JPH02284829A - 6軸磁気制御装置 - Google Patents
6軸磁気制御装置Info
- Publication number
- JPH02284829A JPH02284829A JP10513889A JP10513889A JPH02284829A JP H02284829 A JPH02284829 A JP H02284829A JP 10513889 A JP10513889 A JP 10513889A JP 10513889 A JP10513889 A JP 10513889A JP H02284829 A JPH02284829 A JP H02284829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- driving means
- movable body
- force
- control
- electromagnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子部品や異形部品などの部品を挿着したり
、部品同士の位置合わせや組み立てを行う自動組み立て
工程に用いられる6軸姿勢制御装置に関するものである
。
、部品同士の位置合わせや組み立てを行う自動組み立て
工程に用いられる6軸姿勢制御装置に関するものである
。
[従来の技術]
従来、自動組み立て工程に用いられるこの種の姿勢制御
装置として、第11図に示すように、部品保持機構21
にて保持された部品Bを部品Aの孔aにはめる組み立て
作業時に、接触した部品ABの位置ずれにより生じる組
み立て装置へのひずみを吸収するための弾性支持体22
を設け、この弾性支持体22の変形に対するひずみ量を
検出する検出器23を、位置決め(l[20と部品保持
機flI21との間に介装し、検出器23出力を位置決
め機1120のサーボ機構制御回路にフィードバックし
、押し込み動作をすることによって自動的に位置ずれを
修正するようにしたちのく特開昭49−30979号公
報)があった。
装置として、第11図に示すように、部品保持機構21
にて保持された部品Bを部品Aの孔aにはめる組み立て
作業時に、接触した部品ABの位置ずれにより生じる組
み立て装置へのひずみを吸収するための弾性支持体22
を設け、この弾性支持体22の変形に対するひずみ量を
検出する検出器23を、位置決め(l[20と部品保持
機flI21との間に介装し、検出器23出力を位置決
め機1120のサーボ機構制御回路にフィードバックし
、押し込み動作をすることによって自動的に位置ずれを
修正するようにしたちのく特開昭49−30979号公
報)があった。
また、他の従来例として、第12図に示すように、組み
立てられる部品Bを3方向から把持する3個の把持子2
5の下方に、部品Bに対して感圧センサ26を所定の圧
力で圧接する3個の触指25aを設け、部品Bに加えら
れる横方向の荷重を感圧センサ26で検出演算して部品
Bの位置を検出し、位置決め機構のサーボ機構制御回路
にフィードバックして自動的に位置ずれを修正するよう
にしたもの(特開昭61−164735号公報)があっ
た。
立てられる部品Bを3方向から把持する3個の把持子2
5の下方に、部品Bに対して感圧センサ26を所定の圧
力で圧接する3個の触指25aを設け、部品Bに加えら
れる横方向の荷重を感圧センサ26で検出演算して部品
Bの位置を検出し、位置決め機構のサーボ機構制御回路
にフィードバックして自動的に位置ずれを修正するよう
にしたもの(特開昭61−164735号公報)があっ
た。
しかしながら、上記両従来例にあっては、位Wずれを検
出して位置決め機構をフィードバック制御して位置ずれ
を修正するようになっており、コンプライアンス制御が
できないという問題があり、しかも、Z軸回りの回転制
御ができないので、方向性のある部品の自動組み立てが
できないという問題があった。
出して位置決め機構をフィードバック制御して位置ずれ
を修正するようになっており、コンプライアンス制御が
できないという問題があり、しかも、Z軸回りの回転制
御ができないので、方向性のある部品の自動組み立てが
できないという問題があった。
一方、コンプライアンス制御ができる精密自動組み立て
装置として、第13図に示すように、移動可能なハンド
30に組み込まれる可動体1と、可動体1を支持すると
ともに、可動体1の位置調整を行う電磁石31.32お
よび電磁石33.34を具備し、各電磁石31〜311
の励磁コイルに流れる電流を適当に制御することにより
、電磁石3132および電磁石33.34による吸引力
を可動体1に作用させて5軸姿勢制#(X、Y2,θx
,θy)できるようにし、コンプライアンス制御をも可
能にしたもの(特開昭63 207530号公報)が提
案されている。
装置として、第13図に示すように、移動可能なハンド
30に組み込まれる可動体1と、可動体1を支持すると
ともに、可動体1の位置調整を行う電磁石31.32お
よび電磁石33.34を具備し、各電磁石31〜311
の励磁コイルに流れる電流を適当に制御することにより
、電磁石3132および電磁石33.34による吸引力
を可動体1に作用させて5軸姿勢制#(X、Y2,θx
,θy)できるようにし、コンプライアンス制御をも可
能にしたもの(特開昭63 207530号公報)が提
案されている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、上述の第13図従来例にあっては、コン
プライアンス制御ができるものの、Z軸の回りの回転(
θ2)が制御できない5軸制御となっていたので、部品
