JPH0229420A - Epoxy resin molding material for sealing - Google Patents
Epoxy resin molding material for sealingInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電子・電気部品、とりわけ様々な半導体素
子の樹脂封止に用いられる封止用エポキシ樹脂成形材料
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an epoxy resin molding material for encapsulation used for resin encapsulation of electronic/electrical parts, particularly various semiconductor elements.
1−ランジスタ、TC,LSIなどの半導体素子を物理
的、化学的に保護し、かつ実装を容易にするために、従
来から、低圧トランスファ成形等による樹脂封止が盛ん
に行われている。その封止用樹脂としては、価格面と信
頼性(耐湿性)の面から、エポキシ樹脂が主に用いられ
ているが、昨今の半導体素子の高集積化、高密度化、パ
ッケージの小型化、薄形化などの動きを受けて、−層高
度な特性が要求されている。1- In order to physically and chemically protect semiconductor elements such as transistors, TCs, and LSIs, and to facilitate mounting, resin encapsulation by low-pressure transfer molding or the like has been widely practiced. Epoxy resin is mainly used as the sealing resin due to its cost and reliability (moisture resistance). In response to trends such as thinner products, advanced properties are required.
具体的には、配線の微細化とチップサイズの大型化が進
むなか、封止樹脂の低応力化が今日の重要な課題となっ
ており、これまで、低応力付与のための改質剤としてシ
リコーン類(各種シリコーン化合物、変性シリコーン化
合物など)をエポキシ樹脂に添加することにより、同樹
脂成形材料にriJtQ性を付与して低弾性化を図り、
内部応力を緩和することが試みられてきた(特願昭61
−133223号公報参照)。Specifically, as wiring becomes finer and chip sizes become larger, reducing stress in sealing resins has become an important issue today, and until now, modifiers have been used as modifiers to provide low stress. By adding silicones (various silicone compounds, modified silicone compounds, etc.) to epoxy resin, we can impart riJtQ properties to the resin molding material and reduce its elasticity.
Attempts have been made to alleviate internal stress (Patent Application 1986)
(Refer to Publication No.-133223).
ところが、上記改善策により、確かに低応力化の面では
向上がみられるのであるが1.さらに検討を重ねた結果
、長期的な耐ヒートサイクル性は未だ充分とはいえず、
パッケージクラックおよびアルミ配線スライド等の問題
が発生していることが明らかになった。However, although the above-mentioned improvement measures have certainly improved in terms of reducing stress, 1. After further investigation, we found that long-term heat cycle resistance was still insufficient.
It became clear that problems such as package cracks and aluminum wiring sliding had occurred.
以上の事情に鑑み、この発明は、低応力で長期的な耐ヒ
ートサイクル性に優れた封止用エポキシ樹脂成形材料を
提供することを課題とする。In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide an epoxy resin molding material for sealing that is low in stress and has excellent long-term heat cycle resistance.
上記課題を解決するため、この発明の封止用エポキシ樹
脂成形材料は、アルコキシシラン類および/またはポリ
エーテル変性シリコーンオイルにより表面処理されたシ
リコーンゴムを成形材料全量に対して0.1〜5重量%
含むようにする。In order to solve the above problems, the epoxy resin molding material for sealing of the present invention contains silicone rubber surface-treated with alkoxysilanes and/or polyether-modified silicone oil in an amount of 0.1 to 5% by weight based on the total amount of the molding material. %
Include.
表面処理剤の働きにより、シリコーンゴムと他成分との
濡れ(なじみ)性が向上し、種々の成分の混合物である
成形材料が全体に均質になる。このような均質な状態で
表面処理シリコーンゴムが配合されていることにより、
エポキシ樹脂の弾性率が低下して内部応力が緩和、低減
され、内部応力に起因するクラック発生を長期的に抑制
することができるのである。The action of the surface treatment agent improves the wettability (compatibility) between the silicone rubber and other components, and the molding material, which is a mixture of various components, becomes homogeneous throughout. By blending surface-treated silicone rubber in such a homogeneous state,
The elastic modulus of the epoxy resin decreases, internal stress is relaxed and reduced, and the occurrence of cracks caused by internal stress can be suppressed in the long term.
上記表面処理シリコーンゴムの配合量が成形材料全量に
対して0.1 @量%に満たない場合は、この発明にお
ける効果が充分に得られず、5重量%を越える場合は、
成形材料の流れ(フロー)性や成形品の強度および外観
が低下する。If the amount of the surface-treated silicone rubber blended is less than 0.1% by weight based on the total amount of the molding material, the effects of the present invention will not be sufficiently obtained, and if it exceeds 5% by weight,
The flowability of the molding material and the strength and appearance of the molded product are reduced.
この発明におけるエポキシ樹脂としては、たとえば、ビ
スフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールA系エ
ポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、臭素化エポキ
シ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂な
どが挙げられ、特に限定はされない。これらは単独で、
あるいは複数種を併−Uで用いられる。Examples of the epoxy resin in this invention include bisphenol A-based epoxy resins, bisphenol A-based epoxy resins, novolac-type epoxy resins, brominated epoxy resins, alicyclic epoxy resins, and heterocyclic epoxy resins, with particular limitations. Not allowed. These alone are
Alternatively, multiple types can be used together.
硬化剤の種類も、特に限定はされず、たとえば各種アミ
ン類、イミダゾール類、酸無水物順、フェノールノボラ
ムク樹脂、ポリアミド樹脂等の一般的なものを、単独で
、あるいは複数種を併せて用いることができる。また、
その使用量に制限はなく、必要量を適宜設定すればよい
。The type of curing agent is not particularly limited; for example, common curing agents such as various amines, imidazoles, acid anhydrides, phenol novolamc resin, polyamide resin, etc. may be used singly or in combination of multiple types. Can be used. Also,
There is no limit to the amount used, and the required amount may be set as appropriate.
シリコーンゴムについては、特に限定ばされないが、そ
の平均粒径は1〜20μ鳳であることが好ましく、1μ
璽未満であれば2次凝集が起こる恐れがあり、20μ臘
を越えると成形品に表面ブリードが発生する傾向が見ら
れる。The silicone rubber is not particularly limited, but its average particle size is preferably 1 to 20 μm, and 1 μm.
If it is less than 20 μm, there is a risk of secondary agglomeration, and if it exceeds 20 μm, there is a tendency for surface bleeding to occur in the molded product.
シリコーンゴムの表面処理剤としてのアルコキシシラン
類は、その分子中に、1 (11i1以上のアルコキシ
基を含むシランカップリング剤であり、■ 無機材料と
反応する加水分解性基としてのアルコキシ基R(メトキ
シ基、エトキシ基等)、■ 有機材料と結合する置換基
(ビニル基、エポキシ基、メタクリル基7アミノ基、メ
ルカプト基等)を持つ任意の有機官能性基X、
の両者を含む5iRzX型のものが用いられることが多
い。これらは、上記Xの種類に応じて、ビニルシラン、
エポキシシラン、アミノシラン、メルカプトシラン等と
呼称され、さらに具体的には、ビニルトリエトキシシラ
ン、ビニルトリス(βメトキシエトキシ)シラン、γ−
グリシドキシプロビルトリメトキシシラン、T−メタク
リロキシプロピルトリメトキシシラン、r−(2−アミ
ノコニデル)アミノプロビルト
T−アミノプロピルトリエトキシシラン、T−アニリノ
プロピルトリメトキシシラン、γーメルカプトプロピル
トリメトキシシラン、γーメルカプトプロピルメチルジ
メトキシシラン等が例示できる。しかし、これらに限定
されることはなく、たとえば、上記有機官能性基X中の
置換基を含まないような、メチルトリメトキシシラン、
メチルトリエトキシシラン等を用いることもできる。以
上は、−船釣に用いられている市販品等を任意に、中独
で、あるいは複数種を併せて使用するミとができる。Alkoxysilanes as surface treatment agents for silicone rubber are silane coupling agents containing an alkoxy group of 1 (11i1 or more) in the molecule, and (1) an alkoxy group R ( as a hydrolyzable group that reacts with inorganic materials). (methoxy group, ethoxy group, etc.), ■ any organic functional group These include vinylsilane, vinylsilane,
They are called epoxysilane, aminosilane, mercaptosilane, etc. More specifically, vinyltriethoxysilane, vinyltris(β-methoxyethoxy)silane, γ-
Glycidoxypropyltrimethoxysilane, T-methacryloxypropyltrimethoxysilane, r-(2-aminoconidel)aminoprobilt T-aminopropyltriethoxysilane, T-anilinopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane Examples include methoxysilane and γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane. However, the invention is not limited to these, and includes, for example, methyltrimethoxysilane, which does not contain a substituent in the organic functional group X,
Methyltriethoxysilane and the like can also be used. As mentioned above, - You can use any commercially available products used for boat fishing in China, Germany, or a combination of several types.
表面処理の際の上記アルコキシシラン類の使用量は、4
)に限定はされないが、シリコーンゴム100重口部(
以];、「部」と記す)に対し0. 1〜IO部程度用
いることが好ましい。表面処理剤が少なずぎる場合は、
充分な処理効果が得られず、反対に多tぎる場合は、成
形品に表面ブリード等が発生ずる恐れがある。The amount of the alkoxysilanes used during surface treatment is 4
), but is not limited to 100 parts of silicone rubber (
0. It is preferable to use about 1 to IO parts. If there is too little surface treatment agent,
If a sufficient treatment effect is not obtained and, on the other hand, the amount is too high, surface bleeding or the like may occur in the molded product.
同シ<シリコーンゴムの表面処理剤としてのボリエーテ
ル変性シリコーンオイルは、ポリエーテル類で変性され
たシリコーンオイル、すなわち、シリコーンとポリエー
テルとの共重合体であり、通常の市販品等を単独で、あ
るいは複数種を併せて使用でき、特に限定されることは
ない。同変性シリコーンオイルの表面処理時の使用量に
ついては、上記アルコキシシラン類と同様である。Polyether-modified silicone oil as a surface treatment agent for silicone rubber is a silicone oil modified with polyethers, that is, a copolymer of silicone and polyether. Alternatively, multiple types can be used together without any particular limitation. The amount of the modified silicone oil used during surface treatment is the same as that for the alkoxysilanes described above.
なお、シリコーンゴムに対する上記2表面処理剤は、両
者が併用されればその処理効果は一層高いものとなって
好ましいが、それぞれが単独で用いられてもよい。It is preferable that the above-mentioned two surface treating agents for silicone rubber are used in combination because the treatment effect will be even higher, but each may be used alone.
表面処理方法は、特に限定はされないが、たとえば、ミ
キサ等により高速攪拌を行っているシリコーンゴム中に
上記表面処理剤を添力旧攪拌するなどの方法が採用でき
る。この際、シリコーンゴムは処理中に発熱して高温と
なるが、処理後の取り出しは、表面温度60〜70℃程
度にまで冷却されてから行うようにすることが好ましい
(高温のままでは2次凝集する恐れがある)。なお、シ
リコーンゴムと表面処理剤を単に混合、I32拌するだ
りでもよいが、必要に応じては加温などの処置を講じる
ことも好ましい。The surface treatment method is not particularly limited, but for example, a method may be adopted in which the above-mentioned surface treatment agent is added and stirred into the silicone rubber which is being stirred at high speed using a mixer or the like. At this time, silicone rubber generates heat during processing and becomes high temperature, but it is preferable to take it out after processing after cooling the surface temperature to about 60 to 70 °C (if it remains at high temperature, secondary (There is a risk of agglomeration). Although the silicone rubber and the surface treatment agent may be simply mixed or stirred, it is also preferable to take measures such as heating if necessary.
以上のエポキシ樹脂、硬化剤および表面処理シリコーン
ゴムの各成分の他、この発明にががる封止用エポキシ樹
脂成形材料は、必要に応じて、船釣な硬化促進剤(第3
級アミン、イミダゾール類、をIff IJン化合物;
ボスフィン類等)、充填(」あるいは補強(A(ガラス
繊維、炭素繊維、アスベスト、タルり、l容融シリカ、
ケイ酸カルシウム。In addition to the above-mentioned components of the epoxy resin, curing agent, and surface-treated silicone rubber, the epoxy resin molding material for sealing according to the present invention may optionally contain a hardening accelerator (tertiary hardening agent).
grade amines, imidazoles, Iff IJ compounds;
(bosfins, etc.), filling ('' or reinforcement (A (glass fiber, carbon fiber, asbestos, slag, fused silica, etc.)
Calcium silicate.
ケイ酸マグネシウム等) 、ff1lt燃化剤(三酸化
アンチモン、臭素化エポキシ樹脂等)、カップリング剤
(シランカップリング剤等)、離型剤(ワックス、ステ
アリン酸、ステアリン酸塩等)1着色剤(カーボンブラ
ソ先金屈酸化物等の顔料)等のその他の成分を含んでい
てもよい。なお、これら全部を合わせた成形材料全体に
対する表面処理シリコーンゴムの配合量は、上述の通り
、0.1〜5重量%である。Magnesium silicate, etc.), ff1lt retardant (antimony trioxide, brominated epoxy resin, etc.), coupling agent (silane coupling agent, etc.), mold release agent (wax, stearic acid, stearate, etc.), coloring agent (pigments such as carbon oxide) may also be included. The blending amount of the surface-treated silicone rubber in the entire molding material, including all of these, is 0.1 to 5% by weight, as described above.
以上の構成成分を、たとえば、ミキサ、ブレンダーなど
で混合し、ニーダやロールなどを使用して混練すること
により、成形材料としてのエポキシ樹脂組成物を得るこ
とができる。混練後、必要に応して冷却固化し、粉砕し
て粒状などにしてもよい。成形は、(低圧)トランスフ
ァー成形、射出成形によることが好ましいが、これらに
限定されることはなく、たとえば、注型や圧縮成形等を
行ってもよい。An epoxy resin composition as a molding material can be obtained by mixing the above components using, for example, a mixer, a blender, or the like, and kneading them using a kneader, roll, or the like. After kneading, if necessary, the mixture may be cooled to solidify and pulverized into granules. Molding is preferably carried out by (low-pressure) transfer molding or injection molding, but is not limited thereto; for example, casting, compression molding, etc. may also be performed.
つぎに、この発明の実施例を比較例と併せて説明する。Next, examples of the present invention will be described together with comparative examples.
一実施例1〜5.比較例1.2
■ シリコーンゴムAの
平均粒径10μ園のシリコーンゴム(トーμ・シリコー
ンゴム製)をヘンツェルミキサで高速攪拌している中に
、同シリコーンゴム100部に対し、アルコキシシラン
類としてのエポキシシラン(日本ユニカー−製A−18
7) 3部、さらにポリエーテル変性シリコーンオイル
(トーμ・シリコーン■製5ll−3749) 5部を
共に、噴霧状態(粒径50μ鶴)で添加して攪拌し、表
面処理シリコーンゴムAを得た。処理後のシリコーンゴ
ム取り出し時の表面温度は、60〜70 ’cであった
。Examples 1 to 5. Comparative Example 1.2 ■ While silicone rubber A (manufactured by TO-μ Silicone Rubber) with an average particle size of 10 μm was being stirred at high speed in a Hentzel mixer, alkoxysilanes were added to 100 parts of the same silicone rubber. Epoxy silane (A-18 manufactured by Nippon Unicar) as
7) 3 parts and further 5 parts of polyether-modified silicone oil (5ll-3749 manufactured by TOMU Silicone ■) were added together in a spray state (particle size 50μ) and stirred to obtain surface-treated silicone rubber A. . The surface temperature when the silicone rubber was taken out after treatment was 60 to 70'C.
■ 人価葛芳シ副」−ンゴにルΔ戒裂
アルコキシシラン類として、同上エポキシシラン3部お
よびメルカプトシラン(チッソ■η製5−810)3部
を用いるようにする他は、上記■と同様に表面処理を行
い、表面処理シリコーンゴムBをi!tた。■ The same as ■ above except that 3 parts of the same epoxysilane and 3 parts of mercaptosilane (manufactured by Chisso ■η 5-810) were used as the Δ-cleavage alkoxysilanes. Surface treatment was performed in the same manner, and surface treated silicone rubber B was prepared using i! It was.
■ 人血臭旦ノL≧≦6U四ffl
アルコキシシラン炎1としてアミノシラン(日本1ニカ
ー01)か−1100) 3部を用いるようにする他
は、上記■と同様にして表面処理を行い、表面処理シリ
コーンゴJいCをfj?た。■ Human blood odor L≧≦6U4ffl As alkoxysilane flame 1, 3 parts of aminosilane (Japan 1 Nika 01) or -1100) was used, but the surface treatment was carried out in the same manner as in ① above, and the surface Processed silicone JC? Ta.
■ −」エポキシ1 の
エポキシ樹脂(住友化学工業(+@製;軟化点68”C
)135部、臭素化エポキシ樹脂(同上■製)15部、
フェノールノボラック樹脂(荒用化学工業((1製;軟
化点85”c)75部、三酸化アンチモン20部、熔1
Mjシリカ743部、カーボンブラック3部、カップリ
ング剤(日本ユニカーGη製ll−187)4’fll
+、 カルナバワックス3部およびl・リフエニルホス
フィン2部(以上合計1000部)に対し、第1表に示
した量の上記■シ■表面処理シリコーンゴムΔ〜Cを配
合し、ミキサで混合したのちニーダを用いて混練し、エ
ポキシ樹脂成形材料を得た。なお、比較例1では未処理
の同上シリコーンゴムを用いるようにした。■ -” Epoxy 1 Epoxy resin (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. (+@; softening point 68”C)
) 135 parts, 15 parts of brominated epoxy resin (made by ■ above),
Phenol novolac resin (manufactured by Arayo Kagaku Kogyo (1); softening point 85"c) 75 parts, antimony trioxide 20 parts, melt 1
Mj 743 parts of silica, 3 parts of carbon black, coupling agent (ll-187 manufactured by Nippon Unicar Gη) 4'fll
+, 3 parts of carnauba wax and 2 parts of l-rifenylphosphine (total of 1000 parts above) were blended with the above ■C■ surface-treated silicone rubbers Δ to C in the amounts shown in Table 1, and mixed in a mixer. The mixture was then kneaded using a kneader to obtain an epoxy resin molding material. In Comparative Example 1, the same untreated silicone rubber was used.
上記成形材料を用いて、60pin QF P、縦11
x横1 :(■■、 肉”fl−2,4msのベレッ
トを作製し、これに−65°C/1分間−十150℃/
1分間のヒートショックを与え、1000サイクル後の
パノう−−ジクラソク数を測定した。Using the above molding material, 60 pin QF P, length 11
x horizontal 1: (■■, Make a pellet of ``fl-2,4ms'' and heat it at -65°C/1 minute at -150°C/
A 1-minute heat shock was applied, and the pano-dicrasok number was measured after 1000 cycles.
(イ) 二と一ハイーζ−酒己わに22(−ラ!ご
イーニド−上記成形材料を用いて、16pin I)
I P、 113゜2X横11.5mのベレットを作製
し、こレニー65°c/1分間−+150’c/1分間
のヒートショックを与え、500サイクル後のアルミ配
線スライドを測定した。(A) Two and one high ζ-Sakemi Wani 22 (-Ra! Goenid-Using the above molding material, 16pin I)
A pellet of IP, 113°2×11.5 m in width was prepared, and a heat shock of 65° C/1 minute to +150° C/1 minute was applied thereto, and the aluminum wiring slide was measured after 500 cycles.
以」二の結果を、同じく第1表に示す。The following results are also shown in Table 1.
表面処理が行われたシリコーンゴムを含む実施例の成形
品は、いずれも良好な外観を呈し、第1表にのるように
、比較例のものに比べ、パッケージクラック特性が3倍
以上も向上し、かつ、ピー1〜ザイクル試験におけるア
ルミ配線スライドがl/2以下に低減された。The molded products of the Examples containing surface-treated silicone rubber all had a good appearance, and as shown in Table 1, the package cracking characteristics were more than three times improved compared to those of the Comparative Examples. Moreover, the aluminum wiring slide in the P1-cycle test was reduced to 1/2 or less.
さらに、]]7−均粒径5μおよび15〜20μ重のシ
リコ−ンゴムに−に記聞様の表面処理を施し、それを用
いて以降も同様に成形品の作製まで行い、その特性を評
価した結果、上記実施例と同様の性能をrT シている
こと〃判明した。In addition, ]7-A silicone rubber with an average particle size of 5 μm and a weight of 15 to 20 μm was subjected to a surface treatment similar to that of a paperback, and molded products were similarly produced using the same, and its properties were evaluated. As a result, it was found that rT had the same performance as the above embodiment.
(発明の効果]
この発明にがかる封止用エポキシ樹脂成形材料は、従来
に比べ、低応力で長期にわたり耐ヒートサイクル性に優
れ、クラ、りやアルミ配線のズレ等の発生が抑制された
良好な成形品を与えることができる。したがって、同エ
ポキシ樹脂成形材料は、様々な半導体素子の樹脂封止に
用いられる成形材料等として、幅広い用途が期待される
。(Effects of the Invention) The epoxy resin molding material for sealing according to the present invention has low stress and excellent heat cycle resistance over a long period of time compared to conventional ones, and has good properties that suppress the occurrence of cracks, cracks, and misalignment of aluminum wiring. Therefore, the epoxy resin molding material is expected to have a wide range of uses, such as a molding material used for resin encapsulation of various semiconductor elements.
代理人 弁理士 松 本 武 彦
円「45闇ネ市正書く自発
1、事件の表示
昭和63年特許願第180766号
2、発明の名称
封止用エポキシ樹脂成形材料
3、 ?iti正をする者
事件との関係 特許出願人
住 所 大阪府門真市大字門真1048番地
名 称(583)松下電工株式会社
代表者 代表取締役 三 好 俊 夫4、代理人
な し
6、補正の対象
>j+11FICのとおり
6、補正の対象
明細書
7、補正の内容
■ 明細書第1頁第18行〜第2頁第6行に「トランジ
スタ・・・要求されている。」とあるを、下記の文言に
訂正する。Agent Patent Attorney Takehikoen Matsumoto ``45 Yami Ne Ichimasa's spontaneous petition 1, Indication of the case 1988 Patent Application No. 180766 2, Name of the invention Epoxy resin molding material for sealing 3, ?Iti correction person Relationship to the case Patent applicant address 1048 Oaza Kadoma, Kadoma City, Osaka Name (583) Matsushita Electric Works Co., Ltd. Representative Director Toshio Miyoshi 4, no agent 6, subject of amendment > j + 11 As per FIC 6 , Specification Subject to Amendment 7, Contents of Amendment (2) The text "Transistor...required" on page 1, line 18 to page 2, line 6 of the specification is corrected to the following wording.
一記一
[トランジスタ、IC,LSIなどの半導体素子を水、
衝撃、振動などの外部環境から保護し、電気絶縁性、熱
放散性などを良好にし、かつ実装を容易にするために、
従来から、低圧トランスファ成形等による樹脂封止が盛
んに行われている。その封止用樹脂としては、高生産性
とコストダウン、さらには信頼性(耐湿性)の面から、
エポキシ樹脂が主に用いられているが、昨今の半導体素
子の高簗積化、高密度化1パッケージの小型化、 V#
形化などの動きを受けて、より一層高い信頼性が要求さ
れている。」
■ 明細書第2頁第18〜19行に「さらに検討を重ね
た結果、」とあるを、下記の文言に訂正する。Item 1 [Semiconductor elements such as transistors, ICs, and LSIs are
In order to protect from external environment such as shock and vibration, to have good electrical insulation and heat dissipation properties, and to facilitate mounting,
Conventionally, resin sealing by low-pressure transfer molding or the like has been widely used. As the sealing resin, from the aspects of high productivity, cost reduction, and reliability (moisture resistance),
Epoxy resin is mainly used, but in recent years semiconductor devices have become more dense, denser, smaller in single package, and V#
In response to trends such as increased design, even higher reliability is required. ” ■ On page 2, lines 18-19 of the specification, the phrase “as a result of further consideration” has been corrected to the following.
記−
「最近のデバイスの高機能化による配線のルールの微細
化、ペレットサイズの大型化、さらにはパッケージ形態
の多様化などを受けて、封止樹脂の低応力化に対する要
求が従来にも増してより厳しいものとなっている状況下
において、」■ 明細書第8頁第8〜10行に[?!強
材(・・・ケイ酸マグネシウム等)、」とあるを、「補
強材(ガラス繊維、炭素繊維、ウィスカー類、ファイン
セラミックス、シリカ等)、」と訂正する■ 明細書第
8頁第12〜13行に「離型剤(・・・ステアリン酸塩
等)、」とあるを、「離型剤(合成ワックス、天然ワッ
クス等)、」と訂正する。Note: ``Recent demands for lower stress in encapsulating resins are increasing due to the miniaturization of wiring rules, larger pellet sizes, and diversification of package forms due to recent advances in the functionality of devices. Under the situation that has become more severe, "■" on page 8 of the specification, lines 8-10 [? ! Correct the phrase "reinforcing materials (...magnesium silicate, etc.)" to "reinforcing materials (glass fibers, carbon fibers, whiskers, fine ceramics, silica, etc.)" ■Page 8, No. 12 of the specification In line 13, the text "Release agent (stearate, etc.)" should be corrected to "Release agent (synthetic wax, natural wax, etc.)."
■ 明細書第11頁第11行および同頁第16〜17行
の合計2個所に「−65℃/1分間−十150℃/1分
間」とあるを、「−65℃15分間−十150℃15分
間」と訂正する。■ In two places in the specification, page 11, line 11 and lines 16-17 of the same page, the phrase "-65℃/1 minute - 1150℃/1 minute" has been replaced with "-65℃/15 minutes - 1150℃". ℃15 minutes”.
■ 明細書第12頁の第1表を別紙のとおりに訂正する
。■ Table 1 on page 12 of the specification is corrected as shown in the attached sheet.
Claims (1)
性シリコーンオイルにより表面処理されたシリコーンゴ
ムを成形材料全量に対して0.1〜5重量%含む封止用
エポキシ樹脂成形材料。 2 シリコーンゴムの平均粒径が1〜20μmである請
求項1記載の封止用エポキシ樹脂成形材料。[Scope of Claims] 1. An epoxy resin molding material for sealing containing 0.1 to 5% by weight of silicone rubber surface-treated with alkoxysilanes and/or polyether-modified silicone oil based on the total amount of the molding material. 2. The epoxy resin molding material for sealing according to claim 1, wherein the silicone rubber has an average particle size of 1 to 20 μm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18076688A JPH0229420A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Epoxy resin molding material for sealing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18076688A JPH0229420A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Epoxy resin molding material for sealing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229420A true JPH0229420A (en) | 1990-01-31 |
Family
ID=16088949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18076688A Pending JPH0229420A (en) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | Epoxy resin molding material for sealing |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229420A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5434199A (en) * | 1991-05-01 | 1995-07-18 | Rohm And Haas Company | Epoxy molding composition for surface mount applications |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP18076688A patent/JPH0229420A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5434199A (en) * | 1991-05-01 | 1995-07-18 | Rohm And Haas Company | Epoxy molding composition for surface mount applications |
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