JPH02295008A - 超電導酸化物積層体およびその製造方法 - Google Patents
超電導酸化物積層体およびその製造方法Info
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- JPH02295008A JPH02295008A JP1115566A JP11556689A JPH02295008A JP H02295008 A JPH02295008 A JP H02295008A JP 1115566 A JP1115566 A JP 1115566A JP 11556689 A JP11556689 A JP 11556689A JP H02295008 A JPH02295008 A JP H02295008A
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はビスマス(Bi) .鉛(pb) 、ストロン
チウム(Sr) 、カルシウム(Ca)および銅((1
:u)より構成された超電導酸化物厚膜に関し、より詳
細には圧縮加工と熱処理を組み合わせることによって、
酸化物結晶粒子が強固にかつ緻密に結合し、さらにこれ
らの粒子が金属基材に実質的にC軸配向し、かつ高い臨
界温度および臨界電流密度を達成したBi−Pb−Sr
一C a−C u−0系超電導酸化物積層体およびその
製造方法に係わる。
チウム(Sr) 、カルシウム(Ca)および銅((1
:u)より構成された超電導酸化物厚膜に関し、より詳
細には圧縮加工と熱処理を組み合わせることによって、
酸化物結晶粒子が強固にかつ緻密に結合し、さらにこれ
らの粒子が金属基材に実質的にC軸配向し、かつ高い臨
界温度および臨界電流密度を達成したBi−Pb−Sr
一C a−C u−0系超電導酸化物積層体およびその
製造方法に係わる。
超電導酸化物体の臨界温度( 1’ c )の向上に関
する発展は最近著しいものがあり、液体窒素温度(77
K)をはるかに越えるTcをもつB」Sr−Ca−Cu
一〇系やTQ−Ca−BaCu−○系が相次いて発見さ
れている。Bj系においては80KのTcを示す低Tc
相と110KのTcを示す高Tc相の存在が知られてい
るが、高Tc相の単相化が大きな課題であった。
する発展は最近著しいものがあり、液体窒素温度(77
K)をはるかに越えるTcをもつB」Sr−Ca−Cu
一〇系やTQ−Ca−BaCu−○系が相次いて発見さ
れている。Bj系においては80KのTcを示す低Tc
相と110KのTcを示す高Tc相の存在が知られてい
るが、高Tc相の単相化が大きな課題であった。
しかるに、Biの一部をpbで置換することによって高
Tc相の体積分率を増大させることが可能となった。
Tc相の体積分率を増大させることが可能となった。
またバルク材料では焼純の途中で圧縮加工を加えること
によって臨界電流密度Jcを向上させることが見出され
た結果、実用材料として極めて有望となった。
によって臨界電流密度Jcを向上させることが見出され
た結果、実用材料として極めて有望となった。
この超電導酸化物体の厚膜を金属基村上へ形成すること
により、磁気シールド板や長尺化による超電導テープな
とへの+lJ広い応用が可能である。これらが液体窒素
の沸点(77K)以上の温度で安定して使用できれば、
実用上のメリッ1−ははかりしれないものがある。液体
窒素で安定して使用するためには少なくともTcとして
100Kを越える必要があり、用途を限定した場合でも
Jcは77KでIOOOA/cJ以上必要である。
により、磁気シールド板や長尺化による超電導テープな
とへの+lJ広い応用が可能である。これらが液体窒素
の沸点(77K)以上の温度で安定して使用できれば、
実用上のメリッ1−ははかりしれないものがある。液体
窒素で安定して使用するためには少なくともTcとして
100Kを越える必要があり、用途を限定した場合でも
Jcは77KでIOOOA/cJ以上必要である。
Bi系超電導酸化物体の結晶構造は結晶軸のうちC軸が
著しく長く(高l′G相で37A、低TC相で30人)
、a軸やb軸の長さの5倍以上であり、各原子がab面
に層状に配列している。
著しく長く(高l′G相で37A、低TC相で30人)
、a軸やb軸の長さの5倍以上であり、各原子がab面
に層状に配列している。
従って、超電導状態では電子がab面(C軸に垂直方向
)に添って移動し易い構造となっている。このため大き
な電流密度を得るためには、厚膜のC結晶軸が基板に垂
直に配向することが望ましい。
)に添って移動し易い構造となっている。このため大き
な電流密度を得るためには、厚膜のC結晶軸が基板に垂
直に配向することが望ましい。
また酸化物結晶の微細構造を見た場合、結晶粒同士の結
合が強固でないと、いわゆる弱結合状態(weak Q
j nk )となってしまい、大電流を流すことがで
きない。
合が強固でないと、いわゆる弱結合状態(weak Q
j nk )となってしまい、大電流を流すことがで
きない。
本発明は上述の背景に基づきなされたものであり、その
目的とするところは、基村上に結晶粒子間の結合が強固
でかつ緻密化し、実質的にC軸配向し、高い臨界温度お
よび臨界電流密度を有する厚膜を形成した超電導酸化物
積層体およびこの積層体を簡易にかつ廉価に製造する方
法を提供することにある。
目的とするところは、基村上に結晶粒子間の結合が強固
でかつ緻密化し、実質的にC軸配向し、高い臨界温度お
よび臨界電流密度を有する厚膜を形成した超電導酸化物
積層体およびこの積層体を簡易にかつ廉価に製造する方
法を提供することにある。
上記の課題は本発明による超電導酸化物積層体およびそ
の製造方法により達成される。
の製造方法により達成される。
すなわち、本発明の超電導酸化物積層体は、ビスマス、
鉛、ス1〜ロンチウム、カルシウ4一 ムおよび銅より横成された複合酸化物Bi−Pb−S
r−Ca−Cu−0を金属基材表面に厚膜形成し、この
厚膜を400〜600℃で予備熱処理し、厚膜/金属基
材の積層体に圧縮加工を施し、吹いで800〜870゜
Cの温度範囲で12〜100時間焼成し、この厚膜/金
属基材の積層体にさらに圧縮加工を施した後、800〜
870℃の温度範囲で12〜100時間焼成することに
より、複合酸化物結晶のC結晶軸が基材表面に実質的に
垂直になるよう垂直配向させ、結晶粒子間の強結合化、
緻密化させることを特徴とする方法により製造される。
鉛、ス1〜ロンチウム、カルシウ4一 ムおよび銅より横成された複合酸化物Bi−Pb−S
r−Ca−Cu−0を金属基材表面に厚膜形成し、この
厚膜を400〜600℃で予備熱処理し、厚膜/金属基
材の積層体に圧縮加工を施し、吹いで800〜870゜
Cの温度範囲で12〜100時間焼成し、この厚膜/金
属基材の積層体にさらに圧縮加工を施した後、800〜
870℃の温度範囲で12〜100時間焼成することに
より、複合酸化物結晶のC結晶軸が基材表面に実質的に
垂直になるよう垂直配向させ、結晶粒子間の強結合化、
緻密化させることを特徴とする方法により製造される。
また本発明方法により得られる超電導酸化物積層体は、
金属基材表面にビスマス、鉛、ス1〜ロンチウム、カル
シウムおよび銅より構成された複合酸化物厚膜が形成さ
れた複合体であって、該厚膜のC結晶軸が基材表面に実
質的に垂直に配向され、かつ結晶粒子間の結合が強く、
緻密であり、その臨界温度T c (zero)が10
0K以上、臨界電流密度Jcが300O A / a#
以上の特性を有することを特徴とするものである。
金属基材表面にビスマス、鉛、ス1〜ロンチウム、カル
シウムおよび銅より構成された複合酸化物厚膜が形成さ
れた複合体であって、該厚膜のC結晶軸が基材表面に実
質的に垂直に配向され、かつ結晶粒子間の結合が強く、
緻密であり、その臨界温度T c (zero)が10
0K以上、臨界電流密度Jcが300O A / a#
以上の特性を有することを特徴とするものである。
本発明の好ましい態様において、基材はテープ状良導電
体および/または銀、銅、金、白金およびニッケルのい
ずれか1種もしくはこれらの元素のいずれか1種を含む
合金である。
体および/または銀、銅、金、白金およびニッケルのい
ずれか1種もしくはこれらの元素のいずれか1種を含む
合金である。
以下本発明をより詳細に説明する。
数m町膚pJL先展滅,
厚膜の基村上への形成は、種々の方法で実施することが
でき、例えばスクリーンll’lJ刷法、1くクターブ
レード法、溶液塗布法などがあり、適宜選択できる。超
電導酸化物厚膜は、目的に応じて適宜変更できるが、例
えば数μmから数100μmである。
でき、例えばスクリーンll’lJ刷法、1くクターブ
レード法、溶液塗布法などがあり、適宜選択できる。超
電導酸化物厚膜は、目的に応じて適宜変更できるが、例
えば数μmから数100μmである。
本発明において、酸化物厚膜は、金属基材表面に形成さ
れる。金属基材の形状は、配向結晶化が可能な実質的に
平面を有するものであれは、いずれの形状でもよいが、
長尺物が好ましく、例えば、テープ状、線状であり、特
にテープ状が好ましい。
れる。金属基材の形状は、配向結晶化が可能な実質的に
平面を有するものであれは、いずれの形状でもよいが、
長尺物が好ましく、例えば、テープ状、線状であり、特
にテープ状が好ましい。
この発明において用いらJしる基材は,銀、銅、金、白
金などの貴金属、ニッケルのいずれか、もしくはこれら
の元素のいずれかを含む合金が使用できる。
金などの貴金属、ニッケルのいずれか、もしくはこれら
の元素のいずれかを含む合金が使用できる。
予血烏カI省1世玉11 .I
厚膜形成後、加工できるように予備熱処理を行う。予備
熱処理は形成された厚膜が基板より剥離しない程度に焼
結する必要があり、400°Cから600゜Cの温度範
囲で行う。400℃未満の温度では、加工中に膜が基板
から剥離し易く、またスラリーやペース1〜中のバイン
ダーが膜より分解蒸発しない。600℃を越える温度で
は焼結が進行してしまうため、圧縮加工の効果が得られ
ない。
熱処理は形成された厚膜が基板より剥離しない程度に焼
結する必要があり、400°Cから600゜Cの温度範
囲で行う。400℃未満の温度では、加工中に膜が基板
から剥離し易く、またスラリーやペース1〜中のバイン
ダーが膜より分解蒸発しない。600℃を越える温度で
は焼結が進行してしまうため、圧縮加工の効果が得られ
ない。
圧縮加工の方法はロール圧延、一軸プレス成形、冷間静
水圧プレス(CIP)等を用いることができ、基板の種
類、形状によって適宜選択できる。
水圧プレス(CIP)等を用いることができ、基板の種
類、形状によって適宜選択できる。
上記の予備熱処理→圧縮加工の工程は適宜繰返して行う
ことができる。例えば500℃で1時IJI熱処理しロ
ール圧延加工し、さらに600℃で1時間熱処理しロー
ル圧延加工する等々である。
ことができる。例えば500℃で1時IJI熱処理しロ
ール圧延加工し、さらに600℃で1時間熱処理しロー
ル圧延加工する等々である。
このように未焼結のグリーン状態にあるN膜に圧縮加工
を行うことによって膜は著しく緻密になる。
を行うことによって膜は著しく緻密になる。
蓋カJ巳u11姉工
」二連の予備熱処理および圧縮加工によって形成された
厚膜/金属基材積層体はいわゆるB」系超電導体の11
0K相を出現させるために800〜870℃の温度で1
2〜100時間熱処理させる。この熱処理した積層体に
さらに圧縮加工を加え、その後再び800〜870’C
の温度で12〜100時間熱処理する。
厚膜/金属基材積層体はいわゆるB」系超電導体の11
0K相を出現させるために800〜870℃の温度で1
2〜100時間熱処理させる。この熱処理した積層体に
さらに圧縮加工を加え、その後再び800〜870’C
の温度で12〜100時間熱処理する。
この熱処理温度範囲および焼成時間範囲をはずれると、
超電導相が形成しないが、超電導札が形成した場合でも
高Tc相の体積分率が極めて小さくなる。
超電導相が形成しないが、超電導札が形成した場合でも
高Tc相の体積分率が極めて小さくなる。
また、このような熱処理工程および圧縮加j−工程を2
回繰り返すのは高Tc相の体積分率を増すためである。
回繰り返すのは高Tc相の体積分率を増すためである。
この熱処理と圧縮工程により,低Tc相を減ずることが
でき、臨界温度が100K以上となり、=8− Tcが3000A/d以上となる。それとともに,厚膜