Bに方向性がある場合には利用できないという問題があ
った。また、XY面内の位置および傾きを制御する電磁
石33.34による磁気吸引力が、電磁石33.34の
励磁電流の2乗に比例するとともに、可動体1と電磁石
33.34との距離の2乗に反比例するので、可動体1
の駆動量を考慮して電磁石33.34の励磁電流を制御
を行う必要があり、姿勢制御が面倒になるという問題が
あった。
プライアンス制御ができるものの、Z軸の回りの回転(
θ2)が制御できない5軸制御となっていたので、部品
Bに方向性がある場合には利用できないという問題があ
った。また、XY面内の位置および傾きを制御する電磁
石33.34による磁気吸引力が、電磁石33.34の
励磁電流の2乗に比例するとともに、可動体1と電磁石
33.34との距離の2乗に反比例するので、可動体1
の駆動量を考慮して電磁石33.34の励磁電流を制御
を行う必要があり、姿勢制御が面倒になるという問題が
あった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、コンプライアンス制御ができ、しか
も、部品組み立て装置として使用した場合には、方向性
のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立てを
行うことができる6軸姿勢制御装万を提供することにあ
る。
的とするところは、コンプライアンス制御ができ、しか
も、部品組み立て装置として使用した場合には、方向性
のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立てを
行うことができる6軸姿勢制御装万を提供することにあ
る。
[課題を解決するための手段]
本発明の請求項1記載の6軸姿勢制御装置は、可動体に
対してZ軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,
θx,θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生す
る第1の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に
交差するXY而で並進する第2の方向(X、Y,θz)
に作用するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、
上記可動体の位置を検出する位置センサと、上記位置セ
ンサ出力に基づいて両駆動手段を制御する制(卸手段と
を備えたものである。
対してZ軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,
θx,θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生す
る第1の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に
交差するXY而で並進する第2の方向(X、Y,θz)
に作用するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、
上記可動体の位置を検出する位置センサと、上記位置セ
ンサ出力に基づいて両駆動手段を制御する制(卸手段と
を備えたものである。
また、請求項2記載のものは、第1の方向(ZθX、θ
y)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の
駆動手段を少なくとも3個の電磁石にて形成するととも
に、第1の方向に交差するXY面で並進する第2の方向
(X、Y,θz)に作用するローレンツ力を発生する第
2の駆動手段を少なくとも3個のリニア直流アクチュエ
ータ(例えば、ボイスコイルモータ)にて形成したもの
である。
y)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の
駆動手段を少なくとも3個の電磁石にて形成するととも
に、第1の方向に交差するXY面で並進する第2の方向
(X、Y,θz)に作用するローレンツ力を発生する第
2の駆動手段を少なくとも3個のリニア直流アクチュエ
ータ(例えば、ボイスコイルモータ)にて形成したもの
である。
さらにまた、請求項3記載のものは、第1の方向(Z,
θx,θy)に作用する吸引力を発生する第1の駆動手
段を少なくとも3個の電磁石にて形成するとともに、上
記可動体に対して第1の方向に交差するXY面で並進す
る第2の方向くX。
θx,θy)に作用する吸引力を発生する第1の駆動手
段を少なくとも3個の電磁石にて形成するとともに、上
記可動体に対して第1の方向に交差するXY面で並進す
る第2の方向くX。
Y,θz)に作用するローレンツ力を発生する第2の駆
動手段を上記電磁石の磁界中に配置され適当な電流が流
される可動コイルにて形成したものである。
動手段を上記電磁石の磁界中に配置され適当な電流が流
される可動コイルにて形成したものである。
[作 用]
本発明は上述のように構成されており、可動体に対して
Z軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,θx,
θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1
の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に交差す
るXY面で並進する第2の方向(X、Y,θz)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、上記可
