原
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Murata Manufacturing Co Ltd
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【発明の詳細な説明】 <産業上の利用分野> この発明は圧電バイモルフの製造方法に関するものであ
る。
<従来の技術> 従来の圧電バイモルフは第1図のようにセラミック板の
ような圧電板1の両面にそれぞれ銀電極2を設け分極処
理を施したものをエポキシ系樹脂のような接着剤3によ
り接着することにより製造していた。
<発明が解決しようとする課題> このような従来の製法による圧電バイモルフは接着剤3
が高温に対して耐えられないので、圧電ブザーのような
常温で使用する機器の部品として用いる場合はよいが、
例えば自動車エンジンのノッキング発生のさいの振動を
検知するセンサーとして用いる場合、問題が生ずる。
この発明は上記のような高温発生部分においても支障な
く使用できる圧電バイモルフを製造する方法を提供する
ことを目的とする。
<課題を解決するための手段> すなわち、この発明は、焼成済みの圧電板の両面に銀電
極を設けた後に2枚の圧電板を重ね合わせ、該銀電極を
焼付けることにより一体に接着する圧電バイモルフの製
造方法である。
<作用> 2枚の圧電板はそれぞれの銀電極を合せた後、焼付けに
より接着されるので、耐熱性の低い接着剤を全く用いな
い圧電バイモルフが得られる。
<実施例> 以下この発明の実施例を第2図にもとづいて説明する。
第2図の11は、従来の圧電バイモルフと同様のセラミ
ック板などから圧電板である。
この両圧電板11を両面には銀電極12を設けるが、こ
の銀電極12を利用して両圧電板11を接着する。
すなわち、圧電板11に銀系ペーストを塗布し、この塗
布したペーストを 600℃〜 850℃で焼付けるのである
が、この発明に係る圧電バイモルフは、両圧電板11を
銀系ペーストを挟んだ状態で焼付けることにより両圧電
板11を接着するとともに両圧電板11間と両圧電板1
1の外側面に銀電極12を形成する。
この銀電極12を形成するための銀系ペーストの組成の
一例を示す銀の微粉末と、例えばホウケイ酸鉛、ホウケ
イ酸ビスマスのようなガラスフリットとビヒクルとを混
練したものである。
上記のような銀系ペーストを両面に塗布した2枚の圧電
板11を重ね合わせて両圧電板11の銀ペースト塗布面
を直接密着させて 600℃〜 850℃の高温で焼付けること
により2枚の圧電板11が銀電極12により一体に接着
されるのである。
上記のように、2枚の圧電板11を焼付けたのち、分極
処理を施して圧電バイモルフが得られる。
<発明の効果> この発明の製法により得られた圧電バイモルフは上記の
ように接着剤を全く用いないので、セラミックなどの高
温に対する耐用性の高い圧電板の限界まで使用でき、ま
た耐久性の点でもセラミックなどの安定度が高いので温
度特性の優れた圧電バイモルフが得られる。
従ってこの発明により製造された圧電バイモルフは例え
ば自動車のエンジンの所定の部分に直接接触させて、エ
ンジンがノッキングを起して異常に振動した場合、これ
を直ちに検知し、制御回路に信号を送る振動検知用セン
サーのような高温になる部分に用いることができる等の
効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の圧電バイモルフの拡大縦断面図、第2図
はこの発明に係る圧電バイモルフの拡大縦断面図であ
る。 11……圧電板、12……銀電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】焼成済みの圧電板の両面に銀電極を設けた
    後に2枚の圧電板を重ね合わせ、該銀電極を焼付けるこ
    とにより一体に接着する圧電バイモルフの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5867084A (ja) * 1981-10-19 1983-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd たわみ素子

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US12048247B1 (en) * 2020-01-09 2024-07-23 Qortek, Inc. Extreme environment capable multilaminar transductive biomorph device

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