JPH02290504A - Ｉｃリードの曲り検出方法 - Google Patents
Ｉｃリードの曲り検出方法Info
- Publication number
- JPH02290504A JPH02290504A JP1111072A JP11107289A JPH02290504A JP H02290504 A JPH02290504 A JP H02290504A JP 1111072 A JP1111072 A JP 1111072A JP 11107289 A JP11107289 A JP 11107289A JP H02290504 A JPH02290504 A JP H02290504A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- detection
- straight line
- laser beam
- leads
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 42
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 24
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 10
- 238000005188 flotation Methods 0.000 abstract 3
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣリードの曲りを検出する方法に関し、特
に光ビームを利用して、ＩＣＵ一ドの上下（浮き、沈み
）及び左右（リード列）方向の曲りを高精度で迅速に検
出する検出方法に関する。
に光ビームを利用して、ＩＣＵ一ドの上下（浮き、沈み
）及び左右（リード列）方向の曲りを高精度で迅速に検
出する検出方法に関する。
第９図は従来のＩＣリードの曲り検査装置の図である。
該図において、ｌはリードに２段の曲りがつけられた表
面実装型のＩｃ（半導体集積回路装置）、２は該ｒｃ１
を矢印ａ方向に案内移送するガイド、３は照明用光源、
４はＴＶカメラである。
面実装型のＩｃ（半導体集積回路装置）、２は該ｒｃ１
を矢印ａ方向に案内移送するガイド、３は照明用光源、
４はＴＶカメラである。
この検出装置では、ＩＣＩがガイド２で案内移送され、
ＴＶカメラ４の視野に入ると、その映像がＴＶカメラ４
に読み込まれる。この画像を２値化処理し、ＩＣの各リ
ード先端の座標を演算算出することによりリードの上下
及び左右の曲りを検出する。
ＴＶカメラ４の視野に入ると、その映像がＴＶカメラ４
に読み込まれる。この画像を２値化処理し、ＩＣの各リ
ード先端の座標を演算算出することによりリードの上下
及び左右の曲りを検出する。
このように従来では、ＴＶカメラで得たＩＣの画像から
リードの曲りを検出しているので、その精度がＴＶカメ
ラの焦点深度、分解能、リード表面状態によって制約さ
れ、また、高速に処理することができないという問題が
あった。
リードの曲りを検出しているので、その精度がＴＶカメ
ラの焦点深度、分解能、リード表面状態によって制約さ
れ、また、高速に処理することができないという問題が
あった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、
【Ｃリードの曲りを高精度かつ高速に検出できるように
した検出方法を提供することを目的とする。
【Ｃリードの曲りを高精度かつ高速に検出できるように
した検出方法を提供することを目的とする。
このために本発明は、列状に並んだ複数のＩＣリードの
正常形状時の先端を結ぶ直線の内側に設定した直線を相
対的に走査する沈み検出用光ビームと、上記先端を結ぶ
直線の外側に設定した直線を相対的に走査する浮き検出
用光ビームとを使用し、上記沈み検出用光ビームが上記
Ｉ Ｃ Ｕ−ドにより遮断されないことによりＩＣリー
ドの下方向曲りを、及び上記浮き検出用光ビームが上記
ＩＣリードにより遮断されることによりＩ Ｃ ＋Ｊ一
ドの上方向曲りを検出するようにした。
正常形状時の先端を結ぶ直線の内側に設定した直線を相
対的に走査する沈み検出用光ビームと、上記先端を結ぶ
直線の外側に設定した直線を相対的に走査する浮き検出
用光ビームとを使用し、上記沈み検出用光ビームが上記
Ｉ Ｃ Ｕ−ドにより遮断されないことによりＩＣリー
ドの下方向曲りを、及び上記浮き検出用光ビームが上記
ＩＣリードにより遮断されることによりＩ Ｃ ＋Ｊ一
ドの上方向曲りを検出するようにした。
以下、本発明の一実施例のＩＣリードの曲り検出方法に
