JPH02294992A - スタテイツクメモリセル - Google Patents

スタテイツクメモリセル

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JPH02294992A
JPH02294992A JP2104376A JP10437690A JPH02294992A JP H02294992 A JPH02294992 A JP H02294992A JP 2104376 A JP2104376 A JP 2104376A JP 10437690 A JP10437690 A JP 10437690A JP H02294992 A JPH02294992 A JP H02294992A
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ハンスユルゲン、マタウシユ
Bernhard Hoppe
ベルンハルト、ホツペ
Gerd Neuendorf
ゲルト、ノイエンドルフ
Doris Schmitt-Landsiedel
ドリス、シユミツトラントジーデル
Hans-Joerg Pfleiderer
ハンスイエルク、プフライデラー
Maria Wurm
マリア、ヴルム
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    • G11C11/412Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger using field-effect transistors only

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] この発明はスタティックメモリセルに関するものである
〔従来の技術〕
MOSメモリは高い集積度を有する集積回路に属し、そ
の情報記憶の形式に応して下記の主なグループ、すなわ
ちグイナミソク情報記憶を存ずるMOSメモリ、スタテ
ィンク情報記憶を有するMOSメモリおよび不揮発性情
報記憶を存ずるMOSメモリに分類され得る。いまの場
合にi*: M O Sメモリのまんなかのグループ、
すなわちスタティックメモリが特に関心の対象である。
この場合、メモリセル内に書込まれた情報が記憶され、
その際にこれらの情報はそれらのいったんセソI・され
た状態を、供給電圧が断たれるまで、または他の理由か
らもはやメモリセルにとどまる必要かなくなるまで、持
続する。スタティックメモリセルの構成は種々のMOS
技術により可能である。この場合、CMOSテクノロジ
ーが低損失の技術である点で特に有利であることか判明
している。刊行物“集積MOS回路(Integrie
rte MOS−Schaltungen) ” 、ハ
ー・ウアイス(ll.Weiss) 、カー・ホーニン
ガー(K.lIorninger)著、スプリンガー出
版、1982年、第229頁、第4. 7 3 c.図
にCMOS技術による1つの卯型的な61一ランジスタ
−メモリセルが示されている。それは1つの交叉接続さ
れたフリソプフロノプから成っており、その際に2つの
選沢I・ランシスタが両データ線とメモリ節点との間の
接続を形成している。6トランジスターメモリセルは読
出しおよび書込みの際にワド線を介してアドレス指定さ
れ、またデータ線に接続される。左側のメモリ節点が裁
準電位に接続されているか供給電圧の電位に接続されて
いるかに応じて、メモリセル内に論理”0″または“ビ
が記憶されている。両方の場合に横電流は供給電圧と基
準電位との間にメモリセルを通って流れない。なぜなら
ば、両フリップフロップ技路のなかで1・ランジスタの
一方は阻止状態に、他方は導通状態にあるからである。
この形式の装置では、1つのメモリセルの読出しの際に
その状態が一方または憔方のメモリ節点からデータ線へ
の電荷伝達により変更される危険がある。従って、選択
トランジスタの幅はメモリフリソプフロンプ内のnチャ
ネルトランジスタに比較して過大に選定されてはならな
い。他方において選択}・ランジスタの幅は、書込みを
可能にするため、メモリーフリップフロソプ内のpチャ
ネルトランジスタに比較しては十分に大きくなければな
らない。これらのpチャ名ルトランシスクはセル情報を
スタティックに保持する役割をし、また最小のチャネル
幅に選定され得る。対称な61・ランジスタ−セルの選
定の際の元来の要求は、このようなメモリセルの設計の
ために詳細なノイズイミュニティ解析が特にテクノロジ
ー変動の影響に関して必要であるごとに通ずる。現存の
設計はテクノロジー−パラメータの変化の際、寸法的に
小さくされたジオメ1・リ (収縮)への変換の際およ
び供給電圧の変化の際に再検査され、また一般に変更さ
れなければならない。加えて選択トランジスタの幅の制
限は達成可能な速度を制限する。
61−ランジスタ−メモリセルを有ずる通常のスタティ
ソク半導体メモリではしばしば、選択されないデータ線
が1つの固定電位に予充電される。1つの書込みアクセ
スの後に、書込めに利用されたデータ線対か、これらの
画線の間の電荷等化により書込み回復時間を短縮するた
め、追加的に1つの1・ランジスタを介して接続される
。しかし、この対策によりノイズイミ1ニティおよび速
度と同時にアクセス時間も高められる。前記刊行物の第
244〜245頁にはさらに、書込みの際のセル信号の
迅速な認識のためにデータ線が一般に1つの差動増幅器
に導かれることが記載されている。
差動増幅器のなかでこれらの両データ線の放電が認識さ
れる。評価は、データ線がまだ論理レヘルに達しておら
ずに最初に数100mVの電位差を有する1つの時点で
行われる。しかし、こうして得られる時間節約は、大き
い面積を占有し、またメモリセルのようにテクノロジー
に起因する動作点の変動に影響されやすいアナログ回路
の使用により購われる。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の課題は、従来の技術にくらべて短縮されたアク
セスおよび書込み回復時間を有し、周辺回路に対してわ
ずかな寸法しか必要としない、CMOSテクノロジーに
よるメモリセルに対ずる改良ざれた回路を提供すること
である。
〔課題を解決するだめの手段〕
ごの課題は、本発明によれば、請求項1および5の特徴
部分に記載の手段により解決される。
請求項2ないし4およひ6ないし]0には木発明による
メモリセルの好ましい構成があげられている。
〔実施例〕
以下、図面により本発明を一層詳細に説明する。
第6図には、相補性チャネル技術(CMOSテクノロジ
ー)によるスクティンクメモリに対する従来のメモリセ
ルが示されている。それは両インバータI1およびI2
から形成される1つの交叉結合されたフリンプフトンプ
を含んでいる。データ線D,D’を介してメモリセルに
対ずる情報が看込まれまたは読出され、またワード線W
を介してメモリセルか駆動される。たとえばメモリ節点
1への書込め過程の際に0■の電圧が与えられると、n
ヂャネル電界効果トランジスタN1はl引止し、他方に
おいてnチャネル電界効果1・ランジスクN2は導通ず
る。その後にメモリ節点1にi;I: 0■の電圧が与
えられており、他力においてメモリ節点2には供給電圧
VDDに一致する電圧が与えられている。選択1・ラン
ジスタN3およびN4の阻止の際にフリンプフロンブは
その定められた状態にとどまり、逆の電圧レヘルをデー
タ線D,D’に与えられる際および選択トランジスタN
3、N4の導通の際に初めて他方の状態に反転する。同
しくメモリ節点1および2におiJる電位の確認により
メモリセルの状態が読まれる。相補性チャネル技術の使
用によりメモリセルの損失電力は可能なかぎり小さく保
たれる。両安定状態でnチャネル電界効果I・ランジス
タN1およびpチャネル電界効果トランジスタP2のみ
もしくはPチャ不ル電界効果1・ランジスタP1および
nチャ不ル電界効果トランジスタN2が開かれた状態に
とどまる。
従って、切換過程の際にのみ横電流が流れる。
詳細には第6図によるメモリセルは下記のように構成さ
れている。インバータI1は1つのnチャネル電界効果
トランジスタN1および1つのpチャネル電界効果トラ
ンジスタP1を含んでおり、他方において第2のインハ
ークI2はnチャネル電界効果1・ランジスタN2およ
びpヂャ不ル電界効果トランジスタP2を含んでいる。
両pチャネル電界効果トランジスタP1およびP2は各
1つの第1の端子で供給電圧V DDと接続されており
、他方において両nチャネル電界効果トランシスクN1
およびN2の各第1の端子は基準電位と接続されている
。第1のインバータ11の入力端はP1およびN1の両
ゲート端子により形成されており、またnチャネル選択
トランジスタN3を介してデータ線Dと接続されている
。第1のインハークI1の出力端はそれぞれpチャヱル
電界効果i一ランジスタP1およびnチャネル電界効果
1・ランジスタN1の第2の端子により形成され、また
nチャネル選択トランジスタN4を介して逆データ線D
′と接続されている。第2のインバータI2はそのP2
およびN2の両ケー1・端子から形成される入力端でイ
ンバータ■1の出力5iiAと接続されており、他方に
おいてP2の第2の端子およびN2の第2の端子により
形成されるI2の出力端はインハークI1の入力端と接
続されている。情報を記憶するためメモリセルは2つの
メモリ節点1および2を含んでおり、その際にメモリ節
点1はインバータ■2の出力端とインバータ■1の入力
端との間の導通接続から形成され、またメモリ節点2は
インバータ12の出力端とインハークI2の入力端との
間の導通接続から形成される。ワード線Wは選択トラン
ジスタN3およびN4の両ゲート端子と接続されており
、またか書込みおよび読出しの場合に両選択1・ランジ
スタを能動化する。
トランジスタN1およびN2、PIおよびP2ならびに
N3およびN4は対として等しく設計されている。前記
のように、選択1・ランジスクN3およびN4の中畠は
メモリーフリソフ゜フロ・ンフ゜N1およびN2内のn
チャネルトランジスタに比較して過大に選定されてはな
らない。他方において選択トランシスタの幅は、書込み
を可能にするため、pチャネルトランジスタP1および
P2に比較しては十分に大きくな&Jればならない。こ
の際、P1およびP2はセル情報をスタティックに保持
する役割をし、また最小のチャネル幅に選定され得る。
例としてW(Nl):W(N3):W(PI)一I.5
 : l. : 1に選定され得る。
第1図には、別々の書込みおよび続出しワード線および
別々の書込みおよび涜出しデータ線を有する木発明によ
る6 1−ランジスタ−メモリセルか示されている。そ
れは回路技術的な観点で第6図に示されているメモリセ
ルと、書込めおよび読出しのための2つのワード線WL
およびWSの存在と選択トランジスタN3’およびN4
’の端子接続により異なっている。第6図中のメモリセ
ルと異なり、それぞれ書込みのためのデータ線DSおよ
び読出しのためのデータ線I) Lが使用される。
この際、両インバータ11’およびT2’ の接続は前
記のメモリセルのように行われる。インバータI1′ 
はρチャ不ル電界効果l・ランジスタP1′およびnチ
ャネル電界効果1−ランシスタNl’を、また帰還結合
されたインバータ12’ はpチャネル電界効果トラン
ジスタP2’およびnチャ矛ル電界効果トランジスタN
2’を含んでいる。両インバータは供給電圧VDDと基
準電位、この場合には接地電位との間に接続されている
。nチャ不ル選択トランジスタN3’は書込みデータ線
DSと第1のインバータ11′の入力端および帰還結合
された第2のインバータI2’の出力端との間の接続を
形成し、またnチャネル選択トランジスタN4’ は読
出しデータ線D Lを第1のインノ\ータTl’の出力
端および帰還結合されたインバータ12’の入力端と接
続する。メモリセルへの情報の書込みのための選択トラ
ンジスタN3’はそのゲート端子で書込みワード線WS
と接続されており、他方においてメモリセルからデータ
を読出しデータ線DL」二に読出す役割をする選択トラ
ンジスタN4’はそのゲート端子で読出しワード線WL
と接続されている。
書込みは本発明による6トランジスターメモリセルでは
書込みデータ線DSから、書込みワード線WSにより駆
動される書込み選択トランジスタN3’を介して行われ
る。読出しデータ線D L上への読出しは読出しワード
線WLにより駆動される読出し選択トランジスタN4’
を介して行われる。Nl’およびP1′から形成される
インバータI1′からセル信号が読出し選択トランジス
タN4’を介して読出しデータ線DLJ=に読出される
本発明による61・ランジスタ−メモリセルではメモリ
セルの両論理状態が読出しデータ線DI、を介して読出
される。従って、第1のインバータ11′内のpチャネ
ル1・ランジスタP1′は、読出しデータ線DLを充電
し得るように、十分に広く設計されなければならない。
N2’およびP2’から形成されるインハーク■2′は
ここで、セル情報をスタティンクに保持するため、帰還
結合としての役割をする。従って、これらの両電界効果
l・ランシスタぱ最小のチャネル幅および最小のチャネ
ル長さで設計されなければならない。両インハークI1
′および12′にこの非対称性が存在するので、セルは
従来の技術によるメモリセルよりも読出しの際の情報損
失に対して木質的に強い。
