JPH02295009A - 導電性セラミックスの製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電気抵抗の高い酸化ジルコニウム、酸化アル
ミニウムや炭化珪素の粉末の単体あるいは混合物に酸化
コバルトあるいは酸化ニッケルを単独あるいは複数個加
えて圧粉ックスを製造する方法に関するものである。

最近、セラミックスが構造材として金属材料に代わって
用いられることがしばしば見られる。ところが、セラミ
ックスは非常に固くて靭性が低いため加工がむずかしく
、製造コストを下げる加工方法が期待されている。

これらの加工方法の一つにワイヤカット放電加工機を用
いてアーク放電により切断することがいくらか行われて
いる。

従来、ワイヤカット放電加工機で加工できたセラミック
スには （ａ）ホウ化チタンや反応焼結炭化珪素のようにそれ自
身が金属並の電気抵抗をもつもの、（ｂ）電気抵抗の高
い酸化物に電気抵抗の低い炭化チタンや窒化チタンを添
加して全体の抵抗を下げたもの、 が数種類ワイヤカット加工されているにすぎない。

本発明は上に述べたような電気抵抗の低い物質を加える
ことなく、高い電気抵抗をもつセラミックスを焼結する
ことにより低い電気抵抗のセラミックスを製造する方法
に関するものである。

すなわち、本発明によると電気抵抗の太きい酸化ジルコ
ニウムや酸化アルミニウムに電気抵抗の大きい酸化コバ
ルトや酸化ニッケルを単独あるいは両者を数パーセント
から６０％程度添加し、型に入れて圧粉する。次に、こ
の表面をグラファイトの粉末で覆いアルゴンガス等の雰
囲気中で焼結すると低抵抗のセラミックスが製造する。

この方法で製造したセラミックスの電気抵抗の最小のも
のは酸化ジルコニウムに酸化コバルトを添加したもので
１０μΩｃｍ以下であった。

次に実施例により本発明をさらに詳細に説明する。

実施例１ 酸化ジルコニウム粉末に酸化コバルト粉末を３０％加え
、十分に混ぜ合わせ、型に入れて圧粉し成形する。次に
成形した圧粉体の回りをグラファイトで覆い、１４５０
℃のアルゴンガスまたは、窒素雰囲気中で１時間焼結し
た。この焼結体の電気抵抗は低ク、１０μΩａｍ以下で
あった０ 実施例２ 炭化珪素粉末に酸化コノくルト粉末を３０％ノノ日え、
十分混ぜ合わせ、型に入れて圧粉し成形する。次ぎに成
形した圧粉体の回りをグラファイトで覆い、１４５０℃
のアノレゴンガスまたは、窒素雰囲気中で１時間焼結し
た。

この焼結体の電気抵抗は２．７Ωｃｍであった。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム等のように高
   い電気抵抗をもつ酸化物または 炭化珪素等の粉末を単独あるいは混合した ものに、酸化コバルト、酸化ニッケルの粉 末を単独あるいは両者を加え、十分にかき 混ぜた後に型に入れて圧粉したものの表面 にグラファイト粉末をかぶせて、アルゴン ガス等の不活性ガス雰囲気中で一度の焼結 で製造することを特徴とする導電性セラミ ックスの製造法。 ２　特許請求の範囲第１項に記載の製造方法において、
   圧粉し焼結する方法としてＨＩ Ｐ，ＳＩＰを用いることを特徴とする導電 性セラミックスの製造法。 ３　特許請求の範囲第１項に記載の製造方法において、
   圧粉体の回りを固形グラファイ トで覆うことを特徴とする導電性セラミッ クスの製造法。 ４　特許請求の範囲第１項に記載の製造方法において、
   ＣＯガス等の還元性のガス、あるいは加熱することによ
   り還元性のガスを発 生するものを単独または組み合わせて使用 することを特徴とする導電性セラミックッ スの製造法。