JPH02293580A

JPH02293580A - 連続真空処理装置

Info

Publication number: JPH02293580A
Application number: JP11407389A
Authority: JP
Inventors: Toshio Taguchi; 田口　俊夫; Hajime Okita; 沖田　肇
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 1989-05-09
Filing date: 1989-05-09
Publication date: 1990-12-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、織物用糸の染色を施したのち紡錘状の固まり
のままで連続的に真空乾燥する装置、セラミックス製品
や真空乾燥食品の高速乾燥装置、仮ガラス，厚手プラス
チックス板のように折り曲げや巻取りができない物体の
表面に他の物質を連続的に真空成膜する装置等、連続真
空処理装置に関する。

〔従来の技術〕

第７図は熱風を用いて乾燥する従来の装置の一例を示す
断面図である．図中（０３）はケーシング，（０４）は
同ケーシング（０３）内に設けられたすのこ状の中間壁
．　（０５）は熱風（０７）を供給するための供給配管
，　（０６）は乾燥後の冷風（０８）を排気するための
排ガス管である．このように横成された熱風乾燥装置の
中に、下面がすのこ状の収納容器（０２）に納めた被乾
燥物（０１）を装填し゛、図示しない熱風発生機から熱
風（０７）を供給する．被乾燥物（０１）の間を吹き抜
ける熱風（０７）によって被乾燥物（０１）は加熱乾燥
される．熱風による乾燥装置では以下に示すような問題点がある
．すなわち、収納容器（０２）内の被乾燥物（０１）の
充填状態にばらつきができやすく、熱風（０７）の吹き
抜けの良い場所と悪い場所が生じて、品質不良（乾燥が
不十分）だったり、乾燥に要する時間が長くなったりす
る．そこで乾燥時間を短縮するために熱風の温度を高く
すると、被乾燥物（０１）が熱によって変質することが
ある。

上記問題点を解決するために、第８図に示す真空乾燥装
置が考案されている。図中（０１３）は真空槽，　（０
１３ａ）はマンホール，　（０１５）は真空槽（０１３
）内を真空に排気するための真空排気装置，　（０１６
）は真空排気装置（０１５）と真空槽（０１３）とを接
続する排気ダク｝　，　（０１７）は誘電加熱等の熱源
である。被乾燥物（０１１）を真空槽（０１３）外で容
器（０１２）内に装填し、容器（０１２）ごと真空槽（
０１３）内に納め、マンホール（０１３ａ）を閉じた後
、真空排気装置（０１５）で真空槽（０１３）内を真空
排気し、誘電加熱等の熱源（０１７）で被乾燥物（０１
１）を加熱乾燥する。乾燥終了後真空槽（０１３）内を
大気圧に戻し、容器（０１２）を取出して被乾燥物（０
１１）を装填し替えたのち、再度容器を真空槽内に戻す
という工程を繰返し行なう。稼動率は５０％以下である
．〔発明が解決しようとする課題〕前記従来の真空乾燥装置においては、装填，真空排気．
乾燥，圧力回復，取出の工程を繰返すバッチ弐であるた
め、稼動率は５０％以下と低い。また熱風による方法で
は真空乾燥装置に比べ１回の処理時間が長く、かつ乾燥
ムラや部分的な過熱による品質の低下が生ずるといった
問題が有る．本発明の課題は、被処理物の品質を低下さ
せることなく、稼動率を向上させることである．〔課題
を解決するための手段〕本発明は、前記従来の課題を解決するために、被処理物
を収容し移動方向の壁に貫通孔を有する容器と、内部を
複数の上記容器が連接して移動できるトンネル状のケー
シングと、同ケーシング内を上記容器を移動させる駆動
装置と、上記容器の長さよりも広い間隔で上記ケーシン
グの壁に開口した複数の排気ダクトと、上記複数の開口
部の間において上記容器の外面と上記ケーシングの内面
との間をシールするシール装置と、上記複数の排気ダク
トを通して上記ケーシング内を段階的に排気する排気設
備とを備えたことを特徴とする連続真空処理装置を提案
するものである．〔作　用〕本発明は前記のとおり構成されており、ケーシング内壁
と容器外面との間の複数のシール装置によって分割され
た複数の部屋が真空処理装置内に形成されるから、ケー
シングに設けたダクトを通じ排気設備によって各部屋を
段階的に真空引きすれば、ケーシング内は大気から段階
的に減圧され、装置内中央部分には真空室が得られる．
そこで、被乾燥物を収納した容器を大気から真空室へ、
真空室から大気へと連続的に移動させ、真空室を通過す
る間に被乾燥物を真空処理することができる．〔実施例
〕第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図、第２図は
第１図の■部の拡大図、第３図は第２図の■一■横断面
図である．これらの図において、（３）はトンネル状のケーシング
であって、内部を複数の容器（２）が連接して移動でき
る．それら容器（２）は移動方向前面および後面の壁に
小径の貫通孔（２ａ）を有し、また底部はすのこ状にな
っている．　（４ａ）　，　（４ｂ）　．　（４ｃ）　
．　（４ｄ）　．　（４ｅ）は複数（図示例では５本）
の排気ダクトであって、上記容器（２）の長さよりも広
い間隔で上記ケーシング（３）の壁に開口している．（
６）は上記容器（２）の前面の壁の周囲に設けられた０
−リングであって、同容器（２）の外面と上記ケーシン
グ（３）の内面の間をシールする．（５）は真空排気装
置であって、入口は上記排気ダクト（４ａ）　，　（４
ｂ）　．　（４ｃ）　，　（４ｄ）　．　（４ｅ）に連
通している．ケーシング（３）中央の排気ダクト（４ｃ
）が開口する部分は、拡大されて真空処理室（３ａ）を
形成している．（７）は同真空処理室（３ａ）内に設け
られたベルトコンベア、（８）は同じく誘導加熱装置で
ある。

このような真空処理装置において、被乾燥物（１）を収
容した容器（２）は、真空処理装置の装入部からケーシ
ング（３）内に装入され、図示しない駆動装置により連
接してケーシング内部に送られる，容器（２）が順次送
られる間に、排気ダクト（４ａ）の部分で例えば４００
Ｔｏｒｒ程度に減圧され、さらに送られていくと排気ダ
クト（４ｂ）の部分では例えば１５０Ｔｏｒｒ程度、さ
らに真空処理室（３ａ）ではｌＱＴｏｒｒ程度に減圧さ
れる。この真空処理室（３ａ）では容器（２）がコンベ
ア（７）上を移動する間に、同容器内に収容された被乾
燥物（１）が、誘電加熱装置（８）等の熱源によって加
熱され、真空乾燥される．この場合、容器（２）の底部
が．すのこ状になっているので、蒸気が蒸発しやすい。

真空乾燥された被乾燥物（１）を収容した容器（２）は
更に移動して、装入時とは逆にｌＱＴｏｒｒ→１５ＱＴ
ｏｒｒ→４００Ｔｏｒｒ→大気圧と順次段階的に圧力を
回復しつつ、大気中に排出される．本実施例では、段階的に減圧されたケーシング（３）（
真空処理室（３ａ）を含む）内の圧力変動を最小限にす
るために、以下に示す構造となっている。

すなわち、装入部と最初の排気ダクト（４ａ）との間、
各排気ダクト相互間（　（４ａ）と（４ｂ）　．　（４
ｂ）と（３ａ），（３ａ）と（４ｄ）　，　（４ｄ）と
（４ｅ）　）および最後の排気ダクト（４ｅ）と排出部
の間のトンネル状ケーシング（３）（シール部）の長さ
は、どこも容器（２）の長さよりも長い．したがって各
シール部には必ず１個以上の容器があり、大気と排気ダ
クトとの間および排気ダクト相互間の吹き抜けが防止さ
れる．また、容器（２）の移動方向前面または後面のいずれか
一方の壁（図示例では前面の壁）の外周には、Ｏ−リン
グ（６）等の摺動シール機構を備え、かつ移動方向の壁
面には小径の貫通孔（２ａ）が設けられている。この貫
通孔（２ａ）は、容器（２）の移動により〇一リング（
６）がケーシング（３）からはずれて排気ダクト部また
は真空処理室（３ａ）内に入った時に、圧力が急激に下
降または上昇しないよう、容器（２）がケーシング（３
）のシール部にある時から徐々に圧力を下げ（あるいは
上げ）、次の徘気ダクト部に入った時には圧力が下がり
（または上がり）終えているようにしたものである。第
９図は、この貫通孔（２ａ）を設けた場合と設けていな
い場合について、真空処理室（３ａ）内の圧力変化を比
較して示すものである．次に第４図は、本発明の他の実施例を示す縦断側面図で
ある．この本実施例は、真空処理室（３ａ）の圧力が前
記第１の実施例よりも低い場合か、もしくは真空排気装
置（５）による段階的排気において各真空段の圧力差を
前記第１の実施例よりも小さく設定した場合などに用い
るもので、排気ダクトの段数を多咬した例である。そし
て、据付面積を狭くするために、真空処理室（３ａ）に
対して容器（２）を縦方向に装入排出している。本実施
例では、容器（２）の底面に貫通孔を設けて、圧力の急
激な変動を防止する。

次に第５図は本発明の更に別の実施例を示す平面図、第
６図は第５図の鎖線Ｖｌ−Ｖｌによる展開側面回である
。この実施例では、サーキュラグレード状の真空処理装
置の装入部で容器０′Ｉ）内に装てんされた被処理物（
１）は、容器０力とともに装置内を移動して真空処理さ
れた後、排出部において容器θ′Ｉ）の底部が開いて容
器０７）外へ排出されるようになっている．本実施例で
はまた、加熱源０８）が真空処理室（３ａ）の外部に設
けられており、熱風供給管０９）によって、真空処理室
（３ａ）へ熱風を供給するようになっている。

〔発明の効果〕

本発明によれば、大気中から真空中へ、逆に真空中から
大気中へと、ペレット，板バルク等の非連続物体を連続
的に供給排出することができる。

したがって、非連続物体の真空処理の効率が向上し、同
程度の規模の従来の装置と比較して、生産性を２倍以上
に向上させることができた．さらに、真空処理の連続化
に伴い、その前後工程との連続化も可能となった．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図、第２図は
第１図の■部の拡大図、第３図は第２図の■一■横断面
図である．第４図は、本発明の他の実施例を示す縦断側
面図である。第５図は本発明の更に別の実施例を示す平
面図、第６図は第５図の鎖線Ｖ＋−Ｖ＋による展開側面
図である．第７図は従来の熱風乾燥装置の一例を示す断
面図、第８図は従来の真空乾燥装置の一例を示す断面図
である．第９図は本発明の作用を説明する図である。（Ｏｌ）・・・被乾燥物．　　　　（０２）・・・収納
容器，（０３）・・・ケーシング，　　　　（０４）・
・・中間壁．（０５）・・・熱風供給配管，　　（０６
）・・・排ガス管，（０７）・・・熱風，　　　　　　
　（０８）・・・冷風．（０１１）・・・被乾燥物，　
　　（０１２））・・・容器，（０１３）・・・真空槽
．　　　　（０１３ａ）・・・マンホール．（０１５）
・・・真空排気装置，（０１６）・・・排気ダク｝．　　（０１７）・・・熱
源，（１）・・・被乾燥物．（２）・・・容器．（２ａ
）・・・貫通孔，（３）・・・ケーシング，（３ａ）・
・・真空処理室，（４ａ）　，　（４ｂ）　．　（４ｃ）　．　（４ｄ）
　．　（４ｅ）　．　（４ｆ）　．　（４ｇ）−徘気ダ
ク（５）・・・真空排気装置，（６）・・・０−リング
．（７）・・・ベルトコンベア．（８）・・・誘導加熱
装置，０２）・・・容器．０１・・・容器． θＦ・・・加熱源，０９）・・・熱風供給管．ト．

Claims

【特許請求の範囲】

被処理物を収容し移動方向の壁に貫通孔を有する容器と
、内部を複数の上記容器が連接して移動できるトンネル
状のケーシングと、同ケーシング内を上記容器を移動さ
せる駆動装置と、上記容器の長さよりも広い間隔で上記
ケーシングの壁に開口した複数の排気ダクトと、上記複
数の開口部の間において上記容器の外面と上記ケーシン
グの内面との間をシールするシール装置と、上記複数の
排気ダクトを通して上記ケーシング内を段階的に排気す
る排気設備とを備えたことを特徴とする連続真空処理装
置。