JPH02290277A - 粘性液体の塗布方法および塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野） 本発明は、塗布面積が比較的広い塗布対象物の塗布面に
、少ない粘性液体で、薄くかつ均一な塗膜を形成できる
粘性液体の塗布方法および塗布装置に関するものである
。

（従来の技術） 従来、ＬＣＤ用カラーフィルタ、カラーイメージセンサ
等に使用する比較的大サイズ（１５０Ｘ１５０ｍｍ以上
）の角型基板等に、水溶性悪光性樹脂や顔料分散感光性
樹脂等の感光性樹脂膜を形成する方法として、遠心力に
より基板平面上の全面にわたって感光性樹脂を分散させ
るスビンコート法やロールにより感光性樹脂を転写する
ロールコート法が知られていた。

［発明が解決しようとする課題］ 第２４図、第２５図は、従来のスピンコート法およびロ
ールコート法の問題点を説明するための図である。

従来のスビンコート法により、比較的大サイズ（３００
ｘ３２０ｘｌ．１’　ｍｍ）の基板に、膜厚１．０μｍ
±３％で感光性樹脂膜を形成した例について説明する（
第２４Ａ図）． 第２４Ｂ図は、格子上に膜厚を測定した結果を示したグ
ラフであり、第２４Ｃ図は、基点Ａ−Ｂ間を連続的に膜
厚測定したグラフである。これらのグラフからわかるよ
うに、スビンコート法では、基＋Ｎをスピンチャノクで
吸着するので、吸着部の清仮がたわむことにより、吸着
箇所で塗布厚が大きくなり、チャンクムラ（ａｌが発生
する。チャソクムラ（ａ）は、大サイズの基仮に複数の
小サイズのカラーフィルタ等を多面付けして形成した後
、これを切断分離して使用する場合には、カラーフィル
タの品質に大きな影響を及ぼさないが、大サイズ基仮に
、画面サイズが１０〜１４インチ大の大形ＬＣＤ用カラ
ーフィルタを形成する場合には、画面の輝度ムラ，′ａ
度ムラの原因となり、これを回避するのが困難である。

また、基板の周辺部に感光性樹脂が盛り上がったフリン
ジ（ｂ）ができ、露光時に密着性が悪くなるという問題
があった。

さらに、滴下ノズルで基仮に感光性樹脂を滴下した場合
に、その部分の膜厚が厚くなる、いわゆる満下むらが発
生することがあった。

さらにまた、溶剤系感光性樹脂（ＯＦＰＲ−８００）の
場合には、１０〜１５ｇ／ｓ（シート）の感光性樹脂を
消費し、水溶性感光性樹脂の場合には、形成する色によ
って異なるが、８０〜１２０　ｇ　／　ｓの感光性樹脂
を消費する。このうち、基板に塗布される感光性樹脂は
、滴下した感光性樹脂の２〜３％であり、高価な感光性
樹脂を有効に利用できず、材料コストが高くなるという
問題があった。

一方、従来のロールコート法で、同サイズの基板に、膜
ｆｆｌ．ｏμｍ±ｌＯ％で感光性樹脂膜を形成する場合
に（第２５Ａ図）、前述した溶剤系の感光性樹脂を塗布
すると、５　ｇ　／　ｓとスピンコート法に比較して、
感光性樹脂の塗布量は少なくて済む。しかし、ロールの
塗布方向（矢印Ｅ）に、スジ状ムラ（Ｃ）が発生する。

第２５Ｂ図は、格子上に１１ク厚を測定した結果を示し
たグラフであり、第２５Ｃ図は、基点Ｃ−Ｄ間を連続的
に膜厚測定したグラフであり、これらのグラフからスジ
状ムラ（Ｃ）が認められる。このスジ状ムラ（Ｃｌは、
感光性樹脂の種類に関係なく発生する。このため、基｛
反平面上に形成された塗１夕の厚さのバラッキが±１０
％以上になってしまい、高画質ディスプレイ用のフィル
タには使用できない。

特開昭６３−２４６８２０には、「平板状物体上に感光
性樹脂を塗布する方法において、はじめに、ロールコー
ターで上記平板状物体上に上記感光性樹脂を塗布し、引
きつづき上記平板状物体を所定の回転数で回転させるこ
とによって、上記感光性樹脂を塗布する」方法が開示さ
れている。

また、特開昭６３−３１３１５９には、「レジストを塗
布する転写ローラを有するレジスト塗布部と、上記転写
ローラに対峙して設けられ、基板を水平に保持しかつ回
転自在になる保持装置と、この保持装置と上記レジスト
塗布部とを相対的に移動して、上記転写ローラを上記基
板の塗布面に移動させる移動手段と、上記塗布された基
板を保持した上記保持装置を回転させる回転装置とを備
えた」装置が開示されている． 前記方法、前記装置は、いずれもスピンコート法を行う
前に、ロールコート法により感光性樹脂を塗布すること
を要旨としているが、前述したようにロールコート法で
発生するスジ状ムラは、ロールコート時に固定されてし
まい、その後にスビンコートを行っても平滑化すること
はできない。

これは、どのような感光性樹脂を、どのような厚さに塗
布しても同しである。特に、粘性が低《、基板に対して
ぬれ性の悪い水溶性悪光性樹脂では、口−ルコート法を
含む方法では塗布することができない。

本発明の目的は、前述の各問題点を解決して、粘性液体
の塗布量を少なくでき、しかも、薄くかつ均一な塗膜を
形成できる粘性液体の塗布方法および塗布装置を提供す
ることである。

［課題を解決するための手段］ 前記課題を解決するために、本発明による粘性液体の塗
布方法は、塗布対象物の被塗布面の端部に粘性液体を滴
下しその被塗布面の一部または全面に前記滴下された粘
性液体を所定の厚さに引き延ばすスキージ塗布工程と、
前記スキージ塗布工程で引き伸ばした粘性液体を遠心力
に１り前記塗布対象物の被塗布面の全面に均一に分散さ
せるスピン塗布工程とから構成してある。

また、本発明による粘性液体の塗布方法は、塗布対象物
上に、第１の感光性樹脂を前記スキージ塗布工程と前記
スピン塗布工程とにより塗布し、所定のパターンで露光
現像して第１の感光性樹脂パターンを形成した後、第２
の感光性樹脂を、前記第１の感光性…脂のスキージ塗布
工程よりも前記塗布対象物と前記スキージの間隔を大き
くした前記スキージ塗布工程と前記スピン塗布工程とに
より塗布し、所定のパターンで露光現像して、前記第１
の感光性樹脂パターン以外の部分に第２の感光性樹脂パ
ターンを形成する工程を含むように構成することができ
る。

さらに、本発明による粘性液体の塗布方法は、塗布対象
物上に、第１の感光性樹脂を前記スキージ塗布工程と前
記スピン塗布工程とにより塗布し、所定のパターンで露
光現像して第１の感光性閘脂パターンを形成した後、第
２の感光性樹脂を、前記第１の感光性樹脂のスキージ塗
布工程よりも前記塗布対象物と前記スキージの間隔を大
きくした前記スキージ塗布工程と前記スピン塗布工程と
により塗布し、所定のパターンで露光現像して、前記第
１の感光性樹脂パターン以外の部分に第２の感光性樹脂
パターンを形成し、さらに、第３の感光性樹脂を、前記
第１の感光性樹脂のスキージ塗布工程よりも前記塗布対
象物と前記スキージの間隔を大きくした前記スキージ塗
布工程と前記スピン塗布工程とにより塗布し、所定のパ
ターンで露光現像して、前記第１および第２の感光性樹
脂パターン以外の部分に第３の感光性樹脂パターンを形
成する工程を含むように構成することもできる。

このとき、前記感光性樹脂は、水溶性惑光樹脂であるよ
うに構成してもよい。

一方、本発明による粘性液体の塗布装置は、塗布対象物
の被塗布面の端部に粘性液体を滴下する塗布ノズル部と
、前記塗布対象物の被塗布面に対して一定の間隔を保っ
て移動し前記滴下された粘性液体を所定の厚さに引き延
ばすスキージ部と、前記塗布対象物を固定して高速回転
することにより前記引き延ばされた粘性液体を前記被塗
布面の全面に均一に分敗させるスピンチャンク部とから
構成することができる。

〔実施例〕

以下、図面等を参照して、実施例につき、本発明を詳細
に説明する。

第１図は、本発明による粘性液体の塗布方法の実施例を
示したブロンク図である。

本発明による粘性液体の塗布方法は、スキージ塗布工程
１０と、スピン塗布工程１２とから構成されている。

スキージ塗布工程１０は、塗布対象物の被塗布面の端部
に粘性液体を滴下しその被塗布面の一部または全面に前
記滴下された粘性液体を所定の厚さに引き延ばす工程で
ある。

この工程で、粘性液体を予め塗布面にスヰージによって
引き延ばすことにより、後工程での粘性液体の塗布量を
残少させても、均一に塗布することができる。

粘性液体としては、ｌＯ〜１００ｃｐｓ程度の粘度のｔ
夜体であればよく、溶剤系感光性樹脂、水｝容性感光｛
Ａ脂、またはこれらの感光性樹脂に顔料等の着色材を分
散させた感光性樹脂などの感光性樹脂や、各種の接着剤
、保護膜を形成するための樹脂、インキなどを対象にす
ることができる。

この工程で塗布される層の厚さは、３０μｍ〜２００μ
ｍ程度が好ましく、塗布面の全面に塗布してもよいし、
塗布面の中心部から８０〜９０％程度の範囲だけ塗布す
るようにしてもよい。

スキージ塗布工程１０を施すことにより、塗布面の有効
部分に粘性液体を滴下しないので、滴下ムラが発生しな
い。また、塗布面の有効部分内の凹凸に対して、強制的
に平坦化できるので、従来の塗布方法に特有な凹部にそ
った粘性液体の流れが発生しない。

スピン塗布工程Ｉ２は、スキージ塗布工程１　０で引き
伸ばした粘性冫夜体を遠心力により前記塗布対象物の被
塗布面の全面に均一に分散さセる工程である。

この工程では、予め粘性液体が塗布されているので、粘
性液体の飛散量が大幅に減少し、粘性液体の跳ね返りが
なくなり、突起不良などが減少する。

第２図は、本発明による粘性液体の塗布装置の第１の実
施例を示した斜視図である． 第１の実施例の塗布装置は、スキージ塗布部１４とスピ
ン塗布部２８に大きく分けられる．スキージ塗布部ｌ４
は、載置台１６と塗布ノズル１８とスキージ２２とスキ
ージ洗浄槽２６等とから構成されている。

載置台ｌ６は、自動搬送されてきた塗布対象物（以下、
基板という）３４を載置して固定する台である。

塗布ノズル１８は、Ｓ！置台ｌ６の左側に設けられてい
る。塗布ノズル１８は、感光性樹脂３６を滴下するノズ
ルであり、ＤＣモータ等により移動する移動台２０によ
り、ｙ方向に一定速度で移動することができる。

スキージ２２は、Ｒ置台１６の前後方同に設けられてい
る。このスキージ２２は、Ｒ置台ｌ６の前側に設けられ
たＤＣモータ等により移動する移動台２４により、Ｘ方
向に一定速度で移動できる。

また、スキージ２２と基板３４の間隔を任意に調節でき
るように、Ｚ方向にも移動することができる。

スキージ洗浄槽２６は、載置台１６の右側に設けられて
いる。スキージ洗浄槽２６は、１回の操作が終了するご
とに、スキージ２２を洗浄剤テ洗浄したのち乾燥処理す
る槽である。

スピン塗布部２８は、スピンチャンク３０とスピンカン
プ３２等とから構成されている。

スピンチャンク３０は、基仮３４を吸着保持するととも
に、高速回転する部分である。スピンチャック３０は、
外周部真空吸着方式を採用しているので、有効画素内で
のチャソクムラを防止することができる。

スピンカツフ゛３２は、スピンチャソク３０が回転した
ときに飛散した感光性樹脂３６を収容する形状の容器で
ある。

つぎに、この実施例の粘性液体の塗布装置の動作を、具
体的な製造例を挙げながら、さらに詳しく説明する。

基仮３４として、３００Ｘ３２０Ｘ１．１’　ｍｍのサ
イズのものを用い、感光性樹脂３６として顔料分散感光
性樹脂を、１．３μｍに塗布する例で説明する。

基仮３４が載置台ｌ６上に搬送されてくると、塗布ノズ
ル１８が、その基仮３４の端面と平行に移・助しながら
、感光性樹脂３６を１０〜２５ｇ滴下する。

つぎに、スキージ２２と、基板３４の間隔を２００μｍ
に設定して、５ｃｍ／ｓｅｃの速度で移動して、基仮３
４上に滴下された感光性樹脂３６を全面に引き延ばす． スキージ塗布部１４で感光性樹脂３６が塗布された基仮
３４は、図示しない自動搬送装置により、久ピン塗布部
２８に搬送される。

この間に、スキージ２２は、スキージ洗浄槽２６で洗浄
して乾燥される。

スピン塗布部２８に１，役送された基板３４は、スピン
チャノク３０に吸着されたのち、１９００ＰＰＭで、２
〜３秒間だけ回転する。

この結果、基板３４の有効画素内で平均１．３μｍ±２
％の感光性樹脂膜が得られた。

第３図、第４図は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第２の実施例を示した図、第５図は、同第２の実施装置
の動作シーケンスを説明するための線図である。

第２の実施例の塗布装置は、スキージ塗布部とスピン塗
布部を一体にしたものである。これは、第２図の実施例
の装置では、スキージ塗布部からスピン塗布部への自動
搬送に時間がかかり、感光性樹脂の種類によっては、乾
燥．変質などにより使用できない場合があるからである
。

第２図の装置に使用できる感光性樹脂としては、水溶性
感光性樹脂（ゼラチン５カゼイン等）、顔料分散した前
記水溶性悪光性樹脂、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）
水溶液、アクリル主成分のＪＤＳ（日本合成ゴム製）、
アクリル主成分のＣＦＰ（チッソ製）等があげられ、第
３図の装置に使用できる感光性樹脂としては、ＪＳＲ−
７　０　３（日本合成ゴム製）、ＯＭＲ−８５，ＯＭＲ
−８３（東京応化’！）、ＯＦＰＲ−８００，ＯＦＰＲ
２（東京応化製）、ＰＶＡ水溶液、アクリル主成分のＪ
ＤＳ（日本合成ゴム製）、アクリル主成分のＣＦＰ（チ
ッソ製）等があげられる。

スピンカンフ゜５２内には、スピンチャ・ンク４８が上
下方向に｛多動できるように設けられており、スピンチ
ャック４日の上昇端の位置に、塗布ノズル３８およびス
キージ４２が配置されている。

つぎに、この実施例の塗布装置の細部の構造とその動作
を、第５図に示した動作シーケンスに従って、さらに詳
しく説明する。

基板５６として、３００Ｘ３２０Ｘ１．１’　ｍｍのガ
ラスを用い、感光性樹脂５８として顔料分散１ｇ光性樹
脂を１．３μｍの厚さに塗布する例で説明する。

まず、スピンチャック４８が上昇した状態にする（第５
図（ｄ））． 滴下ノズル３日の移動台４０が移動しながら（第５図（
ａ）　：　ｔ　＋　〜ｔ４）、滴下ノズル３８から感光
性樹脂５８を基板５６の端面に沿って滴下する（第５図
纏）：Ｌ２〜し，）。

つぎに、スキージ４２を、一定速度（５ｃｍ／ｓｅｃ）
で移動させ、基板５６上の感光性樹脂５８を全面に引き
延ばす（第５図（Ｃ）　：　ｔ　ｓ〜Ｌ，）．このとき
、スキージ４２と基板５６の間隔を２００μｍに設定し
てある。

スキージ４２で塗布したのち、スピンチャンク５をスピ
ンカップ６内に下降させたのち（第５図（ｄ）　：　ｔ
　．〜ｔ１。）、スビンモータ５０を１９０ＯＲＰＭで
高速回転し（第５図（ｆｌ：ｔ＋ｓ〜（１，）、その後
に、５００Ｒ．ＰＭで中速回転する（第５図ｍ　：　ｔ
　ｚ。〜ム２１）。このように、加速時間が１秒以下（
ｔ１，〜ｔ１，）であるショートスピン方式を採用して
いるので、基板外周部の１０ｍｍ以内ではフリンジが発
生することはない。

この間に、排気ファン５４が回転し、チャック力，プ５
２内を排気している（第５図（ｅ）：ｔ＋ｊ〜Ｌ　ｌ＆
）。このように、スプレノド時より排気するするととも
に、アノパフードの直径を大きくした（φ１０ｃｍから
φ３０ｃｍにした）ので、気流が基仮表面を滑り、１１
便厚段差が生じなくなった。また、スキージ４２は、ス
キージ洗浄槽４６内で洗浄、乾燥される（第５図（５）
：ｔ．ｔｒ〜Ｌ，。）。

感光性樹脂５８が均一に塗布された基Ｆｉ５６は、図示
しない搬送アームによりスピンカンブ５２内から搬出さ
れる（第５図（ｇ）：ｔｚ３〜Ｌ２６）。

この結果、基板５６の有効画素内に、平均１．３μｍ±
２．０％の感光性樹脂膜が得られた。

このように、本発明では、感光性樹脂の利用効率（従来
比１／４〜ｌ／５濾）が高く、基板平面に形成された膜
厚のハラツキを±２％程度におさえることができる。

第６図〜第１５図は、本発明による粘性液体の塗布装置
の第３の実施例を示した図であって、第６図は主要部の
平面図、第７図は第６図■一■断面図、第８図は第６図
■−■断面図、第９図はスピンチャックの一部を示した
平面図、第１０図は第９図の側断面図、第１１図は塗布
ノズルを示した図、第１２図はスキージを示した図、第
１３図は前記スキージの部分拡大図、第１４図は前記ス
キージの変形例を示した部分拡大図、第１５図はスキー
ジ洗浄槽を示した平面図、第１６図は前記スキージ洗浄
槽の側断面図である。

第３の実施例の塗布装置は、第２の実施例の装置と同様
に、スキージ塗布部とスピン塗布部を一体化したもので
あるが、細部の構造に改良を加えたものである。

この塗布装置は、基本的には、基板７４をバキュームに
より固定するとともに、スピン回転を与えるスピンチャ
ンク６０と、感光性樹脂８０を基板の端部に滴下させる
塗布ノズル６０と、滴下された感光性樹脂８０を基板の
全面に引き伸ばすスキージ９０と、感光性樹脂８０が付
着したスキージ９０の洗浄を行うスキージ洗浄部１２４
と、塗布プロセスによりスピンチャック６０の外周や８
スピンナカンプ６２回りに付着した感光性樹脂８０を落
とすチャノク洗浄ノズル１４０，１４２等とから構成さ
れている。

スピンチャノク６０は、第７図，第８図に示すようＧこ
、スピンナカノプ６２の中に設けられている。このスピ
ンチャノク６０は、第９図，第１０図に示すように、モ
ータ軸６４と、チャック受６６と、チヤ，ク下部６８と
、チャノク中部７０と、チャノク上部７２等とから構成
されている。なお、第９図、第ｌＯ図は、スピンチャン
ク６０のほぼ１／１の部分を示しており、さらに、左右
方向の中間部分を省略してある。モータ軸６４には、大
径の通路６４ａと小径の通路６４ｂが設けられている。

チャンク受６６は、円筒部６６ａの上に円板部６６ｂが
設けられ、さらにその上に円板上の凸部６６ｃが設けら
れた形状をしており、円筒部６６ａの内壁がモータ軸６
４の上端に挿入されている。このチャノク受６６は、モ
ータ軸６４の通路６４ａに接続される通路６６ｄと、通
路６４ｂに接続される通路６６ｅと、通路６６ｅに連通
ずる環状の通路６６ｆと、通路６６ｆに連通する４つの
放射状の通路６６ｇとを有している。チャック下部６８
は、正方形の底板６８ａの外周に、側壁６８ｂが設けら
れた形状をしており、中心部に設けられた結合孔６８ｃ
がチャック受６６の円板部６６ｂと結合している。チャ
ノク中部７０は、正方形の仮７０ａの中心部に設けられ
た結合孔７０ｂがチャック受６６の凸部６６ｃに結合し
、その仮７　０　ａがチャック下部６８内に間隙をもっ
て挿入されている。チャンク中部７０は、上面の外周縁
に凸部７０ｃと、上面の中心部を通る十字の溝７０ｄを
存している。チャック上部７２は、チャンク中部７０の
中に載置されている。基板７４は、チャック中部７０の
外周縁の凸部７０ｃにより支持される。

モータ軸６４の通路６４ａは、図示しない三方弁に接続
されており、空気圧源からの圧縮エアまたは真空ポンプ
からのバキュームが選択的に供給される。通路６４ａは
、チャソク受６６の流路６６ｄ，チャノク中部７０の溝
７０ｄ、チャンク中部７０の凸部７０ｃとチャシク上部
７２の間隙に連通しており、感光性樹脂塗布時にはハキ
ュームによって基板７４が吸着され、スピンチャンク７
０．スビナカンブ７２の洗浄時には圧縮エアが供給され
ることによって洗浄液の浸入を防いでいる。

モータ軸６４の通路６４ｂは、空気圧源からの圧縮エア
が供給される。通路６４ｂは、チャック受６６の通路６
６ｅ、通路６６ｆ１通路６６ｇ、チャソク下部６８とチ
ャック中部７０との間隙に連通しており、感光性樹脂塗
布時に圧縮エアによって想光性樹脂の浸入を防いでいる
。

塗布ノズル７６は、第６図，第１１図に示すように、案
内捧７８に沿って任意の速度で移動でき、基仮７４の端
部に感光性樹脂８０を滴下する．この実施例では、塗布
ノズル７６の移動速度は、１０　０　ｍｍ／ｓｅｃ前後
に設定してある。

センサ８２．８４，８６．８８は、塗布ノズル７６の外
側に設けられており、非接触で塗布ノズル７６を検出す
る．センサ８２とセンサ８４の出力は、タイマで遅延さ
せることにより、感光性樹脂８０の吐出の開始と終了の
タイミングを決定する信号として使用している。また、
塗布ノズル７６の移動速度は、センサ８２，８４の間、
センサ８４．８６の間およびセンサ８６，８８の間で変
化できるようになっている。

スキージ９０は、基板７４の端部に滴下された感光性樹
脂８０を基板７４の全面に引き伸ばすためのものであり
、第６図に示すように、案内棒９２．９４に沿って移動
することができる。

この実施例のスキージ９０は、基板７４の厚みにハラツ
キがあっても、ギャップ量の再現性を維持するように工
夫されている。スキージ９０は、第１２図．第１３図に
示すように、円柱状のスキージ部９６の両端に、スキー
ジ部９６の半径よりも所定のギャップ量δに相当するだ
け半径が大きく、摩耗を防止するためにテフロン加工さ
れた案内部９８が設けられている。スキージ９０は、案
内部９日が基板７４の両端に直接接触して移動するので
、スキージ部９６と基板７４の間に所定のギャップ量δ
を持たせることができる．基板７４の両端に加わるスキ
ージ９０の重量が重いと、基板７４が撓んで、ギャップ
量が変動する可能性がある。このため、以下のような構
造にしてある。第１３図に詳しく示したように、スキー
ジ９０の案内部９８のさらに外側には、軸１００が設け
られている。案内棒９４上を移動ずる受け部１０２には
、支持捧１０４が設けられており、その支持捧１０４に
アーム１０６が設けられている。このアーム１０６には
矢印方向のあそびをもたせるための長孔１０６ａが設け
られており、その長孔１０６ａに軸１００が挿入されて
いる。このため、基板７４の両端に加わる重量は、スキ
ージ部９６．案内部９８．軸１００だけになり、基板７
４が撓んでギャップ量δが変動することはなくなる。

また、スキージ９０は、同様な目的で、第１４図に示す
ような構造とすることができる。スキージ部１０８に設
けられた案内部１１０の両側に軸１１２を設け、さらに
アーム１１４を介して、クランク状に軸１１６を設ける
。この軸１１６は、アーム１１８で支持されており、軸
１１６の他端には、スキージ部ｌＯ８と釣り合うように
、アーム１２０を介して重り１２２が設けられている。

スキージ洗浄部１２４は、第６図，第１５図第１６図に
示すように、スピンナカップ６２を隔てた塗布ノズル７
６の反対側に配置されている。

洗浄槽１２６には、給水管１２６ａから洗浄液１２８が
給水され、排水管１２６ｂから排水される。

洗浄槽１２６内には、ナイロン製の洗浄ブラシ１３０が
回転できるように配置されている。洗浄槽１２６の斜め
上側には、ローラユニットが配置されている。このロー
ラユニットは、絞りローラ１３２と、拭き取り口ーラ１
３４を枠１３６で連結して、絞リローラ１３２の軸を中
心にして、拭き取り口ーラ１３４が回転できるようにし
たものである。洗浄槽１２６や絞リローラ１３２．拭き
取り口ーラ１３４等は、さらに外ケース１３８で覆われ
ており、洗浄１１２６からオーバフローした洗浄冫夜１
２８は、排水管１３８ａから排水される。

スキージ９０は、スキージ塗布を終了したのち、洗浄槽
１２６の位置に移動する。スキージ部９６が洗浄槽１２
６の上部に移動すると、洗浄ブラシ１３０により、感光
性樹脂８０が付着したスキージ部９６の洗浄を行う。次
に、スキージ部９６が上昇し、拭き取り口ーラ１３４が
９０度回転して、スキージ部９６の表面を拭き取る。ま
た、拭き取り口ーラ１３４に含まれた洗浄液は、絞りロ
ーラ１３２により絞りながら、拭き取られる．この間に
、洗浄槽１２６内を排水し、給水弁により洗浄液の入れ
換えを行う。

チャンク洗浄ノズル１４０，１４２は、第６図第８図に
示すように、スピンナカノプ６２内の塗布ノズル７６側
に設けられている。これらのチャック洗浄ノズル１４０
，１４２は、スピンチャソク６０上に洗浄液（例えば、
純水）を吐出し、それと同時に、スピンチャック６０が
回転して、その遠心力により、スピンチャック６０の外
周とスピンナカップ６２の回りに付着した感光性樹脂を
除去するようにして洗浄が行われる。

タクト１４４．１４６は、第６図，第８図に示すように
、スビンナカンフ゜６２内のスビンチャ・ンク６０への
基板７４の搬入、搬出を行うためのものであり、この実
施例では、スピンナカノプ６２の両側に、第１タクト１
４４Ａ，１４６Ａと第２タクト１４４Ｂ，１４６Ｂを配
置して、搬入と搬出を交互に行って、効率化を図ってい
る。

第１７図５第１８図は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の特性を説明するための図であって、
第１７図は基板・スキージ間ギャソブ量と感光性樹脂最
小滴下量の関係を示した図、第１８図はスキージ送り速
度と感光性樹脂最小満下量の関係を示した図である。

感光性樹脂の有効利用率を上げるためには、基板の全面
に均一に塗布することができる感光性樹脂の最小滴下量
を見出すことが必要である。

基十反のサイズが３００Ｘ３２０Ｘ１．ＬＬ鴫であって
、素ガラスを用いた場合（実ｖＡ）と、素ガラスの表面
にコントラストを向上させる遮光層であるクロムパター
ンを付けた場合（１点鎖線）について、顔料分散水溶性
感光樹脂（ＢＬＵＥ）を塗布することにより、以下のよ
うなテストを行ウた。

スキージの送り速度を一定（　７　３ｍｍ／ｓｅｅ　）
にして、基キ反とスキージ間のギャップ量を０．１０ａ
ｉＯ．　１　５Ｍ，　　０．２　０１１１１１としたと
きに、必要な感光性樹脂の最小滴下量を測定し、第１７
図のような結果が得られた．この実施例では、この結果
を利用して、感光性樹脂の滴下量を基板とスキージ間の
ギャップ量をもとにして決定することにした。

つき゛に、ｉ＋反とスキージ間のギャッフ゜量を０．　
ＩＱａｎ　　Ｏ．１５ｍｍ　　０．２０ａｍにした場合
に、スキージの速度を変化させて、感光性樹脂の最小摘
下攪を測定した。第１８図に示すように、スキージの送
り速度を下げれば、感光性樹脂の最小滴下量が少なくな
り、しかも、ギャップ量が大きいほど顕著であることが
わかる。また、各ギャップ量において、４０ｍｍ／ｓｅ
ｅ以上の送り速度では、スキージの送り速度にかかわら
ず略一定の滴下量で安定的に塗布が行えることがわかる
。この実施例の塗布装置では、スキージの送り速度は、
スループソト（量産性）と塗布の安定性を考慮して、約
６０ｍｍ／ｓｅｃに設定した。

第１９図は、本発明による粘性液体の塗布装置の第３の
実施例の塗布プロセスを説明するための工程図である。

なお、この工程図はセンサ出力時のタイミングで考えて
おり、図中の白抜きの矢印は、移動中であることを示し
ている。

第ｌタクト１４４Ａ，１．４６Ａは、中間位置から洗チ
ャンバ位置に移動して（第１９図（ａ）：Ｌ〜ｔ２）、
第８図に示すアーム上限位置からアーム下限位置に移動
し（第１９図（ａｌ　：　Ｌ　ｆｆ〜Ｌ，）、アームを
閉じることにより（第１９図（ａｌ　：　ｔ　Ｓ〜Ｌ，
）、洗チャンバ内の基仮７４をつかむ。つぎに、アーム
が下限位置から上限位置に移動し（第１９図（ａ）　：
　Ｌ　，〜ｔ，）、洗チャンバ位置からコータチャンバ
位置に移動し（第１９図（ａ）　：　ｔ　ｑ〜Ｌ，。）
、アームが上限位置から下限位置に移動して（第１９図
（ａｌ：ｔｚ〜’＋２）、アームを開き（第１９図（ａ
）　：　ｔ　１３〜ｔ　１４）　、スピンチャ，ク６０
上に基仮７４を赦置する。さらに、アームが下限位置か
ら上限位置に移動し（第１９図（ａ）：Ｌ＋ｓ〜ｔ１，
）、コータチャンハ位置から中間位置に移動して待機す
る（第１　＋［（ａ）　：　ｔ　１７〜Ｌ　ＩＩ）　ｏ
塗布ノズル７６は、第１タクト１４４Ａ，１４６Ａが洗
チャンハ位置からコータチャンバ位胃に移動したタイミ
ング（第１９図（ａ）：ｔ＋ｏ）に同１υ１して、所定
の時間だけ感光性樹脂の吐き出しを行う（第１９図（Ｃ
）：Ｌ＋ｑ〜ｔ２。）。つぎに、アームが下限位置から
上限位置に移動したタイミング（第１９図（ａ）：ｔ＋
ｂ）に同朋して、第６図に示す原点位置から終点位置ま
で移動する（第１９図（Ｃ）：ｔ２１〜ｔ　ｘｉ）この
とき、所定の時間だけ感光性樹脂の吐き出しを行う（第
１９図（ｃｌ：ｔｚ３〜Ｌ２，）。こののち、終点位置
から原点位置に復帰する（第１９図（Ｃ）：Ｌｚｓ〜ｔ
２＆）。

スキージ９０は、塗布ノズル７６の位置を検出するセン
サからの出力により、第６図に示した原点位置から終了
位置まで移動する（第１９図同：ｔ２．〜ｔ　ｚａ）。

このとき、スキージ９０は、下限位置から上限位置に移
動する（第１９図（ａｔ：ｔ−ｔｑ〜も，。）．つぎに
、塗布終了位置から終点に移動し（第１９図（ｄ）：Ｌ
３１〜Ｌ＋ｚ）、上限位置から下限位置に移動する（第
１９図（ｄ）：ｔ３ｊ〜も，４）。

スピンモー夕は、スキージ９０が終点に移動したタイミ
ング（第１９図（ａ）：ｔｚｚ）に同期して、モータロ
ツタが解除されて、フリーになる（第１９図（ｅ）：ｔ
ｚｓ〜ｔ３，）。これと同時に、スピンナカップ６２が
下限位置から上限位置に移動する（第１９図（ｆ）：ｔ
ｉｔ〜ｔ，，）。スピンモー夕が所定のスピンプログラ
ムに従ってオンオフしたのち（第１９図（ｅ）　：　ｔ
　３９〜ｔ　４１１）　、スピンナカソブ６２が上限位
置から下限位置に移動する（第１９図（ｆｌ：ｔ４３〜
ｔ，４）。スビンモー夕は、原点出しをしてオフする（
第１９図（ｅｌ：ｔ４ｓ）。モータはフリーの状態から
ロックされた状態になる（第１９図（ｅ）：ｔ４？〜ｔ
４ａ）− スピンモー夕によるスピン塗布が終了すると、第２タク
ト１４４Ｂ，１４６Ｂは、中間位置からコータチャンバ
位置に移動して（第１９図（ｂ）：ｔ４９〜も，。）、
第８図に示すアーム上限位置からアーム下限位置に移動
し（第１９図（ｂ）：ｔｓｌ〜Ｌ５２）、アームを閉じ
るとにより（第１９図（ｂ）ＬＳＩ〜ｔｓｎ）、コータ
チャンバ内の基牟反７４をつかむ。つぎに、アームが下
限位置から上限位置に１多動し（第１９図（ｂｌ：ｔｓ
ｓ〜ｔｓａ）、コータチャンバ位置から乾チャンバ位置
に移動し（第１９図（ｂｌ：ｔｓ’＋〜Ｌｓｓ）、アー
ムが上限位置から下限位置に移動して（第１９図（ｂ）
：ｔｓｑ〜Ｌ，。）、アームを開き（第１９図（ｂ）　
：　ｔ　ｂＩ−　Ｌｂｔ）　、乾チャンハへ基板７４を
移す。さらに、アームが下限位置から上限位置に移動し
（第１９図（ｂ）　：　ｔ　４：＋””　ｔ　６１）、
乾チャンバ位置から中間位置に移動して待機する（第１
９図（ｂ）：ｔａｓ〜Ｌ，６）。

一方、スキージ９０は、終点位置では、スキージ洗浄槽
１２４上に位置している。洗浄ブラシｌ３０は常時回転
しており、スキージが上限位置から下県位置に移動する
ことにより（第１９図（ｄ）：Ｌ３ｆｆ〜ｔ：＋４）、
洗浄が開始され（第１９図（濁：ｔ．ｈ’＋）、洗浄終
了（第１９圀（濁：ｔｂａ）の直前に、洗浄槽１２６内
の給水を停止し（第１９図（ｍ：．Ｌ＆Ｊ、排水を開始
する（第１９図（濁：ｔｖ＋）。

第２タクト１４４Ｂ，１４６Ｂが乾チャンバ内に移った
タイミングで（第１９図（ｂ）：ｔｓｓＬ拭き取り口ー
ラが原点位置から終点位置に移動する（第１９図［ｇ）
：ｔｖｓ〜ｔｔｉ）、常時回転している拭き取り口ーラ
でスキージ９０上の洗浄液が拭き取られ、終点位置から
原点位置への移動により（第１９図（ｇ）：ｔｔｔ〜’
？＋１）、拭き取りを終了する。こののち、洗浄槽の排
水が終了し（第１９図（濁：ｔ，ｚ）、給水が開始され
る（第１９図（鎖：む，。）。　スピンナカンプ６２か
ら基板７４が排出されたのち（第１９図（ｂ）　：　ｔ
　ｓｅ）　、スピンナカップ６２が上界し（第１９図（
ｅ）　：　ｔ　７９〜ｔ　ｌｌｏ）、スビンモー夕のロ
ックがフリーになり（第１９図（ｅ）：む１，〜Ｌｌ１
２）、スピンプログラムに従って、スピンモー夕が回転
する（第１９図（ｅ）：ｔ４ｉ〜ｔａ３〜Ｌ　ｓａ）。

この間に、チャンク洗浄液が噴射される（第１９図（ロ
）：ｔｌｌ．〜む，。）。スピンナカップ６２は下降し
（第１９図（ｒ）　：　ｔ　ｓｓ　〜ｔ　１＆）、スピ
ンモータは口冫クされる（第１９図（ｅ）：ｔｓ’＋〜
Ｌ　ｓｌｌ）。

スピンチャンク６０のバキュームは、第１タクト１４４
Ａ，１４６Ａにより基板７４がコータチャンバに入った
時点（第１９図（ａｌ　：　ｔ　＋。）から、第２タク
ト１４４Ｂ，１４６Ｂにより基１反７４がコータチャン
バから出る時点（第１　９１１ａ（ｂｌ　：　ｔ　ｓ。

）までオンされている（第１９図（ｉ）　：　ｔ　９１
−　ｔ　ｑｚ）。

スピンチャソク６０のエアは、チャック洗浄時のスピン
プログラムの開始の時点（第１９図（ｅ）：Ｌ４６）に
同朋して、所定の時間だけオンされている（第１９図０
）：ｔ’＋ｉ〜ＬＱ４），スピンチャソク６０の外周エ
アは、第１タクト１４４Ａ，１４６Ａのアームが上限位
１へ移動した時点（第１９図（ａ）：ｔ＋ｉ）から、第
２タクト１４４Ｂ，１４６Ｂのアームが上服位置へ移動
した時点（第１９図（ｂ）：ｔ５。）までオンされてい
る（第１９図［０　：　ｔ　９５−　Ｌ　ｑｂ）　＊ま
た、チャック洗浄時のスピンプログラムの開始の時点（
第１９図（ｅ）：ｔ４ｉ）に同期して、所定の時間だけ
オンされている（第１９図（Ｄ：ｔ＊ｔ〜ｔ，．）。

コータチャンハに基板７４が搬入されてから、前述の工
程を終了するまでの１サイクルは、８０ｓｅｃである。

第２０［Ｆは、本発明による粘性液体の塗布装置の第３
の実施例を、カラー（色分解）フィルタを製造する場合
を例にして示した工程図である。

赤色、緑色および青色の顔料を、それぞれ第１表に示し
たような組成割合で感光性樹脂に分敗させて、赤色、緑
色および青，色の着色感光性樹脂８０Ｒ．８００．８０
Ｂを作製する。

第１表　（単位；重量％） 基仮７４は、厚さ１．１ｍｍのガラス基板（旭ガラス製
ＡＬ材）を十分に洗浄したものを用いた。

基板７４の上に、赤色感光性樹脂８０Ｒを滴下ノズル７
６で滴下し（第２０図（ａｌ）、スキージ９６と基板７
４とのギャソブ量Ｇ＋＝Ｏ．ｌｍｍにして、スキージ９
６でスキージ塗布した（第２０図（ｂ））。さらに、ス
ピン塗布を行って、１．　２　１ｔ　ｍの膜厚になるよ
うにした（第２０図（Ｃ））。そののち、温度７０゜Ｃ
で３０分間オーブン中で乾燥させ、所定のパターンのマ
スク１５０を密着させて、水銀ランプを用いて露光し（
第２０図（ｄｌ）、水によるスブレ現像を１分間行い、
赤色画素を形成すべき領域に赤色のレリーフ画素を形成
し、さらにｌ５０゜Ｃで３０分間加熱硬化させて、赤色
画素を形成すべき領域に赤色のレリーフ画素８０ｒを得
た（第２０図（ｅ））． 同様に、緑色感光性樹脂８０Ｇを滴下し（スキージ９６
と基板７４とのギャップ量Ｇ２を、前述したギャップ量
Ｇ１よりも大きいギャップ量Ｇ，＝０．２ｍｍにして、
スキージ９６でスキージ塗布した（第２０図（ｆ））。

さらに、スピン塗布を行って、１．２μｍの膜厚になる
ようにした（第２０図（局）．そののち、温度７０゜Ｃ
で３０分間オーブン中で乾燥させ、所定のパターンのマ
スク１５２を密着させて、水銀ランプを用いて露光し（
第２０図（ｈ））、水によるスブレ現像を１分間行い、
緑色画素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素を形成
し、さらに１５０゜Ｃで３０分間加熱硬化させて、緑色
画素を形成すべき領域に緑色のレリーフ画素Ｂｏｇを得
た（第２０図（ｉ））。

さらに、青色感光性樹脂８０Ｂを、緑色感光性樹脂８０
Ｇと同様に、滴下したのち、前述したギャソプ量ＧＩよ
りも大きいギャップＩＯｆｆ＝０．２＋ｎｍにして、ス
キージ９６でスキージ塗布し（第２０図０））、上記緑
のレリーフ画像と同様に、所定のパターンのマスクにて
露光して現像した後、加熱硬化して、青色画素を形成す
べき領域に青色のレリーフ画素８０ｂを得た。

最後に、透明樹脂を２μｍのｌタ厚に塗布して、１５０
゜Ｃで３０分間加熱硬化させて保３Ｉ　１１９を形成し
７て、赤色のレリーフ画素８０「５緑色のレリーフ画素
８０ｇ，青色のレリーフ画木８　０　ｂが規則的Ｃこ配
ｊηされた色分解フィルタを作製し，た（第２０図（ｋ
））。

つぎに、この実施例の粘性液体の塗布装置（スキージ塗
布トスピン＝１一ト）と、従来のスビンコｌ・のみの塗
布装置の塗布Ｘ１１４果を比較ずる。

まず、感光性樹脂の有効｛り川率を比較ずる。

第２表 第２表からわかるように、赤画素を形成する赤色感光性
樹脂の有効利用率が３３８％と高いが、緑画素を形成ず
る緑色｛８光性樹脂、青画素を形成ずる青色感光性樹脂
の場合は有効利用率がともに８．８％であった。この理
Ｌｊ口よ、ＬＣＤの製造工程ト、３色の画素パターンを
それぞれ基仮上に形成するが、最初に形成する赤画素は
、基板　スキン間のギャンプ星をＱ，　ｌ　ｍ　ｍにし
て塗布できる。

しかし、２色目（緑画素）、３色目（青画素）の感光性
Ｌｆｌ脂は、゛４でに１２μｆｆｌの赤画素パターンが
形成されているＪ！仮上に、感光性樹脂を塗布しなけれ
ばならないので、ギャノプ間が０．　１　ｍ　ｍでスー
トージ塗布したのち、スピン塗布すると、ムラが発生し
゛ζしよう。そごで、ごのムラをなくずために、ギャソ
プ量を０．　２　１ＴＩ　ｍにしてスキ一ノ塗布しな＋
Ｊればならないからである。しかし、１８光性樹脂の１
・一タルニ】ス１・が約１／４になり、有効利川率が著
し《向」二し゛ζいるごとがわかる。

第２１図，第２２図は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の膜厚分Ｊｉ　’Ｌ￥性を従来例と托
較し′ζ示した図である。

第２１図に示した例では、感光性樹脂は、ＰＶＡ−スチ
ルバゾル拮にＩ！ｆｔ　Ｆ＋を分敗ざーｌたネガ感光性
樹ＩＩであって、粘度が４０〜４５ｃｐｓのものを川い
た。２Ｍ　ＩＮば、勺イズが３００Ｘ３００Ｘ１．　ｌ
　Ｌｍｍのものを用いてテス１・を行った。

この結果、基板の中央部での感光性樹脂の盛り−１二か
りは、本発明（第２１Ａ図）のほうが、従来例（第２１
１３図）よりも顕著に藏少しでいることがわかる。また
、１１タ１１面内ハラツ＝Ｆ　Ｉ）、φ３００ｌｎＩｎ
の内接円で、従来例では±５５％であ・るのに対して、
本発明では１３．５％以内に入っている。

第２２図に示した例では、感光性樹脂は、ノボラノク系
ボジ感光性＋ＡＩ脂であって、粘度が６ｃｐｓのもの用
い、基板は同様に３００ｘ３００ｘ１．　Ｉ　ＬＬＩｌ
ｍのものを用いてテスＩ一を行った。

この結果、１．１反の中央部での１ど光性樹脂の盛り上
がりは、本発明（第２２Ａ図）のほうが、従来例（第２
２■３図）よりも城少しでいることがわかる。また、１
模厚面内バラツキは、φ３００帥の内接円で、従来例で
は±３％以内であるのに対して、本発明では±２％以内
に入っている。

第２３図は、本発明による粘性液体の塗布装置の第３の
実施例による感光性樹脂滴Ｆｌｊｔと異物の関係を従来
例と比較して示した図である。

＋ｉｉｌ　ｉホと同様な条｛′１で、感光性樹脂を塗布
した場合に、従来のスピンニ】一トのみの例ぐは、３０
ｇ以１−の感光性樹脂が必要であり、感光性樹脂（ａｊ
下量が増加するに従って、異物数が増えていることが分
かる。この５′４物は、塗布に必要な感光性樹脂ｈｌに
比べて遥かに余分な感光性樹脂をスピンナカノヅに持し
込み、その感光性樹脂が飛散することにより、基板トに
ｉｌ１伺着１るものである。

この実施例では、感光性ＩＩＩ｛脂？４ｉ下量が３０ｇ
以下で済み、異物数は殆ど認められない。

（発明の効果］ 以ト詳しく説明したように、本発明によれば、スピン塗
布ずる１１；１に、子め所定の厚さに粘性液体をスキー
ジにより引き延ばしておくので、従来の粘性液体の使用
量に比較して大幅に減少さ−ｌるごとができる。また、
ＩＩＱ厚のハラツキを少なく、塗布面の全面にわたり、
薄くかつ均一に塗膜を形成することができる。

したがって、高価な感光性樹ＪＩＨを塗布するような場
合に、材ｔｌ費の大幅なコストダウンを図ることができ
る。

また、本発明によれば、従来均−に塗膜を形成すること
が困寵であった水冷性感光性樹脂を均一に塗布４−るご
とかできるのご、イ容剤系感光１／ＨＭＪＩ行を使用す
る場合に必要な溶剤回収装置等の必要がなく、二』スト
ダウンに有利である。

さらに、本発明によりカラーフィルタを製造した場合に
は、輝度ムラや色の０巴度ムラのない、極めて高品質な
カラーフィルタを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による私性液体の塗布方法の実施例を
示したブロノク図である。 第２図は、本発明による粘性液体の塗布装置の第１の実
施例を示した斜視図である。 第３図、第４図は、本発明による粘性液体の塗布装置の
第２の実施例を示した図、第５図は、同第２の実施装置
の動作シーケンスを説明するだめの線図である。 第６図〜第１５図は、本発明による粘性？良体の塗布装
置の第３の実施例を示した図であって、第６図は主要部
の平面図、第７図は第６図■−Ｖｌｌ　Ｉｔｌｉ面図、
第８図は第６図■一■断而図、第９図【．１スビンチャ
ンクの一部を示した平向図、第１０図は第９図の側断面
図、第１１図は塗布ノズルを示した図、第１２図はスー
１−一ジを示した図、第１３図は前記ス．１・−ジの部
分拡大図、第１４図は前記スー１−−シの変形例を示し
た部分拡大図、第１５図はスキーノ洗浄槽を示した平面
図、第１６図は前記スー１一一ジ洗浄槽の４ｊｊｌｌ断
面図である。 第１７図、第１８図は、本発明による粘性液体の塗布装
置の第３の実施例の特１’｝を説明するだめの図であっ
て、第１７図は基｛反・スキージ間ギャソブ１ｆ１と感
光性樹脂最小ｌ１？１下量の関係を示した図、第１８図
はスー１−−シ送り速度と感光性樹脂最小滴下品の関係
を示した図である。 第１９図は、本発明による粘性液体の塗布装置の第３の
実施例の塗布プＣｌセスを説明ずるための工程図である
。 第２０図は、本発明に，Ｌる粘性液体の塗布装置の第３
の実施例を、カラー（色分解）フィルタを製造する場合
の工程を示した工程図である。 第２１図，第２２問は、本発明による粘性液体の塗布装
ｉ６の第３の実施例の膜厚分布特性を従来例と比較して
示した図である。 第２３図は、本発明による粘性ｉ＆体の塗布装置の第３
の実施例による感光性＋４１　１１Ｈ滴下尾と異物の関
係を従来例と比較しーζ示した図である。 第２４１／ｌ．ｌ、第２５１ｄは、従来のスピンニｒ−
１〜’ｔＪ＝お、１、びＩコー月べ』−１・法の問題点
を説明するための図である。 １０・・・スー１−−ジ塗布工稈　ｌ２・・スピン塗布
工程ｌ４・・・スー１−−ジ塗Ａ１部　　ｌ６・・・載
置台ｌ８・・・塗布ノズル　　　　２０・・・移動台２
２・・スー１一一ジ　　　　　２４・・移動台２６・・
スギージ洗浄槽　　２８・・・スピン塗布６１１３０・
スピンチャノク　　３２・・・スピンカンフ゜３４・・
・拮仮　　　　　　　３６・・・感光性樹脂代理人　ブ
ｒ理十　＆Ｉｌｉ　　ＩＩ＋　　久　男第 図 第２図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 ア 図 届．＋４’壬冫ジＬ７Ｌ名＋１４でφブｔレ１・土づ１
シ寸』邊ｉＢＬＵＥ 碁＋ａ−スキージ゛間ギ′ヤッフ’　（ｍｍ）第２０図 第２５Ａ図 第２５８図 第２５Ｃ図 ロールコート願１分布 ＰＯＩＮＴ（ナノスヘ′／フ） 呻

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）塗布対象物の被塗布面の端部に粘性液体を滴下し
   その被塗布面の一部または全面に前記滴下された粘性液
   体を所定の厚さに引き延ばすスキージ塗布工程と、 前記スキージ塗布工程で引き伸ばした粘性液体を遠心力
   により前記塗布対象物の被塗布面の全面に均一に分散さ
   せるスピン塗布工程と から構成した粘性液体の塗布方法。
2. （２）塗布対象物上に、第１の感光性樹脂を前記スキー
   ジ塗布工程と前記スピン塗布工程とにより塗布し、所定
   のパターンで露光現像して第１の感光性樹脂パターンを
   形成した後、 第２の感光性樹脂を前記第１の感光性樹脂のスキージ塗
   布工程よりも前記塗布対象物と前記スキージの間隔を大
   きくした前記スキージ塗布工程と前記スピン塗布工程と
   により塗布し、所定のパターンで露光現像して、前記第
   １の感光性樹脂パターン以外の部分に第２の感光性樹脂
   パターンを形成する 工程を含むことを特徴とする粘性液体の塗布方法。
3. （３）塗布対象物上に、第１の感光性樹脂を前記スキー
   ジ塗布工程と前記スピン塗布工程とにより塗布し、所定
   のパターンで露光現像して第１の感光性樹脂パターンを
   形成した後、 第２の感光性樹脂を、前記第１の感光性樹脂のスキージ
   塗布工程よりも前記塗布対象物と前記スキージの間隔を
   大きくした前記スキージ塗布工程と前記スピン塗布工程
   とにより塗布し、所定のパターンで露光現像して、前記
   第１の感光性樹脂パターン以外の部分に第２の感光性樹
   脂パターンを形成し、 さらに、第３の感光性樹脂を、前記第１の感光性樹脂の
   スキージ塗布工程よりも前記塗布対象物と前記スキージ
   の間隔を大きくした前記スキージ塗布工程と前記スピン
   塗布工程とにより塗布し、所定のパターンで露光現像し
   て、前記第１および第２の感光性樹脂パターン以外の部
   分に第３の感光性樹脂パターンを形成する 工程を含むことを特徴とする粘性液体の塗布方法。
4. （４）前記各感光性樹脂は、水溶性感光樹脂であること
   を特徴とする請求項（２）または（３）記載の粘性液体
   の塗布方法。
5. （５）塗布対象物の被塗布面の端部に粘性液体を滴下す
   る塗布ノズル部と、 前記塗布対象物の被塗布面に対して一定の間隔を保って
   移動し前記滴下された粘性液体を所定の厚さに引き延ば
   すスキージ部と、 前記塗布対象物を固定して高速回転することにより前記
   引き延ばされた粘性液体を前記被塗布面の全面に均一に
   分散させるスピンチャック部とから構成した粘性液体の
   塗布装置。