動体の位置を検出する位置センサと、上記位置センサ出
力に基づいて両駆動手段を制御する制御手段とを備えた
ものであり、両駆動手段により可動体の6軸姿勢制御を
行うことができ、可動体1に部品を把持するグリッパを
設けて部品の自動組み立て装置として使用すれば、方向
性のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立て
を行うことができるようになっている。
Z軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,θx,
θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1
の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に交差す
るXY面で並進する第2の方向(X、Y,θz)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、上記可
動体の位置を検出する位置センサと、上記位置センサ出
力に基づいて両駆動手段を制御する制御手段とを備えた
ものであり、両駆動手段により可動体の6軸姿勢制御を
行うことができ、可動体1に部品を把持するグリッパを
設けて部品の自動組み立て装置として使用すれば、方向
性のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立て
を行うことができるようになっている。
また、請求項2記載のものは、第1の方向に作用する吸
引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手段を少なく
とも3個の電磁石にて形成するとともに、第1の方向に
交差するXY面で並進する第2の方向に作用するローレ
ンツ力を発生する第2の駆動手段を少なくとも3個のリ
ニア直流アクチュエータにて形成したものであり、可動
コイルに流れる電流と発生する力(ローレンツ力)とが
比例するリニア直流アクチュエータを用いて第2の方向
の並進駆動を行っているので、所定範囲内においては駆
動量を考慮することなく可動コイルの電流制御を行うこ
とができ、並進駆動制御を容易に行うことができるよう
になっている。
引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手段を少なく
とも3個の電磁石にて形成するとともに、第1の方向に
交差するXY面で並進する第2の方向に作用するローレ
ンツ力を発生する第2の駆動手段を少なくとも3個のリ
ニア直流アクチュエータにて形成したものであり、可動
コイルに流れる電流と発生する力(ローレンツ力)とが
比例するリニア直流アクチュエータを用いて第2の方向
の並進駆動を行っているので、所定範囲内においては駆
動量を考慮することなく可動コイルの電流制御を行うこ
とができ、並進駆動制御を容易に行うことができるよう
になっている。
さらにまた、請求項3のものにあっては、第1の方向に
作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手
段を形成する電磁石の磁界中に、適当な電流が流される
可動コイルを配置して第2の方向に作用するローレンツ
力を発生させる第2の駆動手段を形成しているので、リ
ニア直流アクチュエータを用いた請求項2力ものに比べ
て永久磁石を必要としない分だけ構成が簡単になってコ
ストが安くなるとともに、小型化が図れるようになって
いる。
作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手
段を形成する電磁石の磁界中に、適当な電流が流される
可動コイルを配置して第2の方向に作用するローレンツ
力を発生させる第2の駆動手段を形成しているので、リ
ニア直流アクチュエータを用いた請求項2力ものに比べ
て永久磁石を必要としない分だけ構成が簡単になってコ
ストが安くなるとともに、小型化が図れるようになって
いる。
[実施例]
第1図乃至第4図は、自動組み立て装置(例えば、部品
Aの孔aに部品Bを挿入する装置)として利用した本発
明一実施例を示すもので、6軸姿勢制御される可動体1
は、磁性体製円板1aの下面中央にペグ1bが突設(Z
軸方向に突設)されベグ1bの先端に部品Bを保持する
グリッパICが設けられており、この可動体1は組み立
てロボットのアームC先端の外枠10内に設けられてい
る。
Aの孔aに部品Bを挿入する装置)として利用した本発
明一実施例を示すもので、6軸姿勢制御される可動体1
は、磁性体製円板1aの下面中央にペグ1bが突設(Z
軸方向に突設)されベグ1bの先端に部品Bを保持する
グリッパICが設けられており、この可動体1は組み立
てロボットのアームC先端の外枠10内に設けられてい
る。
なお、本発明は、実施例の自動組み立て装置の姿勢制御
に限定されるものではなく、各種姿勢制御に適用できる
ことは言うまでもない。ここに、実施例にあっては、可
動体1に対してZ軸方向とその回りに揺動する第1の方
向(Z,θx,θy)に作用する吸引力を発生する第1
の駆動手段を3個の電磁石2..22.2sにて形成す
るとともに、上記可動体1に対して第1の方向に交差す
るXY面で並進する第2の方向(X、Y,θz)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段を3個のリ
ニア直流アクチュエータ31,3□、33にて形成し、
上記可動体1の位置を検出する磁気式の位置センサ41
〜4.(第1の方向の位置検出)および位置センサ4.
〜46(第2の方向の位置検出)出力に基づいて両駆動
手段を制御するマイクロコンピュータ5にて形成される
制御手段を設けたものである。図中、6は可動体1を吸
引して浮上させるための浮上用電磁石、7は位置センサ
4、〜46から構成される装置情報をマイクロコンピュ
ータ5に取り込むためのインターフェース、8は電磁石
2 +1 22+ 23のコイルおよびリニア直流アク
チュエータ31,32.33の可動コイル3bに流す所
定電流をマイクロコンピュータ5からの指令によって供
給するアンプ、9は駆動用電源である。図示例では、第
1の駆動手段を3個の電磁石2+、22.23にて形成
し、第2の駆動手段を3個のリニア直流アクチュエータ
36,3□、3゜にて形成しているが、それぞれ3個以
上で形成しても良い。また、実施例にあっては、可動体
1の上下両側に配置された電磁石6および電磁石22□
、23による可動体1側の磁束を異極性とし、可動体1
に対して電磁石6および電磁石2..22゜2、の吸引
力が作用するようにしているが、磁束の極性を同一極性
とし、可動体1に対して電磁石6および電磁石2 +
+ 22+ 23による反発力が作用するようにしても
良い。さらにまた、浮上用の電磁石6に変えてコイルば
ねあるいはばね性を付与したピアノ線を用いても良い。
に限定されるものではなく、各種姿勢制御に適用できる
ことは言うまでもない。ここに、実施例にあっては、可
動体1に対してZ軸方向とその回りに揺動する第1の方
向(Z,θx,θy)に作用する吸引力を発生する第1
の駆動手段を3個の電磁石2..22.2sにて形成す
るとともに、上記可動体1に対して第1の方向に交差す
るXY面で並進する第2の方向(X、Y,θz)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段を3個のリ
ニア直流アクチュエータ31,3□、33にて形成し、
上記可動体1の位置を検出する磁気式の位置センサ41
〜4.(第1の方向の位置検出)および位置センサ4.
〜46(第2の方向の位置検出)出力に基づいて両駆動
手段を制御するマイクロコンピュータ5にて形成される
制御手段を設けたものである。図中、6は可動体1を吸
引して浮上させるための浮上用電磁石、7は位置センサ
4、〜46から構成される装置情報をマイクロコンピュ
ータ5に取り込むためのインターフェース、8は電磁石
2 +1 22+ 23のコイルおよびリニア直流アク
チュエータ31,32.33の可動コイル3bに流す所
定電流をマイクロコンピュータ5からの指令によって供
給するアンプ、9は駆動用電源である。図示例では、第
1の駆動手段を3個の電磁石2+、22.23にて形成
し、第2の駆動手段を3個のリニア直流アクチュエータ
36,3□、3゜にて形成しているが、それぞれ3個以
上で形成しても良い。また、実施例にあっては、可動体
1の上下両側に配置された電磁石6および電磁石22□
、23による可動体1側の磁束を異極性とし、可動体1
に対して電磁石6および電磁石2..22゜2、の吸引
力が作用するようにしているが、磁束の極性を同一極性
とし、可動体1に対して電磁石6および電磁石2 +
+ 22+ 23による反発力が作用するようにしても
良い。さらにまた、浮上用の電磁石6に変えてコイルば
ねあるいはばね性を付与したピアノ線を用いても良い。
なお、上記実施例では、第1の駆動手段を電磁石21.
22123および電磁石6を用いて形成し磁気的に吸引
力あるいは反発力を発生させているが、各電磁石21.
2□、23.5に代えてエアーノズルを設け、エアーノ
ズルから噴き出される空気流によって可動体1に反発力
を1付与するようにしても良い。
22123および電磁石6を用いて形成し磁気的に吸引
力あるいは反発力を発生させているが、各電磁石21.
2□、23.5に代えてエアーノズルを設け、エアーノ
ズルから噴き出される空気流によって可動体1に反発力
を1付与するようにしても良い。
以下、実施例の動作について説明する。第4図および第
5図はリニア直流アクチュエータ33□、3.の構成お
よび動作を説明する図であり、リニア直流アクチュエー
タ31,32.3sは、8字形に形成され外枠10に固
定された永久磁石3aと、8字形の永久磁石3aの中央
片に外挿され可動体1に取着された筒状の可動コイル3
bとで構成されており、可動コイル3bに電流を流すこ
とにより発生するローレンツ力Fにて可動コイル3bを
駆動するようになっている。このとき、各リニア直流ア
クチュエータ31.32.33により可動体1に作用す
るローレンツ力Fは、可動コイル3bの巻数をn、可動
コイル3bに流す電流をI、永久磁石3aによる磁束密
度をB、磁界中の可動コイル3bの長さをLとすれば、 F=n ・ ■ ・ B−L・・・・・・・・・・・
・(1)となる。
5図はリニア直流アクチュエータ33□、3.の構成お
よび動作を説明する図であり、リニア直流アクチュエー
タ31,32.3sは、8字形に形成され外枠10に固
定された永久磁石3aと、8字形の永久磁石3aの中央
片に外挿され可動体1に取着された筒状の可動コイル3
bとで構成されており、可動コイル3bに電流を流すこ
とにより発生するローレンツ力Fにて可動コイル3bを
駆動するようになっている。このとき、各リニア直流ア
クチュエータ31.32.33により可動体1に作用す
るローレンツ力Fは、可動コイル3bの巻数をn、可動
コイル3bに流す電流をI、永久磁石3aによる磁束密
度をB、磁界中の可動コイル3bの長さをLとすれば、 F=n ・ ■ ・ B−L・・・・・・・・・・・
・(1)となる。
ここに、可動体1に作用する力は、各リニア直流アクチ
ュエータ31,3□、33によるローレンツ力F、、F
2.F3の合力となり、各リニア直流アクチュエータ3
.,32.33の可動コイル3bに流れる電流値を適当
に設定することにより、可動体1を並進駆動して第2の
方向(X、Y,θz)の位置制御を行うとともに、電気
−磁気相互作用によるコンプライアンス制御を行うよう
になっている。
ュエータ31,3□、33によるローレンツ力F、、F
2.F3の合力となり、各リニア直流アクチュエータ3
.,32.33の可動コイル3bに流れる電流値を適当
に設定することにより、可動体1を並進駆動して第2の
方向(X、Y,θz)の位置制御を行うとともに、電気
−磁気相互作用によるコンプライアンス制御を行うよう
になっている。
一方、外枠2に固定された電磁石2.2□、23よりな
る第1の駆動手段による第1の方向(Z。
る第1の駆動手段による第1の方向(Z。
θX、θy)の位置制御は、電磁石2.、22.23の
励磁電流を適当に設定することにより下方への吸引力を
制御し、電磁石6による上方への吸引力と釣り合った位
置に可動体1を駆動するようにしている。なお、実施例
では、電磁石2..22゜2、および電磁石6による吸
引力を利用して可動体1の位置制御を行っているが、反
発力を利用しても良いことは言うまでもない。
励磁電流を適当に設定することにより下方への吸引力を
制御し、電磁石6による上方への吸引力と釣り合った位
置に可動体1を駆動するようにしている。なお、実施例
では、電磁石2..22゜2、および電磁石6による吸
引力を利用して可動体1の位置制御を行っているが、反
発力を利用しても良いことは言うまでもない。
以上のように、本実施例にあっては、可動体1を第1の
方向(Z,θx,θy)に駆動する電磁石21.2□、
2.の励磁電流と、第2の方向に駆動するリニア直流ア
クチュエータ3..32,3゜の可動コイル3bに流れ
る電流とを適当に制御することにより、可動体1の6軸
姿勢制御を行うことができ、実施例のように可動体1に
部品を把持するグリッパICを設けて部品の自動組み立
て装置として使用すれば、方向性のある部品の挿着、部
品同士の位置会わせや組み立てを行うことができる。ま
た、所定範囲(永久磁石3aの磁束内に可動コイル3b
が存在する範囲)内において、可動コイル3aに流れる
電流と発生する力(ローレンツ力)とが比例するリニア
