JPH02294108A - 輪郭水晶振動子 - Google Patents
輪郭水晶振動子Info
- Publication number
- JPH02294108A JPH02294108A JP11569489A JP11569489A JPH02294108A JP H02294108 A JPH02294108 A JP H02294108A JP 11569489 A JP11569489 A JP 11569489A JP 11569489 A JP11569489 A JP 11569489A JP H02294108 A JPH02294108 A JP H02294108A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- etching
- portion left
- support
- crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は水晶振動子の構造に関し、殊にエッチング加工
により製造する縦振動モード又は屈曲振動モード等の輪
郭水晶振動子の構造に関する．《従来技術》 各種電子機器に於で小型化の要請が高まると共にそれに
用いられている電子部品は高い性能のものが要求されつ
つある． このような電子回路部品としては例えば水晶発振器があ
り、水晶発振器は薄板状の圧電振動子（水晶振動子》を
サボータによって支持した構成を有する． また、水晶振動子はその用途によって様々な振動モード
があり、一般にはＡＴカット、ＢＴカット等の水晶板を
用い厚みすべり振動モードを使用する高周波用水晶振動
子やＸカット等の水晶板を用い、縦振動モード、屈曲振
動モード等所謂輪郭振動モードを使用する低周波用水晶
振動子が代表的である． これらのうち低周波用に用いられる輪郭振動モードの水
晶振動子は、第３図に示す如《サポート部１、振動子部
２、台座部３を水晶薄板をフッ化アンモニウム等のエッ
チング処理液によってエッチング加工することにより形
成し，前記振動子部２に蒸着等により電極を構成したも
のである．しかしながら、周知の如く水晶には異方性が
ありエッチング処理液に水晶板を浸漬した場合＋Ｘ方向
にはエッチングされ難くエッチング残４が生じる． 従って、該エッチング残４により振動子の共振尖鋭度（
以下、Ｑ値という）が低下すると云う問題点があった． （発明の目的） 本発明は上述した如き従来の問題点に鑑みなされたもの
であって、Ｘカット水晶板を用いた輪郭振動モードの水
晶振動子において簡易な方法によりエッチング残の発生
を防ぎ高いＱ値の水晶振動子を提供することを目的とす
る。
により製造する縦振動モード又は屈曲振動モード等の輪
郭水晶振動子の構造に関する．《従来技術》 各種電子機器に於で小型化の要請が高まると共にそれに
用いられている電子部品は高い性能のものが要求されつ
つある． このような電子回路部品としては例えば水晶発振器があ
り、水晶発振器は薄板状の圧電振動子（水晶振動子》を
サボータによって支持した構成を有する． また、水晶振動子はその用途によって様々な振動モード
があり、一般にはＡＴカット、ＢＴカット等の水晶板を
用い厚みすべり振動モードを使用する高周波用水晶振動
子やＸカット等の水晶板を用い、縦振動モード、屈曲振
動モード等所謂輪郭振動モードを使用する低周波用水晶
振動子が代表的である． これらのうち低周波用に用いられる輪郭振動モードの水
晶振動子は、第３図に示す如《サポート部１、振動子部
２、台座部３を水晶薄板をフッ化アンモニウム等のエッ
チング処理液によってエッチング加工することにより形
成し，前記振動子部２に蒸着等により電極を構成したも
のである．しかしながら、周知の如く水晶には異方性が
ありエッチング処理液に水晶板を浸漬した場合＋Ｘ方向
にはエッチングされ難くエッチング残４が生じる． 従って、該エッチング残４により振動子の共振尖鋭度（
以下、Ｑ値という）が低下すると云う問題点があった． （発明の目的） 本発明は上述した如き従来の問題点に鑑みなされたもの
であって、Ｘカット水晶板を用いた輪郭振動モードの水
晶振動子において簡易な方法によりエッチング残の発生
を防ぎ高いＱ値の水晶振動子を提供することを目的とす
る。
（発明の概要）
この目的を達成するために本発明の輪郭振動モードのＸ
カット水晶振動子はエッチング残の生じる＋Ｘ側のサポ
ートを設けず、−Ｘ側側面のみにサポートを設けたこと
を特徴とする． 〈実施例） 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を詳細に説
明する。
カット水晶振動子はエッチング残の生じる＋Ｘ側のサポ
ートを設けず、−Ｘ側側面のみにサポートを設けたこと
を特徴とする． 〈実施例） 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を詳細に説
明する。
第１図は本発明の一実施例を示した図であって、本発明
の水晶振動子は振動子部１０、サポート部１２及び台座
部１４から構成され、該サポート部１２はエッチング残
の生じない−Ｘ側のみとする．従って、サポート部の＋
Ｘ側にエッチング残１６が生じるものの振動子部１０に
近接する部位にはエッチング残が生じない。
の水晶振動子は振動子部１０、サポート部１２及び台座
部１４から構成され、該サポート部１２はエッチング残
の生じない−Ｘ側のみとする．従って、サポート部の＋
Ｘ側にエッチング残１６が生じるものの振動子部１０に
近接する部位にはエッチング残が生じない。
第２図は本発明の第２の実施例を示す図であって、同図
に示す如くサポート部はエッチング残の生じない−Ｘ側
のみ２ケ所に設けてあり、これによりサポートの機械的
強度を高めるとともに振動子の振動エネルギを閉じ込め
、所謂オーバートーン振動子を構成することができる． 従って、振動子の保持を２ケ所にて行っているので耐衝
撃性が高く高周波化に適している。
に示す如くサポート部はエッチング残の生じない−Ｘ側
のみ２ケ所に設けてあり、これによりサポートの機械的
強度を高めるとともに振動子の振動エネルギを閉じ込め
、所謂オーバートーン振動子を構成することができる． 従って、振動子の保持を２ケ所にて行っているので耐衝
撃性が高く高周波化に適している。
（発明の効果）
本発明は上述した如く構成し且つ機能するものであるか
ら、水晶の異方性のために生じるエッチング残の影響を
振動子に与えることなく、従って高いＱを得ることがで
き、特性上のバラツキが小さい輪郭水晶振動子を構成す
る上で著しい効果を発揮する．
ら、水晶の異方性のために生じるエッチング残の影響を
振動子に与えることなく、従って高いＱを得ることがで
き、特性上のバラツキが小さい輪郭水晶振動子を構成す
る上で著しい効果を発揮する．
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図は本発明の
第２の実施例を示す図、第３図は従来の輪郭水晶振動子
を示す図である． １、１２・・・サポート部 ２、１０・・・振動子部 ３，１４・・・台座部 ４・・・エッチング残 特許出願人 東洋通信機株式会社 第 １ 図 第 ２ 図 ｊ 第３図
第２の実施例を示す図、第３図は従来の輪郭水晶振動子
を示す図である． １、１２・・・サポート部 ２、１０・・・振動子部 ３，１４・・・台座部 ４・・・エッチング残 特許出願人 東洋通信機株式会社 第 １ 図 第 ２ 図 ｊ 第３図
Claims (1)
- 輪郭振動モードで振動するＸカット水晶振動子に於いて
、−Ｘ側側面のみにサポートを設けたことを特徴とする
輪郭水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11569489A JPH02294108A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 輪郭水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11569489A JPH02294108A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 輪郭水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02294108A true JPH02294108A (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=14668928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11569489A Pending JPH02294108A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 輪郭水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02294108A (ja) |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP11569489A patent/JPH02294108A/ja active Pending
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