JPS61428A - 空気清浄方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明はクリーンルーム等圧用いられる空気清浄方式
に関する。

〔従来技術とその問題点〕

従来はクリーンルーム内の微少塵埃を除去するにはＨＥ
ＰＡフィルタと呼れる超微粒子濾過体を用いるが、除去
で′きる塵埃の粒子は０．１μｍ以上であり、これよシ
粒子の細い塵埃は除去できない。今後ウェハーの微細加
工が進むとバタン巾が小さくなシ、０．１μｍ以下の塵
埃が半導体製造工程の不良の原因となる。

〔発明の目的〕

本発明は、フィルタで除去できない０．１μｍ以下の塵
埃を除去することのできる空気清浄方式を提供すること
を目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は遠心分離機を用いて空気と塵埃を分離して超清
浄な空気を得る空気清浄方式である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ＨＥＰＡフィルタで除去できなかった
微粒子の塵埃を完全に除去でき超ＬＳＩの製造技術の向
上に寄与する。

〔発明の実施例〕

第１図を参照に本発明の一実施例を説明する。

清浄化する空気は送風機１で加圧され超微粒子濾過体（
以下ＨＥ　Ｐ　Ａフィルタと称する）２を通過させる。

このときに０．１μｍ以上の塵埃は大部分フィルタのガ
ラス繊維に付着するが、ＨＥＰＡフィルタを通過した空
気中には０．１μｍ以下の塵埃が残っている。この空気
を絞って遠心分離機３の中へノズル４から放出する。

遠心分離機３は真空容器６の中で電動機５で高速回転し
てノズル４から放出された空気は高速流となり空気中の
塵埃は遠心分離機３の筒体に集まり、無塵の空気は上部
の取り出し口から取り出される。この超清浄の空気を必
要な半導体製造装置又はクリーンルームへ供給する。な
お、筒体に集められた塵埃は遠心分離機を定期的に止め
取除く。

また、遠心分離機の高速回転を維持する為にシール８が
設けられている。

この実施例では１台の遠心分離機で構成したが必要に応
じて並列又は直列に接続して必要な風量。

清浄度を得る事が出来る。

また実施例では塵埃が空気より重い場合の説明であるが
、空気より塵埃が軽い場合もあるのでそのときは、遠心
分離器の中心に塵埃が集まるので空気の取り出し口は筒
体に置くと良い。

また第２図には清浄空気取出し口の変形例を示した。こ
れは高速で回転する円筒中心部から清浄１９″″″！Ｍ
　、Ｄ　ｆｉｒＣＤｆ＆　＜　ｌｆｆ１％［ｉｌｆｆａ
Ｍｔ　−？’ｉ”′気取出し用静止中空管１０を挿入し
、昇圧して取り出す方法を示した。この際回転胴内の空
気の攪拌を防ぐとともに捕集粉塵との混合を小さくする
為回転胴にしきい板９を取シつけることも有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は本発明
の他の実施例を示す断面図である。 ｌ・・・送風機、２・・・ＨＥＰＡフィルタ、３・・・
遠心分離機、４・・・空気吹き出しノズル、５・・・電
動機、６・・・真空容器、７・・・清浄空気取り出し口
、８・・・シール部。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑（ほか１名）第　　１
　　図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 空気を清浄化するフィルタと、このフィルタで除去でき
   ない塵埃を遠心分離する遠心分離機とを具備したことを
   特徴とする空気清浄方式。