直流アクチュエータ3、.32,3.を用いて第2の方
向(X、Y,θz)の並進駆動を行っているので、所定
範囲内においては駆動量を考慮することなく可動コイル
3bの電流制御を行うことができ、並進駆動制御を容易
に行うことができるようになっている。
方向(Z,θx,θy)に駆動する電磁石21.2□、
2.の励磁電流と、第2の方向に駆動するリニア直流ア
クチュエータ3..32,3゜の可動コイル3bに流れ
る電流とを適当に制御することにより、可動体1の6軸
姿勢制御を行うことができ、実施例のように可動体1に
部品を把持するグリッパICを設けて部品の自動組み立
て装置として使用すれば、方向性のある部品の挿着、部
品同士の位置会わせや組み立てを行うことができる。ま
た、所定範囲(永久磁石3aの磁束内に可動コイル3b
が存在する範囲)内において、可動コイル3aに流れる
電流と発生する力(ローレンツ力)とが比例するリニア
直流アクチュエータ3、.32,3.を用いて第2の方
向(X、Y,θz)の並進駆動を行っているので、所定
範囲内においては駆動量を考慮することなく可動コイル
3bの電流制御を行うことができ、並進駆動制御を容易
に行うことができるようになっている。
さらに、実施例では、電磁石21.22+ 2:lの磁
気吸引力あるいは磁気反発力を利用して第1の方向(Z
,θx,θy)の位置制御を行っており、Z軸方向を部
品挿入方向として大きな挿入力を得ることができるよう
になっている。
気吸引力あるいは磁気反発力を利用して第1の方向(Z
,θx,θy)の位置制御を行っており、Z軸方向を部
品挿入方向として大きな挿入力を得ることができるよう
になっている。
第7図乃至第9図は他の実施例を示すもので、可動体1
に対して第1の方向(Z,θx,θy)に作用する吸引
力を発生する第1の駆動手段を、前記実施例と同様に、
少なくとも3個の電磁石222.23にて形成するとと
もに、上記可動体1に対して第2の方向(X、Y,θz
)に作用するローレンツ力を発生する第2の駆動手段を
、上記電磁石2+、22,2.の磁界中に配置され適当
な電流が流される可動コイル11..112,113に
て形成したものである。なお、本実施例では、可動体1
をコイルばね12にて吊り下げており、可動コイル11
=、112.11−を偏平コイルにて形成しているが、
可動体1をピアノ線で吊り下げても良く、電磁石の吸引
力で保持しても良い。
に対して第1の方向(Z,θx,θy)に作用する吸引
力を発生する第1の駆動手段を、前記実施例と同様に、
少なくとも3個の電磁石222.23にて形成するとと
もに、上記可動体1に対して第2の方向(X、Y,θz
)に作用するローレンツ力を発生する第2の駆動手段を
、上記電磁石2+、22,2.の磁界中に配置され適当
な電流が流される可動コイル11..112,113に
て形成したものである。なお、本実施例では、可動体1
をコイルばね12にて吊り下げており、可動コイル11
=、112.11−を偏平コイルにて形成しているが、
可動体1をピアノ線で吊り下げても良く、電磁石の吸引
力で保持しても良い。
また、他の構成および動作は前記実施例と同一である。
以下、本実施例の動作について説明する。第10図は動
作説明図であり、いま、電磁石21.222、にて発生
される磁界中に、可動コイル11112.11.を配置
してリニア直流アクチュエータ31132.33と同様
の機能を得るようにしており、この可動コイル11..
112,113に適当な電流を流すことによりローレン
ツ力FA、FRF0がそれぞれ発生し、これらのローレ
ンツ力FAFB、Fcの合力が可動体1を第2の方向に
駆動する力として作用し、前記実施例と同様に、可動体
1の6軸姿勢制御が行えるようになっている。この場合
、永久磁石3aを用いることなくローレンツ力FA、F
、、FCを発生させているので、リニア直流アクチュエ
ータ31,3□、3.を用いた前記実施例に比べて永久
磁石3aを必要としない分だけ構成が簡単になってコス
トが安くなるととらに、小型化が図れるようになってい
る。
作説明図であり、いま、電磁石21.222、にて発生
される磁界中に、可動コイル11112.11.を配置
してリニア直流アクチュエータ31132.33と同様
の機能を得るようにしており、この可動コイル11..
112,113に適当な電流を流すことによりローレン
ツ力FA、FRF0がそれぞれ発生し、これらのローレ
ンツ力FAFB、Fcの合力が可動体1を第2の方向に
駆動する力として作用し、前記実施例と同様に、可動体
1の6軸姿勢制御が行えるようになっている。この場合
、永久磁石3aを用いることなくローレンツ力FA、F
、、FCを発生させているので、リニア直流アクチュエ
ータ31,3□、3.を用いた前記実施例に比べて永久
磁石3aを必要としない分だけ構成が簡単になってコス
トが安くなるととらに、小型化が図れるようになってい
る。
[発明の効果]
本発明は上述のように構成されており、可動体に対して
Z軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,θx,
θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1
の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に交差す
るX7面で並進する第2の方向(X、Y、θZ)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、上記可
動体の位置を検出する位置センサと、上記位置センサ出
力に基づいて両駆動手段を制御する制御手段とを備えた
ものであり、両駆動手段により可動体の6軸姿勢制御を
行うことができ、可動体1に部品を把持するグリッパを
設けて部品の自動組み立て装置として使用すれば、方向
性のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立て
を行うことができるという効果がある。
Z軸方向とその回りに揺動する第1の方向(Z,θx,
θy)に作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1
の駆動手段と、上記可動体に対して第1の方向に交差す
るX7面で並進する第2の方向(X、Y、θZ)に作用
するローレンツ力を発生する第2の駆動手段と、上記可
動体の位置を検出する位置センサと、上記位置センサ出
力に基づいて両駆動手段を制御する制御手段とを備えた
ものであり、両駆動手段により可動体の6軸姿勢制御を
行うことができ、可動体1に部品を把持するグリッパを
設けて部品の自動組み立て装置として使用すれば、方向
性のある部品の挿着、部品同士の位置合わせや組み立て
を行うことができるという効果がある。
また、請求項2記載のものは、第1の方向に作用する吸
引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手段を少なく
とも3個の電磁石にて形成するとともに、第1の方向に
交差するX7面で並進する第2の方向に作用するローレ
ンツ力を発生する第2の駆動手段を少なくとも3個のリ
ニア直流アクチュエータにて形成したものであり、可動
コイルに流れる電流と発生する力(ローレンツ力)とが
比例するリニア直流アクチュエータを用いて第2の方向
の並進駆動を行っているので、所定範囲内においては駆
動量を考慮することなく可動コイルの電流制御を行うこ
とができ、並進駆動制御を容易に行うことができるとい
う効果がある。
引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手段を少なく
とも3個の電磁石にて形成するとともに、第1の方向に
交差するX7面で並進する第2の方向に作用するローレ
ンツ力を発生する第2の駆動手段を少なくとも3個のリ
ニア直流アクチュエータにて形成したものであり、可動
コイルに流れる電流と発生する力(ローレンツ力)とが
比例するリニア直流アクチュエータを用いて第2の方向
の並進駆動を行っているので、所定範囲内においては駆
動量を考慮することなく可動コイルの電流制御を行うこ
とができ、並進駆動制御を容易に行うことができるとい
う効果がある。
さらにまた、請求項3のものにあっては、第1の方向に
作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手
段を形成する電磁石の磁界中に、適当な電流が流される
可動コイルを配置して第2の方向に作用するローレンツ
力を発生させる第2の駆動手段を形成しているので、リ
ニア直流アクチュエータを用いた請求項2のものに比べ
て永久磁石を!z・要としない分だけ構成が簡単になっ
てコストが安くなるとともに、小型化が図れるという効
果がある。
作用する吸引力あるいは反発力を発生する第1の駆動手
段を形成する電磁石の磁界中に、適当な電流が流される
可動コイルを配置して第2の方向に作用するローレンツ
力を発生させる第2の駆動手段を形成しているので、リ
ニア直流アクチュエータを用いた請求項2のものに比べ
て永久磁石を!z・要としない分だけ構成が簡単になっ
てコストが安くなるとともに、小型化が図れるという効
果がある。
第1図は本発明一実施例の概略構成図、第2図は同上の
要部斜視図、第3図は同上の要部分解斜視図、第4図は
第3図のA−A線断面図、第5図および第6図は同上の
要部概略構成および動作を示す説明図、第7図は他の実
施例の概略構成図、第8図は同上の要部斜視図、第9図
は同上の要部斜視図、第10図は同上の動作説明図、第
11図は従来例の概略構成図、第12図(a)(b)は
他の従来例の概略構成図、第13図はさらに他の従来例
の概略構成図である。 1は可動体、2..22.23は電磁石、37,32.
3.はリニア直流アクチュエータ、41〜46は位置セ
ンサ、5はマイクロコンピュータ、6は電磁石、I I
I、112,113は可動コイルである。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第2F!!! 第3図 第1図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8 図 第11図 第13図 (b)
要部斜視図、第3図は同上の要部分解斜視図、第4図は
第3図のA−A線断面図、第5図および第6図は同上の
要部概略構成および動作を示す説明図、第7図は他の実
施例の概略構成図、第8図は同上の要部斜視図、第9図
は同上の要部斜視図、第10図は同上の動作説明図、第
11図は従来例の概略構成図、第12図(a)(b)は
他の従来例の概略構成図、第13図はさらに他の従来例
の概略構成図である。 1は可動体、2..22.23は電磁石、37,32.
3.はリニア直流アクチュエータ、41〜46は位置セ
ンサ、5はマイクロコンピュータ、6は電磁石、I I
I、112,113は可動コイルである。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第2F!!! 第3図 第1図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8 図 第11図 第13図 (b)
Claims (3)
- (1)可動体に対してZ軸方向とその回りに揺動する第
1の方向(Z,θx,θy)に作用する吸引力あるいは
反発力を発生する第1の駆動手段と、上記可動体に対し
て第1の方向に交差するXY面で並進する第2の方向(
X,Y,θz)に作用するローレンツ力を発生する第2
の駆動手段と、上記可動体の位置を検出する位置センサ
と、上記位置センサ出力に基づいて両駆動手段を制御す
る制御手段とを備えた6軸姿勢制御装置。 - (2)可動体に対してZ軸方向とその回りに揺動する第
1の方向(Z,θx,θy)に作用する吸引力あるいは
反発力を発生する第1の駆動手段を少なくとも3個の電
磁石にて形成するとともに、上記可動体に対して第1の
方向に交差するXY面で並進する第2の方向(X,Y,
θz)に作用するローレンツ力を発生する第2の駆動手
段を少なくとも3個のリニア直流アクチュエータにて形
成し、上記可動体の位置を検出する位置センサ出力に基
づいて両駆動手段を制御する制御手段を設けたことを特
徴とする6軸姿勢制御装置。 - (3)可動体に対してZ軸方向とその回りに揺動する第
1の方向(Z,θx,θy)に作用する吸引力を発生す
る第1の駆動手段を少なくとも3個の電磁石にて形成す
るとともに、上記可動体に対して第1の方向に交差する
XY面で並進する第2の方向(X,Y,θz)に作用す
るローレンツ力を発生する第2の駆動手段を上記電磁石
の磁界中に配置され適当な電流が流される可動コイルに
て形成し、上記可動体の位置を検出する位置センサ出力
に基づいて両駆動手段を制御する制御手段を設けたこと
を特徴とする6軸姿勢制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10513889A JPH0785855B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 6軸磁気制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10513889A JPH0785855B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 6軸磁気制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284829A true JPH02284829A (ja) | 1990-11-22 |
| JPH0785855B2 JPH0785855B2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=14399392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10513889A Expired - Fee Related JPH0785855B2 (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 6軸磁気制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785855B2 (ja) |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP10513889A patent/JPH0785855B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0785855B2 (ja) | 1995-09-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2834832B2 (ja) | 姿勢制御装置 | |
| US4514674A (en) | Electromagnetic X-Y-Theta precision positioner | |
| JPH05504100A (ja) | 超高速電気力学式x、y、θ位置決めステージ | |
| JPH0790483B2 (ja) | コンプライアンス制御方法及びシステム | |
| JPS60134918A (ja) | 精密位置決め装置 | |
| JPH06226671A (ja) | ロボットハンド制御装置 | |
| JPH11511319A (ja) | 単一平面内において直交運動を行わせるためのモーターシステム | |
| JPH02284829A (ja) | 6軸磁気制御装置 | |
| JP2740330B2 (ja) | 4軸姿勢制御装置 | |
| JP2823313B2 (ja) | 6軸姿勢制御装置 | |
| JP2533645B2 (ja) | 部品挿入装置 | |
| JPH03276314A (ja) | 姿勢制御装置 | |
| JP3078898B2 (ja) | コンプライアンス機構を用いたワークの挿入方法 | |
| JP2793395B2 (ja) | コンプライアンス機構による可動体の姿勢制御方法 | |
| JP2573390B2 (ja) | 6軸姿勢制御装置 | |
| JP3170327B2 (ja) | コンプライアンス機構による可動体の姿勢制御方法 | |
| JP2714439B2 (ja) | 直流アクチュエータおよびそれを用いた6軸姿勢制御装置 | |
| KR100434975B1 (ko) | 범용 나노 스테이지의 구동장치 및 그 방법 | |
| JPH0125677B2 (ja) | ||
| JP6157209B2 (ja) | アクチュエータのクランプ機構 | |
| JP3603615B2 (ja) | Xy軸ヘッド位置決め装置 | |
| Higuchi | Applications of Magnetic Bearings in Robotics | |
| JP2000158365A (ja) | 磁気浮上型マイクロハンド | |
| JP2000326162A (ja) | 多自由度加工ステージ装置 | |
| JPH0750413B2 (ja) | 6軸磁気制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |