JPH02283097A - スクリーン印刷機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、スクリーンを介して回路パターンを有するプ
リント基板に塗布剤を塗布する際前記スクリーンと基板
とを相対的に位置合わせするスフノーン印刷機に関する
。

（ロ）従来の技術 従来技術として、本出願人が先に出願した特開昭６３−
６２７３１号公報（ＵＳＰ第４８６４３６１号）に基板
に施された位置合わせマークを認識カメラで認識して、
その認識結果を基に基板とスクリーンとを該基板の中心
を補正の中心として相対的に位置合わせする技術が開示
されている。

（ハ）発明が解決しようとする課題 然し乍ら、基板の寸法のバラツキとスクリーンの製版寸
法の違いにより、基板上の全ての点をスクリーンに一致
させることは不可能である。

例えば、電子部品本体側から平行にリードが導出されて
いるＳ　ＯＰ　（Ｓｍａｌｌ　０ｕｔｌｉｎｅ　Ｐａｃ
ｋａｇｅ　）　。

Ｑ　Ｆ　Ｐ　（Ｑｕａｄ　Ｆｌａｔ　Ｐａｃｋａｇｅ）
等の部品のリードを仮固定するためクリーム半田を印刷
する際、基板上で部品の配置が比較的密な部分と疎な部
分とがあった場合、−律に補正移動させると密な部分で
隣同志の部品が接触してしまうということがあった。ま
た、大部品と小部品とが混在している基板では、その補
正距離によって小部品用の印刷が予想外な所に為されて
しまうということがあった。

そのため、基板内で一番精度が必要となる印刷基準点、
即ち、補正中心点を任意の位置に設定しておき、スクリ
ーンと基板とを前記補正中心点でもって一致させること
である。

（ニ）課題を解決するための手段 そこで本発明は、スクリーンを介して回路パターンを有
するプリント基板に塗布剤を塗布する際前記スクリーン
と基板とを相対的に位置合わせするスクリーン印刷機に
於いて、前記スクリーンと基板との相対的位置合わせの
補正中心点を任意の位置としたものである。

また本発明は、スクリーンを介して回路パターンを有す
るプリント基板に塗布剤を塗布する際前記スクリーンと
基板とを相対的に位置合わせするスクリーン印刷機に於
いて、前記基板の理論上の位置合わせマークの位置並び
に任意に設定される理論上の位置合わせの補正中心点の
位置を記憶する第１の記憶手段と、試し刷り用基板の位
置合わせマーク、前記回路パターン、試し刷り後の印刷
パターンを認識すると共に本刷り用基板の位置合わせマ
ークを認識する認識カメラと、該カメラで認識された各
認識データを記憶する第２の記憶手段と、前記カメラで
認識した位置合わせマークの位置と第１の記憶手段に記
憶された理論上の位置合わせマークの位置との比較結果
を基に前記理論上の補正中心点に対応する基板上の補正
中心点の位置を算出する第１の計算手段と、前記カメラ
で認識した回路パターンの位置と印刷パターンの位置と
の比較結果を基に前記理論上の補正中心点に対応するス
クリーン上の補正中心点の位置を算出する第２の計算手
段と、前記第１の計算手段により算出された基板上の補
正中心点の位置と第２の計算手段により算出されたスク
リーン上の補正中心点とを比較しズレ量を算出する第３
の計算手段と、本刷り用基板の位置合わせマークを前記
カメラで認識した結果を基に前記理論上の補正中心点と
前記第１の計算手段で算出した該本刷り用基板上の補正
中心点とのズレ量を計算する第４の計算手段と、該第４
の計算手段による計算結果と前記第３の計算手段による
計算結果を加味したズレ量を基に本刷り用基板とスクリ
ーンとの相対的位置を補正する制御手段とを設けたもの
である。

（＊）作用 認識カメラで試し刷り用基板の位置合わせマークの位置
が認識され、第１の記憶手段に記憶された理論上の位置
合わせマークの位置と比較され、理論上の補正中心点に
対応する基板上の補正中心点の位置が第１の計算手段に
より算出される。

そして前記カメラで認識した回路パターンの位置と印刷
パターンの位置との比較結果を基にスクリーン上の補正
中心点の位置を第２の計算手段が算出し、前記第１の計
算手段により算出された基板上の補正中心点の位置と第
２の計算手段により算出されたスクリーン上の補正中心
点とを比較しズレ量を第３の計算手段が算出する。

