JPH0229170B2 - Yoryoshikidenjiryuryokeiyodokannoseizohoho - Google Patents
YoryoshikidenjiryuryokeiyodokannoseizohohoInfo
- Publication number
- JPH0229170B2 JPH0229170B2 JP9740283A JP9740283A JPH0229170B2 JP H0229170 B2 JPH0229170 B2 JP H0229170B2 JP 9740283 A JP9740283 A JP 9740283A JP 9740283 A JP9740283 A JP 9740283A JP H0229170 B2 JPH0229170 B2 JP H0229170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- peripheral surface
- conduit
- outer peripheral
- green sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/584—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は容量式電磁流量計用導管（以下導管と
いう）の製造方法に関し、製作の容易化を図つた
ものである。
いう）の製造方法に関し、製作の容易化を図つた
ものである。
第１図に一般の導管の縦断面を示す。第２図に
その横断面を示す。両図に示すように、セラミツ
クからなるパイプ状の導管１内には、面状をなす
測定電極２と、この測定電極２の外側に対面して
配置されたガード電極３とが埋設されている。こ
のうち測定電極２は、励磁コイル４による磁束に
直交して導管１内を流通する被測定流体（図示せ
ず）に発生する起電力を容量結合により取り出
す。またガード電極３は測定電極２をシールドし
ている。高透磁率材料からなるケース５は導管１
の外周を囲んで配置されており、前記励磁コイル
４による磁束の帰還磁路としての機能、即ちコア
としての機能もはたしている。なお導管１とケー
ス５との間にはポールピース６が備えられてい
る。
その横断面を示す。両図に示すように、セラミツ
クからなるパイプ状の導管１内には、面状をなす
測定電極２と、この測定電極２の外側に対面して
配置されたガード電極３とが埋設されている。こ
のうち測定電極２は、励磁コイル４による磁束に
直交して導管１内を流通する被測定流体（図示せ
ず）に発生する起電力を容量結合により取り出
す。またガード電極３は測定電極２をシールドし
ている。高透磁率材料からなるケース５は導管１
の外周を囲んで配置されており、前記励磁コイル
４による磁束の帰還磁路としての機能、即ちコア
としての機能もはたしている。なお導管１とケー
ス５との間にはポールピース６が備えられてい
る。
ここで上述した導管１の従来技術に係る製造方
法を第３図に基づき説明する。第３図に示すよう
に、まずメタライズ加工により表面にシールド７
（図中斜線で示す部分）が施された未焼成のセラ
ミツク導管１に窓８を形成する。次に湾曲した矩
形の未焼成のセラミツク片９，９ａ，９ｂを順次
窓８に嵌め込んで積層していく。なお積層作業前
にメタライズ加工により、セラミツク片９，９
ａ，９ｂの外周面に夫々測定電極２、ガード電極
３及びシールド７を形成しておき、その後全体を
焼成していた。
法を第３図に基づき説明する。第３図に示すよう
に、まずメタライズ加工により表面にシールド７
（図中斜線で示す部分）が施された未焼成のセラ
ミツク導管１に窓８を形成する。次に湾曲した矩
形の未焼成のセラミツク片９，９ａ，９ｂを順次
窓８に嵌め込んで積層していく。なお積層作業前
にメタライズ加工により、セラミツク片９，９
ａ，９ｂの外周面に夫々測定電極２、ガード電極
３及びシールド７を形成しておき、その後全体を
焼成していた。
しかしながらこのような従来技術においては次
のような欠点があつた。
のような欠点があつた。
(1) 窓８を形成するという窓抜き加工が非常に難
しい。
しい。
(2) セラミツク片９，９ａ，９ｂ自体の加工は成
形加工を用いずしては困難でありコスト高にな
る。
形加工を用いずしては困難でありコスト高にな
る。
また他の従来技術に係る製造方法として第４図
に示すものがある。第４図においてはまず未焼成
のセラミツクからなる第１のパイプ１０、第２の
パイプ１０ａ及び第３のパイプ１０ｂを形成す
る。このときパイプ１０ａはパイプ１０の外周に
緊密に嵌入し得るとともにパイプ１０ｂはパイプ
１０ａの外周に緊密に嵌入し得る大きさとしてお
く。次にメタライズ加工によりパイプ１０の外周
面に測定電極２を形成する。パイプ１０の傾斜面
にはシールド７ａを施しておく。その後メタライ
ズ加工により外周面にガード電極３が形成された
パイプ１０ａを同心状にパイプ１０の外周に嵌入
する。更に外周面及び傾斜面にシールド７ｂが施
されたパイプ１０ｂを、同心状にパイプ１０ａの
外側に嵌入する。しかる後全体を一体に焼成して
導管を製造していた。
に示すものがある。第４図においてはまず未焼成
のセラミツクからなる第１のパイプ１０、第２の
パイプ１０ａ及び第３のパイプ１０ｂを形成す
る。このときパイプ１０ａはパイプ１０の外周に
緊密に嵌入し得るとともにパイプ１０ｂはパイプ
１０ａの外周に緊密に嵌入し得る大きさとしてお
く。次にメタライズ加工によりパイプ１０の外周
面に測定電極２を形成する。パイプ１０の傾斜面
にはシールド７ａを施しておく。その後メタライ
ズ加工により外周面にガード電極３が形成された
パイプ１０ａを同心状にパイプ１０の外周に嵌入
する。更に外周面及び傾斜面にシールド７ｂが施
されたパイプ１０ｂを、同心状にパイプ１０ａの
外側に嵌入する。しかる後全体を一体に焼成して
導管を製造していた。
しかしながらこのような従来技術においては次
のような欠点があつた。
のような欠点があつた。
(1) レベル１０，１０ａ，１０ｂを緊密に仕上げ
ることが難しい。（コスト高になる） (2) パイプ嵌入面（第４図における左端）では３
層の境界が露出してしまい、焼成時各層収縮率
の相違により、境界に空隙ができ、この空隙か
ら水分、ゴミ等が侵入し精度誤差発生の原因と
なる。
ることが難しい。（コスト高になる） (2) パイプ嵌入面（第４図における左端）では３
層の境界が露出してしまい、焼成時各層収縮率
の相違により、境界に空隙ができ、この空隙か
ら水分、ゴミ等が侵入し精度誤差発生の原因と
なる。
(3) 焼成時各層収縮率の相違により焼成時の残留
応力が残り早期破損の原因となる。
応力が残り早期破損の原因となる。
本発明は、上述の如き欠点のない導管の製造方
法に関し、その目的は製造が容易で、端面が露出
せず、しかも焼成時の残留応力が残らない導管を
提供することにある。
法に関し、その目的は製造が容易で、端面が露出
せず、しかも焼成時の残留応力が残らない導管を
提供することにある。
このような目的を達成する本発明の構成は、未
焼成のセラミツクパイプと、このパイプに巻回し
た第１の未焼成セラミツクシート（以下グリーン
シートという）と、この第１のグリーンシートの
外周に第２のグリーンシートを巻回し、その後全
体を焼成することを特徴とする。
焼成のセラミツクパイプと、このパイプに巻回し
た第１の未焼成セラミツクシート（以下グリーン
シートという）と、この第１のグリーンシートの
外周に第２のグリーンシートを巻回し、その後全
体を焼成することを特徴とする。
以下本発明の実施例を第５図乃至第８図を参照
して説明する。第５図は導管の縦断面を示し、第
６図はその横断面を示す。図において２０は未焼
成のセラミツクパイプ（以下パイプという）で両
端部にフランジ２１，２１′を有し中間部に段部
２２を有している。このパイプ２０の段部２２に
は円周上対称となる位置に測定電極２３，２３′
がメタライズされている。２４はパイプ２０の段
部２２に巻回した第１のグリーンシートで外側の
面にはガード電極２５，２５′がメタライズされ
ている。２６は第１のグリーンシート２４の外周
に巻回した第２のグリーンシートである。２７は
シールドでフランジ２１，２１′の斜面および第
２のグリーンシート２６の外周面にメタライズさ
れ、コイル４やその他の電気部品からの電気的ノ
イズをシールドしている。なおフランジ２１，２
１′の両端面にはアース電極２８，２８′がメタラ
イズされている。第７図は第１のグリーンシート
２４の展開図を示し、パイプ２０の段部２２に巻
回したときに対称となる位置にガード電極２５，
２５′がメタライズされている。２９，２９′は測
定電極２３，２３′のリード線引出し孔である。
第８図は第２のグリーンシート２６の展開図を示
し、第１のグリーンシート２４の外周に巻回した
ときに対称となる位置にガード電極２５，２５′
のリード線引出し孔３０，３０′が設けられ、一
方の面にはシールド２７がメタライズされてい
る。
して説明する。第５図は導管の縦断面を示し、第
６図はその横断面を示す。図において２０は未焼
成のセラミツクパイプ（以下パイプという）で両
端部にフランジ２１，２１′を有し中間部に段部
２２を有している。このパイプ２０の段部２２に
は円周上対称となる位置に測定電極２３，２３′
がメタライズされている。２４はパイプ２０の段
部２２に巻回した第１のグリーンシートで外側の
面にはガード電極２５，２５′がメタライズされ
ている。２６は第１のグリーンシート２４の外周
に巻回した第２のグリーンシートである。２７は
シールドでフランジ２１，２１′の斜面および第
２のグリーンシート２６の外周面にメタライズさ
れ、コイル４やその他の電気部品からの電気的ノ
イズをシールドしている。なおフランジ２１，２
１′の両端面にはアース電極２８，２８′がメタラ
イズされている。第７図は第１のグリーンシート
２４の展開図を示し、パイプ２０の段部２２に巻
回したときに対称となる位置にガード電極２５，
２５′がメタライズされている。２９，２９′は測
定電極２３，２３′のリード線引出し孔である。
第８図は第２のグリーンシート２６の展開図を示
し、第１のグリーンシート２４の外周に巻回した
ときに対称となる位置にガード電極２５，２５′
のリード線引出し孔３０，３０′が設けられ、一
方の面にはシールド２７がメタライズされてい
る。
上述の如く成形した後全体を焼成して導管を製
造する。
造する。
なお上述の実施例では測定電極２３，２３′を
メタライズする位置はパイプ２０の外周面とし、
ガード電極２５，２５′の位置は第１のグリーン
シート２４の外周面としたが、第１のグリーンシ
ート２４の内周面に測定電極２３，２３′を、そ
の外周面にガード電極２５，２５′をメタライズ
してもよい。第９図は測定電極２３、ガード電極
２５をスルーホール状にメタライズした状態を示
すもので、第１０図は第９図におけるＺ視図であ
る。このように各電極をスルーホール状にメタラ
イズすれば上方からみて露出している部分にリー
ド線を溶接することができるので都合がよい。
メタライズする位置はパイプ２０の外周面とし、
ガード電極２５，２５′の位置は第１のグリーン
シート２４の外周面としたが、第１のグリーンシ
ート２４の内周面に測定電極２３，２３′を、そ
の外周面にガード電極２５，２５′をメタライズ
してもよい。第９図は測定電極２３、ガード電極
２５をスルーホール状にメタライズした状態を示
すもので、第１０図は第９図におけるＺ視図であ
る。このように各電極をスルーホール状にメタラ
イズすれば上方からみて露出している部分にリー
ド線を溶接することができるので都合がよい。
以上実施例と共に具体的に説明したように本発
明によれば両端にフランジを有する未焼成セラミ
ツクパイプの外周面に第１のグリーンシートを巻
回し、この第１のグリーンシートの外周面に第２
のグリーンシートを巻回し、これらの間に測定電
極、ガード電極をメタライズしその後一体として
焼成したので、製造が容易で、端面が露出せず、
残留応力が残らない導管が製造でき、その工業上
の効果は大である。
明によれば両端にフランジを有する未焼成セラミ
ツクパイプの外周面に第１のグリーンシートを巻
回し、この第１のグリーンシートの外周面に第２
のグリーンシートを巻回し、これらの間に測定電
極、ガード電極をメタライズしその後一体として
焼成したので、製造が容易で、端面が露出せず、
残留応力が残らない導管が製造でき、その工業上
の効果は大である。
なお測定電極、ガード電極はメタライズに限ら
ず、ペースト状の導電性材料を塗布してもよい。
ず、ペースト状の導電性材料を塗布してもよい。
第１図及び第２図は容量式電磁流量計の説明図
で、第１図は縦断面図、第２図は横断面図、第３
図は従来の製造方法を説明するための斜視図、第
４図は他の従来の製造方法を説明するための断面
図、第５図乃至第１０図は本発明の実施例に係る
製造方法を説明するための図で、第５図は縦断面
図、第６図は横断面図、第７図は第１の未焼成セ
ラミツクシートの展開図、第８図は第２の未焼成
セラミツクシートの展開図、第９図、第１０図は
測定電極、ガード電極をスルーホール状にメタラ
イズした場合の説明図である。 ２０……未焼成セラミツクパイプ、２１，２
１′……フランジ、２３，２３′……測定電極、２
４……第１の未焼成セラミツクシート、２５，２
５′……ガード電極、２６……第２の未焼成セラ
ミツクシート。
で、第１図は縦断面図、第２図は横断面図、第３
図は従来の製造方法を説明するための斜視図、第
４図は他の従来の製造方法を説明するための断面
図、第５図乃至第１０図は本発明の実施例に係る
製造方法を説明するための図で、第５図は縦断面
図、第６図は横断面図、第７図は第１の未焼成セ
ラミツクシートの展開図、第８図は第２の未焼成
セラミツクシートの展開図、第９図、第１０図は
測定電極、ガード電極をスルーホール状にメタラ
イズした場合の説明図である。 ２０……未焼成セラミツクパイプ、２１，２
１′……フランジ、２３，２３′……測定電極、２
４……第１の未焼成セラミツクシート、２５，２
５′……ガード電極、２６……第２の未焼成セラ
ミツクシート。
Claims (1)
- １ 両端にフランジを有する未焼成のセラミツク
パイプの外周面に未焼成の第１のセラミツクシー
トを巻回し、次に前記第１の未焼成セラミツクシ
ートの外周面に第２の未焼成セラミツクシートを
巻回し、前記セラミツクパイプの外周面又は前記
第１のセラミツクシートの内周面に測定電極を、
前記第１のセラミツクシートの外周面又は前記第
２のセラミツクシートの内周面にガード電極を設
け、次に全体を一体として焼成したことを特徴と
する容量式電磁流量計用導管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9740283A JPH0229170B2 (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | Yoryoshikidenjiryuryokeiyodokannoseizohoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9740283A JPH0229170B2 (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | Yoryoshikidenjiryuryokeiyodokannoseizohoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59222719A JPS59222719A (ja) | 1984-12-14 |
| JPH0229170B2 true JPH0229170B2 (ja) | 1990-06-28 |
Family
ID=14191513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9740283A Expired - Lifetime JPH0229170B2 (ja) | 1983-06-01 | 1983-06-01 | Yoryoshikidenjiryuryokeiyodokannoseizohoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229170B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5289725A (en) * | 1991-07-31 | 1994-03-01 | The Foxboro Company | Monolithic flow tube with improved dielectric properties for use with a magnetic flowmeter |
-
1983
- 1983-06-01 JP JP9740283A patent/JPH0229170B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59222719A (ja) | 1984-12-14 |
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