JPH0228612Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は主として半導体の製造に使用されるウ
エハを収容したカセツトケースの装填装置に関す
る。

従来この種ウエハを第１図示のようにカセツト
ケースａ内に出し入れ自在に層状に収容してお
き、これを第２図示のようなイオン注入装置ｂの
カセツトケース収容室ｃ内に収め、該ケースａか
ら順次ウエハｄを真空の処理室ｅ内に送り出して
表面処理を施した後別の収容室ｆに用意された空
のカセツトケースｇに収容することが行なわれて
いる。而してカセツトケースａ内のウエハｄの処
理が終了するとその都度カセツトケースａ，ｇを
別のものに人手により交換するを要し、作業性が
悪くなる欠点がある。

こうした欠点はカセツトケースを間隔を存して
載置したテーブルを上下２段に配置し、各テーブ
ルを同期して間歇的に旋回装置で旋回させ、各テ
ーブルに沿つて、これと表面処理装置のカセツト
収容室との間を該ケースを載せて往復移動する移
動台を設けることで解決出来るが、表面処理装置
のカセツトケース収容室は一般に第２図に見られ
るように傾けられると共に斜めに上下され、ウエ
ハの落下でケースから送り出し或は収容するので
該収容室をケースの取出しのために水平に戻して
もケースは収容室の側壁に接した状態にあり、移
動台で取出す場合ケースはこれと側面との摺接で
移動台上に正確に載らず転落する事故を生ずるこ
とがある。

本考案はカセツトケースの転落等の事故を防止
した装填装置を提供することを目的としたもの
で、ウエハ１を出し入れ自在に収容可能なカセツ
トケース２が間隔を存して載置されたテーブル
３，３を上下２段に配置し、これらテーブル３，
３を同期して間歇的に旋回させる旋回装置４に接
続すると共に、各テーブル３，３に沿つて、これ
とその側方のイオン注入装置その他のウエハ表面
処理装置５のカセツトケース収容室６との間を該
ケース２を載せて往復移動する移動台７を設ける
式のものに於て、該移動台７を構成する移動テー
ブル８に、その移動方向に対して横方向に移動可
能な横動テーブル９を設け、該横動テーブル９に
該移動テーブル８に係着したリンク１０を腕片１
１を係合させ、移動テーブル８がカセツトケース
収容室６に達して停止したとき移動テーブル８の
移動力で該リンク８を揺動すべくばね１２を介し
て該リンク１０と移動テーブル８を連結して成
る。

第３図はその１例を示すもので、これに於ては
カセツトケース２は略円形のテーブル３，３に
60゜間隔で６個ずつ載置されるようにし、両テー
ブル３，３は機枠１３に垂直に設けた回転軸１４
にボス１５を介して上下２段に取付けした。

また各テーブル３，３には第４図示のようにカ
セツトケース２の位置設定装置１６と櫛形の長溝
１７とが設けられ、該長溝１７を介して各テーブ
ル３，３の下方の移動台７の突片１８が上昇する
とカセツトケース２が持ち上げられて移動自在と
なる。該移動台７は第３図及び第５図に見られる
ように基台１９上のシリンダ２０により昇降され
る昇降テーブル２１と、該昇降テーブル２１に設
けた水平の案内杆２２に沿つて摺動自在の前記移
動テーブル８と、該移動テーブル８上をその移動
方向に対して横方向に移動自在で上方に突片１８
を形成した前記横動テーブル９とで構成され、該
移動テーブル８及び横動テーブル９は該基台１９
に設けたシリンダ２３により案内杆２２に沿つて
ストツパ２４に当接するまで移動される。

該横動テーブル９には移動テーブル８から突設
した係合軸２５，２６の一方に係合する横方向に
長い長孔２７を形成すると共にシリンダ２３によ
り両係合軸２５，２６を中心に前後に揺動され得
るリンク１０の腕片１１と係合する長溝２８を形
成し、前記ストツパ２４にテーブル８，９が当接
するに至ると該リンク１０はこれと移動テーブル
８との間に張設したばね１２に抗して揺動され、
これに伴ない長溝２８の側方が腕片１１で押され
て横動テーブル９が移動テーブル８上を横方向に
移動する。該ばね１２にはテーブル８，９の移動
力よりも強い力で変形するものが用いられる。こ
の横方向の移動を移動台７に行なわせることによ
つて、カセツトケース２を収容室６から取出す場
合にその側壁６ａにカセツトケース２が接してい
てもこれを離すことが出来、前記したようにケー
ス１と側壁６ａとが摺接して移動台７に不安定に
載り転落する事故が防げる。またカセツトケース
２を収容室６に収める場合には収容室６の入口の
真中から入れることになるので入口の縁部にケー
ス２が衝突して転落することも防げる。

尚、該収容室６の底板２９には移動台７の突片
１８が進入し且つ横動し得る程度に幅広の櫛形の
長溝３０を形成し、また該室６内のケース２は該
室６の側方に設けたシリンダ６ｂでウエハ１の取
出し側の側壁６ａに押しつけられて安定するよう
にした。

旋回装置４は例えば第６図示の如く回転軸１４
の上部に設けた電磁クラツチ３１と、これを60゜
旋回させるべくストツパ３８，３８で制限されて
出没するシリンダ３２と、回転軸１４の上端に固
定した円板３３の切溝３４に係合すべくシリンダ
３５で出没される係合爪３６で構成され、該係合
爪３６がシリンダ３５により切溝３４との係合か
ら解除されるとクラツチ３１が入ると共にシリン
ダ３２が伸長して回転軸１４に60゜の旋回を与え、
再び係合爪３６が切溝３４と係合するとクラツチ
３１が切れシリンダ３２が縮み、回転軸１４と一
体のテーブル３，３に間歇的な旋回を行なわせ
る。

次にその作動を説明するに、上方のテーブル３
に表面処理されるべきウエハ１を収容したカセツ
トケース２の６個を載置し、下方のテーブル３に
空のカセツトケース２の６個が載置されると各テ
ーブル３の下方の移動台７の各昇降テーブル２１
がシリンダ２０で上昇されて突片１８がその上方
のケース２を夫々持ち上げる。次で各移動台７の
移動テーブル８はシリンダ２３により横動テーブ
ル９と共に表面処理装置のカセツトケース収容室
６へと移動する。

ケース２が該室６内に収まつた移動端に移動テ
ーブル８が達するとストツパ２４に当つて移動テ
ーブル８は停止するがシリンダ２３はリンク１０
をなお押し続けるので該リンク１０はばね１２に
抗して揺動され、その腕片１１が移動テーブル８
上の横動テーブル９を横移動させる。これにより
各ケース２は収容室６，６内の側壁６ａに当接す
るように夫々収容される。

このあと昇降テーブル２１が下降され、シリン
ダ２３が縮小して移動テーブル８及び横動テーブ
ル９は各テーブル３，３の下方に戻る。該横動テ
ーブル９はシリンダ２３の縮小の際にばね１２に
引かれて原位置に復帰する。

ウエハ表面処理装置では上方の収容室６のケー
ス２から順次ウエハ１が自重落下等で処理室内に
送り込まれ、そこでイオン注入その他の処理が終
ると下方の収容室６の空のケース２内にウエハ１
が送られる。

上方のケース２が空になり、下方のケース２が
処理済みのウエハ１で一杯になると各移動台７の
移動テーブル８は昇降テーブル２１を下降させた
まま収容室６へと移動する。移動テーブル８の移
動端ではリンク１０のばね１２に抗しての揺動に
より横動テーブル９が横動し、次いで昇降テーブ
ル２１が上昇して各収容室６内のケース２を持ち
上げ、移動テーブル８がテーブル３の下方に戻る
が、該移動テーブル８の戻りに際しては横動テー
ブル９がばね１２の縮みによりまず横動復帰する
ので収容室６の側壁６ａに当接したケース２を側
壁６ａから離して持ち出せ、ケース２が側壁６ａ
と摺接することがなく、転落せずに安全にケース
２を各テーブル３上に戻せる。

各ケース２は昇降テーブル２１の下降でテーブ
ル３上に置かれる。このあと旋回装置４の係合爪
３６が外されシリンダ３５が伸長すると上下のテ
ーブル３，３が同期して旋回し、各移動台７上に
次のカセツトケース２が夫々位置する。

以上の作動を上方のテーブル３の全てのカセツ
トケース２が空になり、下方のテーブル３の全て
のカセツトケース２が処理済のウエハで満たされ
るまで繰返す。

このように本考案によるときは移動台７に横動
テーブル９を設け、これを移動テーブル８のばね
１２に抗して揺動するリンク１０により横動させ
るようにしたので表面処理装置５の収容室６の側
壁６ａにケース２を摺接することなく出し入れ出
来、テーブル３，３と収容室６の間と移送される
ケース２の転落事故を防げる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はカセツトケースの斜視図、第２図はイ
オン注入装置の一部の側面線図、第３図は本発明
の実施例の一部截断側面図、第４図及び第５図は
第３図の−線及び−線截断平面図、第６
図は第３図の平面図である。 １……ウエハ、２……カセツトケース、３，３
……テーブル、４……旋回装置、５……ウエハ表
面処理装置、６……カセツトケース収容室、７…
…移動台、８……移動テーブル、９……横動テー
ブル、１０……リンク、１１……腕片、１２……
ばね。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ウエハ１を出し入れ自在に収容可能なカセツト
   ケース２が間隔を存して載置されたテーブル３，
   ３を上下２段に配置し、これらテーブル３，３を
   同期して間歇的に旋回させる旋回装置４に接続す
   ると共に、各テーブル３，３に沿つて、これとそ
   の側方のイオン注入装置その他のウエハ表面処理
   装置５のカセツトケース収容室６との間を該ケー
   ス２を載せて往復移動する移動台７を設ける式の
   ものに於て、該移動台７を構成する移動テーブル
   ８に、その移動方向に対して横方向に移動可能な
   横動テーブル９を設け、該横動テーブル９に該移
   動テーブル８に係着したリンク１０の腕片１１を
   係合させ、移動テーブル８がカセツトケース収容
   室６に達して停止したとき移動テーブル８の移動
   力で該リンク１０を揺動すべくばね１２を介して
   該リンク１０と移動テーブル８を連結して成るウ
   エハ用カセツトケースの装填装置。