続出しデータ線DI一の予充電はごのメモリセルでは必
要でない。読出し選1尺トランジスタN4’のチャネル
幅は第1のインバータ11′内のnチャネル電界効果ト
ランジスタNl’に比較して通常の6トランジスターセ
ルの場合よりも大きく選定され得るので、読出しデータ
線DLがより迅速に制御される。N1′、P1′および
N4’のチャネル幅の選定によりメモリセルの読出しの
際の速度が、必要とされる面積需要と交換され得る。読
出しデータ線DLのキャパシティが、特に小さいメモリ
またはハイアラーキーアーキテクチj−アを有するメモ
リにおいて生ずるように過大にならないかぎり、それに
よってより短い読出しアクセス時間が達成され得る。こ
の際に読出しデータ線の処置が必要でないので、予充電
が書込みおよび読出しの際のアクセス時間の部分として
考慮に入れられなくてよい。
セル信号の認識のために第1図によるメモリセル内には
高価で故障しやすい続出し増幅器が必要でない。なぜな
らば、インバータまたは簡単な1段のコンパレータ回路
でセル信号の評価の際に十分であるからである。これに
より再びテクノロジー的変動に対するノイスイミュニテ
イが高められ、また寸法的に小さくされたジオメ1・リ
 (収縮)への変換の際の可能性が改善される。さらに
、アリ゛ログ差動増幅器をもはや必要としないより簡単
な読出し回路により、必要とされるチップ面積か減ぜら
れ、それによりコンパク)・な構成が可能になる。書込
みは書込みデータ線DSからnチャネルトランジスタN
3’を介して行われるので、高信号の書込みに対するメ
モリ節点1には電圧VDDVT’のみが与えられる。こ
こでVT’は基板バイアス電圧V D D − V T
 ’にお4Jるnヂャ不ル電界効果トランジスタのカソ
トオフ電圧である。
従って、インバータI1′のスイッチングしきいをVD
D/2よりも低い電圧にすることが望ましく、このこと
はたとえばNl’およびP1′に対してチヤ不ル幅を等
しく設計するごとにより可能である。書込みデータ線D
Sは書込みの後に1つの定められたレベルに充電されな
くてよい。従って、書込み回復時間が書込みサイクル時
間のなかで守られなくてよい。
第2図には、別々の書込めおよび読出しワート線ws,
wr−ならびに書込みおよび続出しデータ線DSおよび
D Lを有するメモリセルの本発明による別の実施例が
示されている。栽本的な接続に関して第2図によるメモ
リセルは第1図中のメモリセルに相当しており、従って
同一の参照符号が使用されている。第2図によるメモリ
セルにはメモリ節点2と読出し選択1・ランジスタN4
’ との間にインバータ15’が挿入される。これはp
チャネル電界効果トランジスタP5’およびnチャネル
電界効果トランジスタN5’を含んでおり、p 5 r
の第1の端子は供給電圧VDDと、N5’の第1の端子
は基準電位、この場合には接地電位と接続されており、
またインバータI5’の入力端はP5’およびN5’の
両ゲー1・端子から、またインバータ15’の出力端は
P5’およびN5’の第2の端子により形成される。こ
のイ」加したインバーク15’により読出しの際に、記
憶されたセル信号が既にメモリセル内で増幅される。加
えて、読出しデータ線DI、がメモリ節点2から滅結合
されているので、選沢1・ランジスタN4’のチャネル
幅がメモリセルのノイズイミュニテイを顧慮せずに選定
され得る。第1のインバータ■1′内のNl’およびP
1′のチャネル幅は単に書込みの際のスイッチングしき
いを顧慮して選定されればよい。従って、それらは可能
なかぎり小さく選定されている。このメモリセルにより
特に短い読出しおよび書込み時間が達成可能である。
設計例として第2図によるメモリセルでは書込みのため
にインハーク11’は、pチャ不ル電界効果1・ランジ
スクP1′のチャネル幅がnチャネル電界効果1・ラン
ンスタNl’のチャネル幅に一致するように、従ってイ
ンバータ11′のスイッチングしきいが供給電圧の半分
VDD/2よりも低いように選定され得る。nチャネル
電界効果トランジスタN5’ はpチャ2、ル電界効果
トランジスタP5’の2倍のチャネル幅を有するべきで
あり、pチャネル電界効果トランシスタP5’のチヤ不
ル幅はpおよびnチャネル電界効果トランジスタP1′
およびNl’のチヤ不ル幅の約3倍とずべきである。こ
れによりメモリセルからのデ−夕の無障害の読出しが保
証される。
第3図には、書込み選択回路としてのCMO Sトラン
スファトランジスタを有する本発明による71・ランジ
スタメモリセルが示されている。基本的な接続に関して
このメモリセルは第1図中のメモリセルに相当しており
、従ってインバータ■↓′およびT2’ならびに選択ト
ランジスタN4’は第1図と同様に接続されている。特
に高い基板制御を存ずるテクノロジーでは書込みは、書
込み選択トランジスタN3″がpチャネル電界効果トラ
ンジスタP3″の並列回路によりCMOS}ランスファ
ゲートに拡張されるならば、迅速かつ確実になる。その
場合、反転された書込みワード線信号を有する別の書込
みワード線WS′が必要である。nチャネル選択トラン
ジスタN3″のゲート端子はこうして書込みワード線W
Sと、またpチャネル選択トランジスタP3″のゲート
端子は書込みワード線WS′ と接続されている。この
際、書込みワード線WS′はメモリセルへのデータの書
込みの際に書込みワード線WSよりも多少遅く能動化さ
れれば十分である。従って、書込めワド線WS′に対ず
る導線は、メモリセル内のスインチンオン時間を長《す
ることなしに、用込のワド線WSに対ずる導線よりも高
抵抗に選定され得る。
第4図には、2つの書込め選択I・ランジスタおよび3
つのワード線を有ずる木発明による7トランジスターメ
モリセルが示されている。前記の回面と同じく第1およ
び第2のインバータ■ビ′および12″および選択l・
ランジスタN4’の恭本的接続は第1図中のそれに−・
致している。同一の参照符号がここにも使用されている
。書込みワド線WSZおよびWSPはまさに当該のメモ
リセルにおける情報の書込みの役割をする。書込みデー
タ線D +−が各書込めの前に完全に定められた電位に
充電されなくてもよいことを明止するため、第1図ない
し第3図によるメモリセルでは書込みのために必要とさ
れる0チャネル選択トランジスタおよび第1のインバー
タ内の1・ランジスタの設計が、同じ書込みワード線に
おける他のメモリセルの書込のの際に電荷伝達によりセ
ル状態か変更され得ないように選定されなければならな
い。最適な設計はテクノロジーに関係しており、またセ
ルの書込みの速度を遅くする。一般に1つの断たれたデ
ータ線の電荷の伝達に対するセルの安定性の要求はセル
領域内のメモリセル行の数を制限する。
この欠点は第4図によるメモリセルでは生じない。それ
は2つの直列に接続されているnチャ不ル書込め選択ト
ランジスタN3″およびN5を介して選択される。書込
み選択l・ランジスタN3”は、第1図ないし第3図に
よるメモリセル内の書込めワード線のように配置されて
おり、また書込みのためにメモリセルの1つの行を選択
する1つの行書込みワード線WSZにより駆動される。
書込み選択トランジスタN5はそれに対して垂直に導か
れている列ワート線WSPにより選択される。
これにより常に単一のセルにおいてのみ、またはnメモ
リセルにおし」るワード幅nを有ずるメモリ組織に対し
てのみメモリ節点1が書込みデータ線DSと接続される
。メモリセルは行書込みワー[線WSZにより書込みの
際にのみ書込めデータ線DSと接続されるので、列ワー
ト線WSPは書込み−読出し選択と結び{=Jりられな
くてよい。インハーク■1“およびT2’の前記の非対
称な構成により第4図によるメモリセルは也込みおよび
読出しの際にデータ線からの電荷伝達に対して敏感でな
い。従って設計は短いアクセス時間の達成のために最適
化され得る。直列に接続されている両1・ランジスタは
、できるかぎりわずかな直列チャネル抵抗を達成するた
め、できるかぎり大きく選定される。
インバータT1′内の両1・ランジスタは、節点1にお
けるレヘル(VDD−VT’ 、接地)にスイッチング
しきいを適合させるため、等しく設計される。面積需要
とならんでデータ線DSの容量性負荷がN3’およびN
5の幅を制限する。典型的な設計は W (N3”):W (N5):W (Nl” ):W
(P1′ )−5:5:3:3 である。■2″内ではトランジスタ幅は最小であるが、
N2’のチャネル長さは、11″内と等しいスイソチン
グしきいを達成ずるため、P2’のチヤ7ル長さの2倍
に選定される。このメモリセルにより、寸法的に小さく
されたジオメトリ (収縮)への変換が問題なく行われ
得るし、また供給電圧の低下の際のメモリセルの機能が
保証されている。付加した列ワード線WSPを導くため
の高められた費用が列デコーディングの節減と対立する
第5図には、2つの直列に接続されている書込み選択1
〜ランジスタN3″およびN5’および2つのワート線
WZおよびwsspを有する本発明による7トランジス
ターメモリセルが示されている。これは、書込みおよび
読出しのためにただ1つの行ワード線WZが必要とされ
る第4図によるメモリセルの本発明による変形例である
。メモリセルを読出しの際に意図せざる重ね書きに対し
て保護するため、ここでは列ワード線は書込み選択と結
び付けられなL−1ればならない、すなわち列書込みワ
ード線wsspとして構成されなければならない。こう
して行デコーデインクの回路費用か列デコーディングの
費用と交換される。1つの導線の省略によりセル面積が
小さくなり、従ってメモリセルのよりコンパクl・な構
成が可能になる。
個々の行ワード線WZは2倍の数の選択I・ランジスタ
ゲー1−により負荷されている。なぜならば、メモリセ
ルの書込みのための選択1〜ランジスタN3″のゲート
端子および続出しための選沢1・ランジスクN4’のゲ
ー1一端子がそれぞれ行ワート線WZと接続されていな
げればならないからである。
別の基本的な接続の点では第5Mによるメモリセルは第
4図中のそれに一致しており、再び同−の参照符号が使
用されている。第4図および第5図からのメモリセルの
間の選択は個々の場合にラン時間およびメモリセルに必
要な面積に関して生ずる相違から行われるべきである。
〔発明の効果〕
本発明により得られる利点は特に、たとえばアナログ差
動増幅器のようなアナ1コグ回路の使用が回避され、ま
たテクノロジー変化およびパラメータ変動に対するノイ
ズイミュニティが本発明によるメモリセルの使用により
高められるごとにある。
これらの利点は特に、小さいメモリまたはハイアラーこ
ト−アーキテクチュアを有するメモリでそうであるよう
に、短いビッ1・線と結び付いて得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は別々の書込みおよび読出しワード線および別々
の書込みおよび読出しデータ線を有する本発明による6
トランジスターメモリセルの回路図、第2図は本発明に
よる8トランジスターメ千リセルの回路図、第3図は書
込み選択回路としてCMOS }ランスファゲートを有
ずる本発明による7トランジスターメモリセルの回路図
、第4図は直列に接続されている2つの書込み選択トラ
ンジスタおよび3つのワード線を有ずる木発明による7
トランジスターメモリセルの回路図、第5図は直列に接
続されている2つの書込b j’A jR トランジス
タおよび2つのワード線を有する本発明による7トラン
ジスターメモリセルの回路図、第6図は従来の技術によ
るCMOSテクノロジーによるスタティンクメモリに対
する1つのメモリセルの回路図である。 ■1〜15’ ・・・インバータ P1〜P5’・・・Pチャネル電界効果トランジスタ N1〜N5’・・・nチャぶル電界効果トランソスタ 1、2・・・メモリセル内の節点 DS・・・書込みデータ線 DL・・・読出しデータ線 WL・・・ワード線 ws.ws’・・・書込めワード線 WSZ・・・行書込みワード線 WSP・・・列ワード線 wssp・・・列書込のワード線 D,D’ ・・・データ線 W・・・ワード線 VDI)・・・供給電圧

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)第1の導電形の2つのトランスファトランジスタ(
    N3′、N4′)、2つのインバータ(I1′、I2′
    )、2つのデータ線(DS、DL)および少なくとも1
    つの第1のワード線(WS)を有し、第1のトランスフ
    ァトランジスタ(N3′)の第1の端子が第1のデータ
    線(DS)と、第2のトランスファトランジスタ(N4
    ′)の第1の端子が第2のデータ線(DL)と、第1の
    インバータ(I1′)の入力端が第1のトランスファト
    ランジスタ(N3′)の第2の端子と、また第1のイン
    バータ(I1′)の出力端が第2のトランスファトラン
    ジスタ(N4′)の第2の端子と接続されており、第2
    のインバータ(I2′)の入力端が第1のインバータ(
    I1′)の出力端と接続されており、また第2のインバ
    ータ(I2′)の出力端が第1のインバータ(I1′)
    の入力端に帰還結合されており、また第1のトランスフ
    ァトランジスタ(N3′)のゲート端子が第1のワード
    線(WS)に接続されているスタティックメモリセルに
    おいて、第2のトランスファトランジスタ(N4′)の
    ゲート端子が第2のワード線(WL)と接続されており
    、第1のワード線(WS)が書込み過程の際の第1のト
    ランスファトランジスタ(N3′)の能動化のための書
    込みワード線であり、第2のワード線(WL)が読出し
    過程の際の第2のトランスファトランジスタ(N4′)
    の能動化のための読出しワード線であり、第1のデータ
    線(DS)が書込みデータ線であり、それを介してデー
    タがメモリセルに書込まれ、また第2のデータ線(DL
    )が読出しデータ線であり、それを介してデータがメモ
    リセルから読出されることを特徴とするスタティックメ
    モリセル。 2)第3のインバータ(15′)か第1のインバータ(
    I1′)と第2のトランスファトランジスタ(N4′)
    との間に接続されており、第3のインバータ(I5′)
    の入力端が第1のインバータ(I1′)の出力端と、ま
    た第3のインバータ(I5′)の出力端が第2のトラン
    スファトランジスタ(N4′)の第2の端子と接続され
    ていることを特徴とする請求項1記載のスタティックメ
    モリセル。 3)第1の導電形の第1のトランスファトランジスタ(
    N3″)が、並列に接続されている第2の導電形の第3
    のトランスファトランジスタ(P3″)により1つのト
    ランスファゲートとして構成されており、第3のトラン
    スファトランジスタ(P3″)のゲート端子が第3のワ
    ード線(WS′)と接続されており、第3のワード線(
    WS′)が書込み過程の際の第3のトランスファトラン
    ジスタ(P3″)の能動化のための書込みワード線であ
    ることを特徴とする請求項1記載のスタティックメモリ
    セル。 4)第1の導電形の第4のトランスファトランジスタ(
    N5)が第1のトランスファトランジスタ(N3″)と
    第1のインバータ(I1″)との間に接続されており、
    第1のトランスファトランジスタ(N3″)の第2の端
    子が第4のトランスファトランジスタ(N5)の第1の
    端子と、また第1のインバータ(I1″)の入力端が第
    4のトランスファトランジスタ(N5)の第2の端子と
    接続されており、第4のトランスファトランジスタ(N
    5)のゲート端子が列ワード線(WSP)と接続されて
    おり、列ワード線(WSP)がメモリセル内のデータの
    書込みまたは読出しの際に第4のトランスファトランジ
    スタ(N5)を能動化することを特徴とする請求項1記
    載のスタティック−メモリセル。 5)第1の伝導形の2つのトランスファトランジスタ(
    N3″、N4″)、2つのインバータ(I1″、I2″
    )、2つのデータ線(DS、DL)および少なくとも1
    つの第1のワード線(WZ)を有し、第1のトランスフ
    ァトランジスタ(N3″)の第1の端子が第1のデータ
    線(DS)と、第2のトランスファトランジスタ(N4
    ″)の第1の端子が第2のデータ線(DL)と、第1の
    インバータ(11″)の入力端が第1のトランスファト
    ランジスタ(N3″)の第2の端子と、また第1のイン
    バータ(11″)の出力端が第2のトランスファトラン
    ジスタ(N4′)の第2の端子と接続されており、第2
    のインバータ(I2′)の入力端が第1のインバータ(
    I1″)の出力端と接続されており、また第2のインバ
    ータ(I2′)の出力端が第1のインバータ(I1″)
    の入力端に帰還結合されており、第1のトランスファト
    ランジスタ(N3″)および第2のトランスファトラン
    ジスタ(N4′)のゲート端子が第1のワード線(WZ
    )に接続されているスタティックメモリセルにおいて、
    第1のワード線(WZ)が書込み過程の際の第1のトラ
    ンスファトランジスタ(N3″)の能動化および読出し
    過程の際の第2のトランスファトランジスタ(N4′)
    の能動化のための書込みおよび読出しワード線であり、
    第1の導電形の第5のトランスファトランジスタ(N5
    )が第1のトランスファトランジスタ(N3″)と第1
    のインバータ(I1″)との間に接続されており、第1
    のトランスファトランジスタ(N3″)の第2の端子が
    第5のトランスファトランジスタ(N5)の第1の端子
    と、また第1のインバータ(I1″)の入力端が第5の
    トランスファトランジスタ(N5)の第2の端子と接続
    されており、また第5のトランスファトランジスタ(N
    5)のゲート端子が列書込みワード線(WSSP)と接
    続されており、列書込みワード線(WSSP)がメモリ
    セルへのデータの書込みの際に第5のトランスファトラ
    ンジスタ(N5)を能動化することを特徴とするスタテ
    ィックメモリセル。 6)インバータが第1の導電形の電界効果トランジスタ
    (N1′、N2′、N5′、N1″)および第2の伝導
    形の電界効果トランジスタ(P1′、P2′、P5′、
    P1″)を含んでおり、第1の伝導形の電界効果トラン
    ジスタのゲート端子および第2の伝導形の電界効果トラ
    ンジスタのゲート端子か共通にインバータの入力端を、
    また第1の伝導形の電界効果トランジスタの第1の端子
    および第2の伝導形の電界効果トランジスタの第1の端
    子が共通にインバータの出力端を形成しており、第1の
    伝導形の電界効果トランジスタの第2の端子が第1の接
    続点と、また第2の伝導形の電界効果トランジスタの第
    2の端子が第2の接続点と接続されていることを特徴と
    する請求項1ないし5の1つに記載のスタティックメモ
    リセル。 7)第1および第2のインバータ(I1′、I2′;I
    1″、I2″)が互いに非対称に構成されており、それ
    ぞれ第1のインバータ(I1′、I1″)の第1の伝導
    形の電界効果トランジスタ(N1′、N1″)のチャネ
    ル幅および第2の伝導形の電界効果トランジスタ(P1
    、P1″)のチャネル幅が等しく選定され、またそれぞ
    れ第1のインバータ(I1、I1″)の第1の伝導形の
    電界効果トランジスタ(Ni′、Ni″)のチャネル長
    さおよび第2の伝導形の電界効果トランジスタ(P1、
    P1″)のチャネル長さが最小に選定され、それによっ
    て第1のインバータ(I1′)は1つの非対称なスイッ
    チングしきいを有しており、それぞれ第2のインバータ
    (12′)の第1の伝導形の電界効果トランジスタ(N
    2′)のチャネル幅および第2の伝導形の電界効果トラ
    ンジスタ(P2′)のチャネル幅が等しくかつ最小に選
    定され、また第2のインバータ(I2′)内の第1の導
    電形の電界効果トランジスタ(N2′)のチャネル長さ
    が第2のインバータ(12′)内の第2の導電形の電界
    効果トランジスタ(P2′)の最小に選定されたチャネ
    ル長さの約2倍に大きく選定され、それによって第2の
    インバータ(12′)が供給電圧(VDD)の半分に等
    しくない1つの非対称なスイッチングしきいを有してお
    り、最小チャネル長さがテクノロジー的製造プロセスに
    より予め与えられていることを特徴とする請求項6記載
    のスタティックメモリセル。 8)読出しデータ線をより迅速に制御し得るように、第
    1の伝導形の第2のトランスファトランジスタ(N4′
    )のチャネル幅が第1のインバータ(I1′,I1″)
    内の第1の導電形の電界効果トランジスタ(N1′、N
    1″)のチャネル幅よりも本質的に大きく選定されてい
    ることを特徴とする請求項7記載のスタティックメモリ
    セル。 9)第1の導電形の電界効果トランジスタがnチャネル
    電界効果トランジスタ、また第2の導電形の電界効果ト
    ランジスタがpチャネル電界効果トランジスタであり、
    第1の接続点が1つの基準電位と、また第2の接続点が
    1つの供給電圧と接続されていることを特徴とする請求
    項1ないし8の1つに記載のスタティックメモリセル。 10)第1の導電形の電界効果トランジスタがpチャネ
    ル電界効果トランジスタ、また第2の導電形の電界効果
    トランジスタがnチャネル電界効果トランジスタであり
    、第1の接続点が1つの供給電圧と、また第2の接続点
    が1つの基準電位と接続されていることを特徴とする請
    求項1ないし8の1つに記載のスタティックメモリセル
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