JPH0228593U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0228593U JPH0228593U JP10676488U JP10676488U JPH0228593U JP H0228593 U JPH0228593 U JP H0228593U JP 10676488 U JP10676488 U JP 10676488U JP 10676488 U JP10676488 U JP 10676488U JP H0228593 U JPH0228593 U JP H0228593U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- vacuum pump
- flow path
- gas flow
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案にかかる渦流形真空ポンプの一
実施例を示す断面図、第２図はロータの平面図、
第３図は該ロータの断面図、第４図は該ロータの
要部の拡大側面図、第５図及び第６図はロータの
別の実施例を示す断面図、第７図は従来の渦流形
真空ポンプの一例を示す概略断面図である。 ２……吸気口、３……排気口、７０……気体流
路、８，８００，８０１……ロータ、８０……羽
根、Ｓ１，Ｓ２……切欠部、Ｐ１，Ｐ２……板材
。
実施例を示す断面図、第２図はロータの平面図、
第３図は該ロータの断面図、第４図は該ロータの
要部の拡大側面図、第５図及び第６図はロータの
別の実施例を示す断面図、第７図は従来の渦流形
真空ポンプの一例を示す概略断面図である。 ２……吸気口、３……排気口、７０……気体流
路、８，８００，８０１……ロータ、８０……羽
根、Ｓ１，Ｓ２……切欠部、Ｐ１，Ｐ２……板材
。
Claims (1)
- 吸気口２と排気口３との間に、気体流路７０内
に羽根８０を配設するロータ８，８００，８０１
を設けた渦流形真空ポンプであつて、前記ロータ
８，８００，８０１を、前記羽根８０を形作る切
欠部Ｓ１，Ｓ２もつた複数枚の板材Ｐ１，Ｐ２を
積層して形成していることを特徴とする渦流形真
空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10676488U JPH0228593U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10676488U JPH0228593U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228593U true JPH0228593U (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=31340571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10676488U Pending JPH0228593U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228593U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004360697A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Varian Spa | 真空ポンプ用固定翼の製造方法およびそれにより得られる固定翼 |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP10676488U patent/JPH0228593U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004360697A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Varian Spa | 真空ポンプ用固定翼の製造方法およびそれにより得られる固定翼 |