ついて説明する。第１図はその検出方法を実施するため
の検出装置の説明図である。該図において、１０は支持
体に固定したレーザ光源、ＩＩは該レーザ光源１０から
発射されるレーザビーム（例えば波長７８０ｎｍ，スポ
ット径５０μｍ）１２は該レーザビーム１１を受光する
受光素子、１３は図の紙面と交差する方向に案内移送（
例えば３ ５． ８ ｍｍ／ｓ）可能に設けたＩＣで、
該ＩＣのパッケージの両側には各々に複数（本例では４
本）のリード１４（第２図では１４Ａ−Ｄ及び１４Ｅ〜
Ｈ）が突出配列されている。
ついて説明する。第１図はその検出方法を実施するため
の検出装置の説明図である。該図において、１０は支持
体に固定したレーザ光源、ＩＩは該レーザ光源１０から
発射されるレーザビーム（例えば波長７８０ｎｍ，スポ
ット径５０μｍ）１２は該レーザビーム１１を受光する
受光素子、１３は図の紙面と交差する方向に案内移送（
例えば３ ５． ８ ｍｍ／ｓ）可能に設けたＩＣで、
該ＩＣのパッケージの両側には各々に複数（本例では４
本）のリード１４（第２図では１４Ａ−Ｄ及び１４Ｅ〜
Ｈ）が突出配列されている。
上記レーザ光源１０と受光素子１２の一対で１組の検出
部が構成される。本例では、この検出部を浮き検出用、
沈み検出用とした２組をＩＣの両側に沿って各々に設け
、計４組を設けている。浮き検出用は外側に、沈み検出
用は内側に設けている。第１図では、ＩＣの両側の各々
に１組、計２組のみを記載し他は省略した。
部が構成される。本例では、この検出部を浮き検出用、
沈み検出用とした２組をＩＣの両側に沿って各々に設け
、計４組を設けている。浮き検出用は外側に、沈み検出
用は内側に設けている。第１図では、ＩＣの両側の各々
に１組、計２組のみを記載し他は省略した。
第３図はＩＣ１３の拡大側面図である。今、リード１４
が第３図（ｂｌに符号ｌ４゜で示すように上方に曲がっ
ていると、その先端部は、外側つまりＩＣバフケージｌ
５から離れる方向に偏る。反対に第３図（Ｃｌに符号１
４゛′で示すように下方に曲がっていると、その先端部
は、内側つまりＩＣパソケージｌ５側に偏る。この上下
方向の変化量とＸ方向（水平方向）の変形量との関係を
第４図に示した。
が第３図（ｂｌに符号ｌ４゜で示すように上方に曲がっ
ていると、その先端部は、外側つまりＩＣバフケージｌ
５から離れる方向に偏る。反対に第３図（Ｃｌに符号１
４゛′で示すように下方に曲がっていると、その先端部
は、内側つまりＩＣパソケージｌ５側に偏る。この上下
方向の変化量とＸ方向（水平方向）の変形量との関係を
第４図に示した。
第４図において、白丸はりード１４Ａ−Ｄ列側のリード
ｌ４について、黒丸はり一ド１４Ｅ〜Ｈ列側のり一ド１
４について表してあり、Ｘ量は、正常なリードの先端部
からの水平方向の距離を示している。例えばリ一ド１４
Ａ−Ｄ列側のり一ド１４の先端が上方へｈ１変形移動す
ると、Ｘ量はＸ， となる。
ｌ４について、黒丸はり一ド１４Ｅ〜Ｈ列側のり一ド１
４について表してあり、Ｘ量は、正常なリードの先端部
からの水平方向の距離を示している。例えばリ一ド１４
Ａ−Ｄ列側のり一ド１４の先端が上方へｈ１変形移動す
ると、Ｘ量はＸ， となる。
本例では、このＸ量からリードの曲りを検出しようとす
るものであり、その曲りがある限界値を越えたものを不
良する。その不良限界値は、上下方向の浮き沈みについ
てはリード厚さ（０．１５鶴）の１／２とする。なお、
後記する左右方向についてはリード幅（０．３５鴎）の
１７２とする。
るものであり、その曲りがある限界値を越えたものを不
良する。その不良限界値は、上下方向の浮き沈みについ
てはリード厚さ（０．１５鶴）の１／２とする。なお、
後記する左右方向についてはリード幅（０．３５鴎）の
１７２とする。
さて、本例でのＩＣリード１４の曲りの有無の検出は、
リード１４Ａ−Ｄ列及びリード１４Ｅ〜Ｈ列の両列に対
し、全く同様に同時に行なわれるので、以下の説明では
リードｉ４Ａ−Ｄ列について説明し、リード１４Ｅ−Ｈ
列については省略する。
リード１４Ａ−Ｄ列及びリード１４Ｅ〜Ｈ列の両列に対
し、全く同様に同時に行なわれるので、以下の説明では
リードｉ４Ａ−Ｄ列について説明し、リード１４Ｅ−Ｈ
列については省略する。
まず、ｒｃ１３を設定方向に一定速度で移送すると、第
２図に示すように、正常状態のリードの先端を結ぶ直線
１６Ａの外側の適宜位置（限界値位置）に設定した直線
１６Ｂに沿って、浮き検出用のレーザ光源からのレーザ
ビームが相対的に照射走査される。同時に、沈み検出用
のレーザ光源からのレーザビームが直線１６Ａの内側の
適宜位置（限界値位置）に設定した直線１６Ｃに沿って
相対的に照射走査される。
２図に示すように、正常状態のリードの先端を結ぶ直線
１６Ａの外側の適宜位置（限界値位置）に設定した直線
１６Ｂに沿って、浮き検出用のレーザ光源からのレーザ
ビームが相対的に照射走査される。同時に、沈み検出用
のレーザ光源からのレーザビームが直線１６Ａの内側の
適宜位置（限界値位置）に設定した直線１６Ｃに沿って
相対的に照射走査される。
このとき、各リード１４Ａ−Ｄに上下方向への曲りがな
い場合には、浮き検出用のレーザ光源からのレーザビー
ムは、各リード１４Ａ−Ｄに遮断されることなく、その
まま浮き検出用の受光素子に受光される。これと同時に
、沈み検出用のレーザ光源からのレーザビームは、各リ
ード１４Ａ〜Ｄに一致したとき（照射したとき）遮断さ
れ、その影が受光素子に現れる。
い場合には、浮き検出用のレーザ光源からのレーザビー
ムは、各リード１４Ａ−Ｄに遮断されることなく、その
まま浮き検出用の受光素子に受光される。これと同時に
、沈み検出用のレーザ光源からのレーザビームは、各リ
ード１４Ａ〜Ｄに一致したとき（照射したとき）遮断さ
れ、その影が受光素子に現れる。
第５図〜第８図はこのような影をパルス計数に変更して
波形図化したもので、第５図では各りード１４Ａ−Ｄに
上下方向への曲りがないことが分かる。つまり直線１６
Ｂに沿ってレーザビームを相対的に走査したとき、浮き
検出用の受光素子にパルスが発生せず（第５図ｆａｌ）
、直線１６Ｃに沿って走査したとき沈み検出用の受光素
子に４パルスが発生し（第５図（ｂｌ）、これにより各
リード１４゛Ａ−Ｄに上下方向への曲りがないことが分
かる。
波形図化したもので、第５図では各りード１４Ａ−Ｄに
上下方向への曲りがないことが分かる。つまり直線１６
Ｂに沿ってレーザビームを相対的に走査したとき、浮き
検出用の受光素子にパルスが発生せず（第５図ｆａｌ）
、直線１６Ｃに沿って走査したとき沈み検出用の受光素
子に４パルスが発生し（第５図（ｂｌ）、これにより各
リード１４゛Ａ−Ｄに上下方向への曲りがないことが分
かる。
次にリード１４Ｂ，Ｃ，Ｄの各々に上方向へ限界値以上
の曲りがある場合には、浮き検出用のレーザ光源からの
レーザビームがこれらのりードＢ、Ｃ，Ｄで遮断され、
３パルスを発生し（第６図（ａ））、リード１４Ｂ，Ｃ
，Ｄに上方向への曲り不良があることが分かる。
の曲りがある場合には、浮き検出用のレーザ光源からの
レーザビームがこれらのりードＢ、Ｃ，Ｄで遮断され、
３パルスを発生し（第６図（ａ））、リード１４Ｂ，Ｃ
，Ｄに上方向への曲り不良があることが分かる。
また、リード１４Ａに下方向への限界値以上の曲りがあ
る場合には、リード１４Ａが沈み検出用のレーザ光源か
らのレーザビームを遮断することがなく、パルスを発生
しなくなる（第３図（Ｃ）参照）。
る場合には、リード１４Ａが沈み検出用のレーザ光源か
らのレーザビームを遮断することがなく、パルスを発生
しなくなる（第３図（Ｃ）参照）。
この結果、第６図（ｂ）に示すようにリード１４Ａによ
るパルスが欠けた３パルスのみが発生してりード１４Ａ
に曲り不良があることが分かる。
るパルスが欠けた３パルスのみが発生してりード１４Ａ
に曲り不良があることが分かる。
次にリード１４の左右方向の曲りの検出は、上記の検出
によって得られるパルスの間隔を設定値（正常値）と比
較することにより同時に行う。すなわち、各リード１４
Ａ−Ｄに左右方向に曲りがない場合は、沈み検出用レー
ザ光源からのビーム遮断で発生する各パルス間の間隔は
等しく （第７図（ｂ））、各リードＡ−Ｄに左右方向
の曲りがないことが分かる。
によって得られるパルスの間隔を設定値（正常値）と比
較することにより同時に行う。すなわち、各リード１４
Ａ−Ｄに左右方向に曲りがない場合は、沈み検出用レー
ザ光源からのビーム遮断で発生する各パルス間の間隔は
等しく （第７図（ｂ））、各リードＡ−Ｄに左右方向
の曲りがないことが分かる。
これに対しリード１４Ｂに右方向への曲りがある場合で
は、第８図（ｂ）のように、左（最初）から１番目と２
番目のパルス間が広く、２番目と３番目のパルス間が狭
くなり間隔が不統一となる。これにより左右方向に曲が
りのあるリードがあることが分かる。
は、第８図（ｂ）のように、左（最初）から１番目と２
番目のパルス間が広く、２番目と３番目のパルス間が狭
くなり間隔が不統一となる。これにより左右方向に曲が
りのあるリードがあることが分かる。
なお、ＤＩＰ型等の曲折タイプのＩＣリードについても
本発明は適用できる。
本発明は適用できる。
以上から本発明によれば、光ビームをリード列に相対的
に走査し、リードがレーザビームを遮断することにより
発生するパルスの有無及びそのパルス間隔からリードの
曲りの良否を検出することができる。この結果、リード
位置が３次元的に変動しても従来の検出のような焦点深
度の制約は受けることはなく、また、リード表面状態に
影響されることもなく、検出精度を高めることができる
．また、信号処理が簡単となるため検出速度を上げるこ
とができる。
に走査し、リードがレーザビームを遮断することにより
発生するパルスの有無及びそのパルス間隔からリードの
曲りの良否を検出することができる。この結果、リード
位置が３次元的に変動しても従来の検出のような焦点深
度の制約は受けることはなく、また、リード表面状態に
影響されることもなく、検出精度を高めることができる
．また、信号処理が簡単となるため検出速度を上げるこ
とができる。
第１図は本発明の一実施例のＩＣリードの曲り検出装置
の説明図、第２図はレーザビームの走査線とＩＣとの関
係を示す平面図、第３図はｒｃの側面図、第４図はＩＣ
リードの曲りによる先端部の位置を示す座標図、第５図
乃至第８図は受光素子で感知したレーザビームの遮断を
パルス計数として表示した波形図、第９図は従来のＩＣ
リードの曲り検出装置の斜視図である。 ＩＯ・・・レーザ光源、ｌ１・・・レーザビーム、１２
・・・受光素子、ｌ３・・・ＩＣ，１４Ａ−１４８・・
・リード、１５・・・ｒｃパソケージ、１６Ａ，１６Ｂ
、１６Ｃ・・・直線（レーザビームの相対走査線）代理
人 弁理士 長 尾 常 明 第 図 第２ 図 第４ 図 第５ 図 第７ 図 １Ｌ４″ 第 図 第８ 図
の説明図、第２図はレーザビームの走査線とＩＣとの関
係を示す平面図、第３図はｒｃの側面図、第４図はＩＣ
リードの曲りによる先端部の位置を示す座標図、第５図
乃至第８図は受光素子で感知したレーザビームの遮断を
パルス計数として表示した波形図、第９図は従来のＩＣ
リードの曲り検出装置の斜視図である。 ＩＯ・・・レーザ光源、ｌ１・・・レーザビーム、１２
・・・受光素子、ｌ３・・・ＩＣ，１４Ａ−１４８・・
・リード、１５・・・ｒｃパソケージ、１６Ａ，１６Ｂ
、１６Ｃ・・・直線（レーザビームの相対走査線）代理
人 弁理士 長 尾 常 明 第 図 第２ 図 第４ 図 第５ 図 第７ 図 １Ｌ４″ 第 図 第８ 図
Claims (2)
- （１）、列状に並んだ複数のＩＣリードの正常形状時の
先端を結ぶ直線の内側に設定した直線を相対的に走査す
る沈み検出用光ビームと、上記先端を結ぶ直線の外側に
設定した直線を相対的に走査する浮き検出用光ビームと
を使用し、上記沈み検出用光ビームが上記ＩＣリードに
より遮断されないことによりＩＣリードの下方向曲りを
、及び上記浮き検出用光ビームが上記ＩＣリードにより
遮断されることによりＩＣリードの上方向曲りを検出す
るようにしたことを特徴とするＩＣリードの曲り検出方
法。 - （２）、上記沈み検出用光ビームの相対走査を等速で行
い、パルス間隔の長短により上記ＩＣリードの横方向の
曲りを検出することを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載のＩＣリードの曲り検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11107289A JP2726911B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ｉｃリードの曲り検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11107289A JP2726911B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ｉｃリードの曲り検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02290504A true JPH02290504A (ja) | 1990-11-30 |
| JP2726911B2 JP2726911B2 (ja) | 1998-03-11 |
Family
ID=14551671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11107289A Expired - Fee Related JP2726911B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Ｉｃリードの曲り検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2726911B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017188454A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 川崎重工業株式会社 | 部品検査装置および方法 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP11107289A patent/JP2726911B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017188454A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 川崎重工業株式会社 | 部品検査装置および方法 |
| JP2017198616A (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 川崎重工業株式会社 | 部品検査装置および方法 |
| TWI644097B (zh) * | 2016-04-28 | 2018-12-11 | 川崎重工業股份有限公司 | Parts inspection device and method |
| CN109073567A (zh) * | 2016-04-28 | 2018-12-21 | 川崎重工业株式会社 | 零件检查装置及方法 |
| US10746535B2 (en) | 2016-04-28 | 2020-08-18 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Inspecting device and method for component with two wires |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2726911B2 (ja) | 1998-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2795595B2 (ja) | 透明板状体の欠点検出方法 | |
| JPH08503320A (ja) | バーコードの撮像方法 | |
| US4875780A (en) | Method and apparatus for inspecting reticles | |
| JPH01311206A (ja) | 複数チャネル光学式飛点三角測量型距離測定装置 | |
| US20020018206A1 (en) | Semiconductor structures and manufacturing methods | |
| KR20010014453A (ko) | 판상부재 검출장치 | |
| JPH02290504A (ja) | Ｉｃリードの曲り検出方法 | |
| JP4822342B2 (ja) | 位置検出方法 | |
| JP4014027B2 (ja) | 車両塗面の微小欠陥検査装置 | |
| JPH10185830A (ja) | 透明シート検査装置 | |
| JP4406796B2 (ja) | 非接触三次元物体形状測定方法および装置 | |
| JP2003097924A (ja) | 形状測定装置および測定方法 | |
| JPS58213386A (ja) | 光走査式入力装置 | |
| JP2504944B2 (ja) | ３次元情報処理方法 | |
| JPS63302349A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JPS62291512A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPS61279145A (ja) | 電子部品の脚片の不良検出装置 | |
| JP2640831B2 (ja) | 分割受光方式による微粒子検出誤差の防止方法 | |
| JP2009042128A (ja) | 高さ測定装置 | |
| JPH03111745A (ja) | 漏光検出装置 | |
| JPH0460201B2 (ja) | ||
| JPS59152626A (ja) | 異物検出装置 | |
| JPH07128841A (ja) | フォトマスクの欠陥検査方法 | |
| JPH05235131A (ja) | 半導体装置のリード曲がり検査装置 | |
| JP2014228351A (ja) | 物体認識装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |