JPH0228949A - ピッチ変換機及びそれを用いたピッチ変換方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェハ等の板状体のピッチ変換方法に
関する。

（従来の技術） 一般に、半導体製造装置では、石英等を用いて形成され
たボートに載置されたウェハ群を熱処理部へ搬入、搬出
することにより多量のウェハに対する熱拡散処理等をま
とめて行っている。

従って、例えばウェハに対するこのような熱拡散処理を
行う場合には、複数枚のウェハ群を整列収容した容器、
たとえばカセット等からウェハ移送装置を用いてウェハ
群を取出し、これをボート上に載置するローディング作
業を行う必要がある。

また拡散処理終了後には、ボート上に載置されたウェハ
群をウェハ移送装置を用いて再び元のカセットに収納す
るアンローディング作業を行う必要がある。

このような作業を行うため、従来のウェハ移送装置には
、カセットの下方よりウェハを突き上げるための押し上
げ機と、押し上げられたウェハをチャック可能なように
開閉自在に形成された一対のチャックとが設けられてお
り、これら各チャックの相対向する内面には、互いに平
行に形成された複数の垂直保持溝が形成されている。

そして、ローディング作業を行う場合には、カセット内
に整列収納された複数のウェハ群をウェハ押し上げ機を
用いてカセットの上方所定位置まで移送し、移送された
ウェハ群を前記チャックを用いてその両側から挟持し、
ボートへ向は搬送する。ボート上には一定間隔で複数の
収納溝が形成されているため、ローディングされたウェ
ハは一定間隔でこの溝に沿って整列収納載置されること
になる。このようなローディング作業は、カセットステ
ージ上に載置された複数のカセットに対し繰返し行われ
るので、複数のカセット内に収納されたウェハ群はボー
ト上に次々と移載されることになる。

ところで、前記カセット内には、一般に３／１６インチ
ピッチ間隔で最大２５枚のウェハが収納され、通常この
ウェハ群は前記ウェハ移送装置を用いて同じピッチ間隔
でボート上に移送される。

しかし、これらウェハに対するＣＶＤ、拡散。

酸化等の各種処理を行う都合上、ボート上に複数枚のウ
ェハをカセット内とは異るピッチ間隔、たとえば６／１
６インチピッチ、９／１６インチピッチのように２倍、
３倍・・・のピッチ間隔あるいはこれよりも少ピッチの
１／８インチ等で移載することが要求されることも多い
。

このようなピッチ間隔を変えたウェハ移送を行うことは
、従来のような固定された溝のものでは実行不可能であ
る。

そこで、ピッチ変換を実行するための種々の提案が成さ
れているが、従来のものはいずれもウェハの両端を挾持
するチャックのピッチを可変するものであり、このよう
なピッチ変換機の一例として、実開昭６１−６６９４４
号公報に開示されているものを挙げることができる。

これは、第１１図に示すように、複数のウェハ１をそれ
ぞれの面が互いに平行になるように保持する複数のチャ
ック２ａからなるチャック機構２と、このチャック２ａ
をそれぞれ独立に動作させてウェハ１間のピッチを可変
する複数のリンク部材３と、前記複数のリンク部材３を
同時に駆動する駆動機構４から構成されている。

そして、前記リンク部材３は、その支点位Ｗ３ａがそれ
ぞれ異なっていて、前記駆動機構の回転によってリンク
部材３の一端をそれぞれ等距離移動することで、その他
端が支点位置に応じて異なる距離だけ移動し、これによ
ってピッチ変換を実行しようとするものである。

（発明が解決しようとする課題） 上述した従来の装置では、チャック部材２ａを独立に駆
動するために、各チャック部材２ａ毎にリンク部材３を
要し、しかも各リンク部材の構成がそれぞれ異なるもの
であるので、構成が極めて煩雑であって装置が大型化す
るという問題があった。

しかも、リンク部材３の一端を等距離移動させた場合の
他端の移動は厳密には円弧状に沿うものであり、直線移
動すべきチャック部材２ａの円弧状の軌跡によって移動
させているため、移動時の抵抗が大きく、円滑な移動を
確保することができない。

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
問題に対処してなされたもので、板状体をチャックする
チャック部を有する場合にあっても、そのチャック部を
可変ピッチとすることは必ずしも要せず、容器との間で
板状体を受は渡すのに使用するハンドラーを改良するこ
とで、確実にピッチ変換することができる板状体のピッ
チ変換方法を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明に係わる板状体のピッチ変換方法は、複数枚の板
状体を所定ピッチ毎に配列支持する容器に対し１．少な
くとも板状体を挿脱する方向に往復動可能なハンドラー
が、上記容器より離脱された位置で板状体を支持してい
る間に、各板状体を支持するハンドラーの支持片間ピッ
チを可変して、板状体のピッチ変換を行う構成としてい
る。

（作用） 本発明方法では板状体を容器より離脱した位置でハンド
ラーによって支持している間に、パンドラ−の支持片間
ピッチを可変して、板状体の配列ピッチを可変するよう
にしている。

このようなハンドラーによるピッチ変換によれば、異な
る配列ピッチの容器間で板状体を移し変える場合に、斯
種のピッチに併せてピッチ変換を実行できる。さらに、
チャックのピッチを可変する場合にくらべても下記の点
で優れている。

すなわち、チャックは板状体の両端を挟持するような左
右で一対のチャック部を有し、この一対のチャック部に
よって板状体を支持しつつその板状体配列ピッチを可変
するためには、各板状体間の圧電を左右で等しいように
維持しつつピッチ変換しなければならない、このように
同期させないと、チャック部によって板状体の支持を維
持できず、板状体に負荷が作用して破損する場合も生ず
るからである。

ところが、板状体の下端または下面を支持するハンドラ
ーの場合にはそのような要請はなく、下側の単一なハン
ドラーによって支持しているだけであるので、このハン
ドラーの支持片ピッチが結果的に所望する最終ピッチに
可変できればよく、そのピッチ変換途中で各板状体間の
ピッチが異なってもよい。

このため、特に結果的に所望する最終ピッチに設定され
る構成とすれば、本発明方法を実施するための機構が簡
易化され、例えばチャック部のピッチ変換の場合には位
置制御の精度の高いモータを使用しているが、エアーシ
リンダのような簡易な直線駆動機構を採用できる。

（実施例） 以下、本発明方法を半導体ウェハのピッチ変換機に適用
した一実施例について、図面を参照して具体的に説明す
る。

本発明方法が適用されるハンドラーとしては、■容器内
で垂直状態で横方向に所定ピッチでに立て掛けられてい
る複数の板状体の下端を支持し、容器の下方より上方に
ハンドラーを押し上げ、容器より完全に板状体を離脱さ
せてチャックに受は渡すもの、■容器上方でチャックに
支持されている板状体の下端を支持するように迎えにゆ
き、ハンドラーを下降させ、容器内に板状体を載置する
もの、あるいは、■容器内において水平状態で縦方向に
所定ピッチで配列支持されている板状体の下面を支持し
、ハンドラーの移動によって容器より板状体を離脱し、
他の容器に移し換えるもの等がある。

まず、■の方式を採用した実施例について説明すると、
本実施例のウェハピッチ変換装置は、第２図に示すよう
に、複数のカセット２０を載置するカセットステージ２
２と、ボート３０が載置されたボートステージ３２とが
互いに隣接してほぼ直線的に配置され、これら各ステー
ジ２２．２３に沿ってチャック装置４０が移動する移動
溝４２が設けられている。

また、装置本体３００の内部は、はぼ中空形状に形成さ
れ、第３図に示すようにその内部底面には前記移動溝４
２に沿って一対のレール５０．５０が設けれ、このレー
ル５０に沿ってスライダ５２が移動するよう形成されて
いる。

このスライダ５２は、図示しないモータを用いてボール
ネジ５４を回転駆動することによりそのスライド位置が
制御される。そして、このスライダ５２上には、前記チ
ャック装置４０と、ピッチ変換を実行可能なウェハ押し
上げ機６０とが隣接配置され、これら再製Ｗ４０，６０
を用いて、カセット２０からウェハを取出し、カセット
２０とは興なるピッチのボート３０へ移送する作業およ
びこの逆工程の作業が行われる。

実施例において、前記カセットステージ２２には第３図
に示すようなテーブル挿通口２４が一定の間隔で複数設
けられており、前記各カセッ１−２０は、その底部に設
けられた開口部がこの挿通口２４上に位置するようテー
ブル２２上に載置されている。そして、このように載置
される各カセット２０は、その両壁内面に、ウェハを一
定間隔で収納保持する縦溝２０ａが平行に形成されてい
る。

半導体装置においては、このカセット２０に収納された
ウェハ群（例えば２５枚）を一つの単位として取扱うこ
とが多い、このため、前記収納用の溝２０ａは、３／１
６インチピッチ間隔で２５本設けられ、最大２５枚のウ
ェハを１単位としてカセット２０内に収納できるように
形成されている。

また、前記ウェハ押し上げ機６０は、カセットステージ
２２のテーブル挿通口２４の下に位置することができる
ようにスライダ５２上に取付けられている。そして、第
３図に示すように、そのテーブル６２を挿通口２４を介
してステージ２２の上方に向は移動できるように形成さ
れている。上記テーブル６２の昇降機構としては、エア
ーシリンダ、ボール−ナツトのような直線駆動機構を採
用でき、また本出願人による先の出願（特願昭６２−２
９０１６６号）に開示された駆動機構のように、プーリ
とベルトにより階段状の移動片を上下動させる機構を採
用することもできる。

このテーブル６２には、前記カセット２０の収納溝２０
ａのピッチ間隔に合わせて後述するようにピッチが可変
である２５枚のウェハスタンド８０（詳細を後述する）
が設けられ、ウェハＷをその下端部側から所定のピッチ
間隔で支持可能としている。

従って、第３図に示すように、挿通口２４を介してテー
ブル６２を上方に移動させることにより、カセット２０
内に収納される複数枚のウェハＷはテーブル６２により
その下端が支持された状態で上方へ移送される。

そして、上方所定位置まで移送されたウェハＷは、ウェ
ハ挟持手段として機能するチャック装置４０を用いて挟
持され、所定の移動経路を経てボート３０に向は移載さ
れる。

前記チャック装置４０は、第３図に示すように図中上下
方向へ昇降するヘッド４４と、このヘッド４４にアーム
４６を介して取付けられ、図中左右方向へ開閉可能であ
って、ウェハＷを挟持する一対のチャック４８．４８と
を有する。ここで、上記一対のチャック４８．４８は、
ウェハＷ−枚ごとにチャック可能に分割されている。

なお、前記４本のアーム４６を駆動することで、一対の
チャック４８．４８の対向間距離を可変とし、このこと
によってウェハのチャック動作を可能としている。ここ
で、前記アーム４６の駆動としては、隣接する２本のア
ーム４６の対向面にラックを形成し、両ラックに噛み合
うピニオンギアを回転駆動することで、上述した対向間
距離の可変を可能としている。なお、第３図、第４図に
示す部材１００は、本出願人が先に提案したチャック４
８．４８のピッチ変換ｍ構（特願昭６３−１０３４０３
）であるが、このピッチ変換機構１００は必ずしも必要
としない、この点については後述する。

次に、前記ウェハＷを下方より押し上げる前記テーブル
６２の詳細について説明する。

第１図（Ａ）、（Ｂ）において、上部が開口した上記テ
ーブル６２の筐体１５１の中には、上側に４本、下側に
４本の計８本のガイドシャフト１５３が掛は渡されてい
る。前記筐体１５１の一方の側板１５２（第１図のＨ面
側）には、前記ウェハスタンド８０が固定され、側板１
５２，１５２間には例えば２４個の前記ウェハスタンド
８０が配置され、これらはそれぞれ上記ガイドシャフト
１５３に沿って移動可能な移動片１５０に固着されてい
る。そして、このウェハスタンド８０は、例えばダイフ
ロン（商品名）で形成され、ウェハＷを支持する支持溝
８０ａが先端に形成されている。尚、一般に、この押し
上げ機６０とカセット２０とはウェハＷの受は渡しの際
のクリアランスが少なく、特にカセット２０ののＨ面側
は厳しいので、上記ウェハスタンド８０のＨ面側を特に
薄いフレームで形成している。

前記移動片１５０には上下各１ヶずつのスライドボール
ベアリング１５４，１５４があり、上下のガイドシャフ
ト１５３，１５３によってそれぞれ摺動自在となってい
る。なお、本実施例の場合には、上記スライドボールベ
アリング１５４は、第５図（Ａ）に示すようにその長さ
が１２ａｍと長く、前記移動片１５０の厚さ（本実施例
では１／８インチ）よりも長いなめ、単一のガイドシャ
フト１５３にこのスライドボールベアリング１５４を備
えた移動片１５０を支持した場合には、第５図（Ｂ）に
示すように、スライドボールベアリング１５４の長さを
最少ピッチとせざるを得す、ウェハＷの一般的な最少ピ
ッチを実現することができない。

そこで、本実施例では、上述したように上下それぞれガ
イドシャフト１５３を４本使用し、第５図（Ｃ）に示す
ように移動片１５０の一枚毎に異なったガイドシャフト
１５３を使用するようにしている。

このため、第５図（Ｃ）より明らかなように、隣り合う
移動片１５０間で前記スライドボールベアリング１５４
が干渉しないようにする必要があり、前記移動片１５０
には前記スライドボールベアリング１５４を固着するた
めの上下各１ヶずつの穴１５０ａの他に、ベアリング干
渉防止用の逃げ穴１５０ｂか上下各３ヶずつ設けられて
いる。

次に、上記移動片１５０及びウェハスタンド８０のピッ
チを例えば１／８インチと３／１６インチの２Ｎのピッ
チに可変する駆動機構について説明すると、Ｈ面側の前
記側板１５２にエアーシリンダ１５５が固着され、この
エアーシリンダ１５５により第１図（Ａ）の左右方向に
移動自在な駆動片１５６が晟もＨ面側の前記移動片１５
０に固着されている。そして、上記エアーシリンダ１５
５の駆動により各移動片１５０が密着されることで（第
１図（Ａ）の状態）、上記１／８インチピッチが実現で
きるようになっている。

また、各移動片１５０間の３／１６インチピッチは、ス
トッパ１５７によって実現可能となっている。このスト
ッパ１５７は各移動片１５０の上下２箇所に例えばねじ
止めによって固定された座１５７ａを有したねじで構成
され、ストッパ１５７を固着した移動片１５０の隣の移
動片１５０が、上記ストッパ１５７の座１５７ａによっ
て移動が規制され、この位置で各移動片１５０間のピッ
チが３／１６インチとなるようになっている（第１図（
Ｃ）参照）。

また、このストッパ１５７を一つ配置することにより、
ストッパの逃げ等のためにその軸方向で４枚分の移動片
１５０にスペースを要するので、第１図（Ｂ）に示すよ
うに、１．５．９・・・枚目の移動片１５０に対しては
同図の１５８ａの位置にストッパ１５７を固定し、２，
６．１０・・・枚目の移動片１５０は１５８ｂの位置に
、３，７．１１・・・枚目の移動片１５０は１５８ｃの
位置に、４゜８．１２・・・枚目の移動片１５０は１５
８ｄの位置にストッパ１５７をそれぞれ固定するように
して、互いのストッパ１５７が干渉しないようになつい
る。　なお、このように移動片１５０が移動する前記筐
体１５１内は、半°導体ウェハのクリーンな環境を害し
ないように、例えば真空引きしてほこり等が外部に飛散
しないようにしている。

次に、作用について第６図を参照して説明する。

本実施例の場合、当初ウェハＷＩｆｉ搭載されているカ
セット２０の配１列ピッチは、３／１６インチであり、
このピッチのままでボートに搭載する場合にはピッチ変
換は不要である。しかし、プロセスの種類等に応じてウ
ェハＷの配列ピッチを変換する場合もあり、例えば１回
の処理に用いられる処理枚数を多くしてスループットを
上げる場合にはこのピッチとしては１／８インチが採用
されることがある。

このように、カセットでの配列ピッチ（例えば３／１６
インチ）とは異なるピッチ（例えば１／８インチ）でボ
ート上にウェハＷｔ−搭載する場合には、以下の工程に
したがってピッチ変換が実行されることになる。

まず、押し上げ機６０でカセット２０内のウェハＷを一
括して押し上げるにあたって、カセット２０のピッチと
押し上げ機６０のウェハスタンド８０のピッチとを同一
にしておく必要がある。

そこで、エアーシリンダ１５５の駆動により第１図（Ｃ
）に示すように最もＨ面側の移動片１う０を同図の右側
に移動し、かつ、ストッパ１５７によって各移動片１５
０間距離が規制される位置まで移動することで、移動片
１５０間すなわぢウェハスタンド８０間ピッチが３／１
６インチに設定されることになる。

この状態に設定後にテーブル６２を上昇させ、カセット
２０内のウェハＷを各移動片１５０の上端に設けたウェ
ハスタンド８０によって支持し、さらに上昇させること
でカセット２０内のウェハＷをカセット２０より上方に
可脱することができ、チャック４８．４８の間に配置さ
れる位置まで上昇されたところで停止する（第６図（Ａ
）参照）。

そして、このようにウェハＷをカセット２０より離脱し
、かつ、このウェハＷをチャック４８゜４８によって挾
持する前に、上記ウェハスタンド８０のピッチ変換を実
行する。

すなわち、エアーシリンダ１５５の駆動により最もＨ面
側の移動片１５０を第１図（Ｃ）の図示左側に移動し、
各移動片１５０が互いに密着する位置まで移動すること
で、ウェハスタンド８０間のピッチは１／８インチに設
定されることになる（第１図（Ａ）？照）。

このようなピッチ変換にあたって、ウェハスタンド８０
はウェハＷの下端を支持しているだけであるので、ピッ
チ変換過程において各ウェハスタンド８０間のピッチが
異なるようになってもウェハＷの支持に支障は生じない
、すなわち、このようなピッチ変換をチャック４８．４
８で行うようにした場合と比較すれば、各チャック４８
．４８によってウェハＷの両端が挟持されることになる
ので、両側のチャック４８．４８を同期して移動させな
いとウェハＷが変形するような負荷が作用する不具合が
あるが、押し上げ機６０でピッチ変換を実行する場合に
は、ピッチ変換の移動に際してそのような要求がなく簡
易に実施することができる。

このようにして１／８インチピッチに変換されたウェハ
Ｗは、チャック４８．４８間の対向間距離を狭めるよう
にヘッド４４を駆動することで、チャック４８．４８に
挾持されることになる（第６図（Ｂ）参照）。

この後、押し上げ機６０のテーブル６２を初期位置まで
下降させることで、ウェハＷはチャック４８．４８によ
ってのみ支持されることになる（第６図（Ｃ）参照）。

そして、このチャック４８，４８をボート３０の上方ま
で移動しく第６図（Ｄ＞参照）、このチャック４８．４
８を下方に移動させ、かつ、チャック４８．４８間の対
向間距離を拡げる駆動を実行することで、チャック４８
．４８で支持していたウェハＷ（ウェハ支持用の渭ピッ
チは１／８インチである）をボート３０に受は渡すこと
ができる（第６図（Ｄ）参照）。

なお、上記ボート３０はその後熱処理路内に搬入され、
ボート３０に載置されたウェハＷの熱処理後に搬出され
ることになるが、この熱処理後のウェハＷをボート３０
よりピッチ変換して上記カセット２０に戻し搬送する場
合には、上記工程の逆工程を実施することで実現できる
。

また、上記実施例の場合には、ボート３０とチャック４
８．４８のウェハ支持溝ピッチは等しくしておく必要が
あり、チャック４８のピッチが異なるものを複数用意し
ておくものでもよいが、上述したようにピッチ変換機１
００を設けてチャック４８．４８を可変ピッチとしてお
くものでもよい、なお、この場合上記ピッチ変換機Ｊｌ
！１００としては、第１図に示すような機構を採用する
こともできる。すなわち、チャック４８．４８でウェハ
Ｗを支持していない状態でピッチ変換できるものであれ
ばよいので、ピッチ変換のプロセス過程で左右のチャッ
ク４８．４８のピッチがずれても、結果的にピッチ変換
できるものであればよいためである。

次に、ボート３０を縦型炉対応のものとした場合につい
て説明すると、このようなボート３０は第７図に示すよ
うに上側の支持棒（ウェハ支持用の溝が形成されている
）３０ａ、３０ａがウェハ中心よりも高い位置に配置さ
れ、このようなボート３０を垂直に立てて使用する場合
にあっても安定してウェハＷを支持できるようになって
いる。

そして、このような縦型対応ボート３０にウェハＷを載
せ換える場合であって、第６図に示す動作工程として異
なる点としては、第６図（Ｄ＞に示すようにチャック４
８．４８を下降させるのではなく、押し上げ機６０のテ
ーブル６２を上昇させてウェハＷを迎えにゆき、第７図
に示すようにウェハスタンド８０でウェハＷを支持した
後にこれを下降させてボート３０にウェハＷを移し換え
ることになる。チャック４８．４８を下降させると上記
支持棒３０ａ、３０ａと干渉してしまうからである。

したがって、このような縦型対応のボート３０にウェハ
Ｗを移し換える場合には、このようにボート３０に移し
換える直前に上記ピッチ変換が可能である。そして、こ
のようにボート３０を移し換える直前にピッチ変換を実
行できるのであれば、チャック４８．４８の溝ピッチは
ボート３０のものと合わせる必要がなく、カセット３０
の溝ピッチと同一としておけばよい点で有利となる。

また、第８図に示す実施例のように、移動片１５０間に
スプリング１５９を配置しても同様にピッチ変換が可能
である。

上記移動片１５０間の距離が常時一定に設定されるよう
に圧縮コイルスプリング１５９が各移動片１５０．１５
０間に８ケ配置されるようになっている。このため、前
記移動片１５０の一面には、上下各４ヶずつのスプリン
グ支持用のザグリ穴１５０ｃが設けられ、その他面にも
上記−面とは位置を変えて同数のザグリ穴１５０ｄを形
成している。

このザグリ穴１５０ｃ、１５０ｄに支持される前記圧縮
コイルスプリング１５９は、例えば５ＵＳ３０４で構成
され、第９図に示すように有効巻数３．総巻数５．材料
径１ａｕｉ、コイル平均径７閤。

自由長７　ｍ　、ばね定数０．９ｋｇ／ｍ″Ｃ′構成し
ている。そして、ばね取り付は時の荷重０．９ｋｇ、圧
縮長さ６１としてセットし、最大荷重時の荷重２゜７ｈ
ｇ、圧縮長さ４鴎となっている。ここで、厚さ３鴎の前
記移動板１５０のザグリ穴１５０ｃ、ｄの深さを、２鴎
以上としておけば、最大荷重時のスプリング長さ４ｆｉ
のスプリング１５９を、ザグリ穴１５０ｃ、ｄで完全に
収納でき、移動板１５０を密着した状態での最少ピッチ
が実現できる。

なお、移動片１５０の駆動源は、今回の場合ボールねじ
１６０を採用し、最も８面側に設けた移動板１６４には
上記ボールねじ１６０に螺合するナツト１６２が配置さ
れている。上記以外の構成は第１図と同様となっている
。

このような構成であっても、ボールムじ１６０の回転駆
動により移動板１６４を例えば第８図の左側に移動させ
ると、各移動片１５０間の前記圧縮コイルスプリング１
う９はそれぞれ等しい力を受けて同一に圧縮されるので
、移動片１５０間の等ピッチを維持してそのピッチ幅を
可変することができる。そして、この場合には移動片１
５０間ピッチを無断階に変換できる点で優れている。

この他、スプリングを用いて移動片１５０間ピッチを無
ｌ！ＩＦｍに変換する実施例としては、本出願人が先に
提案したチャック４８のピッチ変換機構（特願昭６３−
１０３４０３　）を採用することができる。

尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

例えば、縦型対応のボート３０を立てたまま、カセット
３０とのウェハＷの移し換えを実施するものとして、第
１０図に示すように一面に吸着面１７０ａを形成したハ
ンドラー１７０を水平状態としてボート３０の各ウェハ
Ｗ間に挿入し、ウェハＷを吸着して引き出し、この状態
で上述した各機構により各ハンドラー１７０間のピッチ
変換を実施し、その後９０°回転させて垂直状態でカセ
ット２０にウェハＷを移し換える構成を採用することも
できる。尚、９０１回転後に上記ピッチ変換を実施する
ものでもよい、また、カセット２０からボート３０にウ
ェハＷを移し換える場合にあっては、上記の逆工程を実
施すればよい。

また、本発明は半導体ウェハの製造装置にのみ適用され
るものに限らず、他の種々の板状体のピッチ変換に適用
することができる。

［発明の効果コ 以上説明したように、本発明によればカセット。

ボートなどの板状体の容器に対して板状体を挿脱可能な
ハンドラーのピッチ変換を実施することができるので、
配列ピッチが異なる容器間等で板状体を移し換える際な
どに不可欠なピッチ変換を容易に実施することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明方法を半導体ウェハの移し換え装置で
の実施に適用した実施例を説明するもので、同図（Ａ）
は移し換え装置の概略断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）
の矢視Ａ方向から見た側面図、同図（Ｃ）は同図（Ａ）
よりもピッチが拡がった状態の概略断面図、 第２図は、ウェハ移し換え装置の概略斜視図、第３図は
、チャックとウェハ押し上げ機の位置関係を示す概略説
明図、 第４図は、チャックとボートとの位置関係を説明するた
めの概略説明図、 第５図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は第１図の機構に使用さ
れるガイドシャフトの概略説明図、第６図は、移し換え
方法の一例を説明するための概略説明図、 第７図は、縦型炉対応のボートを説明するための概略説
明図、 第８図は、ピッチ変換機構の変形例を説明するための概
略斜視図、 第９図は、第８図に使用される圧縮コイルスプリング概
略説明図、 第１０図は、縦型炉対応ボートを立て掛けたままで移し
換えを実行するハンドラーの概略説明図、第１１図は、
従来のピッチ変換機構の概略説明図である。 ０・・・押し上げ機、 ２・・・テーブル、 ０・・・ウェハスタンド、 ５０・・・移動片、 ５９・・・スプリング、 ７０・・・ハンドラー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数枚の板状体を所定ピッチ毎に配列支持する容
   器に対し、少なくとも板状体を挿脱する方向に往復動可
   能なハンドラーが、上記容器より離脱された位置で板状
   体を支持している間に、各板状体を支持するハンドラー
   の支持片間ピッチを可変して、板状体のピッチ変換を行
   うことを特徴とする板状体のピッチ変換方法。