JPH02293014A - クリーンエア製造装置 - Google Patents
クリーンエア製造装置Info
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- JPH02293014A JPH02293014A JP1113651A JP11365189A JPH02293014A JP H02293014 A JPH02293014 A JP H02293014A JP 1113651 A JP1113651 A JP 1113651A JP 11365189 A JP11365189 A JP 11365189A JP H02293014 A JPH02293014 A JP H02293014A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造産業、食品製造産業、医薬品製造
産業等で使用されるクリーンエア製造装置あるいは、大
気汚染Ｋ関係する工業排出物、バイオ関連排出物の除去
装置として用いられるクリーンエア製造装置に関するも
のである。
産業等で使用されるクリーンエア製造装置あるいは、大
気汚染Ｋ関係する工業排出物、バイオ関連排出物の除去
装置として用いられるクリーンエア製造装置に関するも
のである。
従来のクリーンエア裂造装置には、除塵を目的として静
電式電気集塵装置やＦ過式集塵装置がある。また大気汚
染防止用としては、上記の装置の他に脱臭、脱ガスを行
う洗浄法などが用いられている。
電式電気集塵装置やＦ過式集塵装置がある。また大気汚
染防止用としては、上記の装置の他に脱臭、脱ガスを行
う洗浄法などが用いられている。
従来の装置においては、除去可能な塵埃の大きさに下限
があり、いずれの場合も０．１ＩＩｎ（サブミクロン）
以下の塵埃（微粒子）の除去は非常に難しい状況にあっ
た。
があり、いずれの場合も０．１ＩＩｎ（サブミクロン）
以下の塵埃（微粒子）の除去は非常に難しい状況にあっ
た。
本発明は上記の課題を解決し、サブミクロン以下の塵埃
の除去も行い、同時に脱臭、脱ガスをも行いうるクリー
ンエア製造装置を提供しようとする本のである。
の除去も行い、同時に脱臭、脱ガスをも行いうるクリー
ンエア製造装置を提供しようとする本のである。
塵埃を含む原料窒気を冷却して供給する装置、飽和Ｋ近
い過熱状態の凝縮性気体を供給する装置、上記の冷却さ
れた原料空気と凝縮性気体とが供給されるサイクロン型
遠心分離器、および同遠心分離器の下流側に連る空気排
出管上Ｋ設けられた静電式集塵装置と除湿装置とを備え
たことを特徴とするクリーンエア製造装置。
い過熱状態の凝縮性気体を供給する装置、上記の冷却さ
れた原料空気と凝縮性気体とが供給されるサイクロン型
遠心分離器、および同遠心分離器の下流側に連る空気排
出管上Ｋ設けられた静電式集塵装置と除湿装置とを備え
たことを特徴とするクリーンエア製造装置。
本発明においては、それぞれの供給装置よシ送られた原
料空気と、凝縮性気体は、サイクロン型遠心分離装置内
で旋回・混合する。上記原料空気は冷却されているため
凝縮性気体と接触すると上記原料窒気中に含まれる塵埃
を核として液滴を発生する。こ＼では、サプミクロン以
下の塵埃も液滴を発生させる核となる。発生した液滴は
サイクロン型遠心分離器で空気から分離される。液滴を
分離した空気は同遠心分離器の下流側に連る空気排出管
から排出されるが、なお若干の液滴あるいは湿分を含ん
でいる。これらは、同排出管上に設けられた静電式集塵
装置と除湿装置とによって除去され、空気は塵埃を含ま
ず、かつ湿度が調豊されたクリーンエアとなる。なお、
におい分子、水溶性ガス等も、凝縮核として作用し、あ
るいは発生した液滴に吸収されるため、本発明に係る装
置は、脱臭装置、脱ガス装置としての機能も持つ。
料空気と、凝縮性気体は、サイクロン型遠心分離装置内
で旋回・混合する。上記原料空気は冷却されているため
凝縮性気体と接触すると上記原料窒気中に含まれる塵埃
を核として液滴を発生する。こ＼では、サプミクロン以
下の塵埃も液滴を発生させる核となる。発生した液滴は
サイクロン型遠心分離器で空気から分離される。液滴を
分離した空気は同遠心分離器の下流側に連る空気排出管
から排出されるが、なお若干の液滴あるいは湿分を含ん
でいる。これらは、同排出管上に設けられた静電式集塵
装置と除湿装置とによって除去され、空気は塵埃を含ま
ず、かつ湿度が調豊されたクリーンエアとなる。なお、
におい分子、水溶性ガス等も、凝縮核として作用し、あ
るいは発生した液滴に吸収されるため、本発明に係る装
置は、脱臭装置、脱ガス装置としての機能も持つ。
第１図に本発明の一実施例の系統図を示す。
図において、１はサイクロン型遠心分離器、２は同分離
器の外筒、３は同分離器の円筒、４は外筒２の外周接線
方向に接続され九一対の原料空気ノズル、５は同様に外
筒２の外周接線方向に接続された一対の蒸気ノズル、６
は外筒２の下部に設けられた排出口である。以上の符号
２〜６を付した部分によってサイクロン型遠心分離器が
構成される。７は原料空気送風用ブロア、８は同ブロア
に連る送風管路、９は同管路に連る原料空気冷却機、１
０は同冷却機に連り、分岐して、前記遠心分離器の一対
の原料窒気ノズル４に連る冷却空気管である。以上符号
７〜１０を付した部分によって原料空気供給系統が構成
される．１１は飽和Ｋ近い状態の過熱蒸気を発生する蒸
気発生装置、１２は同蒸気発生装置に連υ、分岐して、
前記遠心分離器の一対の蒸気ノズル５に連る蒸気供給管
である。以上の符号１１．１２を付した部分によって蒸
気供給系統が構成される。１３は前記遠心分離器の内筒
３の上端に連る空気排出管、１４は同窒気排出管上に設
けられた静電式電気集塵装置、１５は同集塵装置に設け
られた排出口、１６は前記空気排出管１３上の、前記集
塵装置１４の下流部に設けられた除湿装置である。以上
の符号１３〜１６を付した部分によって、空気排出除湿
系統が構成される。また図中人は原料窒気、Ｂは冷却さ
れ九原料窒気、Ｃは蒸気、Ｄは凝縮水、Ｅは水分を含ん
だ空気、Ｆは凝縮水、ＧはクＩＪ一ンエアである。
器の外筒、３は同分離器の円筒、４は外筒２の外周接線
方向に接続され九一対の原料空気ノズル、５は同様に外
筒２の外周接線方向に接続された一対の蒸気ノズル、６
は外筒２の下部に設けられた排出口である。以上の符号
２〜６を付した部分によってサイクロン型遠心分離器が
構成される。７は原料空気送風用ブロア、８は同ブロア
に連る送風管路、９は同管路に連る原料空気冷却機、１
０は同冷却機に連り、分岐して、前記遠心分離器の一対
の原料窒気ノズル４に連る冷却空気管である。以上符号
７〜１０を付した部分によって原料空気供給系統が構成
される．１１は飽和Ｋ近い状態の過熱蒸気を発生する蒸
気発生装置、１２は同蒸気発生装置に連υ、分岐して、
前記遠心分離器の一対の蒸気ノズル５に連る蒸気供給管
である。以上の符号１１．１２を付した部分によって蒸
気供給系統が構成される。１３は前記遠心分離器の内筒
３の上端に連る空気排出管、１４は同窒気排出管上に設
けられた静電式電気集塵装置、１５は同集塵装置に設け
られた排出口、１６は前記空気排出管１３上の、前記集
塵装置１４の下流部に設けられた除湿装置である。以上
の符号１３〜１６を付した部分によって、空気排出除湿
系統が構成される。また図中人は原料窒気、Ｂは冷却さ
れ九原料窒気、Ｃは蒸気、Ｄは凝縮水、Ｅは水分を含ん
だ空気、Ｆは凝縮水、ＧはクＩＪ一ンエアである。
本装置において、原料空気Ａが原料空気送風用ブロア７
により送られ、原料窒気冷却機９を経て、冷却された原
料窒気Ｂとなって原料窒気ノズル４よシサイクロン型遠
心分離器１内にその外周接線方向に吹き込まれ、旋回流
を生じる。
により送られ、原料窒気冷却機９を経て、冷却された原
料窒気Ｂとなって原料窒気ノズル４よシサイクロン型遠
心分離器１内にその外周接線方向に吹き込まれ、旋回流
を生じる。
ま九蒸気発生装置１１によシ発生し九蒸気Ｃも、上記と
同様に、一対の蒸気ノズル５よりサイクロン型遠心分離
器１内Ｋ吹き込まれて旋回する。
同様に、一対の蒸気ノズル５よりサイクロン型遠心分離
器１内Ｋ吹き込まれて旋回する。
冷却された原料空気Ｂは、上記原料空気冷却機９により
第２図に示すＸＡまで冷却されており、ま穴蒸気Ｃは、
Ｙ点の状態のため、遠心分離器１内で上記２つの気体が
接触すると、原料空気中に含まれるサブミクロン以下の
塵埃を含む塵埃を核として滴状凝縮が起こり、圧力はｚ
，ａまで低下する。この塵埃を含む液滴は、サイクロン
により空気中から遠心分離され、遠心分離器１の下部の
排出口６よ＃）凝縮水Ｄとして排出される。凝縮水Ｄを
排除された後の窒気Ｅは空気排出管１３から排出される
が、この窒気中Ｋは、なお若干の液滴あるいは湿分が含
有されている。
第２図に示すＸＡまで冷却されており、ま穴蒸気Ｃは、
Ｙ点の状態のため、遠心分離器１内で上記２つの気体が
接触すると、原料空気中に含まれるサブミクロン以下の
塵埃を含む塵埃を核として滴状凝縮が起こり、圧力はｚ
，ａまで低下する。この塵埃を含む液滴は、サイクロン
により空気中から遠心分離され、遠心分離器１の下部の
排出口６よ＃）凝縮水Ｄとして排出される。凝縮水Ｄを
排除された後の窒気Ｅは空気排出管１３から排出される
が、この窒気中Ｋは、なお若干の液滴あるいは湿分が含
有されている。
遠心分離器１で分離されなかつ辱液滴は、次の静電式電
気集塵装置１４によって空気から分離され、凝縮水Ｆと
して排出口１５より排出される。また空気中の湿分は、
最終的に除湿装置１６によって取シ除かれ、塵埃を含ま
ず、湿度が調整されたクリーンエアＧが裂遺される。
気集塵装置１４によって空気から分離され、凝縮水Ｆと
して排出口１５より排出される。また空気中の湿分は、
最終的に除湿装置１６によって取シ除かれ、塵埃を含ま
ず、湿度が調整されたクリーンエアＧが裂遺される。
以上詳述したように本実施例の装置によって、従来は不
可能であった空気中のサブミクロン以下の超微粒子の除
去が可能となった。なお、本装置においては、微小塵埃
の除去とともに、脱臭、脱ガス（水溶性ガス）も同時に
行われる。
可能であった空気中のサブミクロン以下の超微粒子の除
去が可能となった。なお、本装置においては、微小塵埃
の除去とともに、脱臭、脱ガス（水溶性ガス）も同時に
行われる。
本発明のクリーンエア製造装置は、塵埃を含む原料空気
を冷却して供給する装置、飽和Ｋ近い過熱状態０凝縮性
気体を供給する装置、上記の冷却され次原料空気と凝縮
性気体とが供給されるサイクロン型遠心分離器、および
同遠心分離器の下流側に連る空気排出管上に設けられた