他方本刷り用基板の位置合わせマークを前記カメラで認
識し、その認識結果を基に前記理論上の補正中心点と前
記第１の計算手段で算出した該本刷り用基板上の補正中
心点とのズレ量を第４の計算手段で計算し、該第４の計
算手段による計算結果と前記第３の計算手段による計算
結果を加味したズレ量を基に制御手段が本刷り用基板と
スクリーンとの相対的位置合わせをする。

くべ）実施例 以下、本発明の第１の実施例を第１図乃至第９図に基づ
き詳述する。

（１）は上流側より（紙面左方）図示しない基板搬送装
置により搬送されて来る位置合わせマーク（２Ａ）　、
　（２Ｂ）が施されたプリント基板（２）が吸着載置さ
れる吸着テーブルで、移動テーブル（ＩＡ）上に半固定
状態に載置されている。この移動テーブル（ＩＡ）は、
Ｘ方向の直線運動機構である前後一対のＸ方向に沿うガ
イドレール（３）　、　（４）上に移動自在に配置され
ていると共に、前記一方のガイドレール（３）と平行に
配置されたＸ方向送り用サーボモータ（５）で駆動する
送りネジが形成されたＸ方向出力軸（６）に連結部材（
７）を介して連結螺合きれているもので、この出力軸（
６）の正逆回転により、前記移動テーブル（ＩＡ）及び
吸着テーブル（１）を位置決めステーション（Ａ）から
印刷ステーション（Ｂ）までＸ方向に移動制御されるよ
うになっている。

また、前記した吸着テーブル（１）は、左右一対のＹ方
向に沿う第１及び第２のＹ方向出力軸（８）。

（９）に、第３図に詳図するように、第１及び第２の支
軸部材（１０）　、　（１１）と、これら第１及び第２
の支軸部材（１０）　、　（１１）の摺動部（ＩＯＡ）
　、　（ＩＩＡ）に固定された軸（１２）　、　（１３
）を介して一方が水平方向（θ方向）に回動自在に嵌合
させることにより軸支された第１及び第２の嵌合部材（
１４）　、　（１５）とで連結されているもので、前記
第１及び第２の支軸部材（１０）　、　（１１）は、第
１及び第２のＹ方向に沿うガイドレール（１６）　、　
（１７）及びＹ方向出力軸（８）　、　（９）に摺動自
在に配設されており、さらに、前記第１及び第２の嵌合
部材（１４）　、　（１５）の他方は、吸着テーブル（
１）の左右両側部に固定されている。

また、第１の嵌合部材（１４）には軸（１２）が完全に
嵌合するようになっていて、第２の嵌合部材（１５）は
外側部が切り欠かれていて軸（１３）との嵌合状態に遊
びがある。このため、支軸部材（１０）　、　（１１）
の移動距離が異なって、軸（１２）　、　（１３）間の
距離が変化した場合でも、前記遊びの範囲で軸（１１）
と第２の嵌合部材（１５）との嵌合状態が変化し、吸着
テーブル〈１〉は移動テーブル（ＩＡ）に対してスムー
ズにθ回転する。

即ち、前記第１の支軸部材（１０）は、第１のＹ方向出
力軸（８）を第１の補正用サーボモータ（１８）の駆動
で正逆回転させることにより、前記した吸着テーブル（
１）の右片側をＹ、方向に移動させるとともに、軸（１
２）を中心にθ方向に回動制御可能にしてなる一方、前
記第２の支軸部材（１１）は、第２のＹ方向出力軸（９
）を第２の補正用サーボモータ（１９）の駆動で正逆回
転させることにより、前記吸着テーブル（１）の左片側
をＹ、方向に移動させると共に、軸（１３）を中心にθ
方向に回動制御可能になっている。そして第３図点線で
示すように、Ｙ１方向及びＹ、方向の変化の差により、
吸着テーブル（１）を軸（１２）　、　（１３）を中心
にθ方向に回動きせ、かつ、これら各構成部材により、
Ｙ方向の直線運動機構を兼ねてθ方向の回転運動機構を
構成し、前記したＸ方向の直線運動機構と共に基板（２
）の位置規制を行うようになっているものである。

（２０）は単一の認識カメラで、この認識カメラ（２０
）は、連結部材（２１）を介してカメラ送りサーボモー
タ（２２）の駆動でＹ方向に移動する移動機構（２３）
に連結されているもので、この移動機構（２３）は、前
記ガイドレール（３）　、　（４＞の直上方位置に配設
されていると共に、前記カメラ送りサーボモータ（２２
）の駆動で正逆回転する図示しない出力軸を備え、この
出力軸に前記連結部材（２１）を連結螺合させることに
より、認識カメラ（２０）を基板（２）の搬送方向（Ｘ
方向）と直交する方向（Ｙ方向）に移動させるようにな
っている。

（２４）は印刷スクリーンで、前記ガイドレール（３）
　、　（４）の右部の印刷ステーション（Ｂ）の上方位
置に配置され、かつ、この印刷スクリーン（２４）は、
スクリーン板（２５）と、このスクリーン板（２５）を
囲むスクリーン枠（２６）とから構成されている。

（２７）は各種データ設定用の入力装置としてのキーボ
ード（２８）、モニターテレビ（２９）の画面選択キー
としての教示キー（３０）、スクリーン印刷機を始動さ
せる始動キー（３１）、印刷動作を手動で行わせるマニ
ュアルキー（３２）、自動で行わせる自動キー（３３）
等から成る操作部である。

（３４）は前記基板（２）の位置合わせマーク（２Ａ＞
　。

（２Ｂ）等の各種設定データが記憶される記憶装置とし
てのＲＡＭである。

（３５）は印刷動作に係わる所与のデータが格納される
ＲＯＭである。

（３６）は制御装置としてのＣＰＵで、前記各種の設定
データに従って所与の制御を行う。

（３７）はインターフェイスである。

（３８）は前記吸着テーブル（１〉を駆動きせる吸着テ
ーブル駆動源で、前記Ｘ方向送り用サーボモータ（５）
、第１の補正用サーボモータ（１８）及び第２の補正用
サーボモータ（１９）から構成される。

以下、動作について特に第９図に基づき詳述する。

先ず、始動キー（３１）及びマニュアルキー（３２）を
操作すると、位置決めステーション（Ａ）において、基
板搬送装置により搬送された試し刷り用の基板（２）を
吸着テーブル（１）上に載置し、図示しない位置決め機
構により位置決め吸着させた後、基板（２）を、送り機
能に補正機能を兼ねたＸ方向送り用サーボモータ（５）
の駆動により移動テーブル（ＩＡ）及び吸着テーブル（
１）をＸ方向に移動させて認識ステーションに到達させ
ることにより、認識カメラ（２０）の下方に位置させる
。この時、吸着テーブル（１）の移動位置は、ＲＡＭ（
３４）に、その位置データが記憶されている基板（２）
上に施した位置合わせマーク（２Ｂ〉が認識カメラ（２
０）の直下方位置に送られるように設定されている。従
って、ＣＰＵ（３６）により認識カメラ（２０）の移動
のためのサーボモータ（２２）や移動テーブル（ＩＡ）
の移動のためのサーボモータ（５）が制御され、基板（
２）の位置合わせマーク（２Ｂ）が該カメラ（２０）の
直下方に位置することになる。そして、この状態で位置
合わせマーク（２Ｂ）が認識カメラ（２０）で認識され
、次に同様にして位置合わせマーク（２Ａ）が前記認識
カメラ（２０）の直下方に位置し、認識され、この位置
合わせマーク（２Ａ）　、　（２Ｂ）の各位置（２ＡＩ
Ｘ　、　２Ａ１ｙ）　、　（２Ｂ１ｘ　、　２Ｂ１ｙ）
が認識され、ＲＡＭ（３４）に所定のデータとして記憶
される。この認識データとＲＡＭ（３４）に記憶された
理論上の位置合わせマーク（２Ａ’）。

（２Ｂ’）の各位置（２Ａｉｘ　、　２Ａ’ｌｙ）　、
　（２Ｂｌｘ　、　２Ｂ’ｌｙ）とがＣＰＵ（３６）内
の図示しない比較装置で比較され、そのズレ量が同じく
図示しない計算装置で算出される。即ち位置合わせマー
ク（２Ａ）の（２Ａ’）に対するＸ方向のズレ量は２Ａ
１ｘ−２Ａ’１ｘＳＹ方向のズレ量は２Ａ１ｙ−２Ａ’
１７であり、位置合わせマーク（２Ｂ）の（２Ｂ’）に
対するＸ方向のズレ量は２Ｂ１ｘ−２Ｂ’ｌｘ、　Ｙ方
向のズレ量２Ｂ１ｙ−２８’ｌ）Ｆであり、ＲＡＭ（３
４〉に記憶される。そして、このズレ量を基に使用者が
ＲＡＭ（３４）に任意に設定した理論上の補正中心点（
５１）の位置（Ｓｌｘ　、　５ｔｙ）に対応する基板（
２）上の補正中心点（Ｓ、）を計算装置により算出する
と、先ず、理論上の傾きをゼロ度とした場合におけるそ
の傾きに対する認識された基板（２）の角度ズレ量（θ
、）は、 θ＋　−ａｔｎ　（（２Ａ１ｙ−２Ｂ１ｙ）／　（２Ａ
１ｘ−２ＢＬｘ）　）−ａｔｎ　（（２Ａ　’１ｙ−２
Ｂ’　ｌｙ）／　（２Ａ’　Ｌｘ−２８’ｌｘ）　）・
・・・・・・・・　■ である。

次に、実際の基板（２）上の補正中心点（Ｓ、）の位置
（Ｓ＊Ｘ＊５ｔＹ）は、 Ｓｔｘ−（Ｓ、ｘ−ｃｘｎ）−ｘｓ−ｔ−ｃｏｓ（θｔ
）−（Ｓ＋ｙ−ｃｙｔｘ）・ｙｓ−ｔ−ｓｉｎ（θ、　
）　＋　ｃｄｘ＋ｃｘｎ　　−・・会−・・・・　　■
Ｓ＊ｙ−（Ｓｔｙ−ｃｙｎ）　・ｙｓ−ｔ−ｃｏｓ（θ
ｔ　）＋　（Ｓｔｘ−ｃｘｎ）・ｘｓ−ｔ−ｓｉｎ（θ
、　）　＋　ｃｄｙ＋ｃＶｔｌ　　””　””　””　
　■で求まる。

ｃｘｎ、ｃｙｎ　：理論上の位置合わせマーク＜２Ａ’
）と（２Ｂ’）との中心座標 ｘｓ−ｔ、ｙｓ−ｔ　：基板（２）のＸ方向、Ｙ方向の
伸び率（両者は同一） ｃｄｘ、ｃｄｙ　：　ｃｘｎ、ｃｙｎからの基板（２）
のＸ方向。

Ｙ方向のズレ量 そして、この角度ズレ量（θ、）及び実際の基板（２）
上の補正の中心点（Ｓ、）の位置（Ｓｅｘ　ｌ　５ａｙ
）に関するデータは、ＲＡＭ（３４）に格納される。

この後、前記移動テーブル（ＩＡ）及び吸着テーブル（
１）は、サーボモータ（５）によりＸ方向に移動して、
印刷ステーション（Ｂ）に移動した後、図示しない昇降
機構によって上昇され、試し刷り用の基板（２）をスク
リーン板（２５）に近接位置せしめた後、補正移動を行
うことなく、図示しないスキージによりスクリーン板（
２５）を介して前記基板（２）上に塗布剤であるクリー
ム半田が塗布され、試し刷り諮れる。

そして、この試し刷りされた基板（２）を再度認識ステ
ーションに戻してセットし直し、この基板（２）上の印
刷されるべき回路パターン（２点ある）の位置及び現実
に印刷された印刷パターンの位置を、夫々前述の如く認
識カメラ（２０）を用いて認識し、両パターンの位置に
関するデータ（２Ｃ１ｘ。

２Ｃ１ｙ）　、　（２Ｃ’ｌｘ　、　２Ｃ’ｌｙ）及び
（２Ｄ１ｘ　、　２Ｄ１ｙ）　、　（２Ｄ’１ｘ　、　
２Ｄ’　ｌｙ）をＲＡＭ（３４）に記憶する。

それから、前記ＣＰ　Ｕ（３６）に内蔵された比較装置
で比較すると共に計算装置により両パターンの位置ズし
量が算出される。この算出結果によるＸ方向のズレ量は
２ＣＬｘ　−２Ｄ１ｘ　、　２Ｃ’Ｌｘ　−２Ｄ’ｌｘ
であり、Ｙ方向のズレ量は２Ｃ１７−ｚｏｉｙ　、　２
Ｃ’１７−２Ｄ’　ｘｙとなり、ＲＡＭ（３４）に記憶
する。

そして、このズレ量を下に基板（２）のＸ方向、Ｙ方向
に一律に伸びた場合の伸びを考慮し、前記理論上の補正
の中心点（Ｓｌ）に対応する当該試し刷りされた基板（
２）上の補正の中心点（Ｓ、）と、同じく理論上の補正
の中心点（Ｓ、）に対応するスクリーン板（２５）上の
補正の中心点（Ｓ、）との位置を前記比較装置で比較し
、計算装置でズレ量を算出する。

即ち、スクリーン板（２５）に対する基板（２）の角度
ズレ量（θＳ）は、 θ、　＝　ａｔｎ　（（２Ｃ１ｙ−２Ｃ’　ｌｙ）／　
（２Ｃ１ｘ−２Ｃ’　ｌｘ）　）−ａｔｎ　［（２Ｄ１
ｙ−２Ｄ’ｌｙ）／　（２Ｄ１ｘ−２Ｄ’ｌｘ）　）で
ある。

またスクリーン板（２５）上の補正の中心点（Ｓ、〉の
位置を（Ｓｓｘ　、　５ｓｙ）とすると、５ｓｘ＝　（
Ｓ、ｘ−ｃｘｎ’　）°ｘｓ−ｔ’−ｃｏｓ（−〇Ｓ）
−（Ｓａｙ−ｃｙｎ’）・ｙｓ−ｔ゛・５ｉｎ（−Ｃ３
）＋ｃｄｘ、＋ｃｘｎ Ｓａ７＝　（Ｓａｙ−ｃｙｎ’　）・ｙｓ−ｔ’−ｃｏ
ｓ（−〇、）＋　Ｃ５＊ｘ−ｃｘｎ゛）−ｘｓ−ｔ’−
５ｉｎ（−〇、〉＋ｃｄ５’ｓ”ｃｙｎ’ で求まる。

ここにおいて、 ｃｘｎ’、ｃｙｎ’　：基板（２）上の印刷されるべき
回路パターン２点の中心座標 ｘｓ−ｔ’、ｙｓ−ｔ’　ニスクリーン板（２５）のＸ
方向、Ｙ方向の伸び率（両者は同一） ｃｄｘ、、ｃｄｙ、　：　ｃｘｎ、ｃｙｎからのスクリ
ーン板（２５）のＸ方向、Ｙ方向のズレ量 他方、理論上の傾きをゼロ度とした場合におけるその傾
きに対する認識された基板〈２〉の角度ズレ量（θ、〉
は、前述のように０式であり、基板（２）上の補正の中
心点（Ｓｔ）の位置（Ｓ、Ｘ　、　Ｓａｙ”）は前述の
００式である。

以上のように、補正移動すべきズレ量のうち、角度のズ
レ量はθ、であり、基板（２）の中心を補正の中心点と
してこの基板（２）に０５分補正をかけたときに、基板
（２）上の補正の中心点（Ｓ、）が移動して位置するも
のと推定できる位置を（ｑｘ　、　ｑｙ）とすると、 ｑｘ＝５．ｘ−ｃｏｓ（θ１−θｓ）　　Ｓａｙ−ｓｉ
ｎ（θ１−θ、）ｑ）’　”　５ａｙ−Ｃ６０（θ１−
θｓ）＋ｓ＊ｙ−ｓｉｎ（θ、−〇、）となる。

ここで、Ｘ方向の補正量をｄｘ、、Ｙ、方向の補正量を
ｄｙｅ、　Ｙｔ力方向補正量をｄｙ、とすると、ｄｘ、
ｍｑｘ−５，ｘ ｄｙｅ　＝　（ｑｙ−５ｓｙ）　＋　ｌ　ｘ−ｔａｎ（
θ１−θＳ）ｄＹｍ＝ｑ）’　　Ｓｓ）’ となる。

但し、ｌｘは支軸（１２）　、　（１３）の各センター
間の距離 この場合、補正量ｄｘ、は、基板（２）の補正の中心点
（Ｓ、）のＸ座標Ｓ、ｘをスクリーン板（２５）上の補
正の中心点（Ｓ、）のＸ座標Ｓｅｘに一致させるためで
あり、補正量ｄｙ、は前記補正の中心点（Ｓ、）のＹ座
標Ｓげを前記補正の中心点くＳ、）のＹ座標Ｓｓｙに一
致させ且つ前記角度ズレ量（θ、）を補正するためであ
り、最後の補正量ｄｙ、は前記補正の中心点くＳ、）の
Ｙ座標Ｓげを前記補正の中心点（Ｓ、）のＹ座標Ｓ、ｙ
に一致させるためである。

このように各ズレ量は、Ｘ方向、Ｙｌ及びＹ、方向の補
正成分に分解され、前記ＲＡＭ（３４）に記憶されるが
、これはスクリーン印刷機の構造上の機械特性として把
握される。

次に始動キー〈３１）及び自動キー（３３）を操作して
、新たなプリント基板（２）に本印刷を行う場合には、
前述の如くＸ方向送り用サーボモータ（５）及びカメラ
送り用サーボモータ（２２）をＣＰ　Ｕ（３６）が制御
し、本印刷用基板＜２）上の各位置合わせマーク（２Ａ
）　、　（２Ｂ）の各位置（２Ａ”ｌｘ　、　２Ａ”ｌ
ｙ）　、　（２Ｂ”ｌｘ　、　２Ｂ”ｌｙ）を認識し、
ＲＡＭ（３４）に記憶する。

そして、この認識データと同じく既にＲＡＭ（３４）に
記憶されている理論上の位置合わせマーク（２Ａ’）、
＜２Ｂ’）の各位置（２Ａ’ｌｘ　、　２Ａ’ｌｙ）　
、　（２Ｂ’ｌｘ、２Ｂ’ｌｙ）とが比較装置で比較さ
れ、そのズレ量が計算装置で算出される。即ちＸ方向の
ズレ量は、ハ“１ｘ−２Ａ’ｌｘ　、　２Ｂ’１ｘ−２
８’ｌｘであり、Ｘ方向のズし量は、２Ａ”ｔｙ−２ａ
’ｉｙ　、　２Ｂ”１ｙ−２８’１７である。そしてこ
のズレ量を基に使用者が任意にＲＡＭ（３４）に設定し
た理論上の補正の中心点（５１）の位置（Ｓ　ＩＸ　ｒ
　Ｓ　ｔｙ）に対応する基板（２）上の補正の中心点（
Ｓ、）の位置を計算装置により算出すると、先ず、理論
上のデータに対する認識された基板＜２）の角度ズレ量
（θ、）は、 θ＊　−ａｔｎ　（（２Ａ”１ｙ−２８’ｌｙ）／　（
２Ａ”１ｘ−２８”ｌｘ）　）−ａｔｎ　［（２Ａ’１
ｙ−２８’ｌｙ）／　（２Ａ’１ｘ−２８’ｌｘ）　）
である（第４図参照）。

次に実際の基板（２）上の補正中心点（Ｓ４）の位置（
５４Ｘ　＋　５４ｙ）は、 ５ａｘ−（Ｓ、ｘ−ｃｘｎ）　−ｘｓ−ｔ”　′ｃｏｓ
（−〇宜）−（Ｓ　＋　ｙ−ｃｙｎ　）　・ｙｓ−ｔ″
−５ｉｎ（−〇−＋ｃｄｘｊ十〇Ｘｔｌ Ｓａｙ＝　（Ｓ、ｙ−ｃｙｎ）　・ｙｓ−ｔ”　ｃｏｓ
（−θ塞〉＋　（Ｓ、ｘ−ｃｘｎ）−ｘｓ−ヒ・５ｉｎ
（−θ、）＋ｃｄ’ｙ＋ｃｙｎ で求まる（第５図参照）。

ｃｘｎ、ｃｙｎ　：理論上の位置合わせマーク（２Ａ’
）と（２Ｂ’）との中心座標 ｘｓ−ｔ”＋ｙｓ−ｔ”　：基板（２）（７）　Ｘ方向
、Ｘ方向の伸び率（両者は同一） ｃｄｘ’、ｃｄｙ’　：　ｃｘｎ、ｃｙｎからの基板〈
２）のＸ方向、Ｘ方向のズレ量 そして、この角度ズレ量くθハ及び実際の基板り２）上
の補正の中心点（Ｓ、）の位置＜Ｓａｘ　、　５４Ｙ）
に関するデータは、ＲＡ　Ｍ　（３４）に格納される。

そして理論上の補正の中心点（Ｓ、）と当該基板（２）
上の補正中心点（Ｓ、）とズレ量をＸ方向、Ｙｌ及びＹ
、方向に成分分解すると、 ｄ’ｘ、　−５，ｘ−５，ｘ ｃｔ’ｙ、　””　（Ｓｔｙ−５４ｙ）　＋　ｆｌ　ｘ
ｏｔａｎ（θりｄ’ｙ、＝ｓ、ｙ　　Ｓａｙ となる（第６図参照）。

また、前述のように試し刷りしたときに、理論上の補正
の中心点（Ｓ、）とスクリーン板り２５）との関係から
求めた各補正量ｄｘ＋　、　ｄ）’＋　＋　ｄＹ＊は、
ｄｘ、＝ｑｘ−５，ｘ ｄＹ＋　＝　（ｑｙ−５ｓｙ）　＋　１２　ｘｏｔａｎ
（θ５）ｄ３’＊−ｑ）’　　Ｓｓｙ であるから（第７図参照）、当該水刷り用の基板（２）
の最終的な補正量は、 ｄ”ｘ、　＝ｄｘ、　＋ｄ’ｘ、　＝　（ｑＸ−５ＩＸ
）＋　（ＳＩＸ−５４Ｘ）”）’Ｉ−ｄ）’＋　＋　ｄ
’ｙｔ −（（ｑｙ−５ｓｙ）＋ｌｘ・ｔａｎ（θ、）〕＋　（
（Ｓｔｙ−５４ｙ）＋ｊ！　ｘ□ｔａｎ（θ、）〕ｄ”
）’＊＝ｄ３’ｎ＋ｄ’３’＊＝　（ｑｙ−５ｓｙ）　
＋　（ｓａｙ−ｓａｙ）で求まる（第８図参照）。

これを、ＲＡＭ（３４）に記憶させる。

以上のように決定されたＸ方向、Ｘ方向及びθ方向の補
正量は、印刷ステーション（Ｂ）へ移動して該ステーシ
ョンで図示しない昇降機構によって上昇した後補正され
る。即ち、吸着テーブル（１）のＸ方向の補正について
はその補正量ｄ“ｘｌだけ前記Ｘ方向送り用サーボモー
タ（５）を制御することにより行われ、Ｙ方向及びθ方
向の補正については第１．第２の補正用サーボモータ（
１８）　、　（１９）により支軸部材（１０）　、　（
１１）をＹ方向出力軸（８）　、　（９）及びガイドレ
ール＜１６）　、　（１７）に沿って夫々補正量ｄ″’
ｌ＋　、　ｄ″ｙ、たけ移動させ、嵌合部材（１４）　
、　（ｔｓ）を介して吸着テーブル（１）を正規の位置
に補正移動させることにより行われる。

尚、前記Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向の補正移動はθ方向の
補正後にＸ方向、Ｙ方向の補正を行っても良いし、また
Ｘ方向、Ｙ方向の補正後にθ方向の補正を行うようにし
ても良い。

そして、図示しないスキージによりスクリーン板（２５
）を介して前記基板（２）にクリーム半田が塗布され位
置ズレなく所定の配線パターンのスフノーン印刷が施さ
れるようになっているものである（第８図参照）。

尚補正動作は、前記吸着テーブル（１）の印刷ステーシ
ョン（Ｂ）への移動時にＸ方向の補正をし、該移動動作
後にか上昇動作後にＹ方向及びθ方向の補正を行っても
よい。

また、前記Ｘ方向送り用サーボモータ（５）、第１の補
正用サーボモータ（１８）及び第２の補正用サーボモー
タ（１９）を駆動源としたが、パルスモータを用いても
良い。

次に補正の精度要求が異なる点が２点あって、これらの
点における精度を高めて補正する場合について第１０図
に基づき以下詳述する。

前述のように位置合わせマーク（２Ａ　）　（２Ｂ　）
の各位置（２Ａ１ｘ　、　２Ａ１ｙ）　、　（２Ｂ１ｘ
　、　２Ｂ１ｙ）が認識され、ＲＡＭ（３４）に記憶さ
れる。この認識データとＲＡＭ（３４）に記憶された理
論上の位置合わせマーク（２Ａ’）（２Ｂ’）の各位置
（２Ａ’ｌｘ　、　２Ａ’ｌｙ）　、　（２Ｂ’ｌｘ　
、　２Ｂ’ｌｙ）とが比較装置で比較され、そのズレ量
が計算装置で算出され記憶される。

また吸着テーブル（１）を補正移動させる際の理論上の
補正の中心点（Ｓ、）について述べると、各重要点（ｓ
ｓ）　、　（ｓｙ）における精度がＱ、Ｉｎｎ、Ｑ、３
１ｍであれば、精度の比が１：３となりその比に応じて
内分する点を補正の中心点（Ｓ、）とする。

従って、理論上の重要点（Ｓ、）の位置（ｓｓｘ　、　
５ａｙ）と、同じく重要点（Ｓ、）の位置（Ｓｙｘ　、
　ｓ、齢とから判断すると、理論上の補正の中心点（Ｓ
、）の位！（５８ｘ、５ｓｙ）は、 Ｓｓ　Ｘ　”　Ｓｓｘ　＋　０．１　（Ｓ７Ｘ−５ＩＸ
＞／　（０，１”０．３　）・”　”’■５ｓＹ＝　Ｓ
ｓｙ＋　ｏ、　１＜５１ｙ−５＠ＹＶ　（０，１＋０．
３）・・・・・・　■となる。

そして、この理論上の補正の中心点（Ｓ、）の位置（Ｓ
ｅｘ　、　５ｓｙ）に対応する基板（２）上の補正の中
心点（Ｓ’Ｓ）の位置（Ｓ’　ｉＸ　、　Ｓ’　ｓＶ）
を、前述のマーク（２Ａ）。

（２Ｂ）と（２Ａ’　）　、　（２Ｂ’）との関係を考
慮しながら求めると、 Ｓ’　６）（＝　２Ａ１ｘ　−（２Ａ’　Ｌｘ−ｃｏｓ
θ＋２Ａ’ｌｙ・ｓｉｎθ）＋　（５，ｘ−ｃｏｓθ＋
Ｓ、ｙ−ｓｉｎθ）……■Ｓ’　、７１１！　（Ｓ、ｙ
−ｃｏｓθ−５，ｘ−ｓｉｎθ＞＋ｚＡｉｙ−（２Ａ’
１ｙ＝ｃｏｓθ−２Ａ’１ｘ−ｓｉｎθ）・・・−・−
■となる。

一方両マーク（２Ａ）　、　（２Ｂ）と（２Ａ’）　、
　（２Ｂ’）とのズレ量における角度ズレ（θ）は、 θ＝　ａｔｎ　Ｃ（２Ａ１ｙ−２ＢＩＹ）／　（２Ａ１
ｘ−２Ｂ１ｘ）　）−ａｔｎ　（（２Ａ’１ｙ−２Ｂ’
ｌｙ）／　（２Ａ’１Ｘ−２８’　ＬＸ）　）・・・・
・・・・・　■ であり、前述と同様である。

以上のようにして求められた計算値から、理論上の補正
の中心点（Ｓ６）の位置（Ｓｉｘ　、　５ｓｙ）と、認
識結果に基づく実際の補正の中心点（Ｓ’６）の位置（
Ｓ’５ｘｖｓ’ａ７）とを前述のように一致するように
補正させればよい。

〈ト）発明の効果 以上のように本発明は、スクリーンと基板とが設定され
た任意の位置を補正中心点として位置合わせできるから
、特に精度を高く要求する点（地域）に合わせて補正で
き、使い勝手の良いスフノーン印刷が行える。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の第１の実施例を適用したス
クリーン印刷機の概略的回路構成図及び平面図、第３図
は同じく本発明のスクリーン印刷機における基板位置規
制機構の動作状態を概略的に示す平面図、第４図乃至第
８図は基板の位置合わせ動作を示す図、第９図は本発明
の第１の実施例の動作を示すフローチャート図、第１０
図は他の例の基板の位置合わせ動作を示す図を夫々示す
。 （１）・・・吸着テーブル、　（５）・・・Ｘ方向送り
用サーボモータ、　（１８）・・・Ｙ１方向補正用サー
ボモータ、　（１９）・・・Ｙ、方向補正用サーボモー
タ、　（２０）・・・認識カメラ、　（３４）・・・Ｒ
ＡＭ、　　（３６）・・・ｃｐＵ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）スクリーンを介して回路パターンを有するプリン
   ト基板に塗布剤を塗布する際前記スクリーンと基板とを
   相対的に位置合わせするスクリーン印刷機に於いて、前
   記スクリーンと基板との相対的位置合わせの補正中心点
   を任意の位置としたことを特徴とするスクリーン印刷方
   法。
2. （２）スクリーンを介して回路パターンを有するプリン
   ト基板に塗布剤を塗布する際前記スクリーンと基板とを
   相対的に位置合わせするスクリーン印刷機に於いて、前
   記基板の理論上の位置合わせマークの位置並びに任意に
   設定される理論上の位置合わせの補正中心点の位置を記
   憶する第１の記憶手段と、試し刷り用基板の位置合わせ
   マーク、前記回路パターン、試し刷り後の印刷パターン
   を認識すると共に本刷り用基板の位置合わせマークを認
   識する認識カメラと、該カメラで認識された各認識デー
   タを記憶する第２の記憶手段と、前記カメラで認識した
   位置合わせマークの位置と第１の記憶手段に記憶された
   理論上の位置合わせマークの位置との比較結果を基に前
   記理論上の補正中心点に対応する基板上の補正中心点の
   位置を算出する第１の計算手段と、前記カメラで認識し
   た回路パターンの位置と印刷パターンの位置との比較結
   果を基に前記理論上の補正中心点に対応するスクリーン
   上の補正中心点の位置を算出する第２の計算手段と、前
   記第１の計算手段により算出された基板上の補正中心点
   の位置と第２の計算手段により算出されたスクリーン上
   の補正中心点とを比較しズレ量を算出する第３の計算手
   段と、本刷り用基板の位置合わせマークを前記カメラで
   認識した結果を基に前記理論上の補正中心点と前記第１
   の計算手段で算出した該本刷り用基板上の補正中心点と
   のズレ量を計算する第４の計算手段と、該第４の計算手
   段による計算結果と前記第３の計算手段による計算結果
   を加味したズレ量を基に本刷り用基板とスクリーンとの
   相対的位置を補正する制御手段とを設けたことを特徴と
   するスクリーン印刷機。