を形成している酸化物粒子は互いに強く結合し、また基
材面に平行に結晶構造のab面が配向した板状組織とな
る。
でき、臨界温度が100K以上となり、=8− Tcが3000A/d以上となる。それとともに,厚膜
を形成している酸化物粒子は互いに強く結合し、また基
材面に平行に結晶構造のab面が配向した板状組織とな
る。
この発明の方法においては、予備熱処理後の圧縮加工お
よび中間圧縮加工の両方の加工を加えることにより、酸
化物結晶粒が互いに強固に結合し、また板状粒子が成長
して基板面にC軸が著しく配向するようになる。グリー
ン状態の厚膜に圧縮加工を加えることによりセラミック
ス厚膜の弱点であった緻密化が容易に達成できる。さら
に中間圧縮加工によって、超電導酸化物の結晶粒子が密
接に配列しtyeak ρinkを減少させることがで
きTcが100K以上、Jcが3000A/cni以]
二の特性を具備させることができる。
よび中間圧縮加工の両方の加工を加えることにより、酸
化物結晶粒が互いに強固に結合し、また板状粒子が成長
して基板面にC軸が著しく配向するようになる。グリー
ン状態の厚膜に圧縮加工を加えることによりセラミック
ス厚膜の弱点であった緻密化が容易に達成できる。さら
に中間圧縮加工によって、超電導酸化物の結晶粒子が密
接に配列しtyeak ρinkを減少させることがで
きTcが100K以上、Jcが3000A/cni以]
二の特性を具備させることができる。
また基材が銀、銅などの′jt金属、ニッケルなどから
なる場合、Bi−Pb−Sr−Ca−Cu 一〇系酸化
物との結晶格子の整合性が良く、ロール加]二等を加え
ても厚膜/基林間にクラックなどの欠陥が入らない。こ
のようにして基村上に著しくC軸配向した厚膜を形成で
きる。
なる場合、Bi−Pb−Sr−Ca−Cu 一〇系酸化
物との結晶格子の整合性が良く、ロール加]二等を加え
ても厚膜/基林間にクラックなどの欠陥が入らない。こ
のようにして基村上に著しくC軸配向した厚膜を形成で
きる。
以下に実施例を示す。
実施例I
Bi2030.8モル、PbOO.4モル、SrC○3
2モルCaCO32モルおよびCuO3モルを乳鉢で乾
式混合し、800℃で12時間仮焼した。この仮焼粉末
をエタノール中で湿式混合し微粉砕した。次いでアクリ
ル系樹脂3重量部を仮焼物]0重量部に添加し30分以
上混線機で混合した。粘度を調整するために、溶剤とし
てバラピノール、可塑剤としてジブチルフタレー1・を
数滴添加してよく混合した。得られたペーストを、スク
リーン印刷法によりAgテーブ(厚さ0.1mm.幅1
0mm、長さ100mm) lに厚膜形成した。このテ
ープを100゜C前後で乾燥し、500゜Cで1時間バ
インダーを蒸発させて前処理後、ロール圧縮加工を行っ
た。膜厚はロール加工前100〜50μmのものがロー
ル加工後は、約半分以下に減少した。
2モルCaCO32モルおよびCuO3モルを乳鉢で乾
式混合し、800℃で12時間仮焼した。この仮焼粉末
をエタノール中で湿式混合し微粉砕した。次いでアクリ
ル系樹脂3重量部を仮焼物]0重量部に添加し30分以
上混線機で混合した。粘度を調整するために、溶剤とし
てバラピノール、可塑剤としてジブチルフタレー1・を
数滴添加してよく混合した。得られたペーストを、スク
リーン印刷法によりAgテーブ(厚さ0.1mm.幅1
0mm、長さ100mm) lに厚膜形成した。このテ
ープを100゜C前後で乾燥し、500゜Cで1時間バ
インダーを蒸発させて前処理後、ロール圧縮加工を行っ
た。膜厚はロール加工前100〜50μmのものがロー
ル加工後は、約半分以下に減少した。
これら一連の]二程(印刷→熱処理→加工)を数回繰返
し膜厚を調整した。
し膜厚を調整した。
次に、この厚膜/金属テープ積層体を845℃で48時
間熱処理した。熱処理した積層体に対してロール圧縮加
工を行った。この結果膜厚は約30〜40%減少した。
間熱処理した。熱処理した積層体に対してロール圧縮加
工を行った。この結果膜厚は約30〜40%減少した。
この積層体をさらに845℃で48時間熱処理して酸化
物超電導積層体テープを得た。得られたテープの厚さは
、Agテープ部分の厚さが約50μm、超電導厚膜部分
が約20〜30μmであった。得られた積層体テープの
超電導特性を試験するために、通常の4端子法で、温度
と電気抵抗Rとの関係を調べた。
物超電導積層体テープを得た。得られたテープの厚さは
、Agテープ部分の厚さが約50μm、超電導厚膜部分
が約20〜30μmであった。得られた積層体テープの
超電導特性を試験するために、通常の4端子法で、温度
と電気抵抗Rとの関係を調べた。
その結果を第1図に示す。この図から明らかなように、
Tc (zero)として105Kが得られた。
Tc (zero)として105Kが得られた。
また超電導への遷移も極めてシャープであった。
結晶配向性を調べるために、粉末X線回折を行った。そ
の結果を第2図に示す。この図から明らかなように結晶
構造は(OOn)面のピークが著しく高くC軸配向性が
良好であることがわかる。
の結果を第2図に示す。この図から明らかなように結晶
構造は(OOn)面のピークが著しく高くC軸配向性が
良好であることがわかる。
込に、液体窒素温度(77K)で臨界電流密度−1]
Jcを4端子法を用いて測定した。Jcは積層体テープ
に流した電流を厚膜断面積で割ることによって算出した
。電圧端子間距1dt 1 anに対し1μVの電圧が
発生した所を臨界電流と定義した。
に流した電流を厚膜断面積で割ることによって算出した
。電圧端子間距1dt 1 anに対し1μVの電圧が
発生した所を臨界電流と定義した。
第3図にI−V特性曲線を示す。
積層体テープのJcは77Kで3100Δ/dであった
・ 比較例 予備熱処理後の圧縮加工および中間圧縮加工を施さずに
、実施例1と同様に超電導酸化物積層体を調整し、超電
導特性を調べた。
・ 比較例 予備熱処理後の圧縮加工および中間圧縮加工を施さずに
、実施例1と同様に超電導酸化物積層体を調整し、超電
導特性を調べた。
第4図は粉末X線回折の結果であり、この図から明らか
なようにC軸配向性が悪い。
なようにC軸配向性が悪い。
次にこの積層体のJcを測定した結果、Jcは77Kで
10 〜3O A / cniにとどまった。
10 〜3O A / cniにとどまった。
以上のような本発明によれば、次のような効果を得るこ
とができる。
とができる。
(イ)、この製造法により、従来の複雑高価な蒸着法、
スパッタ法、CVD法などを用いずにコストの安い良好
なC軸配向性したJcの高い酸化物超電導積層体を簡易
にかつ廉価に製造できる。
スパッタ法、CVD法などを用いずにコストの安い良好
なC軸配向性したJcの高い酸化物超電導積層体を簡易
にかつ廉価に製造できる。
(口)、基材をテープ状良導体とすれば、加工性の悪い
セラミックスの弱点をカハーシ圧縮加工を容易に行うこ
とができる。またこの発明の積層体をフレキシブルなも
のとすることができる。
セラミックスの弱点をカハーシ圧縮加工を容易に行うこ
とができる。またこの発明の積層体をフレキシブルなも
のとすることができる。
(ハ)、基材が金属であるため、厚膜/金属基材積層体
の加工が容易であり、予備熱処理後の加工および中間圧
縮加工に際して強加工を加えることができる。その結果
、膜は著しく緻密化し、また結晶粒子間の結合を強くで
き、C軸配向性を増すことができる。
の加工が容易であり、予備熱処理後の加工および中間圧
縮加工に際して強加工を加えることができる。その結果
、膜は著しく緻密化し、また結晶粒子間の結合を強くで
き、C軸配向性を増すことができる。
(二)、(ハ)の効果により、膜のJcは加工を加えな
い場合の100倍も向上する。
い場合の100倍も向上する。
(ホ)、基材をAgなどの良導体とすれば,使用中に超
電導状態が破れても、すなわちクエンチ状態になっても
、金属基材が電流のバイパスとなって安定化材の役割を
はたす。
電導状態が破れても、すなわちクエンチ状態になっても
、金属基材が電流のバイパスとなって安定化材の役割を
はたす。
第1図は実施例1で得られた超電導酸化物積層体の温度
と電気抵抗Rとの関係図である。 第2図は実施例1で得られた超電導酸化物積層体のX線
回折図である。 第3図は実施例1で得られた超電導酸化物積層体の77
Kにおける電流一電圧特性図である。 第4図は比較例1で得られた超電導酸化物積層体のX線
回折図である。 特許出願人 三井金属鉱業株式会社 代理人 弁理士 佐 藤 孝 夫
と電気抵抗Rとの関係図である。 第2図は実施例1で得られた超電導酸化物積層体のX線
回折図である。 第3図は実施例1で得られた超電導酸化物積層体の77
Kにおける電流一電圧特性図である。 第4図は比較例1で得られた超電導酸化物積層体のX線
回折図である。 特許出願人 三井金属鉱業株式会社 代理人 弁理士 佐 藤 孝 夫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ビスマス、鉛、ストロンチウム、カルシウムおよび
銅より構成された複合酸化物Bi−Pb−Sr−Ca−
Cu−Oを金属基材表面に厚膜形成し、この厚膜を40
0〜600℃で予備熱処理し、厚膜/金属基材の積層体
に圧縮加工を施し、次いで800〜870℃の温度範囲
で12〜100時間焼成し、この厚膜/金属基材の積層
体にさらに圧縮加工を施した後、800〜870℃の温
度範囲で12〜100時間焼成することにより、複合酸
化物結晶のC結晶軸が基材表面に実質的に垂直になるよ
う垂直配向させ、結晶粒子間の強結合化、緻密化させる
ことを特徴とする超電導酸化物積層体の製造方法。 2、基材がテープ状良導電体である請求項1記載の方法
。 3、基材が銀、銅、金、白金およびニッケルのいずれか
1種もしくはこれら元素のいずれか1種を含む合金であ
る請求項1または2記載の方法。 4、800〜870℃の温度範囲で12〜100時間焼
成し、次いでこの厚膜/金属基材の積層体に圧縮加工を
施すことからなる工程をさらに繰り返す請求項1記載の
方法。 5、金属基材表面にビスマス、鉛、ストロンチウム、カ
ルシウムおよび銅より構成された複合酸化物厚膜が形成
された複合体であって、該厚膜のC結晶軸が基材表面に
実質的に垂直に配向され、かつ結晶粒子間の結合が強く
、緻密であり、その臨界温度Tc(zero)が100
K以上、臨界電流密度Jcが3000A/cm^2以上
の特性を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれ
かの方法により得られた超電導酸化物積層体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1115566A JPH02295008A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 超電導酸化物積層体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1115566A JPH02295008A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 超電導酸化物積層体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295008A true JPH02295008A (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=14665727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1115566A Pending JPH02295008A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 超電導酸化物積層体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02295008A (ja) |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP1115566A patent/JPH02295008A/ja active Pending
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