静電式集塵装置と除湿装置とを備えているので、サブミ
クロン以下の塵埃を含む塵埃の除去を行い、同時に脱臭
、脱ガス、および湿度調整も行うことができる。
を冷却して供給する装置、飽和Ｋ近い過熱状態０凝縮性
気体を供給する装置、上記の冷却され次原料空気と凝縮
性気体とが供給されるサイクロン型遠心分離器、および
同遠心分離器の下流側に連る空気排出管上に設けられた
静電式集塵装置と除湿装置とを備えているので、サブミ
クロン以下の塵埃を含む塵埃の除去を行い、同時に脱臭
、脱ガス、および湿度調整も行うことができる。
第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図は同実施例
の原理説明図である。 １・・・サイクロン型遠心分離器、２・・・外筒、３・
・・内筒、４・・・原料空気ノズル、５・・・蒸気ノズ
ル、６・・・排出口、７・・・原料空気送風用ブロア、
８・・・送風管路、９・・・原料空気冷却機、１０・・
・冷却壁気管、１１・・・蒸気発生装置、１２・・・蒸
気供給管、１３・・・空気排出管、１４・・・静電式電
気集塵装置、１５・・・排出管、１６・・・除湿装置、
Ａ・・・原料空気、Ｂ・・・冷却され九原料空気、Ｃ・
・・蒸気、Ｄ・・・凝縮水、Ｅ・・・空気、Ｆ・・・凝
縮水、Ｇ・・・クリーンエア。
の原理説明図である。 １・・・サイクロン型遠心分離器、２・・・外筒、３・
・・内筒、４・・・原料空気ノズル、５・・・蒸気ノズ
ル、６・・・排出口、７・・・原料空気送風用ブロア、
８・・・送風管路、９・・・原料空気冷却機、１０・・
・冷却壁気管、１１・・・蒸気発生装置、１２・・・蒸
気供給管、１３・・・空気排出管、１４・・・静電式電
気集塵装置、１５・・・排出管、１６・・・除湿装置、
Ａ・・・原料空気、Ｂ・・・冷却され九原料空気、Ｃ・
・・蒸気、Ｄ・・・凝縮水、Ｅ・・・空気、Ｆ・・・凝
縮水、Ｇ・・・クリーンエア。
Claims (1)
- 塵埃を含む原料空気を冷却して供給する装置、飽和に近
い過熱状態の凝縮性気体を供給する装置、上記の冷却さ
れた原料空気と凝縮性気体とが供給されるサイクロン型
遠心分離器、および同遠心分離器の下流側に連る空気排
出管上に設けられた静電式集塵装置と除湿装置とを備え
たことを特徴とするクリーンエア製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11365189A JP2634238B2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | クリーンエア製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11365189A JP2634238B2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | クリーンエア製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02293014A true JPH02293014A (ja) | 1990-12-04 |
| JP2634238B2 JP2634238B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=14617673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11365189A Expired - Fee Related JP2634238B2 (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | クリーンエア製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2634238B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05293323A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空気清浄化装置 |
| CN107883514A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-04-06 | 广东美的制冷设备有限公司 | 新风换气装置 |
-
1989
- 1989-05-08 JP JP11365189A patent/JP2634238B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05293323A (ja) * | 1992-04-21 | 1993-11-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空気清浄化装置 |
| CN107883514A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-04-06 | 广东美的制冷设备有限公司 | 新风换气装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2634238B2 (ja) | 1997-07-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |