JPH02294458A - ＴｉＡＬの金属間化合物の表面に耐酸化皮膜を形成させる方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＴｉＡＬの金属間化合物または合金の表面にＴ
１を酸化させず、Ａｌだけを選択的に酸化させてＡｌ２
０，の耐酸化皮膜を形成し、安価、軽量で、Ｎｉ基超合
金インコネル７１３Ｃと同等またはそれ以上の高温耐熱
耐酸化性材料を提供するにあり、本発明の目的とする所
は、航空機、船舶などに使用される内燃機関、宇宙船材
料、あるいは発電用の蒸気タービンまたはガスタービン
などの構造用材料、ジェットエンジン材料、あるいは自
動車用ターボチャージャー用材料等のうち、主として９
００℃以上の温度になる装置部材として金属間化合物Ｔ
ｉＡＬあるいはＴｉＡＬ基合金が使用される際に、それ
らの耐酸化性を改善するための表面処理により耐酸化皮
膜を形成するにある。

（従来の技術） 従来このような高温耐熱耐酸化装置部材としてはインコ
ネル７１３Ｃに代表されるようなＮ１　基超合金が多く
使用されていたが、熱効率や出力を高めるため上記諸機
関の運転温度が上昇してきたのに伴って、より高温に耐
えうる材料が求められている。また、ジェットエンジン
あるいはガスタービンなどのように高速で回転する機関
においては、クリープ現象をもたらす外力として働く力
、すなわち回転による遠心力を小さいものにするために
、より比重の小さい材料が望まれている。このような状
況の下で、金属聞化合物ＴｉＡＬまたはその合金につい
て考察するとその融点が＄よそ１４６０℃で通常のＮｉ
基超合金より１００℃以上高温であること、比重がおよ
そ３．８で通常の超合金のそれに比べ１７２以下である
ことなどの性質を有することにより、従来のＮｉ基超合
金の代替材料として、また従来より厳しい環境で使用さ
れる次世代材料の最も有力な候補の一つとして現在多く
の期待と注目を集めているものである。

しかしながら、この金属間化合物ＴｉＡＬにも問題点が
いくつか指摘されており、中でも室温における延性の欠
如と、８００℃以上の高温に右ける耐酸化性の不足とい
う２点がその実用化を阻む最も大きな障害となっている
。すでに内外での多くの研究発表などにみられるように
、室温での延性の欠如という問題は解消されつつあるが
、高温における耐酸化性の改善についてはこれまでのと
ころ特に有力な改善手段の報告はなされていない。

（発明が解決しようとする課題） 一般に金属の耐酸化性を改善する方法としては、Ｃｒな
ど耐酸化性改善に有効な金属元素を合金化する方法や、
めっき処理あるいは拡散浸透処理などの表面処理により
酸化特性の良好な表面層の形成を図る方法などが知られ
ているが、金属間化合物ＴｉＡＬに第３元素を合金化す
ることはその最大の長所である低密度を損なうものであ
るから、ここでは密度増加の比較的少ない表面処理によ
る方法が有望であると考えられる。

しかし、金属間化合物ＴｉＡＬに対する表面処理につい
ては、Ｃｒ，　ＳｉまたはＡｌの拡散浸透処理または真
空蒸着処理が考えられているがＣｒ，　Ｓｉまたは＾ｌ
の真空蒸着処理は格別効果がなく、また拡散浸透処理も
＾ｌを除いては格別高温耐酸化性の向上がみられていな
い。また、Ａ１の拡散浸透処理についても、拡散皮膜の
性状等に若干の問題点の指摘があり、より効果の高い表
面処理方法の開発が望まれている。

？課題を解決するための手段） 本発明はＴｉＡＬの金属間化合物または合金を酸素分圧
１×１０−２〜１×１０−’　Ｐａの酸素雰囲気下で温
度９００℃〜１０５０℃において、３０分ないし１００
時間保持してＴｉを酸化させず、Ａ１だけを選択的に酸
化させ、前記金属間化合物または合金の表面に予め耐酸
化性の＾１２０，皮膜を生成せしめることを特徴とする
ＴｉＡｌの金属間化合物または合金表面に耐酸化皮膜を
形成する方法である。

（作　用） 未処理の金属間化合物ＴｉＡＬあるいはＴ１＾Ｌ基合金
を大気中において９００℃以上の温度で酸化すると、３
層構造の酸化皮膜、すなわち最外層よりＴｉ０２層、＾
１，０，層及び両者の混在する層から成る構造の酸化皮
膜が形成されることが知られている。

これらの中で特にＴｉＯ■層が酸化時間の経過に従って
優先的に成長することがＴｉＡＬの耐酸化性の劣化する
原因であると考えられており、９００℃静止大気中、１
５０時間程度での酸化により、この酸化皮膜は厚さ約２
００μｍに及ぶまで成長する。

？かし、低酸素分圧下熱処理を施した金属間化合物Ｔｉ
ＡＬあるいはＴｉＡＬ基合金には、それらの表面にごく
薄いＡｌ．０．の皮膜だけが生成していることがＸ線回
折およびＸ線マイクロアナライザにより確認されＴｉロ
２層の形成は認められなかった。

また、この処理を行った試験片を９００℃静止大気中に
おいて繰り返し酸化試験に供したところ、Ａｌ２０３皮
膜が、未処理の試験片に観察されるようなＴ！０■層の
成長を伴う酸化の進行を抑制する働きを有することが見
いだされた。この熱処理においてＡｌ２０，皮膜だけが
Ｔｉｎ．に優先して生成することについては、Ａ１の酸
化生成熱の値がＴｉのそれより負に大きいことや、Ａｌ
に固溶できる酸素量がＴｉの場合より小さいことなどの
理由により、低酸素分圧の雰囲気で欠乏している酸素原
子に対してＡｌが優先的に結合し、Ａ１■０，だけが生
成したものであると説明することができる。

＾ｌ２０，は金属酸化物のなかでも、化学的にきわめて
安定で、かつ金属元素の自己拡散の最も遅いものの一つ
として知られており、金属間化合物ＴｉＡＬあるいはＴ
ｉＡＬ基合金の表面に緻密で欠陥の少ない皮膜として生
成することによってそれらの耐酸化性を著しく改善する
ことができるものと考えられる。

また、Ａｌ，Ｏ，皮膜を成長させる各元素の拡散は主と
して＾ｌ２０，結晶粒界を経由して行われることはすで
によく知られている。従ってＡｌ．０，皮膜の成長速度
は拡散経路となる結晶粒界の面積、言い換えれば結晶粒
径に依存すると言うことができる。

ところで低酸素分圧下での酸化によりＡｌ．０３皮膜が
生成、成長するときには大気圧中での酸化の場合に比べ
て酸化物結晶粒が粗大なものになることは、ｐｔ−＾ｌ
合金上のＡｌ，Ｏ，皮膜の成長を研究したＦｅｌｔｅｎ
氏らによって明らかにされている。これについては低酸
素分圧の下で酸化が始まる際、酸化物の核生成の位置が
大気圧中の場合より少ないため、その結果として比較的
粗大な結晶粒の酸化皮膜が形成されたものであると考え
られている。

本発明の低酸素分圧下熱処理によって基材表面に生成し
たＡｌ，Ｏ，皮膜も粗大結晶粒化しているものと考えら
れ、この処理が耐酸化性改善に及ぼす効果については、
その影響も作用しているものと考えられるが、加熱温度
が低ければ、加熱時間は長く選定し、加熱温度が高けれ
ば加熱時間は短く選定しなければならない。また、酸素
分圧が小さければ加熱時間を長くしなければならない。

また酸素分圧が大きければ加熱時間は短くてよい。以上
の観点より加熱時間を３０分ないし１００時間とした。

（実施例） 以下本発明の低酸素分圧下熱処理の実施例について説明
する。

実施例１ 本実施例に用いた試料は純度が９９．　９９％のＡ１と
９９．６％のスポンジＴｉを金属間化合物ＴｉＡＬの化
学量論組成に配合し、アルゴンアーク溶解により約２８
０ｇの棒状インゴットに溶製されたものである。これら
に１０００℃、１６８時間均質化焼なまし処理を施した
後、放電ワイヤカットおよびファイン力ツタで１０Ｘ５
Ｘ２ｍｍの寸法の試験片を切り出し、試験片表面を＃　
１０００までのエメリー紙で研磨した。

第１表は低酸素分圧下熱処理を実施した金属間化合物Ｔ
ｉＡＬおよびＴｉＡＬ基合金の組成を示したものである
。

この試験片に第２表に示すような種々の条件で低酸素分
圧下熱処理を施した後、酸化試験を行って最もよい耐酸
化性を示す熱処理条件を検討した。

表中の圧力は空気圧を示すものである。

第２表　低酸素分圧雰囲気下の熱処理条件酸化試験は、
各試験片をあらかじめ９００℃に保持した横型管状電気
炉中に挿入して静止大気中で酸化し、所定時間経過後こ
れを炉から取り出し質量変化の測定と表面の観察を行い
、再び炉内に戻して酸化を続けるという断続的方法で行
った。また必要に応じて走査型顕微鏡（ＳＥＩわ，Ｘ線
マイクロアナライザー（ＸＭＡ）ならびにＸ線ディフラ
クトメー夕も使用して酸化層の解析を行った。比較材と
してＮｉ基超合金インコネル７１３Ｃを同時に酸化試験
に供した。この比較材の組成は第３表の通りである。

第３表 第１図は、未処理の金属間化合物Ｔ１＾しおよび比較材
として使用したＮ１基超合金インコネル７１３Ｃ並びに
純Ｔｉ板の酸化試験による質量変化を示したものである
。この図から未処理の金属間化合物ＴｉＡＬは純Ｔ１よ
りも優れた耐酸化性を有しているが、インコネル７１３
Ｃに比較すると数段劣るものであることがわかる。

次に金属間化合物ＴｉＡＬに対して第２表に示した低酸
素分圧下熱処理を施した試料の酸化試験の結果を第２図
に示した。Ｎα１あよびＮα３の両試験片は熱処理を施
さないＴｉＡＬ試験片（ＴＡ）に比べてかなり耐酸化性
は改善されているが、Ｎα２ＡＪよびＮα２Ｂはそれら
に比べてもはるかに酸化による質量増加が少なく、未処
理ＴｉＡＬ試験片（ＴＡ）に比べれば２桁も小さい。こ
れらの耐酸化性はインコネル７１３Ｃを凌いでいる。

未処理ＴｉＡＬ試験片（ＴＡ）の１５０時間酸化後の皮
膜は外見上白色で、その厚さは約１００μｍ程度であっ
た。ＸＭ＾およびＸ線ディフラクトメータ分析から、こ
の酸化皮膜は外側よりＴｉ０２層、Ａｌ　，０３層およ
び両者が混在する第３層から成り、酸化皮膜と母材のＴ
ｉＡＬの間に厚さ数μｍのＴ１３ＡＬ層の？成している
のが認められた。一般にＴＥＡＬが耐酸化性に劣るのは
Ｔｉ０２層の成長によるもので、これは第２層のＡｌ．
Ｏ．層が不均一かつ不連続であるため、Ｔ１の外方拡散
を阻止することができず、酸化の進行とともに外側のＴ
ｉｎ２が成長していったものと考える。本発明の熱処理
を施した試験片のうち酸化増量の比較的大きいＮα１と
Ｎｏ．　３は、未処理ＴｉＡＬ試験片（ＴＡ）と同様の
白色の酸化皮膜（ＴＩ０２＞を部分的に生成したが、Ｎ
１２Ｂは２５０時間まで続けて試験を行っても、灰黒色
の緻密な酸化皮膜（Ａｌ２０３）のままで全く変化が認
められなかった。

低酸素分圧下熱処理を施したままのＮα２Ａの断面の光
学顕微鏡写真およびＸＭＡ分析の結果を第３図に示した
。母材の表面に数μｍ程度のごく薄いものではあるが、
均一な皮膜が生成されている。

それはＸ線解析により＾１■０３と同定された。

低酸素分圧下熱処理による劇的な耐酸化性の改善はこの
＾１■０，皮膜によるものと考えられる。すなわちこの
Ａ１２０３皮膜がＴｉＡＬの通常の酸化で生成される酸
化皮膜より緻密であったため、酸化試験時のＴｉの外方
拡散を防ぎ、酸化皮膜の成長を抑制したものと推測され
る。Ｎｏ．　１などの処理条件ではこのＡｌ２０３皮膜
の連続性がなお不十分であったため、皮膜の不完全な部
分からＴｉ０２層の成長が進んだものと思われる。特に
酸化増量が中程度に大きいＮα３では表面全体に直径１
ｍｍ程度の半球状の白色酸化物がまばらに分散している
ものが見い出された。これはＡｌ２０３皮膜の不完全な
部分から酸化皮膜が成長し始めたところであると考える
ことができる。

以上のように、ＴｉＡＬに１０００℃で低酸素分圧下の
熱処理を施すと外見上灰黒色に見える薄いＡｌ２０３皮
膜を生成し、通常の酸化での酸化皮膜（Ｔ＋０＝）の生
成、成長を劇的に抑制する働きのあることが見い出され
た。この現象は９００℃、２５０時間までの断続的酸化
に対してもその効果が維持された。

（比較例） 前の第１表に示した２種類の試料を１０−３Ｐａの真空
中で１０００℃、１６８時間均質化焼なました後、寸法
１０Ｘ５Ｘ２ｍｍの板材を切り出して試験片とし、表面
を＃１０００のエメリー紙で研磨した後、各種の表面処
理を施した。

本実験で試験した表面処理は従来法の拡散浸透処理およ
び真空蒸着処理を行って、本発明の低酸素分圧下熱処理
と比較した。それらの中から試験片表面状態の比較的良
好なものあるいは耐酸化性の改善が期待されそうなもの
について、９００℃静止大気中で２５〜１５０時間の酸
化試験を行った。また比較材としてＮｉ基超合金インコ
ネル７１３ＣとＳＯＳ　４３０ステンレンス鋼も同時に
酸化試験に供した。使用したインコネル７１３Ｃの組成
は第３表に示したものと同じである。またＳＯＳ　４３
０ステンレンス鋼の組成は第４表の通りである。

この酸化試験の結果は連続酸化による酸化増量を示した
ものではなく、所定時間経過後一旦炉から出して質量変
化を測定したのち、また炉内に戻し酸化をつづけるとい
う方法の断続的酸化によるものである。またはく離した
皮膜も一緒に質量測定した。

各処理が耐酸化性に及ぼす影響については酸化試験後、
試験片の観察、単位表面積当たりの酸化増量の測定など
によって行い、またＸ線ディフラクトメータ，　ＸＭＡ
　　等も使用して評価をした。

まず最初に未処理のＴｉＡＬ（ＴＡ）　、１．５％Ｍｎ
−ＴｉＡｌ（ＴＡＭ）　、ニッケル基超合金（インコネ
ル７１３Ｃ　）およびステンレス鋼（ＳＯＳ　４３０）
について行った酸化試験の結果は第４図に示す通りであ
る。すでに知られているように、Ｍｎ添加のＴｉＡＬは
無添加の場合に比べ酸化の度合が大きい。Ｔ　ｉＡＬ　
（ＴＡ）の酸化皮膜は白色、Ｍｎ添加ＴｉＡＬ　（ＴＡ
Ｍ）は黒色であった。

またこの温度ではＴＡ，　ＴＡＭとも皮膜のはく離が認
められ、安定な皮膜を維持するインコネル７１３Ｃに比
べかなり大きな酸化増壷を示した。

次に各表面処理について酸化試験の結果と併せて説明す
る。

まず、拡散浸透処理については粉末バック法を採用する
ことにした。これはステンレス鋼管中に粒度２００メッ
シュ以下の粉末パック材とともに試験片を充填し、カン
タル線炉で第５表に示したような条件の処理を施す。

第５表　拡散浸透処理条件 これらの方法はすでに超合金などに対して確立されてい
る技法であり、ＴｉＡｌに対してもその効果が期待され
るものである。拡散材としてはＣｒ，ＳｉおよびＡｌの
３種について試みたが、発明者の行った範囲ではＣｒ，
　Ｓｉ　については十分な拡散皮膜を得るのが困難であ
った。

Ａｌの拡散浸透処理については処理温度と処理時間を第
５表に示した範囲で変化させて、またバック材の配合も
２種類を試み最適条件を捜したところ、７５０℃、１０
時間でもっとも良好な拡散皮膜が得られることがわかっ
た。このとき拡散浸透皮膜の厚さはおよそ１００μｍで
緻密で外観も良好であった。この皮膜の組成はＸ線ディ
フラクトメータの結果よりＴｉＡＬ３であると同定した
。処理条件を変化すると、一般に高温短時間側では皮膜
の組織にクラブクが多く見られ、低温長時間側では密着
性の良い緻密な皮膜が得られた。

第６表　拡散浸透後の熱処理条件 またＡｌ拡散浸透後、第６表に示したような真空熱処理
を施したものも用意し、併せて酸化試験を行った。酸化
試験の結果が第５図である。未処理のＴｉＡｌに比べ＾
１の拡敗浸透処理を施したものは耐酸化性に優れ、イン
コネル７１３Ｃに匹敵するものになるということがわか
った。また真空熱処理を施したものは、さらに耐酸化性
に優れ、インコネル７１３Ｃを凌ぐことがわかった。

ところで、ここでいかなる処理条件においても発生する
問題があった。第６図（ａ）に示したように試験片エッ
ジ付近で拡敗皮膜に大きな割れが発生する。本試験の試
験片はエッジのシャープな直方体形状をしていたので、
試みに試験片のエッジにアールを取ったものを用意して
拡散浸透処理を施したところ第６図ら）のようにその割
れが明らかに小さくなった。そこでこの問題については
さらに最適形状を見つけることにより解決されることと
推測され、工業的にもこの方向で対処できるものと考え
られる。

さて本発明者は真空蒸着処理についてＣｒ，　Ｓｉ，Ｎ
ｉおよびＡ１の４種を試みた。Ｃｒ，　Ｓｉについては
蒸着自体が困難であるが、一方Ｎｉ，　Ａｌ　について
は蒸着が可能だったため、蒸着後、拡散のため１０−３
Ｐａの真空中で１０００〜１０５０℃　４時間の熱処理
を施してから酸化試験を行った。この結果は第７図に示
す通りである。第７図に示したようにＮｉ蒸着について
は耐酸化性の著しい改善は認められなかった。またＡｌ
　については若干の効果は認められたものの、その効果
は比較的短時間で失われ、光学顕微鏡での観察によって
も次の第８図のように十分な拡散が起こっていないのが
明らかで、今後さらに適切な蒸着条件、拡散条件の検討
が必要であると考える。

実施例２ 第１表に示したと同じ金属間化合物ＴｉＡＬおよびＭｎ
添加ＴｉＡＬについて、広範囲の条件で低酸素分圧下で
熱処理を施して９００℃静止大気中での繰り返し酸化試
験を行った。

第７表は金属間化合物ＴｉＡＬあるいはＴｉＡＬ基合金
に対して施した低酸素分圧下熱処理の処理条件を示した
ものである。この熱処理における処理条件として変化さ
せたパラメータは、処理空気圧（真空度）、処理温度お
よび処理時間の二者であり、実際の熱処理はそれぞれ第
７表に示したような条件の雰囲気中で試料を所定時間保
持するというものである。

第７表 第７表に示した条件の熱処理を施した金属間化合物Ｔｉ
ＡＬあるいはＴｉＡＬ基合金試験片について９００℃静
止大気中における繰り返し酸化試験を行って各処理条件
と耐酸化性との関係について検討した。第９図から第１
１図までのグラフは酸化試験を行った際の各試験片の質
量増加を表したものである。これらのグラフの横軸は累
積酸化時間を示し、縦軸は試験片の質量変化を単位表面
積当たりの値にして示したものである。

本発明により金属間化合物ＴｉＡＬに低酸素分圧下熱処
理を施す際の処理空気圧と処理時間をそれぞれ６．７Ｘ
１０−’　ＰａとｌＯ時間に一定とし、処理温度を変化
させたときの各試験片の酸化増量を第９図に示す。先に
示した第１図の未処理の場合と比較して、低酸素分圧下
熱処理による耐酸化性の改善は明らかである。この効果
については処理温度９００℃から１０００℃までの範囲
で酸化増量が９００℃より１０００℃に近づくにつれて
減少することが認められ、特に１０００℃付近で耐酸化
性改善の効果が最も大きい。

第１０図は処理空気圧６．７　ｘ１ｏ−３Ｐａ　，処理
温度１０００℃、処理時間１０時間の低酸素分圧下熱処
理を施した金属間化合物ＴｉＡＬ試験片の耐酸化性を長
時間にわたる繰り返し酸化試験によってインコネル７１
３Ｃのそれと比較したものである。累積酸化時間５００
時間までの範囲ではインコネル７１３Ｃを凌ぐ耐酸化性
を有するものになっていることが見いだされる。

第１１図は１．５％のＭｎを添加したＴ１＾Ｌ基合金に
対して本発明の低酸素分圧下熱処理を施した試料の酸化
曲線（Ｊ）を示したものである。同処理を行わない同じ
試料の酸化曲線（Ｋ）　　も併記してある。

本発明による低酸素分圧下で熱処理は、このＭｎを含む
試料ＴｉＡＬ合金についても耐酸化性改善の効果のある
ことが認められる。

以上のように繰り返し酸化試験による耐酸化性改善の評
価を処理条件別にまとめたものが第８表である。表中の
記号Ｏはインコネル７１３Ｃと同程度あるいはそれ以上
の耐酸化性が得られたことを表し、記号△はインコネル
７１３Ｃの数倍程度までの酸化増量を示したことを、ま
た記号×はそれ以上の酸化増量を示したことを表すもの
である。

第８表 Ａ１．ＯＰａ Ｂ　　６．７　ｘｔｏ−３Ｐａ Ｃ　　Ｉ．３ｘｔｏ−３Ｐａ 以上のように、本発明では金属間化合物ＴｉＡＬおよび
ＴｉＡＬ基合金の耐酸化性を改善するための表面処理法
として、低酸素分圧下熱処理に顕著な効果を現わすこと
が確かめられた。本発明の処理を施すことにより金属間
化合物ＴｉＡＬ（ＴＡ）および１．５％のＭｎを添加し
たＴｉＡＬ基合金（ＴＡＭ）の耐酸化性は改善され、そ
れらの内で最も優れたものはＮ１基超合金インコネル７
１３Ｃの耐酸化性を凌ぐものであることが確言忍された
。

（発明の効果） 本発明の処理を施すことにより金属間化合物ＴｉＡＬ（
ＴＡ）および１．５％のＭｎを添加したＴｉＡＬ器合金
（ＴＡＭ）の耐酸化性は改善され、それらの内で最も優
れたものはＮ１基超合金インコネル７１３Ｃの耐酸化性
を凌ぐ９００℃以上の高温において耐熱性があり、軽量
で、安価な耐酸化性材料を提供し得る点で工業上大なる
効果があり、航空機、船舶などに使用される内燃機関、
宇宙船材料、あるいは発電用の蒸気タービンまたはガス
タービンなどの構造用材料、ジェットエンジン材料、あ
るいは自動車用ターボチャージャー用材料として極めて
有用である。

【図面の簡単な説明】

第１図は処理を施さない金属間化合物ＴｉＡＬおよび比
較材（純Ｔｌ材およびインコネル７１３Ｃ）について比
較酸化試験を行った結果を示す特性図、第２図は本発明
の処理を施した試験片ＮαＬＮα２ＡＳＮα２Ｂ，Ｎα
３および未処理材（ＴＡ）とインコネル７１３Ｃとを比
較して酸化試験に供した結果を示した比較試験特性図、 第３図（Ａ）．　　（Ｂ）は本発明の低酸素分圧雰囲気
下で熱処理したＴｉＡＬ試験片断面の顕微鏡写真図およ
びＸＭＡ図、 第４図はＴｉ八１（Ｔ八）とＴｉＡｌ（Ｔ八Ｍ）とをイ
ンコネノレ７１３Ｃ及びステンレス鋼ＳＵＳ４３０と比
較した酸化試験結果を示す耐酸化特性図、 第５図はＡｌ拡散浸透処理被膜をもったＴｉＡ］の熱処
理をしたものと熱処理をしないものとをインコネル７１
３Ｃと比較した酸化試験結果を示す耐酸化特性図、 第６図（ａ）．　（ｂ）はＡｌ拡散浸透処理被膜をもっ
た試験片（ＴｉＡｌ）の急な隅角部と緩い隅角部におけ
る被膜亀裂状態を示す顕微鏡写真図、 第７図は試験片ＴＡとＴＡｌＡ表面にＮｉを蒸着したも
のと、試験片ＴＡにＡｌを蒸着したものとの酸化試験結
果を示す耐酸化特性図、 第８図はＴｉＡｌにＡｌを蒸着した被膜の顕微鏡写真図
、 第９図および第１０図は本発明の低酸素分圧下熱処理を
施した金属間化合物ＴｉＡＬ　　（Ｄ，　　Ｅ，　　Ｆ
曲線）をインコネル７１３Ｃ　　（Ｇ，　Ｈ曲線）と比
較して酸化試験に供した結果を示す比較試験特性図、第
１１図は１．５％財を添加したＴｉＡｌ基合金に低酸素
分圧下熱処理を施したものを未処理材と比較して酸化試
験に供した結果を示す比較試験特性図である。 第２図 ！績酸化時間Ａ 第１図 累積酸化時蘭／ｈ 第４図 ５０　　　　　　　　ｌ〃 １＃献化糾聞Ａ 第５図 ｇｔ宵顔イビσ今閣／λ 第６図 第７図 ５０　　　　　　　　　　ｆ００ 】【オ貴酸イ乙ｉキ＾ｉ／入 ｆ５０ 酸イＬ増ｔｈ−ｍ−２ ―タイとＪｔｉＦ／ｔ−オー２ 手 続 主甫 正 書（方式） 第１１図 平成　元年 ９月２７日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ＴｉＡＬの金属間化合物または合金を酸素分圧１×
   １０＾−＾２〜１×１０＾−＾５Ｐａの酸素雰囲気下で
   温度９００℃〜１０５０℃において、３０分ないし１０
   ０時間保持してＴｉを酸化させず、Ａｌだけを選択的に
   酸化させ、前記金属間化合物または合金の表面に予め耐
   酸化性のＡｌ＿２Ｏ＿３皮膜を生成せしめることを特徴
   とするＴｉＡｌの金属間化合物または合金の表面に耐酸
   化皮膜を形成させる方法。