JPH0228980A - レーザ光源 - Google Patents

レーザ光源

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JPH0228980A
JPH0228980A JP17979188A JP17979188A JPH0228980A JP H0228980 A JPH0228980 A JP H0228980A JP 17979188 A JP17979188 A JP 17979188A JP 17979188 A JP17979188 A JP 17979188A JP H0228980 A JPH0228980 A JP H0228980A
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JP
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laser
laser beam
wavelength
laser beams
resonator
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JP17979188A
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Michio Oka
美智雄 岡
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Sony Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/106Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
    • H01S3/108Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 以下の順序で本発明を説明する。
A産業上の利用分野 B発明の概要 C従来の技術(第13図) D発明が解決しようとする問題点(第13図)E問題点
を解決するための手段(第1図)2作用(第1図) G実施例(第1図〜第12図) H発明の効果 A産業上の利用分野 本発明はレーザ光源に関し、例えば効率良く短い波長の
可視光を発生させるようにしたレーザ光源に適用して好
適なものである。
B発明の概要 本発明は、非線形光学結晶素子の位相整合によって、第
1及び第2のレーザ光の和周波レーザ光及び又は差周波
レーザ光を発生するレーザ光源において、非線形光学結
晶素子を第1のレーザ光の共振器内部に配置すると共に
、その共振器が第2のレーザ光に対する外部共振条件を
満足するようにしたことにより、非線形光学結晶素子に
入射する第2のレーザ光の光強度を格段的に強くするこ
とができ、かくして従来に比して格段的に高い効率で和
周波レーザ光及び又は差周波レーザ光を発生し得る。
C従来の技術 従来この種のレーザ光源として、固体レーザから得られ
る第1のレーザ光及び半導体レーザから得られる第2の
レーザ光を非線形光学結晶素子において、位相整合させ
ることにより結合し、これにより非線形光学結晶素子か
ら得られる和周波光成分を出力レーザ光として射出する
ようになされたものが提案されている(Appl、Ph
ys、Lett、52(2)、11 January 
198885頁)。
すなわち第13図に示すようにこのレーザ光源1は、ま
ず半導体レーザ2から射出され波長λ1が804 (n
m)でなる第1のレーザ光L1を、対物レンズ3を介し
て第1及び第2のミラー4及び5で構成された共振器C
AV内部の、例えばNd: Y AG (neodya
+iua+:yttrium aluminum ga
rnet)でなる固体レーザ6に集光する。
これによりNd: Y A Gレーザ6は、励起されて
波長λ2が1060 (nm)でなる第2のレーザ光L
2を発振し、この発振レーザ光Ltが共振器CAV内部
で共振する。
ここで、共振器CAV内部で第1のミラー4及びNd:
 Y A Gレーザ6間には、例えばKTP (KTi
OP 04)でなる非線形光学結晶素子7が配置されて
おり、このKTPTの位相整合によって、次式、 で表されるように、第1のレーザ光り、及び発振レーザ
光L2の和周波光でなり波長λ、が457〔nm)の第
3のレーザ光L3を発生し、これを第2のミラー5を透
過させて出力するようになされている。
D発明が解決しようとする問題点 ところでかかる構成のレーザ光源1においては、KTP
7がNd: Y A Gレーザ6の共振器CAM内部に
配置されていることにより、 発振レーザ光L2は共振
器CAV内部を往復する毎にKTP7を通過し、この結
果KTP7で位相整合させる発振レーザ光L2として充
分な光密度(すなわち光強度)が得られる。
ところがこれに対して、半導体レーザ2から射出された
第1のレーザ光L1は、1度KTP7を通過した後、N
d: Y A Gレーザ6を励起して大半がNd: Y
 A Gレーザ6に吸収されるようになされており、こ
の結果KTP7で位相整合させる第1のレーザ光L1と
して充分な光密度(すなわち光強度)が得られない。
実際上、第1のレーザ光り、及び発振レーザ光L2をK
TP7で位相整合させ、和周波光でなる第3のレーザ光
り、を得る際の発生効率は、発振レーザ光Lz、第1及
び第3のレーザ光り、及びL3の光強度をそれぞれIz
、ll及び■、とすると、次式、 I、ccdt I+  It (dは非線形定数)・・・・・・(2)で与えられる。
従って、発振レーザ光L2として充分な光強度が得られ
ても、第1のレーザ光LIとして充分な光強度が得られ
ない場合は、効率良(第3のレーザ光り、を得られず、
実際上半導体レーザ2の出力限界の問題から、第3のレ
ーザ光り、としては20〔μ−〕程度の出力パワーしか
得ることができないという問題があった。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、従来に比
して格段的に高い効率で和周波レーザ光を得ることので
きるレーザ光源を提案しようとするものである。
E問題点を解決するための手段 かかる問題点を解決するため本発明においては、非線形
光学結晶素子7の位相整合によって、第1及び第2のレ
ーザ6及び12から得られる第1及び第2のレーザ光L
2及びL4の、和周波レーザ光り、及び又は差周波レー
ザ光を発生するレーザ光源10において、非線形光学結
晶素子7を第1のレーザ6から得られる第1のレーザ光
Ltの共振器CAM内部に配置すると共に、その共振器
CAVが第2のレーザ12から得られる第2のレーザ光
L4に対して、外部共振条件を満足するようにした。
F作用 非線形光学結晶素子7を第1のレーザ6から得られる第
1のレーザ光Lxの共振器CAV内部に配置すると共に
、その共振器CAVが第2のレーザ12から得られる第
2のレーザ光L4に対して、外部共振条件を満足するよ
うにしたことにより、非線形光学結晶素子7に入射する
第2のレーザ光L4の光強度を格段的に強くすることが
でき、これにより、高い効率で和周波レーザ光り、及び
又は差周波レーザ光を得ることができる。
G実施例 以下図面について、本発明の一実施例を詳述する。
第13図との対応部分に同一符号を付して示す第1図に
おいて、10は全体としてレーザ光源を示し、第1の半
導体レーザ2はNd: Y A Gレーザ6の励起に用
いられている。
またこのレーザ光源10においては、励起用半導体レー
ザ2から射出された励起用レーザ光り。
が、対物レンズ3を介して共振器CAVに至る光路中に
、偏光型ビームスプリッタ11が介挿されている。
このビームスプリッタ11には、波長変換用の第2の半
導体レーザ12から射出された波長変換用レーザ光L4
が、対物レンズ13を介して入射されており、かくして
波長変換用レーザ光L4は、ビームスプリッタ11で励
起用レーザ光LLの光路の進行方向に折り曲げられ、共
振器CAV内部のKTPTに入射するようになされてい
る。
なお励起用レーザ光り、の波長λ8は、第2図に示すN
d: Y A Gレーザ6の波長吸収特性を考慮して、
特に波長吸収係数にの高い波長λ、=808(nm)に
選定され、これによりNd: Y A Gレーザ6に効
率良く吸収されてNd: Y A Gレーザ6を有効に
励起するようになされている。
これに対して、波長変換用レーザ光L4の波長λ4は、
波長吸収係数Kに基づいて、Nd:YAGレーザ6でほ
とんど吸収されない波長826〜840〔nII〕の内
、例えば波長λ4=840 (nm)に選定されており
、これにより第1及び第2のミラー4及び5で構成され
た共振器CAVを、波長変換用レーザ光L4の外部共振
器CAVIとして用いても、波長変換用レーザ光L4は
Nd: Y A Gレーザ6で吸収されることなく外部
共振器CAV 1内部の第1及び第2のミラー4及び5
で何度も反射して往復し得るようになされている。
実際上KTP7は、第3図に示すように、入射するNd
: Y A Gレーザ6の発振レーザ光L2及び波長変
換用半導体レーザ12から射出された波長変換用レーザ
光L4に対して、所定の方位角φを有するように配置さ
れており、この場合方位角φは第4図に示す、波長変換
用レーザ光L4の波長826〜840 (nm)に基づ
いて、例えば方位角φ=68〜73 (deg)に選定
されており、これにより、次式 で表されるように、TYPEIIの位相整合を行い、発
振レーザ光り、及び波長変換用レーザ光L4の和周波レ
ーザ光り、を得るようになされている。
なお(3)式において、λ、はレーザ光り、の波長、n
aiはレーザ光Liの波長に対する異常光線屈折率、n
0iはレーザ光L!の波長に対する常光線屈折率である
ここで、第1のミラー4は、第5図に示すように、Nd
: Y A Gレーザ6を励起する励起用レーザ光LI
の波長λ、=808 (nm)に対してほぼ100%の
透過率を有すると共に、 波長変換用レーザ光L4の波
長λ4=840 (nm)に対して数%の透過率を有し
、さらにNd: Y A Gレーザ6から得られる発振
レーザ光L2の波長λg=1060 (nm)に対して
ほぼ100%の反射率を有するようにコーティングされ
ている。
また第2のミラーは、第6図に示すように、波長変換用
レーザ光L4の波長λ==840 (nm)及びNd:
 Y A Gレーザから得られる発振レーザ光L8の波
長λ==1060 (nm)に対してほぼ100%の反
射率を存し、TYPEnの位相整合によって得られる和
周波レーザ光LSの波長λ5−470 (nm)に対し
てほぼ100%の透過率を有するようにコーティングさ
れている。
このようにして、第1及び第2のミラー4及び5は、従
来同様に内部に配置されたNd: Y A Gレーザ6
から得られる発振レーザ光り、に対して、内部共振器C
AVを構成することに加えて、外部の波長変換用半導体
レーザ12から得られる波長変換用レーザ光L4に対し
て外部共振器CAVIを構成するようになされている。
なお波長変換用半導体レーザ12から得られる波長変換
用レーザ光L4の波長λ、=840 (nm)に対する
第1のミラー4の反射率をR,とじ、第2のミラー5の
反射率をR2とすると共にその内部透過率をToとする
と、入射する波長変換用レーザ光L4の光強度■、。及
び外部共振器CAV1内部の光強度IK+の比は、次式
、 KI ■に0 l−2ToEIT「Tcosδ+Rr R2T o ”
・・・・・・ (4) で表される。ここで角δは、波長変換用レーザ光L4が
共振器長しの外部共振器CAV1を1往復する際に生じ
る位相差であり、この位相差δが、次式、 (mは整数) ・・・・・・(5) で表される関係を満足するとき、ファブリペロ−の共振
条件となり、このとき波長変換用レーザ光L4の波長λ
4=840 (nn+)に対する第1のミラー4の反射
率R1、第2のミラー5の反射率R8及び内部透過率T
0をそれぞれ、次式、 R,=0.9 RZ  =0.99 To  ””0.95 ・・・・・・ (6) とすると、(4)式より波長変換用レーザ光L4の入射
強度IXO及び外部共振器CAVl内の内部強度IKI
O比は、次式、 Iに0 で表されるように、外部共振器CAV 1内部において
、入射する波長変換用レーザ光L4の光強度■7゜に対
して、約10倍の光強度IKヨの波長変換用レーザ光L
4を得ることができる。
かくして、(2)式について上述したように、KTP7
に入射する波長変換用レーザ光L4の光強度■□を、従
来に比して約10倍にしたことにより、レーザ光源10
は全体としてTYPEnの位相整合によって得られる波
長変換用レーザ光L4及び発振レーザ光Ltの和周波レ
ーザ光り、の光強度を約10倍にし得るようになされて
いる。
なお上述した(5)式を満足するためには、外部共振器
CAV1の共振器長りを光の波長の単位で調節する必要
があるが、実際上共振器CAV (CAVl)の温度変
化等で共振条件がずれるおそれを回避するためこの実施
例では、波長変換用半導体レーザ12を駆動する電流値
を制御することにより、実効的に半導体レーザ12内の
キャビティ長を変更制御して、波長変換用レーザ光L4
の波長を微調整し、これにより常に最適な共振条件を維
持し得るようになされている。
またこの実施例の場合、共振器CAV (CAVl)の
共振器長りは波長変換用半導体レーザ12の実効的キャ
ビティ長の整数倍に設定されており、これにより半導体
レーザ12がマルチモードで発振する場合にも、その全
てのモードに対して(5)式について上述した共振条件
を満足し得るようになされている。
以上の構成によれば、KTP7のTYPEnの位相整合
によって、Nd: Y A Gレーザ6から得られる発
振レーザ光L!及び波長変換用半導体レーザ12から得
られる波長変換用レーザ光L4の和周波レーザ光り、を
発生するようになされたレーザ光源10において、KT
P7をNd: Y A Gレーザ6の共振器CAV内部
に配置すると共に、その共振器CAVが波長変換用レー
ザ光L4に対して、外部共振条件を満足するようにした
ことにより、従来に比して格段的に高い効率で和周波レ
ーザ光り、を得ることのできるレーザ光源10を実現で
きる。
さらに上述の実施例によれば、波長変換用レーザ光L4
を得るにつき半導体レーザ12を用い、この半導体レー
ザ12を駆動する電流値を制御して、実効的にキャビテ
ィ長を変更し、波長変換用レーザ光L4の波長を微調整
するようにしたことにより、複雑な機構等を用いること
なく容易に外部共振条件を満足するように調整し得る。
なお上述の実施例においては、第1のレーザとしてNd
: Y A Gレーザ6でなる固体レーザを用いた場合
について述べたが、これに代え、その他の固体レーザを
用いたり、例えばHe−Neレーザ等の気体レーザを用
いるようにしても良く、要はレーザ強度の比較的大きい
レーザを用いるようにすれば良い。因みに、この場合励
起用の光源として半導体レーザ2に限らず、例えばフラ
ッシュランプ等の他の励起手段を用いるようにしても良
い。
なお上述の実施例においては、非線形光学結晶素子とし
て、K T P (K T iOP Oa ) 7を用
いた場合について述べたが、非線形光学結晶素子はこれ
に限らず、例えばBBO(β−BaBア04)等地の位
相整合による光波長変換機能を有する非線形光学結晶素
子を用いるようにしても良い。
なお上述の実施例においては、波長変換用半導体レーザ
12を駆動する電流値を制御することにより波長変換用
レーザ光L4の波長を微調整して、波長変換用レーザ光
L4に対する共振器CAVの外部共振条件を調整する場
合について述べたが、本発明はこれに代え、例えば第1
図との対応部分に同一符号を付した第7図に示すように
、共振器CAVIOの一方のミラー5の背後に圧電素子
20を設け、この圧電素子20に所定の制御電圧を印加
することによりミラー5を矢印aで示す光軸方向に移動
制御し、これにより実際の共振器長りを可変するように
しても良い。
また第1図との対応部分に同一符号を付した第8図に示
すように、共振器CAV20のミラー4及び5間に電気
光学素子30を配置し、この電気光学素子30に所定の
電圧を印加することにより、共振器CAV20のミラー
4及び5間の実効的な光路長を可変制御し、これにより
共振器長りを可変するようにしても良い。
なお上述の実施例においては、励起用レーザ光L1及び
波長変換用レーザ光L4を合成するに際に、偏光型ビー
ムスプリッタ11を用いて互いに直交する2偏光で合成
した場合について述べたが、これに代え、例えば第1図
との対応部分に同一符号を付した第9図に示すように、
励起用レーザ光り、及び波長変換用レーザ光L4の波長
の相違を利用してダイクロイックプリズム40を用いて
合成しても良い。
また同様に、第1図との対応部分に同一符号を付した第
10図に示すように、同一パッケージ上に励起用半導体
レーザ2及び波長変換用半導体レーザエ2をハイブリッ
ド化して封入し、これにより合成するようにしても良い
さらにこれに加えて、第1図との対応部分に同一符号を
付した第11図に示すように、波長変換用レーザ光L4
を第2のミラー5側から入射させ、和周波レーザ光り、
をダイクロイックプリズム40を介して取り出しても良
く、種々の方法を用いても上述の実施例と同様の効果を
実現できる。
なお上述の実施例においては、第1及び第2のミラー4
及び5で挟まれた共振器CAV内部に、非線形光学結晶
素子7及び固体レーザ6を配置した場合について述べた
が、本発明はこれに代え、例えば第1図との対応部分に
同一符号を付した第12図に示すように、非線形光学結
晶素子7及び固体レーザ6のそれぞれ(又は1方)の外
側端面に所定のミラーコーディング50 (及び又は5
1)を施すことにより、共振器CAV30を構成するよ
うにしても良い。
なお上述の実施例においては、本発明を第1及び第2の
レーザ光の和周波レーザ光を効率良く発生し得るレーザ
光源に適用した場合について述べたが、本発明はこれに
限らず、第1及び第2のレーザ光の差周波レーザ光を効
率良く発生し得るレーザ光源にも適用して好適なもので
ある。
H発明の効果 上述のように本発明によれば、非線形光学結晶素子を第
1のレーザ光の共振器内部に配置すると共に、その共振
器が第2のレーザ光に対する外部共振条件を満足するよ
うにしたことにより、非線形光学結晶素子に入射する第
2のレーザ光の光強度を格段的に強くすることができ、
かくするにつき非線形光学結晶素子の位相整合によって
、第1及び第2のレーザ光の和周波レーザ光及び又は差
周波レーザ光を発生する際の効率を格段的に向上し得る
レーザ光源を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す路線的系統図、第2図
はNd: Y A Gレーザの波長吸収特性を示す特性
曲線図、第3図はKTPの位相整合の説明に供する路線
図、第4図はその方位角と波長の関係を示す特性曲線図
、第5図及び第6図はそれぞれ第1及び第2のミラーの
透過特性を示す特性曲線図、第7図及び第8図は共振器
長の他の制御方法を示す路線的系統図、第9図〜第11
図はレーザ光の他の合成方法を示す路線的系統図、第1
2図は共振器の他の実施例を示す路線的系統図、第13
図は従来のレーザ光源を示す路線的系統図である。 1.10・・・・・・レーザ光源、2・・・・・・励起
用半導体レーザ、3.13・・・・・・対物レンズ、4
.5・・・・・・ミラー、6・・・・・・Nd: Y 
A Gレーザ、7・・・・・・KTP。 12・・・・・・波長変換用半導体レーザ、CAV、C
AV1、CAV10〜CAV30・・・・・・共振器、
L。 ・・・・・・励起用レーザ光、L2・・・・・・発振レ
ーザ光、L3、LS・・・・・・和周波レーザ光、L4
・・・・・・波長変換用レーザ光。 10レーデ光淋

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  非線形光学結晶素子の位相整合によつて、第1及び第
    2のレーザから得られる第1及び第2のレーザ光の、和
    周波レーザ光及び又は差周波レーザ光を発生するレーザ
    光源において、 上記非線形光学結晶素子を上記第1のレーザから得られ
    る上記第1のレーザ光の共振器内部に配置すると共に、
    当該共振器が上記第2のレーザから得られる上記第2の
    レーザ光に対して、外部共振条件を満足するようにした ことを特徴とするレーザ光源。
JP17979188A 1988-07-18 1988-07-18 レーザ光源 Pending JPH0228980A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0391978A (ja) * 1989-09-04 1991-04-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体レーザ励起固体レーザ装置
FR2671436A1 (fr) * 1991-01-07 1992-07-10 Amoco Corp Melange de frequence optique intracavite a resonance de signal.
US5295302A (en) * 1991-10-29 1994-03-22 Calsonic Corporation Method of manufacturing an aluminum heat exchanger
WO1995018478A1 (en) * 1993-12-24 1995-07-06 Electro Optic Systems Pty. Limited Improved laser cavity assembly

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